JP2011079130A

JP2011079130A - 微細加工可能な材料から作られる自由に搭載されるホイール・セットおよびそれを製作する方法

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Publication number: JP2011079130A
Application number: JP2010226423A
Authority: JP
Inventors: Pierre Cusin; ピエール・クージン; Jean-Philippe Thiebaud; ジャン−フィリップ・ティーボー
Original assignee: Nivarox Far SA; Nivarox SA
Current assignee: Nivarox Far SA; Nivarox SA
Priority date: 2009-10-07
Filing date: 2010-10-06
Publication date: 2011-04-21
Anticipated expiration: 2030-10-06
Also published as: EP2309341A2; RU2010140960A; KR20110037861A; EP2309341A3; US20110079100A1; US20140041477A1; RU2550308C2; EP2309341B1; TWI558654B; CN102063047A; CN102063047B; TW201134748A; EP2309342A1; HK1157885A1; US8623228B2; JP5390496B2

Abstract

【課題】微細加工可能な材料製の少なくとも１つのホイール・セットが自由に搭載できるギア・トレインを提供する。
【解決手段】本発明は、カラー（５２、５２’）が一体に取り付けられた第１の端部を持つ軸（５３、５３’）と、この軸（５３、５３’）の第２の端部上に嵌合された、微細加工可能な材料から作られる第１のホイール・セット（５５、５５’）と、を含むギア・トレイン（５１、５１’）に関する。本発明によれば、このギア・トレイン（５１、５１’）は、第１のホイール・セットの動きとは独立であり、第２のホイール・セット（５７、５７’）が軸（５３、５３’）の前記第１の端部上に自由に搭載されるように、前記軸に対向した壁面を呈する開口部（５８、５８’）を含む、微細加工可能な材料から作られる第２のホイール・セット（５７、５７’）を備える。
本発明は、前記ギア・トレインを製作する方法にも関する。
【選択図】図１４

Description

本発明は、一体成形の軸上に自由に搭載される微細加工可能な材料から作られるホイール・セット、およびそれを製作する方法に関する。より詳しくは、本発明は、この種類のホイール・セットを含むギア・トレインに関する。

時計用のシリコンホイールを作ることは知られている。しかし、そのようなホイールは、取り扱いが簡単ではなく、それを損傷または破損さえさせる恐れなく時計用の自由に搭載されるホイール・セットを製作することは現在可能ではない。

微細加工可能な材料製の少なくとも１つのホイール・セットが自由に搭載されるギア・トレイン、およびそれを製造する方法を提案することによって、上記で述べた欠点の全てまたは一部分を克服することが本発明の１つの目的である。

したがって本発明は、カラーが一体に取り付けられた第１の端部を持つ軸（アーバ）と、この軸の第２の端部に嵌合された、微細加工可能な材料製の第１のホイール・セットとを備えるギア・トレインであって、前記第１のホイール・セットの動きとは独立である、微細加工可能な材料製の第２のホイール・セットを備え、その第２のホイール・セットには、前記軸の前記一方の端部に自由に搭載できるように、開口部が設けられ、その開口部には前記軸に対向する壁面がある、ことを特徴とする、ギア・トレインに関する。

本発明によれば、１つのホイール、例えば結晶シリコンホイールが一体成形の金属軸上に自由に搭載されるギア・トレインを製作することができることは明らかである。

本発明の他の有利な特徴によれば、
−前記第２の端部に、前記ホイール・セットを部分的に覆う、第２のカラーが軸と一体に取り付けられる。
−前記第１のホイール・セットの第２段を形成するように、前記第２のカラーに歯が付けられる。
−前記第１のホイール・セットが、少なくとも部分的に外部被覆を有する。
−前記軸が低摩擦材料から作られる。
−微細加工可能な材料はシリコン・ベースである。

