JP2018044835A - 機械部品の製造方法、及び時計の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡便な工程により、シリコンを含む基材からなる機械部品の製造方法、および、時計の製造方法を提供する。【解決手段】シリコンを含む基材の一方の面に感光性を有する第１の樹脂材料としてのフォトレジストを塗布する第１の塗布工程と、前記一方の面と反対側の他方の面に第２の樹脂材料としての裏面コート材を塗布する第２の塗布工程と、前記第１の樹脂材料を露光したのち、現像することにより、前記第１の樹脂材料からなるマスクを形成する工程と、前記マスクを介して前記一方の面から前記基材をエッチングするエッチング工程と、前記エッチング工程の後で、前記第１の樹脂材料および前記第２の樹脂材料を除去する除去工程と、を含むことを特徴とする機械部品の製造方法。【選択図】図６

Description

本発明は、機械部品の製造方法、及び、時計の製造方法に関する。

機械式時計等の時計には、歯車等に代表される数多くの機械部品（回転部品）が搭載されている。近時では、時計用の材料としてシリコンを有する基材が用いられるようなっている。シリコン製の機械部品は、金属製のものに比べて軽いことから、慣性力を小さくした部品の材料に好適となり、エネルギーの伝達効率の向上が見込まれる。また、シリコンは、形状の自由度が高く、加工精度を向上できるという利点もある。

例えば特許文献１に、ＳＯＩ基板を用いて、機械式時計用の機械部品（ひげぜんまい）を製造することにより、基材のエッチング後に個片化される部品の分散を抑止する方法が記載されている。
また、特許文献１では、エッチングした後で、ＳＯＩ基板の犠牲層を除去したときに、基材に形成された複数の機械部品が分散してしまわないように、機械部品どうしを基材の一部として形成した接続部により接続する構成が記載されている。

特開２０１５−１７９０１３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の機械部品の製造方法では、犠牲層の除去など、製造工程が増えて煩雑になるとともに、ＳＯＩ基板が比較的高価なため、製造コストが増大する虞があった。
また、基材に形成された複数の機械部品を、接続部を折り取ることによって個片化する際に、接続部の折り取り部分にチッピングが生じて機械部品に付着したり、接続部の折り取り部から機械部品部分に亀裂が生じて破損のきっかけになり得る虞があるという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］ 本適用例にかかる機械部品の製造方法は、シリコンを含む基材の一方の面に感光性を有する第１の樹脂材料を塗布する第１の塗布工程と、前記一方の面と反対側の他方の面に第２の樹脂材料を塗布する第２の塗布工程と、前記第１の樹脂材料を露光したのち、現像することにより、前記第１の樹脂材料からなるマスクを形成する工程と、前記マスクを介して前記一方の面から前記基材をエッチングするエッチング工程と、前記エッチング工程の後で、前記第１の樹脂材料および前記第２の樹脂材料を除去する除去工程と、を含むことを特徴とする。

シリコンを含む材料をフォトリソグラフィー及びエッチングを用いて加工することにより形成される機械部品は、金属製の機械部品に比べて軽いとともに、形状の自由度が高く、加工精度が高いという利点を有する。
本適用例によれば、エッチング工程において、第２の樹脂材料が、基材の他方の面からの浸食を防止するエッチングレジストとして機能するとともに、エッチングにより個片になった複数の機械部品同士を接続する裏打ち膜になるので、エッチング後に個片化された機械部品が散乱するのを防止することができる。
したがって、シリコンを含む基材からなる機械部品を、標準的なフォトリソグラフィー及びエッチングを用いた簡便な工程により、効率的に、且つ、精度よく製造することが可能な製造方法を提供することができる。

［適用例２］ 上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記除去工程は、前記エッチング工程を経た前記基材をトレイに載置した状態で、プラズマ処理により行うことを特徴とする。

プラズマ処理による樹脂材料の除去工程によれば、第１の樹脂材料および第２の樹脂材料のうち、基材のトレイと対向する側の面に形成された樹脂材料に対してもプラズマが適切に作用して、樹脂材料を確実に除去できることを発明者等は見出した。
したがって、本適用例によれば、第２の樹脂材料が除去されて個片化される機械部品の散乱を抑えながら、エッチング後の機械部品の第１の樹脂材料および第２の樹脂材料を除去することができる。

