JP2012253229A - ナノ複合材料の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】従来よりも少ない工程数で、nmレベルの平均粒径の材料同士が高分散したナノ複合材料が得られる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、母材、及び平均粒径1〜500nmのナノ微粒子を混合することにより、少なくとも前記母材を微細化し、且つ、当該微細化した母材及び前記ナノ微粒子が互いに高分散したナノ複合材料を製造することを特徴とする、ナノ複合材料の製造方法。
【選択図】図1

Description

本発明は、従来よりも少ない工程数で、nmレベルの平均粒径の材料同士が高分散したナノ複合材料が得られる製造方法に関する。
2種類以上の材料を混合して得られる複合材料は、単一種類の材料より優れた材料特性を示したり、新しい物性を有したりすることが知られている。特に、2種類以上の材料をnmレベルまで微細混合することにより得られるナノ複合材料については、新規な機能の発現や、種々の物性の飛躍的な向上が期待できる。
2種類以上の材料を複合化する方法としては、例えば、遊星ボールミルやビーズミル等による混合粉砕法が知られている。
特許文献1には、Bi、Te、Se及びSb元素からなる群より選択される少なくとも2種類以上の元素を含有した、平均粒径が1〜80μmである合金粉末に、平均粒径が前記合金粉末の平均粒径より小さく、かつ、0.01〜10μmである非酸化物セラミックス粉末を、熱電変換材料全量に対して、1〜20体積%添加した原料粉末を混合及び/又は粉砕して混合粉末とし、この混合粉末を焼結して熱電変換材料を製造する方法に関する技術が記載されている。
特開平9−74229号公報
特許文献1の明細書の段落[0030]及び[0035][表1]に記載されているように、当該文献には、平均粒径が10μm以上の合金相のみを粉砕する1段階目の工程を経た後に、改めて、粉砕後の当該合金相に非酸化物セラミックス粉末を加えて粉砕する2段階目の工程を含む方法が記載されている。このように、従来においては、1段階の粉砕工程により、10μm以上の粉末を数十nmレベル以下に微細化しつつ、2種以上の粒子を微細に複合化させることは困難であった。
本発明は、上記実状を鑑みて成し遂げられたものであり、従来よりも少ない工程数で、nmレベルの平均粒径の材料同士が高分散したナノ複合材料が得られる製造方法を提供することを目的とする。
本発明のナノ複合材料の製造方法は、少なくとも、母材、及び平均粒径1〜500nmのナノ微粒子を混合することにより、少なくとも前記母材を微細化し、且つ、当該微細化した母材及び前記ナノ微粒子が互いに高分散したナノ複合材料を製造することを特徴とする。
本発明においては、前記母材は、平均粒径10μm〜5mmの無機微粒子であってもよい。
本発明においては、前記母材は、MgSi、SiGe、FeSi、BiSb、BiTe、PbTe、ZrNiSn、CoSb、及びFeVAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の無機材料であってもよい。
本発明においては、前記ナノ微粒子は、MgO、ZrO、Al、TiO、SiO、BN、SiC、及びCeOからなる群より選ばれる少なくとも1種の無機材料を含有することが好ましい。
本発明においては、前記母材及び前記ナノ微粒子の混合にメカニカルミリングを用いることが好ましい。
本発明によれば、前記母材、及び所定の平均粒径を有する前記ナノ微粒子を混合することにより、従来よりも少ない工程数で、上記2種類の材料同士がnmレベルで高分散したナノ複合材料を得ることができる。
本発明により得られるナノ複合材料中の材料の分布を示した模式図である。