さらに、本発明は前述の形態のうちの１つに適合する少なくとも１つのギア・トレインを含むことを特徴とする、時計に関する。

最後に、本発明は以下のステップを含む、ギア・トレインを製作する方法に関する。
ａ）微細加工可能な材料から作られ、中間層によって互いに固定される頂部層および底部層を含む基板を準備するステップ、
ｂ）第１のホイール・セットに属する少なくとも１つの第１のキャビティを形成するように、底部層が露出されるまで頂部層および中間層内に少なくとも１つのパターンをエッチングするステップ、
ｃ）前記少なくとも１つの第１のキャビティの少なくとも底部を導電性被覆で被覆するステップ、
ｄ）前記少なくとも１つの第１のキャビティの少なくとも底部内に材料を電気鋳造するステップ、
ｅ）第２のホイール・セットに属する少なくとも１つの第２のキャビティを形成するように、前記導電性材料の被覆のところまで底部層内に第２のパターンをエッチングするステップ、
ｆ）底部層の底部上に感光性樹脂を構造化し、前記少なくとも１つの第２のキャビティの壁上に鞘を形成し、前記少なくとも１つの第２のキャビティから同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも１つの凹部を形成するステップ、
ｇ）前記少なくとも１つの第１のキャビティを充填するようにステップｄ）で開始した電気鋳造ステップを続け、かつ、カラーが取り付けられた軸を形成するように、前記少なくとも１つの第２のキャビティおよび前記少なくとも１つの凹部内に、材料を電気鋳造することを開始するステップ、
ｈ）感光性樹脂を除去するステップ、
ｉ）第１のホイール・セットと第２のホイール・セットを分離するように中間層を除去するステップ、
ｊ）製作されたホイール・セットを基板から解放するステップ。

本発明によれば、ＬＩＧＡおよびＤＲＩＥ方法の組み合わせによって、上記で説明したギア・トレインを単一の基板から極めて正確に製作できることは明らかである。

本発明の他の有利な特徴によれば、
−ステップｆ）は、前記カラーの形成を改善するように、前記少なくとも１つの凹部の少なくとも底部を第２の導電性被覆で被覆する段階ｋ）も含む。
−ステップｄ）に先立ってこの方法は、頂部層の上方に電気鋳造された材料の平面を形成するように、前記少なくとも１つの第１のキャビティから同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも１つの他の凹部を形成するように、基板の頂部上に一部分を搭載するステップｌ）を含む。
−ステップｃ）によって、前記少なくとも１つの他の凹部の少なくとも底部を前記導電性被覆で被覆するのも可能になる。
−ステップｃ）の後で本方法は、将来のギア・トレイン内に孔を形成するように、前記少なくとも１つの第１のキャビティ内にピンを搭載するステップｍ）を含む。
−ステップｇ）に先立って本方法は、将来のギア・トレイン内に孔を形成するように、前記少なくとも１つの第２のキャビティ内にピンを搭載するステップｎ）を含む。
−ステップｂ）およびｅ）は、エッチングされる予定の層上に少なくとも１つの保護マスクを構造化する段階と、前記少なくとも１つの保護マスクによって覆われていない部分にわたり前記層の異方性エッチングを実施する段階と、この保護マスクを除去する段階を含む。
−いくつかのギア・トレインが同じ基板上で製作される。
−各被覆が少なくとも１つの金の層を含む。
−前記微細加工可能な材料がシリコン・ベースである。

他の特徴および利点は、添付の図面を参照して非限定の説明として与えられる以下の記述から明らかになるであろう。

本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態による、ギア・トレインを製作する方法の一連のステップの線図である。本発明の一実施形態によるギア・トレインの斜視図である。本発明の一変形形態による、ギア・トレインを製作する方法の最後のステップの線図である。本発明の一変形形態による、ギア・トレインの斜視図である。本発明による、ギア・トレインを製作する方法の流れ図である。

図１５を見れば分かるように、本発明は、例えば時計用のギア・トレイン５１、５１’を製作する方法１に関する。この製作方法１は、好ましくはシリコン・ベースの材料などの、微細加工可能な材料から作られる基板２９を作製するための一連のステップを含む。以下の図では、それぞれのサイズは同じ縮尺ではない。被覆３７および４７の厚さなどのいくつかの厚さは、前記の図をより良く理解するようにするため大きくされている。

方法１の第１のステップ２は、微細加工可能な材料から作られる頂部層３１および底部層３３を有し、そして、それらを図１に示すように互いに固定する中間層３２を有している基板２９を準備することからなる。

基板２９は、シリコン・オン・インシュレーター（Ｓ．Ｏ．Ｉ．）であるのが好ましい。したがって、中間層３２は２酸化シリコンから作られるのが好ましい。さらに、頂部層３１および底部層３３は結晶シリコンである。

本発明によれば方法１は、底部層３３の頂部が部分的に露出されるまで頂部層３１および中間層３２内に少なくとも１つのパターン３４をエッチングするための第２のステップ３を含む。