［適用例３］ 上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記除去工程の後に、前記基材の表面にシリコン酸化膜を形成する酸化工程を含むことを特徴とする。

本適用例によれば、基材材料の表面に形成されるシリコン酸化膜により、機械部品の機械的強度を向上させることができる。

［適用例４］ 上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記酸化工程は、熱酸化処理を行うことを特徴とする。

熱酸化処理によれば、十分な厚さの緻密な酸化膜を比較的短時間に形成することができるので、機械的強度の高い機械部品を効率よく製造することができる。

［適用例５］ 本適用例にかかる時計の製造方法は、香箱車、番車、がんぎ車、アンクル及びてんぷのいずれかに、上記適用例に記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメントを組み立てる組立工程を含むことを特徴とする。

本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメントを組み立てる工程を含むので、金属製の機械部品に比べて軽く、慣性力を小さく抑えた機械部品により、エネルギーの伝達効率の高いムーブメントを構成することができる。
したがって、信頼性及び耐久性に優れた精度の高い時計を製造することができる。

実施形態に係る時計のムーブメント表側の平面図。 ムーブメントの脱進機構の平面図。 脱進機構の斜視図。 図２のＡ−Ａ線に沿う断面図。 機械部品としてのがんぎ歯車部の平面図。 機械部品の製造方法を示すフローチャート。 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、本実施形態では、本発明の機械部品の一例として、機械式時計のムーブメントにおける時計部品を構成する歯車の１つであるがんぎ車を例に挙げて説明する。また、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材について実際とは異なる尺度で示している場合がある。

［機械式時計］
はじめに、機械式時計１について説明する。図１は、本実施形態に係る時計としての機械式時計１のムーブメント１０表側の平面図である。
図１に示すように、本実施形態の機械式時計１は、ムーブメント１０と、このムーブメント１０を収納する図示しないケーシングと、により構成されている。

ムーブメント１０は、基板を構成する地板１１を有している。この地板１１の裏側には図示しない文字板が配されている。なお、ムーブメント１０の表側に組み込まれる輪列を表輪列と称し、ムーブメント１０の裏側に組み込まれる輪列を裏輪列と称する。
地板１１には、巻真案内穴１１ａが形成されており、ここに巻真１２が回転自在に組み込まれている。この巻真１２は、おしどり１３、かんぬき１４、かんぬきばね１５及び裏押さえ１６を有する切換装置により、軸方向の位置が決められている。また、巻真１２の案内軸部には、きち車１７が回転自在に設けられている。

このような構成のもと、巻真１２が、回転軸方向に沿ってムーブメント１０の内側に一番近い方の第１の巻真位置（０段目）にある状態で巻真１２を回転させると、図示しないつづみ車の回転を介してきち車１７が回転する。そして、このきち車１７が回転することにより、これと噛合う丸穴車２０が回転する。そして、この丸穴車２０が回転することにより、これと噛合う角穴車２１が回転する。さらに、この角穴車２１が回転することにより、香箱車２２に収容された図示しないぜんまい（動力源）を巻き上げる。

ムーブメント１０の表輪列は、上述した香箱車（機械部品）２２の他に、所謂番車と呼ばれる二番車（機械部品）２５、三番車（機械部品）２６及び四番車（機械部品）２７により構成されており、香箱車２２の回転力を伝達する機能を果している。また、ムーブメント１０の表側には、表輪列の回転を制御するための脱進機構３０及び調速機構３１が配置されている。

二番車２５は、香箱車２２に噛合う歯車とされている。三番車２６は、二番車２５に噛合う歯車とされている。四番車２７は、三番車２６に噛合う歯車とされている。
脱進機構３０は、上述した表輪列の回転を制御する機構であって、四番車２７と噛み合うがんぎ車（機械部品）３５と、このがんぎ車３５を脱進させて規則正しく回転させるアンクル（機械部品）３６と、を備えている。
調速機構３１は、上述した脱進機構３０を調速する機構であって、てんぷ（機械部品）４０を具備している。

