JP2012235056A - 部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法および部品装着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物が部品であるか異物であるかの判別が可能な吸着ノズルにおける被吸着物検知方法および部品装着装置を提供する。
【解決手段】被吸着物の側方画像の撮像面積並びに側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて、被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する。例えば、被吸着物の撮像面積が、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢に基づく所定のマージンを加味した部品の最小投影面積よりも小さいときもしくは最大投影面積よりも大きいときは、被吸着物は部品ではないと検知できる（ステップ６，８）。また、被吸着物の撮像面積が、所定のマージンを加味した部品の最小投影面積と最大投影面積との間の面積のときは、被吸着物は部品であると検知できる（ステップ６，７）。また、被吸着物の側方画像が取得できないときは、吸着ノズルには何も吸着されていないと検知できる。
【選択図】図７

Description

本発明は、部品を吸着して基板上に装着する部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法および部品装着装置に関するものである。

例えば、特許文献１には、部品を吸着して基板上に装着する吸着ノズルを有する部品装着ヘッド（ノズル保持部材）と、吸着ノズルの先端部を側面側から撮像可能な側面撮像手段（側方撮像手段）とを備えた部品装着装置（表面実装機）が開示されている。この部品装着装置の制御手段は、部品から離脱動作した後の吸着ノズルの先端部を側面撮像手段により撮像させ、該側方画像に基づいて吸着ノズルの先端部に部品が吸着されているか否かを判定する。

また、特許文献２には、部品装着装置（部品装着機）の吸着ノズルに吸着された部品の吸着状態を検出する方法が開示されている。この部品吸着状態の検出方法は、吸着ノズルに正常に吸着した部品の断面積を求め、求めた断面積を基準値として記憶部に記憶しておく。そして、記憶部に記憶した断面積を有する部品を吸着ノズルで吸着して基板上に装着する場合に、該部品の断面積を求め、求めた断面積と記憶した基準値とを比較し、両者が一致しない場合は異常吸着と判断する。

特許第４４２１４０６号公報（段落０００９、図２，４，７参照） 特許第４３０６８６６号公報（段落００１６，００１７、図１〜３参照）

部品装着装置に搬入される基板は、埃等の異物が付着していないことが求められるが、異物が完全に除去されていない場合がある。例えば、異物が基板上の部品装着位置に付着していたときは、該部品装着位置に吸着ノズルにより部品を装着したときに、吸着ノズルの先端部に異物が吸着されるおそれがある。この吸着ノズルの先端部への異物の吸着は、部品供給装置の部品供給位置から吸着ノズルにより部品を吸着したときにも起こりうる。また、基板上の部品装着位置には、部品を電気的に接続するための半田ペーストが印刷されている。このため、部品装着位置に吸着ノズルにより部品を装着したときに、吸着ノズルの先端部に半田ペーストが吸着されるおそれがある。

特許文献１，２に記載の発明では、吸着ノズルの先端部に部品が吸着されているか否か、あるいは吸着ノズルの先端部に部品が異常吸着されているか否かを判断することはできる。しかし、吸着ノズルの先端部に埃や半田ペースト等の異物が吸着されているか否かを判断することはできず、吸着されている異物を部品として誤認識してしまうおそれがある。基板上の部品装着位置に部品を装着したときに吸着した異物を部品として誤認識した場合、部品装着位置には部品が装着されなかったと判断することになり、部品を再装着するリカバリ処理を実施すると部品の２重打ちとなって基板不良が生じることなる。さらに、吸着ノズルの先端部に吸着されている異物が、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれもあり、これによっても基板不良が生じることなる。

本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたもので、部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物が部品であるか異物であるかの判別が可能な吸着ノズルにおける被吸着物検知方法および部品装着装置を提供することを目的とするものである。

上記の課題を解決するために、請求項１に係る発明は、軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも１つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルを側方から撮像する側方撮像手段と、を備えた部品装着ヘッドにおいて、前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物の検知方法であって、前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶工程と、前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得工程と、前記画像取得工程で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得工程と、前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得工程で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算工程と、前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積、並びに前記面積演算工程で演算した前記部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する判別工程と、を備えることである。

請求項２に係る発明は、請求項１において、複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分工程と、前記画像取得工程で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定工程と、前記画像取得工程で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定工程で設定した該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する大部品判別工程と、を備えることである。

請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２において、前記判別工程にて前記被吸着物が前記画像取得工程で側方画像を取得される部品であると判別したとき、前記画像取得工程で取得した前記側方画像に基づいて、前記部品の高さを取得する高さ取得工程と、前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法および前記高さ取得工程で取得した前記部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出工程と、を備えることである。

請求項４に係る発明は、軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも１つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルの側方から撮像する側方撮像手段と、を有する部品装着ヘッドと、前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物を検知する被吸着物検知装置と、を備えた部品装着装置であって、前記被吸着物検知装置は、前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶手段と、前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得手段と、前記画像取得手段で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得手段と、前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算手段と、複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分手段と、前記画像取得手段で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定手段と、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記小部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積並びに前記面積演算手段で演算された該小部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記小部品であるか該小部品以外の異物であるかを判別する小部品判別手段と、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定手段で設定された該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記大部品であるか該大部品以外の異物であるかを判別する大部品判別手段と、前記小部品判別手段で前記被吸着物が前記画像取得手段で側方画像を取得される小部品であると判別したとき、前記画像取得手段で取得される該小部品の前記側方画像に基づいて、該小部品の高さを取得する高さ取得手段と、前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法および前記高さ取得手段で取得した前記小部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出手段と、を備えることである。