この第２のステップ３は図１に示すように、最初に頂部層３１上に少なくとも１つの保護マスク３６を構造化することからなる。図１がやはり示すように、マスク３６は、頂部層３１全体を覆わない少なくとも１つのパターン３４を含む。例えば、このマスク３６はポジまたはネガの感光性樹脂を使用してフォトリソグラフィによって得ることができる。

第２に頂部層３１は、図２に示すように中間層３２が露出されるまでエッチングされる。本発明によれば、このエッチングはドライ異方性ＤＲＩＥエッチングを含むのが好ましい。この異方性エッチングは、マスク３６のパターン３４全体にわたり、頂部層３１上で実施される。

第３にパターン３４は、底部層３３の頂部が部分的に露出されるまでエッチングすることによって、中間層３２内に延びる。本発明によれば、このエッチングは層３２の露出された部分の化学的または指向性エッチングを含むことができる。

第４に、マスク３６が除去される。勿論、中間層３２をエッチングするモードに対するマスク３６の抵抗力に応じて、マスク３６はこのエッチングに先立ってまたはこのエッチングの後に除去することができる。

したがって図３に示すように第２のステップ３の終了時に、将来のギア・トレイン５１、５１’の第１のホイール・セット５５、５５’を形成するように、少なくとも１つのキャビティ３５を有して頂部層３１および中間層３２の全厚さがエッチングされる。

第３のステップ５で、前記少なくとも１つのキャビティ３５の各々の少なくとも底部を被覆することによって、電導性の被覆３７が堆積される。図４に示す例では、被覆されるのは基板２９の頂部全体であることが分かる。以下で説明するように、この被覆は以下のギア・トレイン５１’の代替実施形態に対して頂部層３１の頂部上に存在することが必要になる場合があるけれども、前記少なくとも１つのキャビティ３５の壁は被覆する必要はない。

被覆３７は気相堆積によって得られるのが好ましい。しかし、化学的堆積などの他の種類の堆積も想定することができる。被覆３７は、クロムの下地層上に堆積させることができる、少なくとも１つの金の層を含むのが好ましい。

将来の電気鋳造の領域を限定するために、方法１は一部分３８を基板２９の頂部上に搭載することからなるステップ６を含むことができるのが好ましい。このステップ６は、例えば、フォトリソグラフィによってポジまたはネガの感光性樹脂を構造化するステップからなることができる。

このステップ６は、図５に示すようにギア・トレイン５１’の前記変形形態を作るために、前記少なくとも１つのキャビティ３５から同軸にラッパ状に広がって出る、少なくとも１つの凹部３９の形成も可能にすることができるので有利である。

方法１が同時に、ステップ６に先立ってまたはステップ６の後に、図５に示すように将来の電気鋳造中直ちにギア・トレイン５１、５１’用の軸孔５４、５４’を形成するように、前記少なくとも１つのキャビティ３５の底部からピン４０を搭載することからなるステップ７を含むことができるのが好ましい。これは電気鋳造が終わった後ギア・トレイン５１、５１’を機械加工する必要性を避けるのみならず、将来の孔５４、５４’の頂部全体にわたり、均一であろうとなかろうと任意の形状の内部断面を作るのも可能にする利点を有する。このステップ７は例えば、フォトリソグラフィによってポジまたはネガの感光性樹脂を構造化することからなる場合もある。

次いで方法１は、前記少なくとも１つのキャビティ３５の少なくとも底部内に電解による堆積４１を成長させるための電気鋳造ステップ９を続ける。変形形態のギア・トレイン５１’を示す図６に示す例では、堆積４１は前記少なくとも１つのキャビティ３５内と、ピン４０周りの前記少なくとも１つの凹部３９内の両方で成長することを見ることができる。

ステップ９は、この堆積が基板２９の頂部を超える前に停止させるのが好ましい。第１の変形形態のギア・トレイン５１の場合には、基板２９の頂部は、前記少なくとも１つのキャビティ３５の頂部である。第２の変形形態のギア・トレイン５１’の場合には、基板２９の頂部は、図６に示すように前記少なくとも１つの凹部３９の頂部である。この第２の変形形態で、何故頂部層３１の頂部すなわち前記少なくとも１つの凹部３９の底部が、ステップ５で形成された被覆３７も含むのが必要である場合があるのか明らかである。