＜脱進機構＞
次に、上述したムーブメント１０の脱進機構３０について、より詳細に説明する。図２は脱進機構３０の平面図であり、図３は脱進機構３０の斜視図、図４は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２〜図４に示すように、脱進機構３０のがんぎ車３５は、がんぎ歯車部（回転体）１０１と、がんぎ歯車部１０１に同軸（軸線Ｏ１）上に固定された軸部材（回転軸）１０２と、を備えている。以下の説明では、がんぎ歯車部１０１及び軸部材１０２の軸線Ｏ１に沿う方向を単に軸方向、軸線Ｏ１に直交する方向を径方向といい、軸線Ｏ１回りに周回する方向を周方向という。

図５は、機械部品としてのがんぎ歯車部１０１の平面図である。
図２〜図５に示すように、がんぎ歯車部１０１は、表面１０１ａ及び裏面１０１ｂが平坦面とされるとともに、全面に亘って均一な厚みとされた板状のものである。具体的に、がんぎ歯車部１０１は、周囲のリム部１１１と、中央のハブ部１１２と、これらリム部１１１及びハブ部１１２を連結する複数のスポーク部１１３と、を有している。
リム部１１１の外周面には、特殊な鉤型状に形成された複数の歯部１１４が径方向の外側に向けて突設されている。これら複数の歯部１１４の先端に、後述するアンクル３６の爪石１４４ａ，１４４ｂが接触するようになっている。
なお、がんぎ歯車部１０１は、単結晶シリコン等、結晶方位を有する材料からなる。

図３〜図５に示すように、ハブ部１１２は、リム部１１１の内側に配置された円板形状のものであり、その中央部分には軸方向に貫通する貫通孔１１５が形成されている。この貫通孔１１５は、平面視で円形状とされ、軸方向に沿う表面１０１ａから裏面１０１ｂに貫通されている。

各スポーク部１１３は、ハブ部１１２の外周縁からリム部１１１の内周縁に向かって放射状に延在しており、リム部１１１及びハブ部１１２を連結している。

軸部材１０２は、軸方向両端部に位置するほぞ部１２１ａ，１２１ｂと、上述した四番車２７の歯車部に噛合されるがんぎかな部１２２と、を有している。
ほぞ部１２１ａ，１２１ｂのうち、軸方向一端側に位置する一端ほぞ部１２１ａは、図示しない輪列受に回転可能に支持され、軸方向他端側に位置する他端ほぞ部１２１ｂは、上述した地板１１に回転可能に支持されている。

がんぎかな部１２２は、軸部材１０２において、一端ほぞ部１２１ａ寄りに形成されている。そして、がんぎかな部１２２が四番車２７（図１参照）に噛合されることで、四番車２７の回転力が軸部材１０２に伝達されがんぎ車３５が回転するようになっている。

圧入軸部１２３は、上述した各ほぞ部１２１ａ，１２１ｂよりも大径に形成されるとともに、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５内に、裏面１０１ｂ側から挿通されている。この場合、圧入軸部１２３は、その一部ががんぎ歯車部１０１から軸方向他端側に向けて突出した状態で、貫通孔１１５内に配置されている。

また、軸部材１０２のうち、がんぎかな部１２２と圧入軸部１２３との間には、径方向の外側に向けて突出するフランジ部１２４が形成されている。フランジ部１２４は、貫通孔１１５の裏面１０１ｂ側の開口よりも大径とされ、その軸方向他端側に位置する端面がハブ部１１２の裏面１０１ｂに当接している。

このように構成されたがんぎ車３５は、複数の歯部１１４がアンクル３６に噛合するようになっている（図２参照）。アンクル３６は、３つのアンクルビーム１４３によってＴ字状に形成されたアンクル体１４２ｄと、アンクル真１４２ｆと、を備えたもので、軸であるアンクル真１４２ｆによってアンクル体１４２ｄが回動可能に構成されている。なお、アンクル真１４２ｆは、その両端が上述した地板１１及び図示しないアンクル受に対してそれぞれ回動可能に支持されている。

３つのアンクルビーム１４３のうち２つのアンクルビーム１４３の先端には、爪石１４４ａ，１４４ｂが設けられ、残り１つのアンクルビーム１４３の先端には、アンクルハコ１４５が取り付けられている。爪石１４４ａ，１４４ｂは、四角柱状に形成されたルビーであり、接着剤等によりアンクルビーム１４３に接着固定されている。