請求項１に係る発明によれば、被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかは、被吸着物の側方画像の撮像面積並びに側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて判別するようにしている。これにより、被吸着物の撮像面積と部品の最小投影面積および最大投影面積との面積比もしくは面積差により部品と異物との判別が可能となり、吸着ノズルにおける被吸着物の吸着姿勢に関わらず、部品と異物との判別精度を向上させることができる。

吸着ノズルによる部品の基板上への装着後において、被吸着物が異物であると判別したときは、部品は基板上に装着されていると判定できる。よって、部品を再装着するリカバリ処理は実施されないので、部品の２重打ちによる基板不良の発生を防止できる。このとき、吸着ノズルの先端部の清掃は必要に応じて実行するようにする。すなわち、吸着ノズルの先端部に吸着されている異物が、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがあると判断したときは、実装処理を停止させて吸着ノズルの先端部から異物を除去し、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがないと判断したときは、次の部品の実装処理をそのまま継続する。

吸着ノズルによる部品の基板上への装着後において、被吸着物が部品であると判別したときは、部品は基板上に装着されておらず、吸着ノズルによる部品の持ち帰りと判定できる。よって、部品を再装着するリカバリ処理が実施されるので、部品の未装着による基板不良の発生を防止できる。吸着ノズルによる部品の基板上への装着後において、吸着ノズルには何も吸着されていないと判別したときは、部品は基板上に装着されていると判定でき、次の部品の実装処理をそのまま継続できる。

また、吸着ノズルによる部品の基板上への装着前において、被吸着物が異物であると判別したときは、基板上における部品の空打ちによる基板不良の発生を防止できる。また、被吸着物が部品であると判別したときは、該部品の実装処理をそのまま継続できる。

請求項２に係る発明によれば、被吸着物が大部品であるか該大部品以外の異物であるかは、被吸着物の撮像面積および大部品の閾値に基づいて判別するようにしている。大部品においては、吸着ノズルにおける吸着姿勢によっては大部品の側方画像が面積取得領域からはみ出す場合がある。そのような場合であっても、例えば、被吸着物の撮像面積と、吸着ノズルにおける大部品の吸着姿勢に基づく所定のマージンを加味した大部品の最小投影面積との比較により部品と異物との判別が可能となる。よって、側方画像が面積取得領域に収まらないような大部品であっても、異物として誤認識されることを防止できる。

請求項３に係る発明によれば、被吸着物が部品であると判別されたときは、予め記憶している部品の高さおよび取得した部品の高さに基づいて、吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出するようにしている。すなわち、予め記憶している部品の高さと取得した部品の高さとの比較により、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が正常であるか異常であるかが検出可能となる。特に、吸着ノズルによる部品の基板上への装着前において、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が異常であると検出したときは、該部品は実装不可と判定できる。よって、基板上における部品の実装不良による基板不良の発生を未然に防止できる。

請求項４に係る発明によれば、小部品判別手段は、被吸着物の側方画像の撮像面積並びに側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて、被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかを判別するようにしている。これにより、被吸着物の撮像面積と部品の最小投影面積および最大投影面積との面積比もしくは面積差により部品と異物との判別が可能となり、吸着ノズルにおける被吸着物の吸着姿勢に関わらず、部品と異物との判別精度を向上させることができる。

また、大部品判別手段は、被吸着物の撮像面積および大部品の閾値に基づいて、被吸着物が大部品であるか該大部品以外の異物であるかを判別するようにしている。大部品においては、吸着ノズルにおける吸着姿勢によっては大部品の側方画像が面積取得領域からはみ出す場合がある。そのような場合であっても、例えば、被吸着物の撮像面積と、吸着ノズルにおける大部品の吸着姿勢に基づく所定のマージンを加味した大部品の最小投影面積との比較により部品と異物との判別が可能となる。よって、側方画像が面積取得領域に収まらないような大部品であっても、異物として誤認識されることを防止できる。

また、検出手段は、被吸着物が部品であると判別されたときは、予め記憶している部品の高さおよび取得した部品の高さに基づいて、吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出するようにしている。すなわち、予め記憶している部品の高さと取得した部品の高さとの比較により、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が正常であるか異常であるかが検出可能となる。特に、吸着ノズルによる部品の基板上への装着前において、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が異常であると検出したときは、該部品を実装しないと判定できる。よって、基板上における部品の実装不良による基板不良の発生を防止できる。

本発明の実施の形態を示す部品装着装置の斜視図である。 図１の部品装着装置の部品装着ヘッドの正面図である。 図２の要部を拡大した図である。 図３のＡ矢視図である。 図４の部品装着ヘッドの吸着ノズルの動作を説明する動作説明図である。 図５の吸着ノズルの側方画像を撮像するときの動作を概略的に示す図である。 本発明の実施の形態の吸着ノズルにおける被吸着物検知方法を説明するための第１のフローチャートである。 本発明の実施の形態の吸着ノズルにおける被吸着物検知方法を説明するための第２のフローチャートである。 本発明の実施の形態の吸着ノズルにおける被吸着物検知方法を説明するための第３のフローチャートである。 側方撮像手段による吸着ノズルの側方画像を示す図である。

以下本発明に係る部品装着装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１に示すように、この部品装着装置は、基板搬送装置６０、部品供給装置７０、部品移載装置８０および各装置６０、７０、８０の動作を制御する制御装置９０を備えている。