本発明によれば方法１は、被覆３７、場合によっては堆積４１が露出するまで、底部層３３内に少なくとも１つのパターン４４をエッチングするためのステップ１３を続ける。

ステップ１３は第１に、図７に示すように少なくとも１つの保護マスク４６を底部層３３上に構造化することからなる。図７がやはり示すように、マスク４６は、底部層３３全体を覆わない少なくとも１つのパターン４４を含む。このマスク４６は例えば、ポジまたはネガの感光性樹脂を使用してフォトリソグラフィによって得ることができる。

第２に底部層３３は、被覆３７、場合によっては堆積４１が露出するまでエッチングされる。本発明によればこのエッチングは、ドライ異方性ＤＲＩＥエッチングを含むのが好ましい。この異方性のエッチングは、マスク４６のパターン４４に従って底部層３３内に実施される。

第３に、マスク４６が除去される。したがって、ステップ１３の終わりに、底部層３３の全厚さが少なくとも１つの第２のキャビティ４５を有してエッチングされ、将来のギア・トレイン５１、５１’の第２のホイール・セット５７、５７’が形成されるのを可能にする。

次いで方法１は、底部層３３の底部にわたり感光性樹脂４３を構造化し、前記少なくとも１つの第２のキャビティ４５の壁上に鞘５１を形成することからなるステップ１６を含む。

好ましくは、次のステップ１５では、構造化された樹脂４３の頂部を覆う電導性の被覆４７が堆積される。前記少なくとも１つのキャビティ３５の壁から類推して、前記少なくとも１つの第２のキャビティ４５の鞘５１はもはや被覆される必要はない。

被覆４７は気相堆積によって得られるのが好ましい。しかし、化学的堆積などの他の種類の堆積も想定することができる。被覆４７が、場合によってはクロムの下地層上に堆積される、少なくとも１つの金の層を含むことが好ましい。

前記少なくとも１つの第２のキャビティ４５から同軸にラッパ状に広がって出る、少なくとも１つの第２の凹部４９を形成するために、方法１は、基板２９の底部上に一部分４８を搭載することからなるステップ１７を含むことが好ましい。このステップ１７は例えば、フォトリソグラフィによってポジまたはネガの感光性樹脂を構造化することからなることができる。

方法１のステップ１７は、ピン４０を参照して説明したのと同じ利点を有する、将来の電気鋳造中直ちにギア・トレイン５１、５１’のための軸孔５４、５４’を形成するように、図８に示すように前記少なくとも１つの第２のキャビティ４５の底部からピン４２を搭載することからなり得ることも好ましい。ピン４０およびピン４２がそれぞれキャビティ３５およびキャビティ４５内に形成される場合は、それらが位置合わせされるのが好ましい。

次いで方法１は、カラー５２、５２’および場合によっては第２のカラー５６’が取り付けられた軸５３、５３’を形成するように、前記少なくとも１つのキャビティ３５（および場合によっては前記少なくとも１つの凹部３９）を充填するようにステップ９で開始した堆積を継続するための、かつ前記少なくとも１つの第２のキャビティ４５および前記少なくとも１つの第２の凹部４９内に材料を電気鋳造することを開始するための新たな電気鋳造ステップ１９を続ける。

ステップ１９の終わりに、電解による堆積４１が基板２９の頂部および底部を越えるのが好ましい。次いでラップ仕上げが、図９に示すように堆積４１を基板２９と同じ高さにするために実施される。

方法１は、図１０に示すように一部分４８から、場合によっては一部分３８から樹脂４３を除去するステップ２１を続ける。次のステップ２３は、頂部層３１および底部層３３それぞれの中に形成された第１のホイール・セット５５、５５’および第２のホイール・セット５７、５７’を取り外すように、中間層３２を除去することからなる。本発明によれば除去は、例えば化学エッチングからなることができるエッチングによって実施される。最後に、最終ステップ２５で、これによって形成されたギア・トレイン５１、５１’が基板２９から解放される。

したがって、図１３および１４に示す方法１の第１の変形形態によれば、第１の端部に一体のカラー５２が取り付けられた軸５３と、軸５３の第２の端部上に嵌合された、微細加工可能な材料から作られる第１のホイール・セット５５と、前記第１のホイール・セットの移動とは独立の、第２のホイール・セット５７が軸５３の前記第１の端部上に自由に搭載されるようにその壁が対向する軸５３に搭載される開口部５８を含む、マイクロ機械加工可能な材料から作られる第２のホイール・セット５７とを備える複合のギア・トレイン５１を作るのが本発明によって可能になる。図１３および１４に示すように、軸５３がギア・トレイン５１を軸または枢動軸に対して駆動することを可能にする孔５４を含むのを見ることができる。