このように構成されたアンクル３６は、アンクル真１４２ｆを中心に回動した際に、爪石１４４ａ或いは爪石１４４ｂが、がんぎ車３５の歯部１１４の先端に接触するようになっている。また、この際、アンクルハコ１４５が取り付けられたアンクルビーム１４３が、図示しないドテピンに接触するようになっており、これによってアンクル３６は、同方向にそれ以上回動しないようになっている。その結果、がんぎ車３５の回転も一時的に停止するようになっている。

［がんぎ車の製造方法］
次に、上述したがんぎ車３５の製造方法について説明する。
図６は、がんぎ車３５の歯車部（がんぎ歯車部）１０１の製造方法を示すフローチャートであり、図７Ａ〜図７Ｄは、歯車部１０１の作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図である。

がんぎ車３５の歯車部１０１の作成工程では、まず、シリコンを含む基材（ウェハー）２００を準備する（図６のステップＳ１）。

次いで、図７Ａに示すように、例えばスピンコート法やスプレーコート法等により、基材２００の一方の面である表面２００ａに、感光性を有する第１の樹脂材料としてのフォトレジスト２１１を塗布する第１の塗布工程を行い（図６のステップＳ２）、基材２００の一方の面の反対側の他方の面である裏面１０１ｂに第２の樹脂材料としての裏面コート材２２１を塗布する第２の塗布工程を行う（図６のステップＳ３）。フォトレジスト２１１は、ネガ型、及びポジ型の何れの材料も採用することができる。また、裏面コート材２２１は、後述するエッチングする工程で基材２００をエッチングするときに、基材２００の裏面２００ｂをエッチングから保護できるマスク性能を有して、且つ、エッチングする工程の後の樹脂除去工程で、確実に除去できる性質の樹脂材料を選択する。
基材２００に塗布したフォトレジスト２１１及び裏面コート材２２１の各々は所定の温度によるキュアを行うが、フォトレジスト２１１のキュア条件と裏面コート材２２１のキュア条件との差が大きい場合等には、フォトレジスト２１１と裏面コート材２２１とで別々にキュアを行い、フォトレジスト２１１のキュア条件と裏面コート材２２１のキュア条件とが同じか近似であれば、キュア工程を同時に行うことにより工程の効率化を図ることができる。
なお、第１の塗布工程と第２の塗布工程とは、各樹脂材料のキュア条件を考慮した工程順の設定などの便宜上、順番を逆にして行う構成としてもよい。

次に、フォトレジスト２１１に対してフォトリソグラフィー技術により、露光をした後（図６のステップＳ４）、現像を行うことにより（図６のステップＳ５）、図７Ｂに示すように、がんぎ歯車部１０１の平面視外形に対応するマスク（エッチングマスク）としてのフォトレジストパターン２１２を形成する。ここで、図中フォトレジストパターン２１２の開口２１２ａは、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５に対応する。

次に、図７Ｃに示すように、フォトレジストパターン２１２をマスクとして基材２００にエッチングを施すことで、図６のステップＳ６に示すように、がんぎ歯車部１０１の外形を形成する。具体的には、ディープ・リアクティブ・イオンエッチング（ＤＲＩＥ＝Deep Reactive Ion Etching）を行い、基材２００を厚さ方向に貫通するようにエッチングすることで、がんぎ歯車部１０１の外形形状を得ることができる。ここで、フォトレジストパターン２１２の開口２１２ａにより形成される貫通孔１１５等の貫通部分の内面（内壁）は、基材２００の裏面２００ｂに形成された裏面コート材２２１で保護されているために、裏面２００ｂからエッチングされることなく、貫通部の内面形状が変化することはない。
また、裏面コート材２２１は、エッチングにより個片化される複数のがんぎ歯車部１０１（機械部品）同士を接続する裏打ち膜になるので、エッチング後に個片化されたがんぎ歯車部１０１が散乱するのを防止することができる。