基板搬送装置６０は、基板をＸ軸方向に搬送するもので、第１搬送装置６１および第２搬送装置６２を２列並設したいわゆるダブルコンベアタイプのものである。第１搬送装置６１および第２搬送装置６２は、基台６３上にそれぞれ一対のガイドレール６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設し、これらガイドレール６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂによりそれぞれ案内される基板を支持して搬送する一対のコンベアベルト（図示省略）を互いに対向させて並設して構成されたものである。また、基板搬送装置６０には所定位置まで搬送された基板を押し上げてクランプするクランプ装置（図示省略）が設けられ、このクランプ装置によって基板が部品装着位置で位置決め固定される。

部品供給装置７０は、基枠１上に複数のカセット式フィーダ７１を並設して構成したものである。カセット式フィーダ７１は、基枠１に離脱可能に取付けた本体７２と、本体７２の後部に設けた供給リール７３と、本体７２の先端に設けた部品取出部７４とを備えている。供給リール７３には部品が所定ピッチで封入された細長いテープ（図示省略）が巻回保持され、このテープがスプロケット（図示省略）により所定ピッチで引き出され、部品が封入状態を解除されて部品取出部７４に順次送り込まれる。また、部品供給装置７０と基板搬送装置６０の間には、部品の保持位置を検出する撮像手段としてのＣＣＤカメラ７５が設けられている。なお、部品移載装置８０は、図１においては後方に退いているが、部品の保持位置を検出する際にはＣＣＤカメラ７５の上方に移動するようになっている。

部品移載装置８０は、ＸＹロボットタイプのものであり、基枠１上に装架されて基板搬送装置６０および部品供給装置７０の上方に配設されている。部品移載装置８０は、Ｙ軸サーボモータ１１によりＹ軸方向に移動されるＹ軸スライダ１２を備えている。図２に示すように、Ｙ軸スライダ１２には、Ｘ軸スライダ１３がＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能に案内されている。すなわち、Ｘ軸スライダ１３は、Ｙ軸スライダ１２に固定されたＸ軸方向に延びる一対のガイドレール１２ａと、Ｘ軸スライダ１３に固定された一対のガイドブロック１３ａとを介して、Ｙ軸スライダ１２に移動可能に保持されている。

Ｙ軸スライダ１２には図示しないＸ軸サーボモータが固定され、このＸ軸サーボモータの出力軸にはＸ軸方向に延びるボールねじ軸１２ｂが連結されている。ボールねじ軸１２ｂは、ボール（図示省略）を介して、Ｘ軸スライダ１３に固定されたボールナット１３ｂに螺合されている。これにより、Ｘ軸サーボモータが回転すると、ボールねじ軸１２ｂが回転し、Ｘ軸スライダ１３はボールナット１３ｂを介してガイドレール１２ａに案内されてＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸スライダ１３上には、部品を吸着して基板に装着する部品装着ヘッド１０が取付けられている。部品装着ヘッド１０は、Ｒ軸モータ１５、インデックス軸１６、ノズルホルダ１７、吸着ノズル１８、θ軸モータ１９、Ｚ軸モータ２０、ＣＣＤカメラ２１を備えた側方撮像手段５０等によって構成されている。Ｘ軸スライダ１３には、水平方向に延びる第１、２フレーム２５、２６が上下方向に離間して一体的に設けられ、第１フレーム２５にＲ軸モータ１５が固定されている。

Ｒ軸モータ１５の出力軸には、第１フレーム２５に鉛直軸線ＡＬの回りに回転可能に支持されたインデックス軸１６が接続されている。インデックス軸１６上には、従動ギヤ２７とθ軸ギヤ２９を形成した回転体２８が回転のみ可能に支持されている。インデックス軸１６の下端部には、リボルバヘッドを構成する円筒状のノズルホルダ１７が固定されている。上記したＲ軸モータ１５およびインデックス軸１６によって、ノズルホルダ１７をＲ軸方向に回転割出しするノズルホルダ割出し手段５５を構成している。

図４に示すように、ノズルホルダ１７には、鉛直軸線ＡＬと同心の円周１７ａ上において複数の吸着ノズル１８が上下方向に移動可能に保持されている。図３に示すように、各吸着ノズル１８は、ノズルホルダ１７に上下方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に支持されたノズルスピンドル３３の下端に取付けられている。ノズルスピンドル３３の下端部には大径部３３ａが形成され、ノズルスピンドル３３の上端部にはノズルギヤ３４が固定されている。

ノズルギヤ３４とノズルホルダ１７との間には圧縮スプリング３５が設けられ、この圧縮スプリング３５によって、ノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８が上方に付勢されるとともに、大径部３３ａがノズルホルダ１７の下面に当接することにより、ノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８の上方への移動が規制されている。また、各吸着ノズル１８には、ノズルスピンドル３３を介して吸着ノズル駆動装置（図示省略）から負圧が供給されるようになっている。これにより、各吸着ノズル１８は、その先端部１８ａで部品Ｐを吸着することができる。

さらに、ノズルホルダ１７の下端中央部には、光を反射可能な円筒状の反射体３１が固定されている。そのため、ノズルホルダ１７および反射体３１は、インデックス軸１６とともに鉛直軸線ＡＬの回りに回動されることになる。これにより、Ｒ軸モータ１５を回転させると、インデックス軸１６を介して複数の吸着ノズル１８を保持したノズルホルダ１７を鉛直軸線ＡＬの回り（Ｒ軸方向）に回動させることができ、複数の吸着ノズル１８を装着ステーションＳ１に順次割出すことができる。

