JP2012507459A - 複合材料、複合材料形成方法、及び接着剤又は接合材料 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
銅箔の酸化によるムラのない酸化銅層の形成
銅箔のセラミック上への配置
約1025〜1083℃、例えば約1071℃の処理温度までの複合体の加熱。
室温までの冷却
AGF 成長したままの
PSF 熱分解脱離させたカーボンナノ繊維
LHT 約1,000℃に加熱
HHT 約3,000℃に加熱
HTF 真空排気で約1,000℃に加熱
GFE 真空排気で約3,000℃に加熱又はグラファイト化
従って下記の値が適用される:
剥離強度=FPO/x
式中
FPOはこの金属皮膜によって形成された金属皮膜3又は金属又は試験条体を引き剥がすのに必要な最小の力(N(ニュートン)で明示される)であり、
xは金属又は試験条体の幅(mmで明示される)である。
2. 担持体、例えばセラミック層及び/又はガラス層
3、4 金属皮膜
3.1 構造化金属領域
3.2 金属パッド
5. 接着層又は接合層
5.1 接着層又は接合層の構造化領域
6. 線
7. マスク
8. 凹み
9. 担持材料又は担持箔
10. リードフレーム
10.1 リードフレーム区分
10.2 リードフレームブリッジ
10.3 ブリッジ区分
11. 位置決め開口部
12. 複数モジュール
13、14 単一モジュール
15. 空洞
16. 凸部角
17. 構造化接着剤及び接合材料のコーティング形状
17.1 裂片形状領域
18. ホールマスク
19. 平坦材料
20. マスク開口部
21. 接着強度測定用試験器具
Claims (60)
- 少なくとも1つの表面の上に電気絶縁材料で構成される少なくとも1つのセラミック及び/又はガラスで作製された少なくとも1つの担持体(2)を有し、かつ前記少なくとも1つの担持体(2)の所定の表面の上に金属層で形成された少なくとも1つの金属皮膜(3,4)を有する複合材料であって、前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が、前記担持体(2)及び/又は隣接する層又は隣接する基板と接合するプラスチックマトリックス中に少なくとも一種類のナノ繊維材料を含有する、接着剤又は接合材料で構成される接着層又は接合層(5)によって接合されていることを特徴とする、複合材料。
- 前記担持体(2)が平坦形状であるように又は実質的に平坦形状に設計されている事を特徴とする、請求項1に記載の複合材料。
- 前記担持体(2)がセラミック層及び/又はガラス層、又はセラミック基板及び/又はガラス基板(2)、例えば酸化アルミニウム及び/又は窒化アルミニウム及び/又は窒化シリコンのセラミックであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の複合材料。
- 前記接着層又は接合層(5)の前記領域における前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が、隣接層から50μmより小さい、好ましくは最高で約25μm又は約5μm〜25μmの間の距離を示すことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の複合材料。
- 第1の金属皮膜(3)が前記担持体(2)の前記上面側に設けられ、かつ第2の金属皮膜(4)が前記担持体(2)の前記底面側に設けられ、かつこれらの金属皮膜の少なくとも1つが構造化されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記担持体(2)に前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)を接合させる前記接着層又は接合層(5)は、当該層厚さ及び/又は当該組成に関して、前記接着層又は接合層(5,5.1)によって示される、前記金属皮膜(3,4)と前記担持体(2)との前記相互に隣接する表面に対して垂直な軸方向における当該熱抵抗が、前記担持体(2)のこの軸方向の当該熱抵抗より小さいか、又は最大でも等しくなるように選択されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記ナノ繊維材料がカーボンナノ繊維材料であり、前記接着剤又は接合材料中の前記ナノ繊維材料の当該含量が、すなわちこの接着剤又は接合材料の当該総計重量に対して5重量%〜30重量%の間であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記ナノ繊維材料がナノ繊維及び/又はナノチューブで作製され、好ましくはこれらのナノ繊維又はナノチューブの少なくとも当該大部分が、1μm〜100μmの間の長さを有し、かつ厚さが約1nm〜300nmの間、又は約50nm〜150nmの間、又は約1nm〜100nmの間、例えば約3nm〜75nmの間であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとの1つの金属皮膜(3,4)及び/又は前記接着層又は接合層(5,5.1)の前記領域における前記少なくとも1つの担持体(2)が表面粗さを備える、すなわち前記金属皮膜が例えば約1μm〜7μmの間の表面粗さを備え、及び/又は前記担持体が例えば4μm〜10μmの間の表面粗さを備えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記表面粗さが機械的に及び/又は物理的に及び/又は化学的に形成され、例えばサンドブラストによって及び/又は粒間エッチングによって及び/又はプラズマ処理によって及び/又は銅及び追加の金属を含む層を堆積し、続いて前記追加の金属をエッチングすることによって、形成されることを特徴とする、請求項7に記載の複合材料。
