JP7171973B1 - 窒化ケイ素粉末、スラリー、及び窒化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
粒子径分布Aの全体に対する第2ピークの面積比率から、粒子径分布Bの全体に対する第4ピークの面積比率を差し引いたときの差が22%以下となってよい。分散処理を行うと、凝集粒子が解砕されて一次粒子となる。このため、分散処理を行う前に含まれる凝集粒子の比率が高い場合には、分散処理を行うことによって、凝集粒子の比率が大きく低下する。上記窒化ケイ素粉末は、分散処理を行うと、第4ピークの面積比率から第2ピークの面積比率を差し引いたときの差が所定値以下となる。このため、分散処理前の窒化ケイ素粉末に含まれる元々の凝集粒子の含有量が十分に低い。このような窒化ケイ素粉末は、一層優れた流動性を有するスラリーを安定的に調製することができる。
ケイ素粉末を用いて成形体(嵩密度:1.4g/cm3)を作製した。得られた成形体を電気炉内に静置し、1400℃で60時間焼成し、窒化ケイ素を含む焼成体を作製した。焼成時の雰囲気として、窒素と水素との混合ガス(N2とH2とを標準状態における体積比で80:20となるように混合した混合ガス)を供給した。得られた焼成体を粗粉砕した後、ボールミルで乾式粉砕した。ボールミルによる粉砕では、容器に対するボールの充填率を60体積%とし、粉砕時間を8時間とした。更に振動ミルにて乾式粉砕した、容器に対するボールの充填率を70体積%とし、粉砕時間を15時間とした。
一次空気圧力:0.6MPa
一次空気量:4m3/min
二次空気取り込み口のクリアランス:30mm
分級条件を、以下のとおりに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、窒化ケイ素粉末を調製した。分級前の窒化ケイ素粉末の全質量を基準とする、分級後の窒化ケイ素粉末の質量比率は、56質量%であった。
一次空気圧力:0.4MPa
一次空気量:3m3/min
二次空気取り込み口のクリアランス:40mm
分級条件を、以下のとおりに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、窒化ケイ素粉末を調製した。分級前の窒化ケイ素粉末の全質量を基準とする、分級後の窒化ケイ素粉末の質量比率は、65質量%であった。
一次空気圧力:0.1MPa
一次空気量:0.5m3/min
二次空気取り込み口のクリアランス:30mm
分級条件を、以下のとおりに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、窒化ケイ素粉末を調製した。分級前の窒化ケイ素粉末の全質量を基準とする、分級後の窒化ケイ素粉末の質量比率は、62質量%であった。
一次空気圧力:0.2MPa
一次空気量:1m3/min
二次空気取り込み口のクリアランス:20mm
レーザー回折・散乱法によって、各実施例及び各比較例の窒化ケイ素粉末の粒子径分布を測定した。測定は、JIS Z 8825:2013「粒子径解析-レーザー回折・散乱法」に記載の方法に準拠して行った。まずは、窒化ケイ素粉末に含まれている凝集粒子を検出するため、凝集粒子を解砕するための分散処理を行わずに測定を行った。具体的には、500mLの容器に60mgの窒化ケイ素粉末を計り取った。これに、分散剤として、ヘキサメタリン酸ナトリウムの20%水溶液(2mL)と水(200g)を配合して測定試料を調製した。そして、超音波による分散操作を行うことなく、測定試料を粒子径分布測定装置(ベックマンコールター社製、商品名:LS-13 320)にセットした。この測定装置を用いて、体積基準の粒子径分布を測定した。このような測定で得られた粒子径分布Aは、図2~図5に示すとおりであった。
500mLの容器に60mgの窒化ケイ素粉末を計り取った。これに、分散剤として、ヘキサメタリン酸ナトリウムの20%水溶液(2mL)と水(200g)を配合して測定試料を調製した。窒化ケイ素粉末に含まれている凝集粒子を解砕するため、測定試料の分散処理を行った。具体的には、シャープ株式会社製の超音波分散機に、容器の分散液の収容部分が全て浸漬されるようにセットし、超音波による分散処理を3分間行った。このように測定試料に含まれる凝集粒子を一次粒子に解砕したこと以外は、「粒子径分布Aの測定」と同じ手順で粒子径分布測定を行った。粒子径分布Bの累積分布において、小粒径からの積算値が全体の10%、50%及び90%に達したときの粒子径を測定した。それぞれの粒子径を、D10、D50及びD90として表3に示す。
水と窒化ケイ素粉末とを1:1の質量比で配合し、スターラーで十分に均一になるまで攪拌してスラリーを調製した。調製したスラリーの25℃における粘度を、B型粘度計(東機産業株式会社製、商品名:TVB-10)を用いて測定した。測定は30rpmと60rpmで行った。結果は、表5に示すとおりであった。
Claims (8)
- 窒化ケイ素の一次粒子と、複数の前記一次粒子が凝集している凝集粒子と、を含み、
レーザー回折・散乱法によって測定される体積基準の粒子径分布Aが、1μm未満の粒子径範囲に頂点を有する第1ピークと、1μm以上の粒子径範囲に頂点を有する第2ピークとを有する、窒化ケイ素粉末。
[但し、前記粒子径分布Aは、500mLの容器に60mgの前記窒化ケイ素粉末を計り取り、これに、ヘキサメタリン酸ナトリウムの20%水溶液(2mL)と水(200g)を配合して調製される測定試料をそのまま用いて前記レーザー回折・散乱法によって測定される。] - 前記粒子径分布Aの全体に対する前記第2ピークの面積比率が80%以下である、請求項1に記載の窒化ケイ素粉末。
- 前記第1ピークの頂点における粒子径に対する、前記第2ピークの頂点における粒子径の比が4以下である、請求項1又は2に記載の窒化ケイ素粉末。
- 前記測定試料に対して超音波による分散処理を3分間行って調製される測定試料を用いて前記レーザー回折・散乱法によって測定される体積基準の粒子径分布Bが、1μm未満の粒子径範囲に第3ピークと、1μm以上の粒子径範囲に第4ピークと、を有し、
前記粒子径分布Aの全体に対する前記第2ピークの面積比率から、前記粒子径分布Bの全体に対する前記第4ピークの面積比率を差し引いたときの差が22%以下となる、請求項1~3のいずれか一項に記載の窒化ケイ素粉末。 - 前記粒子径分布Aより求められる平均粒子径は1.0~2.5μmである、請求項1~4のいずれか一項に記載の窒化ケイ素粉末。
- 1:1の質量比で水と混合して得られるスラリーの25℃における粘度(30rpm)が10Pa・s以下である、請求項1~5のいずれか一項に記載の窒化ケイ素粉末。
- 請求項1~6のいずれか一項に記載の窒化ケイ素粉末と水とを含むスラリー。
- 請求項1~6のいずれか一項に記載の窒化ケイ素粉末を含む焼結原料を成形して焼成する工程を有する、窒化ケイ素焼結体の製造方法。
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JP2002265276A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-18 | Hitachi Metals Ltd | 窒化ケイ素粉末および窒化ケイ素焼結体 |
CN102206082A (zh) * | 2011-03-03 | 2011-10-05 | 北方民族大学 | 一种制备亚微米氮化硅的方法 |
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JP2016003157A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 宇部興産株式会社 | 多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の離型剤用窒化ケイ素粉末及びその製造方法、多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の離型剤用窒化ケイ素粉末含有スラリー、ならびに多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型及びその製造方法 |
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2022
- 2022-03-23 WO PCT/JP2022/013725 patent/WO2022210214A1/ja active Application Filing
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