第１フレーム２５にはθ軸モータ１９が固定され、θ軸モータ１９の出力軸には駆動ギヤ３６が固定されている。駆動ギヤ３６は、インデックス軸１６に回転可能に支持された回転体２８上の従動ギヤ２７に噛合されている。また、回転体２８上には軸方向の所定長さに亘ってθ軸ギヤ２９が形成され、このθ軸ギヤ２９は、ノズルスピンドル３３に固定された各ノズルギヤ３４にそれぞれ摺動可能に噛合されている。これにより、θ軸モータ１９を回転させると、駆動ギヤ３６、従動ギヤ２７、θ軸ギヤ２９およびノズルギヤ３４を介して、全ての吸着ノズル１８をノズルホルダ１７に対して自転させることができる。

また、第１フレーム２５にはＺ軸モータ２０が固定され、Ｚ軸モータ２０の出力軸にはボールねじ軸３７が接続されている。このボールねじ軸３７は、第１フレーム２５に固定された軸受３８および第２フレーム２６に固定された軸受３９により、鉛直軸線ＡＬと平行な軸線の回りに回動可能に支持されている。ボールねじ軸３７には、ボール（図示省略）を介して、Ｚ軸モータ２０の回転運動を直線運動に変換するボールナット４０が螺合されている。ボールナット４０は、第１および第２フレーム２５、２６に固定された上下方向に伸びるガイド４２に上下方向に摺動可能にガイドされたノズルレバー４１に固定されている。

ノズルレバー４１には、後述する装着ステーションＳ１に割出されたノズルスピンドル３３の上端に当接して、ノズルスピンドル３３をＺ軸方向の下方に押圧する押圧部４１ａが突設されている。これにより、Ｚ軸モータ２０を回転させると、ボールねじ軸３７が回転し、ノズルレバー４１はボールナット４０を介してガイド４２に案内されて上下に移動する。ノズルレバー４１が上下に移動すると、押圧部４１ａに対応するノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８を上下に移動させることができる。上記したＺ軸モータ２０、ボールねじ軸３７、ボールナット４０、ノズルレバー４１等によって、吸着ノズル１８をＺ軸方向に進退移動させるノズル移動手段５６を構成している。

ノズルレバー４１の押圧部４１ａは、図５に示すように、ノズルホルダ１７の回転方向に装着ステーションＳ１を中心として所定の幅Ｗ１を有しており、吸着ノズル１８が装着ステーションＳ１の前後の所定の角度範囲に位置している状態において、その吸着ノズル１８のノズルスピンドル３３の上端に押圧部４１ａが当接可能となっている。これにより、装着ステーションＳ１の前後の所定の角度範囲において、ノズルホルダ１７の回動動作中に吸着ノズル１８の上下移動を行うことを可能としている。

第２フレーム２６には支持ブラケット４３が懸架され、支持ブラケット４３には、ノズルホルダ１７の装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に割出された２つの吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐの二次元画像を取得する１つのＣＣＤカメラ２１が固定されている。ＣＣＤカメラ２１は、反射体３１により反射された光により吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐの二次元画像を取得する。

支持ブラケット４３の吸着ノズル１８に対応する側には、撮像ケース本体４５が固定され、撮像ケース本体４５の反射体３１に対向する側には、図４に示すように、ノズルホルダ１７を取巻くように鉛直軸線ＡＬを円弧中心とする円弧状の壁面４５ａが、ノズルホルダ１７の装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に亘って形成されている。撮像ケース本体４５の円弧状壁面４５ａには、反射体３１に向けて光を照射するＬＥＤからなる複数の照射体４６が装着されている。

円弧状壁面４５ａには、装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に対応する位置に２つの入射部４５ａ１、４５ａ２が開口されている。撮像ケース本体４５内には、入射部４５ａ１、４５ａ２を介して反射体３１より反射された反射光をそれぞれ入射する２つの第１プリズム４７ａ、４７ｂと、これら２つの第１プリズム４７ａ、４７ｂによって屈折された屈折光を入射して、ＣＣＤカメラ２１に向けた平行な光に屈折させる山形の第２プリズム４８が設けられている。

これら第１プリズム４７ａ、４７ｂおよび第２プリズム４８によって、照射体４６から照射され、反射体３１によって反射された反射光をＣＣＤカメラ２１に導入する光学機構４９を構成しており、また、反射体３１、照射体４６、第１および第２プリズム４７ａ、４７ｂ、４８ならびにＣＣＤカメラ２１等によって、装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に位置決めされた２つの吸着ノズル１８の先端部１８ａの側方画像を取得する側方撮像手段５０を構成している。

上記した側方撮像手段５０により、ノズルホルダ１７の装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に割出された２つの吸着ノズル１８が上昇端に位置決め停止されている状態において、照射体４６から照射された光は反射体３１により反射され、その反射光は部品Ｐの外周縁および撮像ケース本体４５の２つの入射部４５ａ１、４５ａ２を通過し、第１プリズム４７ａ、４７ｂにより第２プリズム４８に向かう方向に偏光される。そして、第２プリズム４８によってＣＣＤカメラ２１に向かう平行光に偏光され、ＣＣＤカメラ２１によって画像認識される。これにより、１つのＣＣＤカメラ２１によって、装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に割出された２つの吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐの二次元画像を同時に取得できる。