- 前記接合層がエポキシベース又はエポキシ−樹脂ベースのマトリックスで構成されることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記接着層又は接合層(5,5.1)又は前記層を形成する前記接着剤又は接合材料が、更なる添加物、例えば難燃剤添加物、例としてハライド化合物又はホウ素化合物を含有することを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記接着剤又は接合材料の前記マトリックスを形成する当該プラスチック材料は、硬化した及び/又は架橋した状態における前記接着層又は接合層(5,5.1)が少なくとも220℃の耐熱性を有するように選択されることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が少なくとも部分的領域において、金属合金及び/又は金属複合体及び/又は多層材料、例えばアルミニウム/銅の多層材料で構成されることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が少なくとも部分的に、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、及び/又は高抵抗性の金属材料、及び/又は少なくとも1つの金属箔、例えば銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、及び/又は高抵抗性の金属材料の箔で構成されることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜が約0.01mm〜4mmの間、例えば約0.03mm〜0.8mmの間の厚さを有し、及び/又は前記少なくとも1つの担持体(2)が約0.1mm〜1.2mmの間、例えば約0.25mm〜1.2mmの間の厚さを有することを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が、前記接着層又は接合層(5,5.1)を用いて接合され、前記隣接層、例えば前記隣接担持体に対して、少なくとも1N/mmの接合強度(剥離強度)、好ましくは少なくとも2.5N/mmの接合強度を有することを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜(3)が、構造化金属領域(3.1)を、例えば条導体、接触面、及び/又は搭載面の当該形状で形成するために構造化され、かつ前記接着層及び接合層(5,5.1)が隣り合う構造化金属領域(3.1)の間に設けられない又は除去されていることを特徴とする、請求項1〜17のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの担持体(2)の少なくとも1つの表面における前記金属皮膜が前記複合材料(1)又は前記担持体(2)の縁部領域を越えて突出している電気接続、例えばリードフレーム(10)から形成される接続(10.3)を形成することを特徴とする、請求項1〜18のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの担持体(2)及び/又は前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が、前記接着剤又は接合材料で作製された接着層又は接合層(5,5.1)を用いてリードフレーム(10)又は前記リードフレームのブリッジ区分(10.3)に接合されることを特徴とする、請求項1〜19のいずれか一項に記載の複合材料。
- 少なくとも2つの単一基板(13,14)で作製された多層基板として設計され、前記単一基板が互いに、前記接着剤又は接合材料から形成された少なくとも1つの接着層又は接合層(5,5.1)を用いて接合されることを特徴とする、請求項1〜20のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記少なくとも1つの接着層若しくは接合層(5,5.1)には、気泡及び/又は蒸気泡、特に空気泡がない、又は前記少なくとも1つの接着層若しくは接合層の当該総計体積に対するそのような泡の当該体積含有率が、0.1体積%未満であることを特徴とする、請求項1〜21のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記接着層又は接合層(5,5.1)が同様に、カーボン、グラファイト、セラミック及び/又は