本発明のナノ複合材料の製造方法は、少なくとも、母材、及び平均粒径1〜500nmのナノ微粒子を混合することにより、少なくとも前記母材を微細化し、且つ、当該微細化した母材及び前記ナノ微粒子が互いに高分散したナノ複合材料を製造することを特徴とする。
従来、ナノ複合材料の製造においては、平均粒径がμmレベルの金属又は合金粉末を、1段階の粉砕・混合工程によりnmレベルの平均粒径にまで微細化することは困難であった。特に、2種類以上の原料をメカノケミカル処理により微細化・複合化するには、使用する混合媒体の径に対応して、粉砕後に到達する粒径に下限があるため、平均粒径10μm以上の試料を、1回の粉砕工程により平均粒径50nm以下に微細化することは難しかった。
従来技術においては、2種類以上の材料を通常の混合処理のみで複合化する場合には、μmレベル以上の複合化を目的とすることがほとんどであった。また、上述した特許文献1に記載されているように、nmレベルの複合化を目的とする従来技術であっても、予め径の大きな粉砕媒体を使用して粗粉砕を行った後、所定の粒径以下となった粉末を、径のより小さな粉砕媒体を使用して最終粉砕を行う方法が採用されている。
しかし、このような2段階以上の処理工程を要する複合化には、特に粉砕媒体の高速回転により原料を粉砕・混合するメカノケミカル処理の場合、以下に述べる様々なデメリットが考えられる。
μmレベル以上の平均粒径の試料を粉砕するためには、nmレベルの平均粒径の試料を粉砕する場合と比較してより大きな粉砕エネルギーが必要である。したがって、μmレベル以上の平均粒径の試料を粉砕する粉砕媒体の径は、nmレベルの平均粒径の試料を粉砕する粉砕媒体の径と比較してより大きい必要がある。しかし、そのようなより大きい径を有する粉砕媒体により、nmレベルの平均粒径にまで微細化することは難しい。以上を踏まえると、粉砕法によりnmレベルの平均粒径にまで微細化する場合、製造工程の途中において、径のより大きな混合媒体から、径のより小さな混合媒体に交換して、2段階以上に分けて粉砕を行う必要がある。したがって、製造工程が複雑化する問題、製造コストが増大する問題、及び製造量の増加が困難となる問題が生じる。
また、2段階以上の粉砕を行う場合、最終粉砕時には、初期粉砕時よりも、粉砕媒体の径をより微小にする必要がある。このことにより、粉砕後に得られる生成物と粉砕媒体との分離機構が複雑になったり、分離作業に非常に手間がかかったりする。したがって、粉砕媒体や容器からの不純物が生成物に混入する問題、及び、当該不純物の混入により生成物の特性が意図せず低下する問題が生じる。
さらに、2段階以上の粉砕を行う場合、最終粉砕時には、初期粉砕時よりも、より高速の回転数が必要になる。過剰な高速回転により、生成物に不純物が混入する問題、及び、生成物が物理的・化学的に過剰な損傷を受け、生成物の特性が変化する問題が生じる。
また、nmレベルまで粉砕しても、同種の微粒子同士が再凝集し、肥大化するという問題が生じる。このような再凝集を回避するためには、例えば、界面活性剤等がさらに必要となり、製造コストが増大する問題も生じる。
なお、2種類以上の互いに径の異なる粉砕媒体を同時に用いて、1段階で粉砕する方法も考えられる。しかし、2種類以上の粉砕媒体を同時に併用しても、採用できる回転数は、より大きな径の粉砕媒体の最大回転数が限度である。すなわち、このような粉砕方法は、より小さな径を有する粉砕媒体を1種類のみ用いた場合よりも、より小さな回転数しか採用できない。したがって、2種類以上の互いに径の異なる粉砕媒体を同時に用いて1段階で粉砕する方法は、工程ごとに径の異なる粉砕媒体を用いて2段階で粉砕する方法よりも、粉砕効果は小さい。
このように、2段階以上の処理工程を要する複合化処理は、製造量の増加が困難である点、粉砕媒体の交換が必要なため不純物が混入するおそれがある点、粉砕処理を少なくとも2回経るため生成物が損傷するおそれがある点、及び、原料同士が再凝集することにより粗大化するおそれがある点等、様々な欠陥がある。