次に、上記した構成の部品装着装置によって、部品Ｐを基板に装着する動作について説明する。まず、制御装置９０からの指令に基づいて、基板搬送装置６０のコンベアベルトが駆動され、基板がガイドレール６４ａ、６４ｂ（６５ａ、６５ｂ）に案内されて所定の位置まで搬送される。そして、クランプ装置により、基板が押し上げられてクランプされ、所定位置に位置決め固定される。続いて、Ｙ軸サーボモータ１１および図略のＸ軸サーボモータが駆動されることにより、Ｙ軸スライダ１２およびＸ軸スライダ１３が移動され、部品装着ヘッド１０が部品供給装置７０の部品取出部７４まで移動される。

その後、制御装置９０により、Ｒ軸モータ１５が回転されることにより、ノズルホルダ１７が回動され、所定の吸着ノズル１８を装着したノズルスピンドル３３がノズルレバー４１の押圧部４１ａの下方に割出される。また、制御装置９０により、Ｚ軸モータ２０が正転されることにより、ノズルレバー４１が圧縮スプリング３５の付勢力に抗して下方に押下げられ、ノズルスピンドル３３を介して吸着ノズル１８の先端部１８ａが部品取出部７４に搬送された部品Ｐに接近する位置まで押下げられる。その状態で、吸着ノズル駆動装置（図示省略）から吸着ノズル１８に負圧が供給され、吸着ノズル１８の先端部１８ａに部品Ｐが吸着保持される。その後、Ｚ軸モータ２０が逆転されることにより、ノズルレバー４１が上方に移動され、圧縮スプリング３５の付勢力により吸着ノズル１８が上昇端位置まで押上げられる。このような動作を繰り返すことにより、複数の吸着ノズル１８に部品Ｐがそれぞれ吸着保持される。

続いて、Ｙ軸サーボモータ１１および図略のＸ軸サーボモータが駆動されることにより、Ｙ軸スライダ１２およびＸ軸スライダ１３が移動され、部品装着ヘッド１０が基板の装着位置の上方まで移動される。次いで、θ軸モータ１９の回転により、ノズルホルダ１７の装着ステーションＳ１に割出された吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着保持された部品Ｐが所定の姿勢に制御されるとともに、Ｚ軸モータ２０が正転されることにより、ノズルレバー４１が圧縮スプリング３５の付勢力に抗して下方に押下げられ、吸着ノズル１８の先端部１８ａの部品Ｐが基板に装着されるまで押下げられる。その後、Ｚ軸モータ２０が逆転されることにより、ノズルレバー４１が上方に移動され、圧縮スプリング３５の付勢力により吸着ノズル１８が最上端に移動した状態まで押上げられる。

そして、図５に示すように、装着ステーションＳ１に割出されたノズルスピンドル３３の下降動作により、吸着ノズル１８に吸着保持された部品Ｐを基板に装着している間に、装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に位置決めされた停止状態の２つの吸着ノズル１８の側方画像が、上記したように側方撮像手段５０によって取得され、取得された２つの側方画像は制御装置９０に入力されて画像認識される。詳しくは、照射体４６から光が照射された光は、反射体３１により反射され、２つの吸着ノズル１８に吸着された各部品Ｐの外周縁および入射部４５ａ１、４５ａ２を通過して、ＣＣＤカメラ２１に入射される。これにより、反射体３１部分が明るい背景となり、部品Ｐおよび吸着ノズル１８の先端部１８ａが暗くなった２つの側方画像（二次元画像）が取得できる。

このように、装着ステーションＳ１に割出された吸着ノズル１８に吸着した部品Ｐを基板に装着している間に、その直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に割出された２つの吸着ノズル１８の各先端部１８ａの側方画像を取得することにより、図６に示すように、次にノズルホルダ１７の回転割出し動作中に、吸着ノズル１８の上下方向の進退移動を同時に行わせる、いわゆる、オーバラップ制御が可能になる。そして、装着ステーションＳ１の直前のステーションＳ１−１に位置決めされた吸着ノズル１８の先端部１８ａの側方画像は、グレースケールまたは白黒の２値の二次元画像データとして処理され、当該吸着ノズル１８によって部品Ｐが正常に吸着されたか否かが判別される。すなわち、吸着ノズル１８における部品吸着姿勢が、基板に装着するための許容範囲内にあるか否かが判別される。

一方、装着ステーションＳ１の直後のステーションＳ１＋１に位置決めされた吸着ノズル１８の先端部１８ａの側方画像に基づいて、当該吸着ノズル１８によって基板に正常に部品Ｐが装着されたか否かが判別される。すなわち、吸着ノズル１８の先端部１８ａに部品Ｐが存在しない場合には、部品Ｐが基板に正常に装着されたものと判断される。また、吸着ノズル１８の先端部１８ａに部品Ｐが残存している場合には、装着異常と判断され、例えば、部品Ｐの再装着が実行される。しかし、例えば、異物が基板上の部品装着位置に付着していたときは、該部品装着位置に吸着ノズル１８により部品を装着したときに、吸着ノズル１８の先端部１８ａに異物が吸着されるおそれがある。

