JP2012256876A - エッチング方法及びこれに用いられるエッチング液、これを用いた半導体素子の製造方法 - Google Patents
エッチング方法及びこれに用いられるエッチング液、これを用いた半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを有する半導体基板にエッチング液を適用し、前記金属材料層を選択的に溶解するエッチング方法であって、前記エッチング液として、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基とを有する特定有機化合物とを含み、pHを3〜7に調整したものを使用するエッチング方法。
【選択図】なし
Description
すなわち、本発明は、Ti等の特定の金属材料からなる層を優先的に溶解する選択的なウエットエッチングを可能とし、しかもエッチング・アッシング等により生じる残渣をも効果的に洗浄除去することができるエッチング方法及びこれに用いるエッチング液、これを用いた半導体素子の製造方法の提供を目的とする。
<1>Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを有する半導体基板にエッチング液を適用し、前記金属材料層を選択的に溶解するエッチング方法であって、
前記エッチング液として、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基とを有する特定有機化合物とを含み、pHを3〜7に調整したものを使用するエッチング方法。
<2>前記金属材料層とケイ素化合物層のエッチング選択比(金属材料層のエッチングレート[RM]/ケイ素化合物層のエッチングレート[RSi])が50以上である<1>に記載のエッチング方法。
<3>前記フッ素化合物が、HF、NH4F、(NH4)HF2、及びTMAF(テトラメチルアンモニウムフルオリド)から選ばれる<1>又は<2>に記載のエッチング方法。
<4>前記フッ素化合物の濃度が1質量%〜10質量%である<1>〜<3>のいずれかに記載のエッチング方法。
<5>前記特定有機化合物の濃度が0.001質量%〜5質量%である<1>〜<4>のいずれかに記載のエッチング方法。
<6>前記エッチング液のpHを、硫酸、塩酸、硝酸、アンモニア、水酸化第四級アンモニウム化合物、又は水酸化カリウムからなるpH調整剤で調整する<1>〜<5>のいずれかに記載のエッチング方法。
<7>Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを有する半導体基板に適用して、前記金属材料層を選択的に溶解するエッチング液であり、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基を有する特定有機化合物とを含み、pHが3〜7に調整されたエッチング液。
<8>前記特定有機化合物は、疎水性基の総炭素数が14以上であり、エチレンオキサイド基もしくはプロピレンオキサイド基からなる繰り返し単位を6つ以上もつ非イオン性界面活性剤である<7>に記載のエッチング液。
<9>シリコンウエハ上に、Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを少なくとも形成した半導体基板とする工程と、
前記半導体基板にエッチング液を適用し、前記金属材料層を選択的にエッチングする工程とを有する半導体素子の製造方法であって、
前記エッチング液として、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基を有する特定有機化合物とを含み、pHを3〜7に調整したものを使用する半導体素子の製造方法。
<10>前記エッチング工程の前に、半導体基板に対しプラズマエッチング及び/又はアッシングを行い、その工程において生じた残渣を、前記エッチング液の適用により併せて除去する<9>に記載の半導体素子の製造方法。
<11><9>又は<10>に記載の製造方法により製造された半導体素子。
本発明の半導体素子の製造方法によれば、金属材料層に対する上記の優れたエッチング選択性を利用してそれに基づく特定の構造を有する半導体素子を製造することができる。さらに残渣の除去工程を省略することができ、極めて効率的な半導体素子の製造を可能とするものである。
本発明に必須のものとして適用されるフッ素化合物は、Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む特定の金属材料層に対して、高い溶解性を発揮する。また、フッ素化合物のもつ高い反応性が残渣等にも作用し、高い洗浄性を発揮する。一方、同様に必須のものとして採用された特定の有機化合物が、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含む特定のシリコン化合物層の表面を保護し、フッ素化合物によるエッチングを抑制・防止したものと考えられる。そして、上記フッ素化合物と特定有機化合物とが所定のpH環境に調整されて機能することにより、両者の相互作用により、選択的エッチング効果と、残渣洗浄効果とが、高いレベルで発揮されたものと考えられる。以下に、本発明についてその好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。
まず、本発明に係るエッチング工程の好ましい実施形態について、図1、図2に基づき説明する。
次に、本発明のシリコンエッチング液の好ましい実施形態について説明する。本実施形態のエッチング液は特定のフッ素化合物及び特定有機化合物を含有する。以下、任意のものを含め、各成分について説明する。なお、本明細書において、特定の成分を含む液とは、当該成分を含有する液組成物を意味するほか、使用前にそれぞれの成分ないしそれを含有する液・粉末等を混合して用いるキットとしての意味を包含するものである。