本発明者は、ナノ微粒子をさらに混合することにより、μmレベル以上の粗大な原料粉末をnmレベルまで、従来よりも少ない工程数、好ましくは1段階で粉砕でき、且つ、2種類以上の原料粉末をnmレベルで複合化できることを見出し、本発明を完成させた。
本発明のナノ複合材料の製造方法には、少なくとも、母材、及びナノ微粒子を用いる。
本発明に使用される母材は、μmレベル以上の粒径を有する材料であり、且つ、得られるナノ複合材料中において主要材料となるものであれば、特に限定されない。本発明に使用される母材は、無機材料であることが好ましい。
本発明においては、1種類の材料のみを母材として用いてもよく、2種類以上の材料を母材として用いてもよい。
本発明に使用される母材は、具体的には、平均粒径10μm〜5mmの無機微粒子であってもよい。母材の平均粒径が10μm未満である場合には、母材の表面が酸化することによる性能低下のおそれがある。一方、母材の平均粒径が5mmを超える場合には、母材の種類にもよるが、平均粒径が大きすぎるため、従来よりも少ない工程数で平均粒径をnmレベルとすることが難しい場合がある。
母材の平均粒径は、10μm〜1mmであるのが好ましく、10〜100μmであるのがより好ましい。
なお、本発明における粒子の平均粒径は、常法により算出される。粒子の平均粒径の算出方法の例は以下の通りである。まず、400,000倍又は1,000,000倍のTEM(透過型電子顕微鏡)画像において、ある1つの粒子について、当該粒子を球状と見なした際の粒径を算出する。このようなTEM観察による平均粒径の算出を、同じ種類の200〜300個の粒子について行い、これらの粒子の平均を平均粒径とする。
本発明に使用される母材は、脆性材料であってもよい。ここでいう脆性材料とは、圧縮応力には比較的強く、引張応力には比較的弱い性質を有する材料のことをいう。
本発明に使用される母材は、熱電変換材料に通常使用される材料であってもよい。ここでいう熱電変換材料とは、例えば、テルライド系、シリコン・ゲルマニウム系、シリサイド系、スクッテルダイト系、ハーフホイスラー金属系、亜鉛・アンチモン系、ホウ素化合物、クラスター固体等の非酸化物系材料;層状酸化コバルト系、酸化亜鉛系、酸化チタン系、自然超格子系等の酸化物系材料;等が挙げられる。
本発明に使用される母材は、具体的には、MgSi、SiGe、FeSi、BiSb、BiTe、PbTe、ZrNiSn、CoSb、及びFeVAl等の無機材料が例示できる。これらの材料の内、1種類のみを母材として用いてもよいし、2種類以上を組み合わせて母材として用いてもよい。
これら無機材料のうち、本発明に使用される母材は、MgSi、及び/又はSiGeであることが好ましい。
本発明に使用されるナノ微粒子は、平均粒径が1〜500nmであり、混合により上記母材の特性を劣化させず、且つ、上記母材と複合化できる程度の親和性を有する材料であれば、特に限定されない。本発明に使用されるナノ微粒子は、好適には無機材料、より好適にはセラミックスを含有する。
上記ナノ微粒子は、適切な平均粒径を有するため、粉砕媒体と共に母材を粉砕する機能を果たすと考えられる。したがって、母材とナノ微粒子を粉砕媒体と共に混合することにより、母材粒子をnmレベルまで微細化でき、緻密なナノ構造を有するナノ複合材料が得られると考えられる。
平均粒径1nm未満のナノ微粒子は、現在の技術水準では入手・作製が困難である。一方、ナノ微粒子の平均粒径が500nmを超える場合には、平均粒径が大きすぎるため、従来よりも少ない工程数で母材の平均粒径をnmレベルとすることが難しい場合がある。
ナノ微粒子の平均粒径は、5〜50nmであるのが好ましく、10〜30nmであるのがより好ましい。
本発明に使用されるナノ微粒子としては、酸化物、窒化物、及び炭化物等を採用することが好ましい。本発明に使用されるナノ微粒子に含有される材料としては、具体的には、MgO、ZrO、Al、TiO、SiO、BN、SiC、及びCeO等が例示できる。これらの材料の内、1種類のみがナノ微粒子に含まれていてもよいし、2種類以上がナノ微粒子に含まれていてもよい。
