JP2019132827A - クロックまたは小型時計部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−部品の素材、とりわけシリコン、ダイヤモンド、水晶またはセラミックを含むスライスを有するウエハを提供するステップと、
−任意で、最初に当該スライスの下側面を下側層でコーティングするステップと、
−少なくとも1つのクロックまたは小型時計部品を形成するために、前記ウエハの前記スライスを、上側面から開始してエッチングするステップと、
−エッチング用マスクの役割を果たす層を除去することにより、少なくとも1つのクロックまたは小型時計部品を露出するステップと、
−任意で、前記下側層を除去することにより、前記スライスと前記少なくとも1つのエッチングされたクロックまたは小型時計部品とを解放するステップ
を含む、クロックまたは小型時計部品の製造方法に基づく。
− エッチングステップE24において、バリアー層として機能し、スライスホルダーがエッチングの最後でイオン衝撃へ曝されることを防ぐことにより、スライスホルダーを保護する、
− エッチング最中に構造内で生成される熱を除去する(発熱化学反応+イオン衝撃)、
− エッチングの基部に時折出現する、しばしば「ノッチング」と呼ばれる欠陥を防止することができる、
− 微細加工可能な素材製の層、すなわちスライスの、下側面を保護し、その全面でエッチングされた部品を保持し、エッチング作業中の柔軟構造の変形を防止する。
12 スライス
15 樹脂層
16 除去区域
19 クロックまたは小型時計部品
21 ウエハ
22 スライス
24 下側層
25 樹脂層
26 除去区域
29 クロックまたは小型時計部品
Claims (15)
- 部品の素材、とりわけシリコン、ダイヤモンド、水晶、サファイアまたはセラミックを含む、単一スライス(12;22)を含むウエハ(11;21)を提供する(E11;E21)ステップと、
任意で、最初に当該スライス(22)の下側面を下側層(24)でコーティングするステップと、
少なくとも1つのクロックまたは小型時計部品を形成するために、前記ウエハ(11;21)の前記スライス(12;22)を、上側面から開始してエッチングする(E12からE14;E22からE24)ステップと、
エッチング用マスクの役割を果たす層を除去することにより、少なくとも1つのクロックまたは小型時計部品(19;29)を露出する(E15;E25)ステップと、
任意で、前記下側層(24)を除去することにより、前記スライスと前記少なくとも1つのエッチングされたクロックまたは小型時計部品とを解放する(E26)ステップ
を含む、クロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - ウエハ(11;21)を提供することからなる前記ステップは、製造されるべき前記クロックまたは小型時計部品(19;29)の最大厚さにおおよそ等しい厚さのウエハ(11;21)を提供することからなるステップを含む、
請求項1に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - 前記スライス(12;22)の前記部品の前記素材を前記ウエハ(11;21)に存在する前記部品の前記素材の全体の全厚さにわたり、及びまたは前記ウエハ(11;21)の前記スライス(12;22)の全厚さにわたり、エッチングする(E12からE14;E22からE24)ステップを含む、
請求項1または2に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - ウエハ(11)を提供する(E11)ことからなる前記ステップは、前記部品の前記素材内で前記スライス(12)単独からなるウエハ(11)を提供することからなる、
請求項1から3のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(19)の製造方法。 - 前記スライス(12)は、100μ以上の、または120μ以上の厚みを含む、
請求項4に記載のクロックまたは小型時計部品(19)の製造方法。 - 前記スライス(22)の前記下側面を、金属、または酸化ケイ素SiO2またはポリマーフィルムの下側層(24)でコーティングするステップを含む、
請求項1から3のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(29)の製造方法。 - 前記コーティングステップは、前記スライス(22)の前記下側面を、とりわけ物理蒸着、化学蒸着または電解成長の技術により前記スライス(22)に堆積された、または前記スライスに取付けられた、金属の、とりわけアルミニウム、金または白金の下側層(24)でコーティングすることを含む、
請求項6に記載のクロックまたは小型時計部品(29)の製造方法。 - 前記コーティングステップは、前記スライス(22)の前記下側面を、10μm以下の、または5μm以下の、または3μm以下の、及びまたは0.5μm以上の厚さの下側層(24)でコーティングすることを含む、
請求項6または7に記載のクロックまたは小型時計部品(29)の製造方法。 - 前記ウエハ(22)から前記部品の前記素材の前記下側層(24)を除去することからなる解放ステップ(E26)を含む、
請求項6から8のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(29)の製造方法。 - 前記解放ステップ(E26)は、前記下側層(24)を、とりわけ酸浴内でまたは酸素プラズマ処理により、溶解することからなる、
請求項9に記載のクロックまたは小型時計部品(29)の製造方法。 - 前記ウエハ(11;21)の前記スライス(12;22)は、300μ以下の、または500μ以下の厚さを有する、
請求項1から10のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - 前記少なくとも1つのクロックまたは小型時計部品の酸化の熱処理及びまたは洗浄/脱脂の後続ステップを含む、
請求項1から11のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - レバーまたはぜんまい、ひげぜんまい、歯車板、アンクルまたはてん輪といったクロックまたは小型時計ムーブメント用の構成要素を製造すること、または針といったカバー部品用の構成要素を製造することを含む、
請求項1から12のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - 前記部品の前記素材は、シリコン、ダイヤモンド、水晶またはセラミックを含む、
請求項1から13のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。 - 前記ウエハ(11;21)の前記スライス(12;22)をエッチングするステップは、少なくとも1つのエッチングされたクロックまたは小型時計部品を、それがエッチングされる前記スライス(12;22)上への一時的な保持を可能とする留め具の製造を含む、
請求項1から14のいずれか一項に記載のクロックまたは小型時計部品(19;29)の製造方法。
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