CN109642812A - 流量计 - Google Patents

Abstract

一种流量计(1)，设有架设了用于测量流量的传感器片(21)的传感器流路(16)，此外还设有与传感器流路(16)相对应的作为旁路流路的节流孔流路(13)，其中，使节流孔流路(13)的流路直径(C)比流入流路(12)的流路直径(A)小，在传感器流路(16)的入口侧配置分流节流孔(30)，节流孔流路(13)和分流节流孔(30)构成为：在纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，有效截面积的变化倾向相同。

Description

流量计

技术领域

本发明涉及一种流量计，其除了具有架设了用于测量流量的传感器的传感器流路，还具有与传感器流路相对应的旁路流路。

背景技术

例如，在专利文献1及专利文献2中公开了一种流量计，其除了具有与流入流路和流出流路相连接的传感器流路，还具有与传感器流路相对应的旁路流路。被测定流体在流入了流入流路之后，被分流成向传感器流路流入的部分和向旁路流路流入的部分。此时，流入了流入流路的被测定流体以使得在传感器流路中产生的传感器侧阻抗(上游侧压力与下游侧压力的压力差)与在旁路流路中产生的旁路侧阻抗(上游侧压力与下游侧压力的压力差)相平衡的流量流入传感器流路。从传感器流路和旁路流路流出的被测定流体在流出流路汇流并流出到流量计之外。流量计通过架设于传感器流路中的传感器测量在传感器流路中流动的被测定流体的流量，利用传感器侧阻抗与旁路侧阻抗的比率(分流比)将该流量换算成在流量计中流过的被测定流体的全部流量，并输出信号。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5580140号公报

专利文献2：日本专利第5160809号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在以往的流量计中存在下述问题。即，关于以往的流量计，即使流入该流量计的被测定流体的质量流量相同，也会如图7所示，该被测定流体为正压时和该被测定流体为负压时，传感器输出有时存在偏差。本发明的发明人们在将截止目前一直用于正压流体的流量控制的流量计用于负压流体的控制时发现了这个问题。本发明的发明人们对其原因进行反复研究后，得出了下述结论：其原因是因流体压力导致了分流比变动。

具体说明的话，在质量流量相同的情况下，负压流体的分子密度比正压流体低，更容易流入传感器流路。因此，关于由传感器检测出的流量，负压流体一方比正压流体一方多。即，因流体压力，传感器侧阻抗与旁路流路侧阻抗的平衡被打破，分流比变动。以往的流量计基于预定的分流比和由传感器检测出的流量而计算出整体流量。因此，即使被供给至流量计的被测定流体的质量流量相同，对于正压流体和负压流体，其传感器的输出也会产生差别。以往，这种程度的差别是被容许的，但是近年来，流量计所要求的精度变得严格。

本发明正是为了解决上述的问题点，其目的在于提供一种流量计，该流量计能够抑制因被测定流体的流体压力变动导致传感器输出的精度降低的情况。

用于解决课题的技术手段

为了解决上述课题，本发明的一个方式的流量计是：(1)流量计，包括架设了用于测量流量的传感器的传感器流路，还包括与所述传感器流路相对应的旁路流路，其特征在于，所述流量计具有：分流节流孔，设于所述传感器流路的入口侧；和主节流孔，设于所述旁路流路中，当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，所述主节流孔的有效截面积的变化倾向与所述分流节流孔的有效截面积的变化倾向是相同的。

关于上述流量计，一旦流体压力变动，主节流孔的有效截面积和分流节流孔的有效截面积就变化。此时，分流节流孔的有效截面积与主节流孔的有效截面积以相同的倾向变化。因此，即使流体压力，流过分流节流孔的流体的流量与流过主节流孔的流体的流量的分流比的变动也很小。由此，即使基于规定的分流比和由传感器检测出的流量计算出整体流量，也能够抑制因流体压力的变动而产生的传感器输出的偏差。由此，上述流量计能够抑制因流体压力的变动而导致传感器输出的精度降低的情况。

(2)在上述(1)所述的流量计中，优选的是，当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，在所述流体压力为负压的区域中，所述分流节流孔的有效截面积以朝向左而逐渐下降的方式变化，当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，在所述流体压力为负压的区域中，所述主节流孔的有效截面积以朝向左而逐渐下降的方式变化。