次いで、フォトレジスト２１１によるフォトレジストパターン２１２、及び、裏面コート材２２１を除去する樹脂除去を行うことにより、上述したがんぎ歯車部１０１を得ることができ、（図６のステップＳ７）一連のがんぎ歯車部１０１の製造方法を終了する。なお、樹脂除去は、フォトレジストパターン２１２（フォトレジスト２１１）及び裏面コート材２２１を溶解・剥離可能な発煙硝酸や有機溶剤等でのウェットエッチング、あるいは、酸素プラズマアッシング等により行うことができる。

以上に述べた、本実施形態のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造方法によれば、以下の効果を得ることができる。
本実施形態によれば、シリコンを含む材料からなる基材２００を、標準的なフォトリソグラフィー技術及びエッチングを用いて加工することにより、比較的簡便な工程で、精密な機械部品であるがんぎ歯車部１０１を製造することができる。
また、シリコンを含む基材２００を本実施形態の製造方法により加工して形成されるがんぎ歯車部１０１などの精密な機械部品は、金属製の機械部品に比べて軽いとともに、形状の自由度が高く、高精度な外形形状の形成ができるという利点を有する。したがって、精度が高く、軽量な機械式時計の製造に寄与できる機械部品を製造することができる。

また、本実施形態のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造方法によれば、エッチング工程において、裏面コート材２２１（第２の樹脂材料）が、基材２００の裏面２００ｂ（他方の面）からのエッチング浸食を防止するエッチングレジストとして機能するとともに、基材２００のエッチングにより個片化された複数のがんぎ歯車部１０１（機械部品）同士を接続する裏打ち膜になるので、エッチング後に個片化されたがんぎ歯車部１０１（機械部品）が散乱するのを防止することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。以下に、上記実施形態のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造方法の変形例について述べる。

（変形例１）
上記実施形態のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造方法において、図６のステップＳ７に示す樹脂除去工程は、ステップＳ６のエッチング工程を経たフォトレジストパターン２１２（フォトレジスト２１１）及び裏面コート材２２１付きの基材２００（がんぎ歯車部１０１）をトレイに載置した状態で、酸素プラズマアッシング等のプラズマ処理により行う構成としてもよい。

このような製造工程において、酸素プラズマアッシングによる樹脂除去工程によれば、基材２００（がんぎ歯車部１０１）のトレイと対向する側の面である裏面２００ｂに形成された第２の樹脂材料である裏面コート材２２１に対してもプラズマが十分に作用して、裏面コート材２２１を問題なく除去できることを発明者等は見出した（基材２００の表面２００ａがトレイと対向する側の面となるように基材２００をトレイに載置した場合にも、同様の効果が得られる）。
したがって、変形例１の製造方法によれば、エッチング後の除去工程で裏面コート材２２１（第２の樹脂材料）が除去されて個片化されるがんぎ歯車部１０１（機械部品）の散乱を抑えながら、エッチング後の樹脂材料（フォトレジストパターン２１２，裏面コート材２２１）を除去して、がんぎ歯車部１０１（機械部品）を得ることができる。

（変形例２）
上記実施形態のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造方法において、図６のステップＳ７の樹脂除去工程の後に、基材２００（がんぎ歯車部１０１）材料の表面に二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）からなるシリコン酸化膜を形成する酸化工程を含んでもよい。
このような工程によれば、基材２００（がんぎ歯車部１０１）材料の表面に形成されるシリコン酸化膜により、がんぎ歯車部（機械部品）の機械的強度を向上させることができるので、耐久性が高く、優れた信頼性を有するがんぎ歯車部１０１（機械部品）を提供することができる。

なお、変形例２のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造工程において、上述した酸化工程は、８００℃以上の高温で熱酸化処理を行う熱酸化工程であることが好ましい。
熱酸化処理によれば、十分な厚さの緻密なシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂₎を比較的短時間に形成することができるので、機械的強度の高いがんぎ歯車部１０１等の機械部品を効率よく製造することができる。

［機械式時計の製造方法］
次に、本発明の機械式時計の製造方法について説明する。
本発明の機械式時計の製造方法は、図１〜図５の何れかに示す香箱車２２、番車（二番車２５、三番車２６、四番車２７）、がんぎ車３５、アンクル３６及びてんぷ４０のいずれかに、上記実施形態および変形例１，２のがんぎ歯車部１０１を代表例として説明した機械部品の製造方法の何れかにより製造された機械部品を用いて、ムーブメント１０を組み立てる組立工程を含むことを特徴とするものである。