金属の添加物のような微粉砕添加物を含有することを特徴とする、請求項1〜22のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記ナノ繊維材料が金属を含まない、又は実質的に金属を含まないナノ繊維材料であり、詳細にはNi、Fe、及び/又はCoを含まないナノ繊維材料、及び/又は化学的に及び/又は熱的に前処理されたナノ繊維材料であることを特徴とする、請求項1〜23のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記接着層若しくは接合層(5,5.1)の前記プラスチックマトリックスにおける前記ナノ繊維材料とあらゆる追加の構成成分との当該総計含量は、前記接着剤若しくは接合材料又は前記プラスチックマトリックスの当該ガラス転移温度が少なくとも150℃であるように、及び/又は前記プラスチックマトリックスを形成する当該プラスチック、例えばエポキシの当該ガラス転移温度と比較して少なくとも25%高いように、及び/又は前記ナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との当該総計含量が前記接着層若しくは接合層の当該総計質量に対して約25重量%であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜24のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記のナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との総計含量は、前記少なくとも1つの接着層又は接合層に対して25μm未満の厚さが可能であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜25のいずれか一項に記載の複合材料。
- 前記のナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との総計含量は、前記接着層又は接合層(5,5.1)の当該熱伝導度が前記プラスチックマトリックスを形成する当該プラスチックによって示される当該熱伝導度と比較して少なくとも5倍大きく、例えば1W/mK超であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜26のいずれか一項に記載の複合材料。
- 少なくとも1つの表面の上に電気絶縁材料で構成される少なくとも1つのセラミック及び/又はガラスで作製された、例えばセラミック層及び/又はガラス層又はセラミック基板及び/又はガラス基板の形態の少なくとも1つの平坦形状の担持体(2)を有し、かつ前記担持体(2)の少なくとも1つの表面の上に金属層又は金属箔で形成された少なくとも1つの金属皮膜を有する複合材料の製造方法であって、前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が、ナノ繊維材料、好ましくはカーボンナノ繊維材料をプラスチックマトリックス、例えばエポキシベースを有するプラスチックマトリックス中に含有する、接着剤又は接合材料を用いる接合工程によって前記担持体(2)に接合されていることを特徴とする、複合材料の製造方法。
- 接合工程に先立って前記金属層又は金属箔及び/又は前記担持体(2)が、互いに接合される側の表面を粗化される、すなわち好ましくは前記金属層又は金属箔が1μm〜5μmの間の表面粗さを得るように、及び/又は前記担持体(2)が約4μm〜10μmの間の表面粗さを得るように粗化されることを特徴とする、請求項28に記載の方法。
- 前記表面粗さが、機械的に、及び/又は物理的に及び/又は化学的に形成される、例えばサンドブラスト工程で及び/又は軽石研磨工程で及び/又は粒間エッチング工程で及び/又はプラズマ処理で及び/又は前記金属皮膜の前記金属及び追加の金属で構成される金属層の堆積及びその後のエッチング工程による前記追加金属の除去によって形成されることを特徴とする、請求項29に記載の方法。
- 前記ナノ繊維材料に加えて、更なる添加物、例えば難燃剤添加物、例としてハライド化合物及び/又はホウ素化合物等を含有する接着剤又は接合材料の使用を特徴とする、請求項1〜30のいずれかに記載の方法。
- 前記接着層又は接合層(5,5.1)を用いて隣接層、例えば前記担持体(2)に接合された前記金属皮膜(3)が構造化されていることを特徴とする、請求項1〜31のいずれかに記載の方法。