フッ素化合物としては、HF、NH4F、(NH4)HF2、及びTMAF(テトラメチルアンモニウムフルオリド)が挙げられる。中でも、良好な選択性を達成するという観点から、HF、NH4Fが好ましい。フッ素化合物は分子中にフッ素原子を有す化合物を意味し、水溶液中でフッ素イオンを生成する化合物が好ましい。
なお、本明細書において「化合物」という語を末尾に付して呼ぶときには、当該化合物そのものに加え、その塩、錯体、そのイオンを含む意味に用いる。また、所望の効果を奏する範囲で、所定の置換基を伴ったり一部を化学修飾したりした誘導体を含む意味である。
特定有機化合物は、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基を有する。疎水性基として好ましくは、炭素数14以上のアルキル基、アルキニル基、シクロアルキル基、アリール基、複素環基、及びこれらの基を2以上組み合わせてなる基から選ばれるものである。親水性基としては、1つ以上のO、N、S原子を含むものが好ましい。さらに親水性基の好ましいものとして、エチレンオキサイド基もしくはプロピレンオキサイド基を有するものが挙げられ、前記両基からなる繰り返し単位を合計で6つ以上(好ましくは6以上100以下)もつ親水性基を有する非イオン性界面活性剤が挙げられる。このとき、疎水性基の炭素数は14〜50であることが好ましく、16〜30であることがより好ましい。エチレンオキサイド基又はプロピレンオキサイド基の炭素数の合計は、12〜1000の整数であることが好ましく、12〜200の整数であることがより好ましい。
式(A) R−(CH2CH2O)nH
式(B) R−(CH2CH2CH2O)mH
式(C) R−(CH2CH2O)n(CH2CH2CH2O)mH
Rは炭素数10以上の直鎖又は分岐のある炭化水素基、n,mは1以上の整数を表す。
・pH調整剤
本実施形態においては、エッチング液のpHを3〜7の範囲に調節するが、この調整にpH調整剤を用いることが好ましい。pH調整剤としては、硫酸、塩酸、硝酸、アンモニア、水酸化第四級アンモニウム化合物、又は水酸化カリウムからなるものが挙げられ、中でも、良好な選択性を達成する観点から、アンモニア、硝酸、硫酸、塩酸を用いることが好ましい。水酸化第四級アンモニウム化合物としては、TMAH、TEAH、TPAH、TBAH、コリンなどが挙げられる。
本発明のシリコンエッチング液においては、さらに水溶性有機溶剤を添加してもよい。これにより、ウエハの面内における均一なエッチング性を更に向上しうる点で有効である。水溶性有機溶剤は、アルコール類(例えば、エチレングリコール、グリセリン、1,3-プロパンジオール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、プロピレングリコール、フルフリルアルコール、2−メチルー2,4-ペンタンジオール)、グリコール類(例えば、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピレングリコール)、ジメチルスルホキシド、エーテル類(例えば、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル)が好ましい。添加量はエッチング液全量に対して0.1〜20質量%であることが好ましく、1〜15質量%であることがより好ましい。この量が上記下限値以上であることで、上記のエッチングの均一性の向上を効果的に実現することができる。一方、上記上限値以下であることで、多結晶シリコン膜またはアモルファスシリコン膜、その他金属膜に対しての濡れ性を確保するとすることができる。
本実施形態においてエッチングを行う条件は特に限定されないが、スプレー式(枚葉式)のエッチングであってもバッチ式(浸漬式)のエッチングであってもよい。スプレー式のエッチングにおいては、半導体基板を所定の方向に搬送もしくは回転させ、その空間にエッチング液を噴射して前記半導体基板に前記エッチング液を接触させる。他方、バッチ式のエッチングにおいては、エッチング液からなる液浴に半導体基板を浸漬させ、前記液浴内で半導体基板とエッチング液とを接触させる。これらのエッチング方式は素子の構造や材料等により適宜使い分けられればよい。
半導体素子の製造プロセスにおいては、レジストパターン等をマスクとして用いたプラズマエッチングにより半導体基板上の金属層等をエッチングする工程がある。具体的には、金属層、半導体層、絶縁層などをエッチングし、金属層や半導体層をパターニングしたり、絶縁層にビアホールや配線溝等の開口部を形成したりすることが行われる。上記プラズマエッチングにおいては、マスクとして用いたレジストや、エッチングされる金属層、半導体層、絶縁層に由来する残渣が半導体基板上に生じる。本発明においては、このようにプラズマエッチングにより生じた残渣を「プラズマエッチング残渣」と称する。
本実施形態のエッチング液を適用することによりエッチングされる材料はどのようなものでもよいが、Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを有する半導体基板に適用されることを要件とする。
金属材料層は高いエッチングレートでエッチングされることが好ましく、中でも、Ti、Al、Geを含むことが好ましく、Tiを含むことがより好ましく、TiNであることが特に好ましい。金属材料層の厚さは特に限定されないが、通常の素子の構成を考慮したとき、0.005〜0.3μm程度であることが実際的である。金属材料層のエッチングレート[RM]は、特に限定されないが、生産効率を考慮し、50〜500Å/minであることが好ましい。
ケイ素化合物層は低いエッチングレートに抑えられることが好ましい。ケイ素化合物層の厚さは特に限定されないが、通常の素子の構成を考慮したとき、0.005〜0.5μm程度であることが実際的である。ケイ素化合物層のエッチングレート[RSi]は、特に限定されないが、生産効率を考慮し、0.001〜10Å/minであることが好ましい。
