JP2012233776A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、測定対象流体の流量を高精度に測定することができる流量測定装置を実現することにある。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記副流路部は、前記流量検出部が配置された流量検出流路をさらに有しており、前記流量検出流路は、一端が前記第１流入口に連通し、且つ、他端が前記第１流出口に連通しており、前記第１流入口から流入した測定対象流体を、前記物性値検出流路および前記流量検出流路に分流させることが好ましい。

上記の構成では、副流路部は、流量検出部が配置された流量検出流路をさらに有し、流入口から流入した測定対象流体を、物性値検出流路および流量検出流路のそれぞれに分流させる。このように、同じ流入口から流入させた測定対象流体を物性値検出流路および流量検出流路に分流させることで、物性値検出部および流量測定部は、温度、濃度などの条件が等しい測定対象流体に基づいて物性値および流量を検出することができる。また、例えば、物性値検出流路および流量検出流路の幅を調整することで、物性値検出流路および流量検出流路を流れる測定対象流体の流量を個別に制御することが可能となる。

上記の構成では、副流路部は、一端が主流路内に開口した第２流入口に連通し、且つ、他端が主流路内に開口した第２流出口に連通している流量検出流路をさらに有する。すなわち、副流路部は、物性値検出流路および流量検出流路を、独立した２つの副流路として有する。このため、物性値検出流路および流量検出流路の幅を調整することで、物性値検出流路および流量検出流路を流れる測定対象流体の流量を個別に制御することが可能となる。

上記の構成では、物性値検出部が物性値検出流路に配置され、流量検出部が主流路に配置されている。このため、物性値検出流路を流れる測定対象流体の流量を個別に制御することが可能となる。

このように、同じ流入口３４Ａから流入させた測定対象流体を、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流させることで、物性値センサ７および流量センサ８は、温度、濃度などの条件が等しい測定対象流体に基づいて物性値および流量を検出することができる。したがって、流量測定装置１の測定精度を向上させることができる。

また、本実施形態では、物性値検出領域３６および流量検出領域３７の形状を正方形としているが、本発明はこれに限定されない。物性値検出領域３６および流量検出領域３７の形状は、物性値センサ７および流量センサ８が配置可能であればよく、配置される物性値センサ７および流量センサ８の形状に応じて決定される。

なお、第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３から出力された温度検出信号に基づいて測定対象流体の流量を算出する手法は、公知のものを用いることができる。流量算出部５２は、算出した測定対象流体の流量を流量補正部５４に出力する。

流量測定装置１では、物性値センサ７は物性値検出用流路３２に配置され、流量センサ８は流量検出用流路３３に配置されている。このため、例えば、物性値検出用流路３２の幅を調整して物性値検出用流路３２を流れる測定対象流体の流量を制御することで、流量の影響によって物性値センサ７の出力特性が変化することを抑止することができ、さらに、測定対象流体の流れによる乱流の発生を効果的に抑制することが可能となる。

また、図８（ｂ）〜図８（ｄ）に示されるように、流量検出領域３７に対して測定対象流体を流入させる方向と直交する方向から物性値検出領域３６に対して測定対象流体を流入させるように、物性値検出用流路３２を形成してもよい。

図１１（ａ）は、本実施形態に係る流量測定装置１ｂを示す斜視図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示される副流路部３を示す上面図である。

図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示されるように、流量測定装置１ｂでは、副流路部３ｂは、その内部および上面に第１副流路３１ｂおよび第２副流路３１Ｂが形成されている。