- 前記接着剤又は接合材料(5)は、前記隣接層、例えば前記担持体(2)の金属皮膜(3,4)を設ける予定の領域の全表面に適用され、かつ前記金属皮膜(3)を構造化した後で前記構造化金属皮膜(3)の前記金属領域(3.1)の間にある前記接着層又は接合層(5)を、例えば機械的に、例としてサンドブラスト工程で、レーザー処理又はプラズマ処理で除去することを特徴とする、請求項32に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの構造化予定の金属皮膜(3)を取り付ける前に、前記接着剤又は接合材料が、接合予定の金属皮膜に対する前記構造化金属皮膜の前記金属領域(3.1)の前記形状及び位置に、又は前記金属皮膜を形成する前記金属層(3)に、及び/又は前記金属皮膜を設ける予定の前記隣接層、例えば前記担持体(2)の前記表面領域に対応する形状及び位置に適用されることを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 隣接層の表面の上に、例えば前記担持体(2)の表面の上に少なくとも1つの構造化金属皮膜を形成するために、前記構造化金属皮膜を、例えば型押しによって形成する前記金属要素又は金属パッド(3.2)の前記レイアウト又は前記金属領域(3.1)が、前記構造化金属皮膜に対応する位置に提供され、かつ前記接着剤及び接合材料を使用して前記隣接層に接合されることを特徴とする、請求項1〜34のいずれかに記載の方法。
- 前記金属要素又は金属パッド(3.2)の供給が、これらの要素をマスク又は型(7)の中に配置する工程、及び/又はこれらの要素を補助担体又は担体材料(9)の上に正確に位置決めして取り付けることによって実施されることを特徴とする、請求項35に記載の方法。
- 前記接着剤又は接合材料が前記隣接する領域(2)の前記構造化金属皮膜を設ける予定の前記表面の全表面に適用され、かつ接合の後、すなわち前記接着剤又は接合材料(5)の架橋及び/又は硬化後の前記構造化金属皮膜(3)の前記金属領域(3.1)間の前記架橋物及び/又は硬化物が、例えば機械的に、例としてサンドブラスと工程及び/又はレーザー処理またはプラズマ処理によって除去されることを特徴とする、請求項35又は36に記載の方法。
- 前記接着剤又は接合材料が、前記構造化金属皮膜(3)の前記金属領域又は金属パッド(3.1)に対応する形状及び位置において前記構造化金属皮膜を設ける予定の前記隣接層の前記表面の上に構造化形状で適用され、及び/又は前記隣接層に接合予定の前記提供された金属要素(3.2)の前記表面に適用されることを特徴とする、請求項1〜37のいずれかに記載の方法。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が少なくとも部分的領域において、銅又はアルミニウム又は高抵抗性金属材料の層または箔で構成されることを特徴とする、請求項1〜38のいずれかに記載の方法。
- 前記少なくとも1つの金属皮膜(3,4)が少なくとも部分的領域で、銅及び/又はアルミニウム及び/又は金属合金、例えば銅合金又はアルミニウム合金、及び/又は金属複合体及び/又は多層材料、例えばアルミニウム/銅の多層材料からなり、例えば金属箔の当該形態であることを特徴とする、請求項1〜39のいずれかに記載の方法。
- 前記複合材料が少なくとも1つの金属皮膜(3,4)を取り付けた後で、特に当該熱伝導度を向上させるためにも、焼戻し工程によって、すなわち例えば前記接着剤及び接合材料を架橋させるために使用される当該接合温度に等しいか又はより高い温度において後処理されることを特徴とする、請求項1〜40のいずれかに記載の方法。
- 前記接着剤及び接合材料がマスク、詳細にはホールマスク(18)、テンプレート、スクリーンを使用して、スプレーコーティング、ロールコーティング及び/又はスピンコーティングによって前記担持体(2)に塗布されることを特徴とする、請求項1〜41のいずれかに記載の方法。
- 前記接着剤又は接合材料の当該全表面及び/又は構造化された塗布が、少なくとも1つのマスク及び/又はテンプレートを使用して、及び/又は前記スクリーンレジスト方法を使用して実施されることを特徴とする、請求項42のいずれかに記載の方法。
- 前記接合工程及び/又は後処理工程又は前記焼戻し工程が加圧下で実施されることを特徴とする、請求項1〜43のいずれかに記載の方法。
- 前記接着剤又は接合材料の前記状態調整工程及び/又は前記接合工程は、前記接着剤又は接合材料によって形成された接着層又は接合層(5)が、少なくとも前記仕上げ材料(1)において気泡及び/又は蒸気泡、特に空気泡がないように、及びこの層の当該全体積に対する前記接着層又は接合層(5)中のそのような泡の当該体積含有率が0.1体積%以下になるように実施されることを特徴とする、請求項1〜44のいずれかに記載の方法。
- 前記接着層又は接合層(5,5.1)が同様に、カーボン、グラファイト、及び/又はセラミック及び/又は金属添加物のような微粉砕添加物を含有することを特徴とする、請求項1〜45のいずれかに記載の方法。
- 前記ナノ繊維材料が金属を含まない、又は実質的に金属を含まないナノ繊維材料である、詳細にはNi、Fe、及び/又はCoを含まないナノ繊維材料である、及び/又は化学的に及び/又は熱的に前処理されたナノ繊維材料であることを特徴とする、請求項1〜46のいずれかに記載の方法。
- 前記接着層若しくは接合層(5,5.1)の前記プラスチックマトリックス中の前記ナノ繊維材料とあらゆる追加の構成成分との当該総計含量は、前記接着剤若しくは接合材料又は前記プラスチックマトリックスの当該ガラス転移温度が、少なくとも150℃であること、及び/又は前記プラスチックマトリックスを形成する当該プラスチック、例えばエポキシの当該ガラス転移温度と比較して少なくとも25%高いこと、及び/又は前記ナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との当該総計含量が前記接着層若しくは接合層の当該総計質量に対して約25重量%であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜47のいずれかに記載の方法。