これら無機材料のうち、本発明に使用されるナノ微粒子は、MgOを含有することが好ましい。
本発明に使用されるナノ微粒子の配合割合は、母材とナノ微粒子の合計の体積を100体積%としたとき、5〜35体積%であることが好ましい。当該配合割合が5体積%未満である場合には、ナノ微粒子が少なすぎるため、本発明の効果である母材の微細化の効果、及び緻密なナノ複合構造の構築の効果を十分に享受できないおそれがある。当該配合割合が35体積%を超える場合には、ナノ微粒子が多すぎるため、相対的に母材の配合割合が小さくなり、母材が有する所望の性質をナノ複合材料に十分取り込むことができないおそれがある。
本発明に使用されるナノ微粒子の配合割合は、母材とナノ微粒子の合計の体積を100体積%としたとき、10〜30体積%であることがより好ましく、15〜25体積%であることが更に好ましい。
本発明においては、母材及びナノ微粒子の他に、他の材料を加えてもよい。他の材料としては、母材とナノ微粒子とのナノ複合化を妨げる材料でなければ特に限定されず、母材とナノ微粒子とのナノ複合化を促進できる材料であることが好ましい。他の材料としては、例えば、補助分散剤としての役割を果たすナノ分散剤等が挙げられる。
本発明に採用する混合方法は、母材及びナノ微粒子を十分に粉砕・混合し、nmレベルの複合化が実現できる方法であれば、特に限定されず、公知の方法を採用できる。また、乾式混合、湿式混合を問わず、いずれも採用できる。
本発明においては、母材及びナノ微粒子の混合にメカニカルミリングを用いることが好ましい。
メカニカルミリングは、少なくとも母材及びナノ微粒子を、機械的エネルギーを付与しながら混合する方法であれば特に限定されるものではない。メカニカルミリングとしては、例えばボールミル、ターボミル、メカノフュージョン、ディスクミル等を挙げることができ、中でもボールミルがより好ましく、遊星型ボールミルが更に好ましい。
メカニカルミリングの各種条件は、母材の平均粒径を1段階の粉砕でnmレベルまで微細化し、且つ、母材及びナノ微粒子が互いに高分散し複合化した構造を得ることができる程度に設定することが好ましい。例えば、遊星型ボールミルを用いる場合、ポット内に、母材、ナノ微粒子、及び粉砕媒体としての粉砕用ボールを加え、所定の台盤回転数及び時間で処理を行う。湿式混合の場合には、有機溶媒等の液体をさらに投入してもよい。遊星型ボールミルを行う際の台盤回転数としては、例えば200〜1500rpmの範囲内、中でも250〜1200rpmの範囲内であることが好ましい。また、遊星型ボールミルを行う際の処理時間は、例えば1〜100時間の範囲内、中でも1〜50時間の範囲内であることが好ましい。
最後に、ふるいを用いる等の方法により、生成物から粉砕用ボールを分離する。湿式混合の場合には、さらに必要に応じて溶媒を除去することにより、本発明のナノ複合材料が得られる。
図1は、本発明により得られるナノ複合材料中の材料の分布を示した模式図である。なお、図1においては、模様が同じ円は同じ種類の材料を示す。また、説明の簡便のため、母材及びナノ微粒子をそれぞれ粒径が略等しい円として示すが、本発明は必ずしもこの態様に限定されるものではない。
図1に示すように、本発明により得られるナノ複合材料100は、母材微粒子1及びナノ微粒子2を含む。例えば、ナノ微粒子2の平均粒径a(nm)、ナノ微粒子2同士の間隔をb(nm)とすると、緻密なナノ複合構造の構築のためには、aとbが互いに略等しくなることが好ましい。したがって、母材の平均粒径が、ナノ微粒子2の平均粒径以下となるように粉砕することが好ましい。このように、微細なナノ複合構造の構築のためには、母材の平均粒径とナノ微粒子の平均粒径との間にはある一定の相関関係が認められる。
