JP2012504752A - 円盤状加工物の厚さを測定する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (15)
- 電子部品用基板として機能する円盤状加工物の厚さを測定する方法であって、
a)赤外線(14)が加工物の上面(20)に導かれ、第1放射部(22)が前記上面(20)において反射され、第2放射部(24)が加工物の厚さ(d)を貫通し、加工物の底部(26)において反射し、加工物の上面(20)から再び出射するステップと、
b)前記第1および第2の放射部(22,24)が干渉パターンを形成して干渉するステップと、
c)前記干渉パターンに基づいて、前記加工物の上面(20)と前記加工物の底面(26)との間の加工物の光学的厚さ(L)が測定されるステップと
を備え、
加工物の物理的厚さ(d)が、加工物(10)から反射し、かつ/または、加工物(10)を透過した赤外線(14)の強度の測定から決定されるステップをさらに備えることを特徴とする円盤状加工物の厚さを測定する方法。 - 赤外スペクトル(14)が、前記加工物の上面(20)に導かれることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記赤外スペクトル(14)が、前記加工物の上面(20)に垂直に導かれることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記放射部(22,24)の干渉によって作り出された放射線が分光計(32)によって分析されることを特徴とする請求項2または3に記載の方法。
- 前記加工物(10)から反射し、かつ/または、前記加工物(10)を透過した前記赤外線(14)の強度の測定のために、前記第1および第2の放射部(22,24)の干渉によって作り出された前記放射線の強度を、前記加工物の上面(20)において反射した後に、あるいは、前記加工物の上面(20)から出射した後に、それぞれ測定することができることを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 前記加工物(10)から反射し、かつ/または、前記加工物(10)を透過した前記赤外線(14)の強度の測定のために、前記干渉パターンにおける2つの規定箇所、特に干渉極大値と干渉極小値との間の強度差(42)が測定されることを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 第3放射部(28)が、前記加工物の底面(26)において前記加工物(10)から出射することと、前記加工物(10)から反射し、かつ/または、前記加工物(10)を透過した前記赤外線(14)の強度の測定のために、前記第3放射部(28)の強度が、前記加工物(10)からの出射後に測定されることとを特徴とする請求項1〜4の1項に記載の方法。
- 前記加工物(10)の屈折率(n)が測定されることと、前記加工物の物理的厚さ(d)が、前記加工物の前記光学的厚さ(L)から測定された前記屈折率(n)を考慮に入れることで測定されることとを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 前記屈折率(n)は、前記加工物(10)から反射し、かつ/または、前記加工物(10)を透過した前記赤外線(14)の強度あるいは強度差(42)にそれぞれ左右される屈折率(n)を示す特性線から測定されることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記加工物の物理的厚さ(d)は、特性領域によって測定されることを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 前記赤外線(14)は、前記加工物の上面(20)にわたって横断状に導かれることと、加工物の物理的厚さ輪郭(46)が、当該方法で測定されることとを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 前記加工物(10)は、ウェハ(10)、特にシリコンウェハ(10)であることを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 前記加工物(10)は、サファイア円盤であることを特徴とする請求項1〜11の1項に記載の方法。
- 加工物(10)の前記厚さ(d)は、片面処理機あるいは両面処理機、特に、化学機械平坦化あるいは化学機械研磨のための機械における前記加工物(10)の処理の間に、かつ/または、該処理の直前に、かつ/または、該処理の直後に測定されることを特徴とする先行請求項のうちの1項に記載の方法。
- 前記加工物(10)の処理のためのパラメータが、前記測定された厚さ(d)および/または前記測定された厚さ(d)および/または前記測定された厚さ輪郭によって調整されることを特徴とする請求項14に記載の方法。
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