そこで、本実施の形態では、吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着される被吸着物を検知するようにしており、以下にその動作について図７、８、９のフローチャートを参照して説明する。ここで、制御装置９０に内蔵された図略のメモリには、被吸着物検知プログラム（本発明の「被吸着物検知装置」に相当する）、基板上に装着する複数種の部品の側方画像の投影面積を求めるのに必要な寸法データ、例えば、部品の形状が直方体の場合は横方向（吸着ノズル１８に正常に吸着されたときの水平方向）の寸法として短辺長Ｌｍｉｎ、長辺長Ｌｍａｘ、および縦方向（吸着ノズル１８に正常に吸着されたときの鉛直方向）の寸法として高さｔ、並びに側方撮像手段５０で撮像可能な撮像範囲、例えば、図１０に示すように、縦幅ａ、横幅ｂで表される矩形状の撮像範囲が予め記憶されている（本発明の「記憶手段」に相当する）。

先ず、基板に装着される複数種の部品の側方画像が、側方撮像手段５０で撮像可能な撮像範囲内に全て収まる部品の処理について説明する。図７のフローチャートに示すように、制御装置９０により、装着ステーションＳ１の直後のステーションＳ１＋１に位置決めされた吸着ノズル１８の先端部１８ａの側方画像が取得される（ステップ１、本発明の「画像取得手段」に相当する）。そして、取得された側方画像における吸着ノズル１８の先端部１８ａより下方の領域が面積取得領域として設定され、該面積取得領域内における被吸着物の側方画像の撮像面積が取得される（ステップ２，３、本発明の「面積取得手段」に相当する）。

例えば、図１０に示すように、吸着ノズル１８の先端部１８ａを撮像した縦幅ａ、横幅ｂの矩形状の２値化された側方画像Ｇのうち、吸着ノズル１８の先端部１８ａより下方の縦幅ａａ、横幅ｂで表される矩形状の領域が面積取得領域ｇとして設定される。そして、設定された面積取得領域ｇ内における被吸着物Ｍの側方画像の撮像面積Ｒが取得される。この被吸着物Ｍの側方画像の撮像面積Ｒは、例えば、２値化された被吸着物Ｍの側方画像のピクセルの数と２つのピクセル間の最小距離としての分解能とに基づいて、もしくは撮像範囲の縦幅ａ、横幅ｂから求まる面積取得領域ｇの面積（縦幅ａａ×横幅ｂ）および面積取得領域ｇと被吸着物Ｍの側方画像とのピクセル数比に基づいて取得可能である。

側方画像を取得される部品の寸法データが読込まれ、該部品の側方画像の最小投影面積および最大投影面積が求められる（ステップ４，５、本発明の「面積演算手段」に相当する）。そして、取得された被吸着物の撮像面積、並びに演算された部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて、すなわち被吸着物の撮像面積と部品の最小投影面積および最大投影面積との面積比もしくは面積差により被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかが判別される（ステップ６，７，８、本発明の「判別手段」に相当する）。

例えば、部品の形状が直方体の場合、高さｔ＜短辺長Ｌｍｉｎ＜長辺長Ｌｍａｘの関係であるとすると、部品Ｐの側方画像の最小投影面積ｆｘｍｉｎは、ｔ・Ｌｍｉｎ、最大投影面積ｆｘｍａｘは、Ｌｍｉｎ・Ｌｍａｘで表される。そして、吸着ノズル１８の先端部１８ａにおける部品の吸着姿勢等を考慮した所定のマージンを加味した部品の最小投影面積、例えば、１／２（ｆｘｍｉｎ）、および同様の所定のマージンを加味した部品の最大投影面積、例えば、２ｆｘｍａｘが設定される。そして、被吸着物Ｍの側方画像の撮像面積Ｒが、１／２（ｆｘｍｉｎ）以上であって２ｆｘｍａｘ以下の範囲内であるときは、被吸着物Ｍは部品Ｐであると判別される。一方、被吸着物Ｍの側方画像の撮像面積Ｒが、１／２（ｆｘｍｉｎ）よりも小さい、あるいは２ｆｘｍａｘよりも大きいときは、被吸着物Ｍは異物であると判別される。

被吸着物が異物と判別されたときは、部品は基板上に装着されていると判定できる。よって、部品を再装着するリカバリ処理は実施されないので、部品の２重打ちによる基板不良の発生を防止できる。このとき、基板の生産をエラー停止してエラー解除案内、例えば、吸着ノズル１８の先端部１８ａの清掃方法や基板の生産の再開方法に関するメッセージを制御装置９０の画面９１（図１参照）に表示するようにしてもよく、また基板の生産をエラー停止せずに続行するようにしてもよい。

すなわち、作業者は、吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着されている異物が、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがあると判断したときは、次の部品の実装処理を中断させて吸着ノズル１８の先端部１８ａから異物を手動もしくは自動で除去し、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがないと判断したときは、そのままの状態で次の部品の実装処理を実行する。また、被吸着物が異物と判別されたときは、部品エラーの報告は行わない。部品は基板上に装着されているので、部品エラーの報告を行うと正確な装着率が算出できなくなるからである。

一方、被吸着物が部品と判別されたときは、部品は基板上に装着されておらず、吸着ノズル１８による部品の持ち帰りと判定できる。よって、作業者は、部品の吸着状態を確認して部品の吸着状態が良好であれば、部品を再装着するリカバリ処理の実行ボタンを押して部品の再装着が可能であり、部品の未装着による基板不良の発生を防止できる。また、吸着ノズル１８には何も吸着されていないと判別されたときは、部品は基板上に装着されていると判定でき、次の部品の実装処理をそのまま継続する。