本実施形態においては、シリコンウエハ上に、前記金属材料層とケイ素化合物層とを形成した半導体基板とする工程と、前記半導体基板にエッチング液を適用し、前記金属材料層を選択的に溶解する工程とを介して、所望の構造を有する半導体素子を製造することが好ましい。このとき、前記エッチング液として、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基を有する特定有機化合物とを含み、pHを3〜7に調整したものを使用する。前記エッチング工程の前に、半導体基板に対しドライエッチングもしくはドライアッシングを行い、当該工程において生じた残渣を除去することが好ましい。このことは、すでに説明してきたところであるが、半導体素子の製造における各工程には、通常、この種の製品に適用される各加工方法を適用することができる。
以下の表1に示す成分を同表に示した組成(質量%)で含有させてエッチング液を調液した。なお、pH調整剤は表中に記載のpHになる量で添加したことを意味する。
試験ウエハ:シリコンウエハ上に、TiN層とSiOC層とを、試験評価用に、並べた状態で配置した半導体基板(試験体)を準備した。これに対して、枚葉式装置(SPS-Europe B.V.社製、POLOS(商品名)))にて下記の条件でエッチングを行い評価試験を実施した。
・薬液温度:80℃
・吐出量:1L/min.
・ウエハ回転数500rpm
エッチング後のウエハの表面をSEMで観察し、残渣(プラズマエッチング残渣及びアッシング残渣)の除去性について評価を行った。
AA:フォトレジスト及び残渣が完全に除去された。
A:フォトレジスト及び残渣がほぼ完全に除去された。
B:フォトレジスト及び残渣の溶解不良物が残存していた。
C:フォトレジスト及び残渣がほとんど除去されていなかった。
表中のpHは室温(25℃)においてHORIBA社製、F−51(商品名)で測定した値である。
TiN及びSiOC以外に、表2に示した金属層及びシリコン化合物層を配設した基板を準備して、上記試験102と同様にして、エッチングを行った(試験202)。結果を表2の上表に示すとともに、上記TiN/SiOCの結果とあわせてエッチング選択比を表2の下表にまとめて示した。SiOxについては参考である。
2 SiON層
3 SiOC層
4 Cu層
5 ビア
G 残渣
Claims (11)
- Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを有する半導体基板にエッチング液を適用し、前記金属材料層を選択的に溶解するエッチング方法であって、
前記エッチング液として、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基とを有する特定有機化合物とを含み、pHを3〜7に調整したものを使用することを特徴とするエッチング方法。 - 前記金属材料層とケイ素化合物層のエッチング選択比(金属材料層のエッチングレート[RM]/ケイ素化合物層のエッチングレート[RSi])が50以上であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法。
- 前記フッ素化合物が、HF、NH4F、(NH4)HF2、及びTMAF(テトラメチルアンモニウムフルオリド)から選ばれることを特徴とする請求項1又は2に記載のエッチング方法。
- 前記フッ素化合物の濃度が1質量%〜10質量%であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 前記特定有機化合物の濃度が0.001質量%〜5質量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 前記エッチング液のpHを、硫酸、塩酸、硝酸、アンモニア、水酸化第四級アンモニウム化合物、又は水酸化カリウムからなるpH調整剤で調整することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを有する半導体基板に適用して、前記金属材料層を選択的に溶解するエッチング液であり、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基を有する特定有機化合物とを含み、pHが3〜7に調整されたことを特徴とするエッチング液。
- 前記特定有機化合物は、疎水性基の炭素数が14以上であり、エチレンオキサイド基もしくはプロピレンオキサイド基からなる繰り返し単位を6つ以上もつ非イオン性界面活性剤であることを特徴とする請求項7に記載のエッチング液。
- シリコンウエハ上に、Ti、Mo、Ag、V、Al、及びGeの少なくとも1種を含む金属材料層と、SiC、SiOC、及びSiONの少なくとも1種を含むケイ素化合物層とを少なくとも形成した半導体基板とする工程と、
前記半導体基板にエッチング液を適用し、前記金属材料層を選択的にエッチングする工程とを有する半導体素子の製造方法であって、
前記エッチング液として、フッ素化合物と、炭素数が8以上の疎水性基と1つ以上の親水性基を有する特定有機化合物とを含み、pHを3〜7に調整したものを使用することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記エッチング工程の前に、半導体基板に対しプラズマエッチング及び/又はアッシングを行い、その工程において生じた残渣を、前記エッチング液の適用により併せて除去することを特徴とする請求項9に記載の半導体素子の製造方法。
- 請求項9又は10に記載の製造方法により製造された半導体素子。
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