本発明により得られるナノ複合材料中の母材の平均粒径は、nmレベルの複合構造の構築という観点から、5〜50nmであることが好ましく、8〜40nmであることがより好ましく、10〜30nmであることが更に好ましい。
本発明により得られるナノ複合材料中のナノ微粒子の平均粒径も、母材同様に、nmレベルの複合組織の構築という観点から、5〜50nmであることが好ましく、8〜40nmであることがより好ましく、10〜30nmであることが更に好ましい。
なお、粉砕・混合前の母材及びナノ微粒子と、粉砕・混合後の母材及びナノ微粒子とは、必ずしも物理的・化学的性質が同じであるとは限らない。すなわち、粉砕・混合によって、母材及びナノ微粒子の物理的・化学的性質が変化する場合も考えられる。その場合には、上述した図1に関する説明については、母材微粒子1を母材に由来する材料からなる微粒子1と、ナノ微粒子2をナノ微粒子に由来する微粒子2と、それぞれ読み替えるものとする。
本発明により得られるナノ複合材料を、さらに加熱し、バルク化してもよい。加熱の方法は、ナノ複合材料の物理的特性、化学的特性をいずれも劣化させない方法であれば特に限定されないが、焼結が好ましい。焼結により得られる焼結体中においては、ナノ微粒子の働きにより、結晶粒の粗大化が抑制される。その結果、焼結体においても母材及びナノ微粒子が微細に分散したナノ複合組織が得られる。
上記焼結体中の母材の平均粒径は、nmレベルの複合組織の構築という観点から、10〜80nmであることが好ましく、20〜60nmであることがより好ましく、30〜50nmであることが更に好ましい。
上記焼結体中のナノ微粒子の平均粒径も、母材同様に、nmレベルの複合組織の構築という観点から、10〜50nmであることが好ましく、15〜45nmであることがより好ましく、20〜40nmであることが更に好ましい。
なお、加熱前の母材及びナノ微粒子と、加熱後の母材及びナノ微粒子とは、必ずしも物理的・化学的性質が同じであるとは限らない。すなわち、加熱によって、母材及びナノ微粒子の物理的・化学的性質が変化する場合も考えられる。その場合には、上述したバルク化に関する説明については、母材を母材に由来する材料と、ナノ微粒子をナノ微粒子に由来する微粒子と、それぞれ読み替えるものとする。
本発明によれば、粗粉砕工程と微細粉砕工程を分けるような多工程の粉砕を必要としないため、μmレベル以上の比較的粗大な試料を、従来よりも少ない工程数、好ましくは1工程でnmレベルまで微細粉砕することができる。その結果、粉砕媒体の径が比較的大きく、回転数が比較的低い粉砕方法であっても、1工程で母材をnmレベルまで微細粉砕し、ナノ複合材料を得ることができる。
また、本発明によれば、比較的微小な粉砕媒体を使う必要がないため、混合後の目的生成物と粉砕媒体との分離が極めて容易である。さらに、本発明によれば、従来nmレベルの混合物の粉砕に採用されていたビーズミルの様に、比較的高い回転数が必要ないため、通常のメカノケミカル処理、例えば、遊星ボールミル等の様な比較的低い回転数の粉砕処理により、nmレベルの複合化が可能となる。その結果、本発明によれば、粉砕媒体や反応容器からの不純物の混入を従来よりも抑制でき、且つ、母材やナノ微粒子への過剰な損傷を抑制できる。また、反応装置の構成を単純化できる。
また、本発明によれば、従来nmレベルの粉砕に特有の問題であった再凝集による粗大化が抑制できるため、粉砕後の粒径を従来よりも小さく設定できる。
本発明は、母材及びナノ微粒子を含むナノ複合材料の合成を目的とするが、例えば、ナノ微粒子として母材から容易に分離できる材料を適宜選択すれば、本発明を応用することにより、粗大な母材を一度にnmレベルまで微細化する方法にもなる。
本発明により結晶粒がnmレベルまで微細化し、且つナノ複合化した材料を用いて、さらに熱処理や焼結等のバルク化を行うことにより、様々な材料特性の向上が期待できる。