次に、基板に装着される複数種の部品のうち一部の部品の側方画像が、側方撮像手段５０で撮像可能な撮像範囲からはみ出す部品（以下、大部品という）の処理について説明する。例えば、長尺な帯状の大部品の中央部が吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着されたときに、大部品全体が面積取得領域内に収まるように設定されていても、大部品の一端部が吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着されたときは、大部品の他端部側が面積取得領域からはみ出す場合がある。そこで、基板に大部品を含む複数種の部品が装着される場合、面積取得領域内に収まる部品（以下、小部品という）であるか、該小部品よりも大きい大部品であるかにより、吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着されている被吸着物が部品であるか異物であるかを再判別する必要があり、図８のフローチャートを参照して説明する。

図８のフローチャートに示す処理は、図７のフローチャートのステップ５の面積演算後に実行される。すなわち、面積演算後、側方画像を取得される部品の寸法データが読込まれ、該部品の側方画像が面積取得領域内に収まるか否かが判断される。そして、部品の側方画像が面積取得領域内に収まるときは、該部品は小部品として区分けされ（ステップ１１，１２、本発明の「部品区分手段」に相当する）、図７のステップ６以降の処理が実行される。一方、部品の側方画像が面積取得領域からはみ出すときは、該部品は大部品として区分けされる（ステップ１１，１３、本発明の「部品区分手段」に相当する）。

ここで、小部品および大部品の区分けは、側方撮像手段５０の撮像範囲における吸着ノズル１８の先端部１８ａのずれを考慮して、部品が面積取得領域内に確実に入る高さｔおよび短辺長Ｌｍｉｎを小部品と大部品との区分の高さ境界値および短辺長境界値として夫々設定する。部品の高さｔが高さ境界値以上もしくは部品の短辺長Ｌｍｉｎが短辺長境界値よりも大きいときは、該部品は大部品として区分される。部品の高さｔが高さ境界値よりも小さく、且つ部品の短辺長Ｌｍｉｎが短辺長境界値以下のときは、該部品は小部品として区分される。

側方画像を取得される部品が大部品として区分けされると、該大部品の最小投影面積に基づいて閾値が設定される（ステップ１４、本発明の「閾値設定手段」に相当する）。そして、被吸着物の側方画像の撮像面積および閾値に基づいて、被吸着物が大部品であるか該大部品以外の異物であるかが判別される（ステップ１５，１６，１７、本発明の「大部品判別手段」に相当する）。被吸着物が大部品と判別されたとき、および被吸着物が異物と判別されたときは、図７で説明した処理と同一の処理が実行される。

ここで、閾値を設定する理由は以下の通りである。すなわち、大部品の中央部が吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着されたときに、大部品全体が面積取得領域内に収まるように設定されていても、大部品の一端部が吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着されたときは、大部品の他端部側が面積取得領域からはみ出すことになる。この場合、図７のステップ６の判別工程が行われると、本来は部品と判別されるべきものが常に異物と判別されることになる。しかし、そのときの撮像面積Ｒは、最小投影面積ｆｘｍｉｎの２分の１倍を下回ることはない。そこで、撮像面積Ｒの下限値については閾値を設定して判断する。なお、撮像面積Ｒは最大投影面積ｆｘｍａｘを上回ることはありえないため、撮像面積Ｒの上限値の判定は行わない。

例えば、閾値として大部品の側方画像の最小投影面積ｆｘｍｉｎの２分の１を設定する。そして、被吸着物Ｍの側方画像の撮像面積Ｒが、大部品の閾値１／２（ｆｘｍｉｎ）以下のときは、被吸着物Ｍは異物であると判別される。一方、被吸着物Ｍの側方画像の撮像面積Ｒが、大部品の閾値１／２（ｆｘｍｉｎ）よりも大きいときは、被吸着物Ｍは部品であると判別される。

図７のフローチャートのステップ７において、被装着物が部品であると判別されたとき、該部品の吸着ノズル１８の先端部１８ａにおける吸着状態、すなわち吸着姿勢を検知することも可能であり、図９のフローチャートを参照して説明する。図７のフローチャートのステップ７の判別後、部品の側方画像に基づいて、該部品の高さｈ（吸着ノズル１８に吸着されている状態のＺ軸線方向の辺長）が取得される（ステップ２１、本発明の「高さ取得手段」に相当する）。

そして、部品の寸法データのうち高さｔ（吸着ノズル１８に正常に吸着されたときのＺ軸線方向の辺長）が読込まれ、取得された部品の高さｈが、読込まれた部品の高さｔにトレランス（寸法公差）を加味した値と比較される。そして、取得された部品の高さｈが、読込まれた部品の高さｔの寸法公差内に収まっている場合は、吸着ノズル１８の先端部１８ａにおける部品の吸着姿勢は正常であると検出できる（ステップ２２，２３，２４、本発明の「検出手段」に相当する）。一方、取得された部品の高さｈが、読込まれた部品の高さｔの寸法公差内に収まっていないときは、吸着ノズル１８の先端部１８ａにおける部品の吸着姿勢は異常であると検出できる（ステップ２２，２３，２５、本発明の「検出手段」に相当する）。部品が吸着ノズル１８の先端部１８ａに正常に吸着されているときは、該部品を再装着するリカバリ処理が実施可能である。

