JP6533878B1 - 流量計 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明の別態様における流量計は、(2)流量を計測するためのセンサが架設されたセンサ流路の他に、前記センサ流路に対するバイパス流路を備える流量計において、前記センサ流路の入口側に設けられた分流オリフィスと、前記バイパス流路に設けられたメインオリフィスとを有すること、縦軸に有効断面積を採り、横軸に流体の流体圧力を採ったときに、前記流体圧力が負圧となる領域で、前記分流オリフィスの有効断面積が左肩上がりに変化するとともに、前記メインオリフィスの有効断面積が左肩上がりに変化すること、を特徴とする。
図1は、流量計1の流路断面図である。流量計1は、大別して、ボディ10とセンサ基板20とから構成される。センサ基板20は、ボディ10の上面に開口する流路空間18を塞ぐように、シールパッキン23を介してボディ10の上面に配置され、基板押さえ22をボディ10にネジで固定することにより、ボディ10に密着されている。
本発明者らは、流体圧力と分流オリフィスの有効断面積との関係を調べる第1試験、および、流体圧力とメインオリフィスの有効断面積との関係を調べる第2試験を行った。第1試験と第2試験には、上流側から順に、レギュレータ、圧力センサ、MFC、上流側圧力センサ、試験対象の流量計、下流側圧力センサ、可変絞り、真空ポンプを配置した試験装置を使用した。
第1メインオリフィスと第2分流オリフィスを組み合わせた第1比較例と、第1メインオリフィスと第3分流オリフィスを組み合わせた第1実施例について、流体圧力と分流比との関係を検討する。
13 オリフィス流路
16 センサ流路
30 分流オリフィス
31a 孔
35a 孔
C 流路径
L 管路軸方向の長さ
Claims (5)
- 流量を計測するためのセンサが架設されたセンサ流路の他に、前記センサ流路に対するバイパス流路を備える流量計において、
前記センサ流路の入口側に設けられた分流オリフィスと、前記バイパス流路に設けられたメインオリフィスとを有すること、
縦軸に有効断面積を採り、横軸に流体の流体圧力を採ったときに、前記流体圧力が負圧となる領域で、前記分流オリフィスの有効断面積が左肩下がりに変化するとともに、前記メインオリフィスの有効断面積が左肩下がりに変化すること、
を特徴とする流量計。 - 流量を計測するためのセンサが架設されたセンサ流路の他に、前記センサ流路に対するバイパス流路を備える流量計において、
前記センサ流路の入口側に設けられた分流オリフィスと、前記バイパス流路に設けられたメインオリフィスとを有すること、
縦軸に有効断面積を採り、横軸に流体の流体圧力を採ったときに、前記流体圧力が負圧となる領域で、前記分流オリフィスの有効断面積が左肩上がりに変化するとともに、前記メインオリフィスの有効断面積が左肩上がりに変化すること、
を特徴とする流量計。 - 請求項1に記載する流量計において、
前記メインオリフィスは、管路軸方向の長さが、管路軸に対して直交する方向の流路径に対して、2倍以上であるノズル形であること、
前記分流オリフィスは、複数の孔を有すること、
を特徴とする流量計。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載する流量計において、
前記有効断面積を、亜音速領域の公式により計算していること、
を特徴とする流量計。 - 請求項1又は請求項3に記載する流量計において、
前記メインオリフィスが小径部を有し、その小径部の長さが9mm以上あること、
前記分流オリフィスは、小流量用では、直径0.2mmの孔9個を備えること、大流量用では、直径0.15mmの孔7個を備えること、
を特徴とする流量計。
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