以下、本発明において熱電変換材料を母材とした場合の効果について述べる。この場合、本発明に使用されるナノ微粒子は、母材を粉砕する役割を果たすのみならず、得られるナノ複合材料の熱伝導率を低減する役割をも果たす。したがって、本発明により熱電変換ナノ複合材料を作製する際には、上述した本発明の効果に加えて、さらに熱伝導率低減の効果も享受することができる。
また、母材の平均粒径をnmレベルまで微細化した熱電変換ナノ複合材料を焼結することにより、電気伝導率を高く保持し、熱伝導率のより低い焼結体が得られる。その結果、当該焼結体の熱電性能指数(ZT)は従来よりも大幅に向上する。本発明においては、微小粉砕媒体を用いる必要がなく、不純物の混入が従来よりも少ないため、得られる熱電変換ナノ複合材料のゼーベック係数や、電気伝導率の低下を抑制することができる。なお、熱電変換性能を向上させるためには、焼結体中のナノ微粒子、及び/又はナノ微粒子に相当する微粒子の平均粒径が30nm以下であることが好ましい。
以下に、実施例及び比較例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。
1.ナノ複合材料の合成
[実施例1]
まず、母材として、平均粒径が10μmのMg(Si,Ge)((株)高純度化学製)、及び、ナノ微粒子として、平均粒径が20nmのMgO(シーアイ化成(株)製)を、それぞれ用意した。次に、Mg(Si,Ge)とMgOの混合比が、Mg(Si,Ge):MgO=90体積%:10体積%となるように混合し、乾燥雰囲気下、当該混合物2g、破砕用ジルコニアボール(φ=5mm)15gを、50ccジルコニアポットに入れ、密閉した。その後、容器を遊星型ボールミル装置に取り付け、台盤回転数300rpm、50℃以下の温度条件下、処理時間6時間の条件でメカニカルミリングを行い、実施例1のナノ複合材料を合成した。
[実施例2]
実施例1において、メカニカルミリング時の台盤回転数を300rpmから600rpmに変更したこと以外は、実施例1と同様に混合を行い、実施例2のナノ複合材料を合成した。
[実施例3]
まず、母材として、平均粒径が10μmのSi、及び、ナノ微粒子として、平均粒径が20nmのMgOを、それぞれ用意した。次に、SiとMgOの混合比が、Si:MgO=90体積%:10体積%となるように混合し、乾燥雰囲気下、当該混合物2g、破砕用ジルコニアボール(φ=3mm)15gを、50ccジルコニアポットに入れ、密閉した。その後、容器を遊星型ボールミル装置に取り付け、台盤回転数700rpm、50℃以下の温度条件下、処理時間8時間の条件でメカニカルミリングを行い、実施例3のナノ複合材料を合成した。
[実施例4]
実施例1において、破砕用ジルコニアボールの径をφ=5mmからφ=1mmに変更したこと、及び、メカニカルミリング時の台盤回転数を300rpmから1000rpmに変更したこと以外は、実施例1と同様に粉砕を行い、実施例4のナノ複合材料を合成した。
[比較例1]
実施例1において、平均粒径が20nmのMgOを添加せず、平均粒径が10μmのMg(Si,Ge)のみを粉砕に供した以外は、実施例1と同様に粉砕を行い、比較例1のナノ複合材料を合成した。
[比較例2]
実施例1において、平均粒径が20nmのMgOを添加せず、平均粒径が10μmのMg(Si,Ge)のみを粉砕に供したこと、破砕用ジルコニアボールの径をφ=5mmからφ=3mmに変更したこと、及び、メカニカルミリング時の台盤回転数を300rpmから700rpmに変更したこと以外は、実施例1と同様に粉砕を行い、比較例2のナノ複合材料を合成した。
[比較例3]
実施例3において、平均粒径が20nmのMgOに替えて、平均粒径が1μmのMgO(シグマアルドリッチ(株)製)を使用したこと以外は、実施例3と同様に混合を行い、比較例3のナノ複合材料を合成した。
2.焼結体の作製
[実施例5]
上記実施例1のナノ複合材料を焼結した。詳細な焼結方法は以下の通りである。