- 前記のナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との当該総計含量は、前記少なくとも1つの接着層又は接合層に対して25μm未満の厚さが可能であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜48のいずれかに記載の方法。
- 前記のナノ繊維材料とあらゆる追加のフィラーとの当該総計含量は、前記接着層又は接合層(5,5.1)の当該熱伝導度が、ナノ繊維材料が無くかつあらゆる追加のフィラーが無い前記プラスチックマトリックスを形成する当該プラスチックによって示される当該熱伝導度と比較して少なくとも4倍大きく、好ましくは5倍大きく、例えば1W/mK超であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜49のいずれかに記載の複合材料。
- 2つの要素の間、例えば担持体(2)と金属皮膜(3,4)との間の接着接続又は接合接続の当該製造のための、少なくとも一種類のナノ繊維材料を含有するプラスチックマトリックスで構成される接合材料又は接着剤であって、前記プラスチックマトリックス中の前記ナノ繊維材料及びあらゆる追加添加物の当該含量は、前記接着剤又は接合材料が25μmより小さい層厚さを有し加工に好適であるように選択されていることを特徴とする、接合材料又は接着剤。
- 前記ナノ繊維材料がカーボンナノ繊維材料であり、前記接着剤又は接合材料中の前記ナノ繊維材料の当該含量が、すなわちこの材料の当該総計重量に対して5〜30重量%の間であることを特徴とする、請求項51に記載の接合材料又は接着剤。
- 前記ナノ繊維材料がナノ繊維及び/又はナノチューブで作製され、好ましくはこれらのナノ繊維又はナノチューブの少なくとも当該大部分のものが1μm〜100μmの間の長さを有し、厚さが約50nm〜150nmの間又は約1nm〜100nmの間、例えば約3nm〜75nmの間であることを特徴とする、請求項51又は52に記載の接合材料又は接着剤。
- 前記マトリックスがエポキシベース又はエポキシ−樹脂ベースであるようなマトリックスであることを特徴とする、請求項1〜53のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
- 更なる添加物、例えば難燃剤添加物、例としてハライド化合物又はホウ素化合物を含有することを特徴とする、請求項1〜54のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
- 前記マトリックスを形成する前記プラスチック材料は、硬化した及び/又は架橋した状態における当該物少なくとも220℃の耐熱性を有するように選択されることを特徴とする、請求項1〜55のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
- カーボン、グラファイト、セラミック、及び/又は金属添加物のような粉砕添加物を含有することを特徴とする、請求項1〜56のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
- 前記ナノ繊維材料が金属を含まない又は実質的に金属を含まないナノ繊維材料であり、詳細にはNi、Fe及び/又はCoがないナノ繊維材料であり、及び/又は熱的に前処理されているナノ繊維材料であることを特徴とする、請求項1〜57のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
- 前記ナノ繊維材料とあらゆる追加の構成成分の当該総計含量は、前記接着剤若しくは接合材料又は前記プラスチックマトリックスのガラス転移温度が少なくとも150℃であり、及び/又は前記プラスチックマトリックスを形成する当該プラスチック、例えばエポキシの当該ガラス転移温度と比較して少なくとも25%高く、及び/又は前記ナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との当該総計含量が前記接着剤若しくは接合材料の当該総計質量に対して約25重量%であるように選択されることを特徴とする、請求項1〜58のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
- 前記のナノ繊維材料とあらゆる追加添加物との当該総計含量は、前記接着剤又は接合材料の当該熱伝導度が前記プラスチックマトリックスを形成する当該プラスチックによって示される当該熱伝導度と比較して少なくとも5倍大きいように、例えば1W/mKより大きいように、選択されることを特徴とする、請求項1〜59のいずれか一項に記載の接合材料又は接着剤。
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