図１１および１２に示す方法１の第２の変形形態によれば、その第１の端部および第２の端部に一体のカラー５２’、５６’が取り付けられた軸５３’を備える複合のギア・トレイン５１’を本発明によって作ることが可能になる。さらに、ギア・トレイン５１’は第１のホイール・セットを含み、微細加工可能な材料から作られる第１のホイール５５’は、軸５３’の第２の端部上に嵌合され、第２のカラーに固定され、第２のカラーを部分的に覆い、電気鋳造された材料の第２のホイール５６’を形成する。前記第１のホイール・セットの移動とは独立であり、第２のホイール・セット５７’が軸５３’の前記第１の端部上に自由に搭載されるようにその壁が前記軸に対向して搭載される開口部５８’を含む、第２のホイール・セット５７’は微細加工可能な材料である。図１１および１２に示すように、軸５３’がギア・トレイン５１’を軸または枢動軸に対して駆動できるようにする孔５４’を含むことを見ることができる。

図１１および１３に示すように、第１のホイール・セット５５、５５’は少なくとも部分的に、前記第１のホイール・セット５５、５５’のトライボロジーを改善するための緻密な被覆層３７に対応する外部被覆を含むことができる。さらに、電気鋳造される軸５３、５３’は低摩擦材料から作られるのが好ましい。

勿論、本発明は図示の例に限定されず、当業者に明らかになる様々な変形形態および変更が可能である。したがって、ギア・トレイン５１、５１’の大量生産を可能にするために、必ずしも互いに同一ではない、いくつかのギア・トレイン５１、５１’を同じ基板２９上で製作することができる。同様に、シリコン・ベース材料を結晶アルミナまたは結晶シリコンまたは炭化珪素に変更することも想定することができる。

被覆３７および／または４７が事実上異なり、かつ／またはそれぞれが上記で説明した方法と異なる方法に従って堆積されることも想定することができる。ドーピングされたシリコンなどの導電性の微細加工可能な材料が使用される場合、あるいは／または樹脂４３が導電性である場合、被覆３７および／または４７が重複していることも想定することができる。

最後に、カラー５２、５２’は、カラー５４、５４’と同じように歯も含むことができる。さらに、ギア・トレイン５１、５１’の用途は、時計に限定されない。

２９基板；３１頂部層；３２中間層；３３底部層；３４パターン；
３５第１のキャビティ；３６保護マスク；３７被覆；
３８一部分（感光性樹脂）；３９凹部；４０ピン（感光性樹脂）；
４１堆積；４２ピン（感光性樹脂）；４３感光性樹脂；４４パターン；
４５第２のキャビティ；４６保護マスク；４７被覆；
４８一部分（感光性樹脂）；４９第２の凹部；５１鞘；
５１、５１’ ギア・トレイン；５２、５２’ カラー；５３、５３’ 軸；
５４、５４’ 軸孔；５５、５５’ 第１のホイール・セット；
５６’ カラー；５７、５７’ 第２のホイール・セット；５８、５８’ 開口部。