以上の被吸着物検知処理が終了して基板への部品Ｐの装着が完了すると、図略の吸着ノズル駆動装置からの負圧の供給が停止されて部品Ｐの吸着保持が解放され、Ｚ軸モータ２０の逆転によってノズルスピンドル３３がＺ軸方向に上昇されると同時に、Ｒ軸モータ１５の回転によってノズルホルダ１７がＲ軸方向に回動される。これによって、部品Ｐを基板に装着した吸着ノズル１８は、Ｒ軸方向に回転（公転）されながらＺ軸方向に上昇される。

吸着ノズル１８が上昇端位置まで上昇されるとともに、ノズルホルダ１７が所定角度回転されると、装着ステーションＳ１から次のステーションＳ１＋１に向かう吸着ノズル１８のノズルスピンドル３３が、ノズルレバー４１の押圧部４１ａの下方より離脱する。次いで、装着ステーションＳ１の直前のステーションＳ１−１から装着ステーションＳ１に向かう吸着ノズル１８のノズルスピンドル３３が、押圧部４１ａの下方に侵入する。

その状態で、Ｚ軸モータ２０が正転され、ノズルレバー４１がＺ軸方向に下降されることにより、吸着ノズル１８のノズルスピンドル３３がノズルレバー４１の押圧部４１ａによって下降され、その結果、吸着ノズル１８はＲ軸方向に回転しながらＺ軸方向に下降される。そして、ノズルホルダ１７が１ピッチ回転割出しされ、吸着ノズル１８が装着ステーションＳ１に位置決めされると、ノズルホルダ１７が一旦停止され、その状態で、Ｚ軸モータ２０によって吸着ノズル１８が少量下降され、吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着保持された部品Ｐが基板に装着される。

そして、基板への部品Ｐの装着のために、ノズルホルダ１７が一時停止されている間に、上記したように、装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に新たに位置決めされた２つの吸着ノズル１８の側方画像が、側方撮像手段５０によって取得される。このように、装着ステーションＳ１の直前直後のステーションＳ１−１、Ｓ１＋１に位置決めされた２つの吸着ノズル１８の側方画像を取得することにより、ノズルホルダ１７がＲ軸方向に１ピッチ回転される間に、装着ステーションＳ１からその直後のステーションＳ１＋１に割出される吸着ノズル１８のＺ軸方向の上昇運動、ならびに装着ステーションＳ１の直前のステーションＳ１−１から装着ステーションＳ１に割出される吸着ノズル１８のＺ軸方向の下降運動を行うことができるようになる。以上の動作が繰り返されることにより、基板に部品Ｐが順次装着され、すべての部品Ｐが基板に装着されると、基板のクランプが解除され、基板が排出される。このようにして、所要の部品Ｐを基板に装着する動作が終了する。

なお、上述の部品装着ヘッド１０の吸着ノズル１８における被吸着物検知方法は、吸着ノズル１８による部品の基板上への装着後において実行する場合を説明したが、吸着ノズル１８による部品の基板上への装着前においても実行可能である。被吸着物が異物であると判別したときは、基板上における部品の空打ちによる基板不良の発生を防止できる。また、特に、図９のフローチャートに示す部品の吸着ノズル１８の先端部１８ａにおける吸着状態の検出処理を実行することにより、吸着ノズル１８における部品の吸着姿勢が異常であると検出したときは、該部品は実装不可と判定でき、基板上における部品の実装不良による基板不良の発生を未然に防止できる。

１０…部品装着ヘッド、１８…吸着ノズル、１８ａ…先端部、５０…側方撮像手段、５６…ノズル移動手段、８０…部品移載装置、９０…制御装置。

Claims (4)

1. 軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも１つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルを側方から撮像する側方撮像手段と、を備えた部品装着ヘッドにおいて、前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物の検知方法であって、
   前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶工程と、
   前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得工程と、
   前記画像取得工程で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得工程と、
   前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得工程で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算工程と、
   前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積、並びに前記面積演算工程で演算した前記部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する判別工程と、を備えた部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法。
2. 請求項１において、複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分工程と、
   前記画像取得工程で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定工程と、
   前記画像取得工程で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定工程で設定した該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する大部品判別工程と、を備えた部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法。
3. 請求項１または請求項２において、前記判別工程にて前記被吸着物が前記画像取得工程で側方画像を取得される部品であると判別したとき、前記画像取得工程で取得した前記側方画像に基づいて、前記部品の高さを取得する高さ取得工程と、
   前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法および前記高さ取得工程で取得した前記部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出工程と、を備えた部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法。
4. 軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも１つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルの側方から撮像する側方撮像手段と、を有する部品装着ヘッドと、
   前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物を検知する被吸着物検知装置と、を備えた部品装着装置であって、
   前記被吸着物検知装置は、前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶手段と、
   前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得手段と、
   前記画像取得手段で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得手段と、
   前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算手段と、
   複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分手段と、
   前記画像取得手段で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定手段と、
   前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記小部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積並びに前記面積演算手段で演算された該小部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記小部品であるか該小部品以外の異物であるかを判別する小部品判別手段と、
   前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定手段で設定された該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記大部品であるか該大部品以外の異物であるかを判別する大部品判別手段と、
   前記小部品判別手段で前記被吸着物が前記画像取得手段で側方画像を取得される小部品であると判別したとき、前記画像取得手段で取得される該小部品の前記側方画像に基づいて、該小部品の高さを取得する高さ取得手段と、
   前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法および前記高さ取得手段で取得した前記小部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出手段と、を備えた部品装着装置。

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