このような機械式時計の製造方法によれば、上記実施形態および変形例１，２のいずれかに記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメント１０を組み立てる工程を含むので、金属製の機械部品に比べて軽く、慣性力を小さく抑えた機械部品により、エネルギーの伝達効率の高いムーブメント１０を構成することができる。
したがって、信頼性及び耐久性に優れた精度の高い機械式時計を提供することができる。

以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態の機械部品の製造方法では、基材２００の表面２００ａに感光性を有する第１の樹脂材料としてのフォトレジスト２１１を塗布し、基材２００の裏面２００ｂに第２の樹脂材料としての裏面コート材２２１を塗布した。これに限らず、基材２００の裏面２００ｂに塗布する第２の樹脂材料としての裏面コート材として、基材２００の表面２００ａに塗布するフォトレジスト２１１と同じ材料を用いてもよい。裏面２００ｂに塗布したフォトレジスト２１１は、第２の樹脂材料としての裏面２００ｂのマスク効果を発揮できるとともに、樹脂除去工程にて、表面２００ａのフォトレジストパターン２１２（フォトレジスト２１１）と同じ方法にて同時に、且つ、確実に除去することができる。また、基材２００に対してディッピング法を用いて塗布することにより、表面２００ａ及び裏面２００ｂ同時に樹脂材料を塗布することができる。

１…機械式時計、１０…ムーブメント、１１…地板、１１ａ…巻真案内穴、１２…巻真、１７…きち車、２０…丸穴車、２１…角穴車、２２…香箱車、２５…二番車、２６…三番車、２７…四番車、３０…脱進機構、３１…調速機構、３５…機械部品としてのがんぎ車、３６…アンクル、４０…てんぷ、１０１…がんぎ歯車部（歯車部）、１０２…軸部材、１１１…リム部、１１２…ハブ部、１１３…スポーク部、１１４…歯部、１１５…貫通孔、１２１ａ…一端ほぞ部、１２１ｂ…他端ほぞ部、１２２…がんぎかな部、１２３…圧入軸部、１２４…フランジ部、１４２ｄ…アンクル体、１４２ｆ…アンクル真、１４３…アンクルビーム、１４４ａ，１４４ｂ…爪石、１４５…アンクルハコ、２００…基材、２００ａ…一方の面としての表面、２００ｂ…他方の面としての裏面、２１１…第１の樹脂材料としてのフォトレジスト、２１２…フォトレジストパターン、２１２ａ…開口、２２１…第２の樹脂材料としての裏面コート材。

Claims (5)

1. シリコンを含む基材の一方の面に感光性を有する第１の樹脂材料を塗布する第１の塗布工程と、
   前記一方の面と反対側の他方の面に第２の樹脂材料を塗布する第２の塗布工程と、
   前記第１の樹脂材料を露光したのち、現像することにより、前記第１の樹脂材料からなるマスクを形成する工程と、
   前記マスクを介して前記一方の面から前記基材をエッチングするエッチング工程と、
   前記エッチング工程の後で、前記第１の樹脂材料および前記第２の樹脂材料を除去する除去工程と、を含むことを特徴とする機械部品の製造方法。
2. 請求項１に記載の機械部品の製造方法において、
   前記除去工程は、前記エッチング工程を経た前記基材をトレイに載置した状態で、プラズマ処理により行うことを特徴とする機械部品の製造方法。
3. 請求項１または２に記載の機械部品の製造方法において、
   前記除去工程の後に、前記基材の表面にシリコン酸化膜を形成する酸化工程を含むことを特徴とする機械部品の製造方法。
4. 請求項３に記載の機械部品の製造方法において、
   前記酸化工程は、熱酸化処理を行うことを特徴とする機械部品の製造方法。
5. 香箱車、番車、がんぎ車、アンクル及びてんぷのいずれかに、請求項１〜４の何れか一項に記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメントを組み立てる組立工程を含むことを特徴とする時計の製造方法。

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