Claims

ａ）微細加工可能な材料から作られ、中間層（３２）によって互いに固定される頂部層（３１）および底部層（３３）を含む基板（２９）を準備するステップ（２）と、
ｂ）第１のホイール・セット（５５、５５’）に属する少なくとも１つの第１のキャビティ（３５）を形成するように、前記底部層（３３）が露出されるまで前記頂部層（３１）および前記中間層（３２）内に少なくとも１つのパターン（３４）をエッチングするステップ（３）と、
ｃ）前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３５）の少なくとも前記底部を導電性被覆（３７）で被覆するステップ（５）と、
ｄ）前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３５）の少なくとも前記底部内に材料を電気鋳造するステップ（９）と、
ｅ）第２のホイール・セット（５７、５７’）に属する少なくとも１つの第２のキャビティ（４５）を形成するように、前記導電性材料の前記被覆（３７）のところまで前記底部層（３３）内に第２のパターン（４４）をエッチングするステップ（１３）と、
ｆ）前記底部層（３３）の前記底部上に感光性樹脂（４２、４３、４８）を構造化し、前記少なくとも１つの第２のキャビティ（４５）の壁上に鞘（５１）と、前記少なくとも１つの第２のキャビティ（４５）から同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも１つの凹部（４９）を形成するステップ（１６）と、
ｇ）前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３５）を充填するようにステップｄ）で開始した前記電気鋳造ステップを継続し、カラー（５２、５２’）が取り付けられた軸（５３、５３’）を形成するように、前記少なくとも１つの第２のキャビティ（４５）および前記少なくとも１つの凹部（４９）内に材料を電気鋳造することを開始するステップ（１９）と、
ｈ）前記感光性樹脂（３８、４０、４２、４３、４８）を除去するステップ（２１）と、
ｉ）前記第１のホイール・セット（５５、５５’）と第２のホイール・セット（５７、５７’）を分離するように前記中間層（３２）を除去するステップ（２３）と、
ｊ）前記製作されたホイール・セット（５１、５１’）を前記基板（２９）から解放するステップ（２５）と
を含む、ギア・トレイン（５１、５１’）を製作する方法（１）。
ステップｆ）が以下の段階、
ｋ）前記カラーの形成を改善するように、前記少なくとも１つの凹部（４９）の少なくとも前記底部を第２の導電性被覆（４７）で被覆するステップ（１５）も含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
ステップｄ）に先立って以下のステップ、
Ｉ）前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３５）から同軸にラッパ状に広がって出る少なくとも１つの他の凹部（３９）を形成して、前記頂部層（３１）の上方に電気鋳造された材料の平面を形成させるようにする、前記基板（２９）の前記頂部上に一部分（３８）を搭載するステップ
を含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。
ステップｃ）によって、前記少なくとも１つの他の凹部（３９）の少なくとも前記底部を前記導電性被覆（３７）で被覆するのも可能になることを特徴とする、請求項３に記載の方法。
ステップｃ）の後で以下のステップ、
ｍ）前記将来のギア・トレイン（５１、５１’）内に孔（５４、５４’）を形成するように、前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３５）内にピン（４０）を搭載するステップ（７）を含むことを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
ステップｇ）に先立って以下のステップ、
ｎ）前記将来のギア・トレイン（５１、５１’）内に孔（５４、５４’）を形成するように、前記少なくとも１つの第２のキャビティ（４５）内にピン（４２）を搭載するステップ（１７）を含むことを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
ステップｂ）およびｅ）が以下の段階、
エッチングされる予定の前記層（３１、３３）上に少なくとも１つの保護マスク（３６、４６）を構造化するステップと、
前記少なくとも１つの保護マスクによって覆われていない部分にわたり前記層の異方性エッチングを実施するステップと、
前記マスクを除去するステップを含むことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
いくつかのギア・トレイン（５１、５１’）が前記同じ基板（２９）上に製作されることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
各被覆（３７、４７）が少なくとも１つの金の層を含むことを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
前記微細加工可能な材料がシリコン・ベースであることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
一体のカラー（５２、５２’）が取り付けられた第１の端部を持つ軸（５３、５３’）と、前記軸（５３、５３’）の第２の端部上に嵌合された、微細加工可能な材料から作られる第１のホイール・セット（５５、５５’）とを含むギア・トレイン（５１、５１’）であって、
前記第１のホイール・セットの動きとは独立である、微細加工可能な材料製の第２のホイール・セット（５７、５７’）を備え、その第２のホイール・セット（５７、５７’）には、前記軸（５３、５３’）の前記第１の端部に自由に搭載できるように、開口部（５８、５８’）が設けられ、その開口部（５８、５８’）には前記軸（５３、５３’）に対向する壁面がある、
ことを特徴とする、ギア・トレイン。
前記第２の端部に前記軸（５３’）と一体に、前記第１のホイール・セット（５５’）を部分的に覆う第２のカラー（５６’）が取り付けられることを特徴とする、請求項１１に記載のギア・トレイン。
前記第２のカラー（５６’）に、前記第１のホイール・セット（５５’）の第２段を形成するように歯が付けられることを特徴とする、請求項１２に記載のギア・トレイン。
前記第１のホイール・セット（５５、５５’）が、少なくとも部分的に、外部被覆（３７）を含むことを特徴とする、請求項１１から１３のいずれか一項に記載のギア・トレイン。
前記軸（５３、５３’）が低摩擦材料から作られることを特徴とする、請求項１１から１４のいずれか一項に記載のギア・トレイン。
前記微細加工可能な材料がシリコン・ベースであることを特徴とする、請求項１１から１５のいずれか一項に記載のギア・トレイン。
請求項１１から１６のいずれか一項に記載の少なくとも１つのギア・トレインを含むことを特徴とする、時計。