まず、実施例1のナノ複合材料を十分に乾燥させた後、乳鉢により解砕した。次に、当該ナノ複合材料をカーボンダイスに詰めた後、放電プラズマ焼結機(住友石炭鉱業(株)製)により、アルゴン雰囲気下、800℃、50MPaの条件で、10分間焼結を行い、実施例5の焼結体を得た。
[実施例6]
実施例5において、原料として、上記実施例1のナノ複合材料に替えて実施例4のナノ複合材料を用いたこと以外は、実施例5と同様に焼結操作を行い、実施例6の焼結体を得た。
[比較例4]
実施例5において、原料として、上記実施例1のナノ複合材料に替えて比較例1のナノ複合材料を用いたこと以外は、実施例5と同様に焼結操作を行い、比較例4の焼結体を得た。
[比較例5]
実施例5において、原料として、上記実施例1のナノ複合材料に替えて比較例2のナノ複合材料を用いたこと以外は、実施例5と同様に焼結操作を行い、比較例5の焼結体を得た。
3.ナノ複合材料の分析
実施例1〜実施例3及び比較例1〜比較例3のナノ複合材料中の母材(Mg(Si,Ge)又はSi)の平均粒径を算出した。平均粒径の算出方法としては、まず、各ナノ複合材料についてXRD測定を行い、得られたXRDパターン中の所定の回折ピークより、シュラーの式を用いて平均粒径を算出した。なお、各ナノ複合材料についてTEM観察を行い、算出した上記平均粒径とTEM観察した粒径との間に大きな相違がないことも確認した。
実施例1〜実施例3及び比較例1〜比較例3のナノ複合材料中の、粉砕後の母材の平均粒径を、組成や混合条件と併せて、下記表1に示す。なお、下記表1中、ナノ微粒子の添加割合とは、母材とナノ微粒子の合計体積を100体積%としたときの、ナノ微粒子が占める体積の割合を示す。また、下記表1中、ボール径とは、メカニカルミリングに用いたジルコニアボール径を示す。
Figure 2012253229
まず、比較例1及び比較例2について検討する。比較例1及び比較例2は、いずれも、ナノ微粒子を添加せず、母材のみを粉砕した実験例である。上記表1より、比較例1及び比較例2においては、粉砕後の母材の平均粒径が、いずれも、60nmを超える結果となった。したがって、たとえボールミルに用いるボール径や、ボールミルの回転数等の混合条件を変えたところで、ナノ微粒子を添加しなければ、母材の平均粒径は60nm以下とはならず、複合組織の微細化が十分に達成できないことが分かる。
次に、比較例3について検討する。比較例3は、平均粒径1μm(=1000nm)の微粒子を添加した実験例である。上記表1より、比較例3においては、粉砕後の母材の平均粒径が、50nmを超える結果となった。したがって、平均粒径がマイクロオーダーの微粒子を用いた場合には、母材の平均粒径は50nm以下とはならず、複合組織の微細化が十分に達成できないことが分かる。
一方、実施例1〜実施例3は、いずれも、母材、及び、平均粒径20nmのナノ微粒子を混合した実験例である。上記表1より、実施例1〜実施例3においては、粉砕後の母材の平均粒径がいずれも30nm未満となった。したがって、平均粒径がナノオーダーの微粒子を用いた場合には、母材の平均粒径は30nm未満、最小で約10nmとなることが分かる。
4.焼結体の分析
4−1.平均粒径の算出
実施例5及び実施例6、並びに比較例4及び比較例5の焼結体中の母材(Mg(Si,Ge)又はSi)、及びナノ微粒子(MgO)の平均粒径を算出した。平均粒径の算出方法は、上述したナノ複合材料中の母材の平均粒径の算出方法と同様である。なお、上述したナノ複合材料中の母材と同様に、TEM観察による確認も行った。
4−2.熱伝導率の算出
実施例5及び実施例6、並びに比較例4及び比較例5の焼結体の熱伝導率を算出した。まず、焼結体をサンプラーにカーボンスプレー塗布後、Xeフラッシュアナライザー(NETZSCH製、商品名:LFA447 Nanoflash)により、25℃の温度条件下で、各焼結体の熱拡散率を測定した。次に、示差走査熱量計(セイコーインスツルメンツ製、型番:EXSTAR DSC6200)を用いて、DSC法により、25℃の温度条件下で、各焼結体の比熱を測定した。続いて、アルキメデス法により各焼結体の密度を測定した。得られた熱拡散率、比熱、及び密度の値から、各焼結体の熱伝導率を算出した。
実施例5及び実施例6、並びに比較例4及び比較例5の焼結体中の、焼結後の母材の平均粒径、焼結後のナノ微粒子の平均粒径、及び熱伝導率を、組成や混合条件と併せて、下記表2に示す。なお、下記表2中、ナノ微粒子の添加割合、及びボール径は、表1と同様のものを示す。
Figure 2012253229
まず、比較例4及び比較例5について検討する。比較例4及び比較例5は、いずれも、母材のみを含むナノ複合材料を焼結した実験例である。上記表2より、比較例4及び比較例5においては、焼結後の母材の平均粒径が、いずれも、70nmを超える結果となった。したがって、たとえボールミルに用いるボール径や、ボールミルの回転数等の混合条件を変えたところで、ナノ微粒子を添加しなければ、母材の平均粒径は70nm以下とはならず、焼結体中の複合組織の微細化が十分に達成できないことが分かる。
また、比較例4及び比較例5においては、熱伝導率が2.0W/mKを超える結果となった。したがって、例えば比較例4及び比較例5の焼結体を熱電変換材料に用いたとしても、十分な熱電変換能を享受できないおそれがある。
一方、実施例5及び実施例6は、いずれも、母材及びナノ微粒子を含むナノ複合材料を焼結した実験例である。上記表2より、実施例5及び実施例6においては、焼結後の母材の平均粒径はいずれも50nm未満となり、且つ、焼結後のナノ微粒子の平均粒径はいずれも30nm未満となった。したがって、平均粒径がナノオーダーのナノ微粒子を用いた場合には、焼結後の母材の平均粒径は50nm未満、最小で40nmとなることが分かる。特に、焼結後のナノ微粒子の平均粒径は、焼結前とさほど差は無かったことから、粉砕・混合によって母材中にナノ微粒子を高分散させたことにより、焼結によって2個以上のナノ微粒子同士が互いに凝集しなかったことも分かる。
さらに、実施例5及び実施例6においては、熱伝導率が2.0W/mK未満であり、上記比較例4及び比較例5の熱伝導率の約半分程度となった。これらの低い熱伝導率は、母材及びナノ微粒子が、互いにnmレベルで微細に混在することを示す。これらの熱伝導率の結果は、例えば実施例5及び実施例6の焼結体を熱電変換材料に用いた場合には、熱電変換能を十分に享受できることを示す。
1 母材微粒子
2 ナノ微粒子
100 本発明により得られるナノ複合材料
a ナノ微粒子の平均粒径
b ナノ微粒子同士の間隔

Claims (5)

  1. 少なくとも、母材、及び平均粒径1〜500nmのナノ微粒子を混合することにより、少なくとも前記母材を微細化し、且つ、当該微細化した母材及び前記ナノ微粒子が互いに高分散したナノ複合材料を製造することを特徴とする、ナノ複合材料の製造方法。
  2. 前記母材は、平均粒径10μm〜5mmの無機微粒子である、請求項1に記載のナノ複合材料の製造方法。
  3. 前記母材は、MgSi、SiGe、FeSi、BiSb、BiTe、PbTe、ZrNiSn、CoSb、及びFeVAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の無機材料である、請求項1又は2に記載のナノ複合材料の製造方法。
  4. 前記ナノ微粒子は、MgO、ZrO、Al、TiO、SiO、BN、SiC、及びCeOからなる群より選ばれる少なくとも1種の無機材料を含有する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のナノ複合材料の製造方法。
  5. 前記母材及び前記ナノ微粒子の混合にメカニカルミリングを用いる、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のナノ複合材料の製造方法。
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