在流体压力为负压的区域中，分流节流孔根据节流孔的孔大小、数量等而有效截面积的变化倾向不同。此外，主节流孔也会根据小径部的长度等而有效截面积的变化倾向不同。因此，在流体压力为负压的区域中，将有效截面积的变化倾向以朝向左而逐渐降低的方式变化的主节流孔与分流节流孔组合来设置流量计。由此，即使流体压力在负压的区域中变动，流量计也能够有效地抑制分流比的变动。

(3)在上述(1)或(2)所述的流量计中，优选的是，所述主节流孔为喷嘴状，且沿管路轴方向的长度是相对于管路轴正交方向上的流路直径的2倍以上；所述分流节流孔具有多个孔。

流体流过喷嘴形的主节流孔时，比流过在薄板上形成圆形孔而成的节流孔时，管摩擦阻抗大。因此，喷嘴形的主节流孔比板状的节流孔压力损失大。另一方面，关于分流节流孔，即使开口面积相同，与具有1个孔的情况相比，具有多个孔的情况下，流体与孔的内壁相接触的面积更大。因此，分流节流孔在形成多个孔时比形成1个孔时压力损失大。因此，流量计在使主节流孔为喷嘴形的情况下，通过使用具有多个孔的分流节流孔，能够使主节流孔与分流节流孔的有效截面积的变化倾向相同。

(4)在上述(1)至(3)中任一项所述的流量计中，优选的是，通过亚音速区域的公式计算所述有效截面积。

用于在亚音速区域中计算出有效截面积的公式被认为在负压区域中不能充分发挥作用。但是，通过该公式能够掌握某种倾向，本发明正是利用该定性的倾向。即，根据上述流量计，能够利用公知的亚音速区域的公式简单地求得分流节流孔与主节流孔的有效截面积的变化倾向。

(5)在上述(1)至(4)中任一项所述的流量计中，优选的是，所述主节流孔具有小径部，该小径部的长度为9mm以上；所述分流节流孔在小流量用时具有9个直径为0.2mm的孔，在大流量用时具有7个直径为0.15mm的孔。

上述流量计的小流量用分流节流孔与大流量用分流节流孔相比，虽然开口面积大、但是流体不容易流动。其理由虽然并不知晓，但是通过实验能够获得该流量特性。因此，流量计根据流体的流量而区分使用小流量用分流节流孔和大流量用分流节流孔，由此从小流量到大流量都能够精度良好地进行测定。

发明效果

因此，根据本发明，能够提供一种流量计，该流量计能够抑制因流体压力的变动导致传感器输出的精度降低的情况。

附图说明

图1是本发明实施方式的流量计的流路剖面图。

图2是分流节流孔的层叠构造的示意图。

图3是小流量用的分流节流孔的孔周围的俯视图。

图4是大流量用的分流节流孔的孔周围的俯视图。

图5是表示分流节流孔的流量特性的图表。

图6是表示主节流孔的流量特性的图表。

图7是表示传感器输出特性的一例的图表。

具体实施方式

参照附图，对本发明的流量计的实施方式详细地进行说明。

(流量计的简要结构)

图1是流量计1的流路剖面图。流量计1大体上由阀体10和传感器基板20构成。传感器基板20以封堵在阀体10的上表面开口的流路空间18的方式隔着密封圈23配置于阀体10的上表面，并用螺钉将基板压板22固定于阀体10，由此传感器基板20被紧密贴合于阀体10。

在阀体10的两端面形成有输入口11和输出口15。输入口11经由流入流路12、节流孔流路13、流出流路14、传感器流路16而连通于输出口15。

输入口11、流入流路12、节流孔流路13、流出流路14、以及输出口15形成在同轴上。流入流路12从输入口11起朝着阀体10的中央部形成且形成为有底圆筒形状。流出流路14从输出口15起朝着阀体10的中央部形成且形成为有底圆筒形状。节流孔流路13的与管路轴正交方向上的截面形状形成为圆筒形状。

流入流路12的流路直径A与流出流路14的流路直径B相同。节流孔流路13的流路直径C比流路直径A、B小。节流孔流路13的沿管路轴方向的长度L是流路直径C的2倍以上。需要说明的是，从流入流路12的与传感器流路16连接的部分的下游侧起到流出流路14的与传感器流路16连接的部分的上游侧的流路是旁路流路的一例。此外，节流孔流路13是主节流孔及主节流孔的小径部的一例。

传感器流路16具有：与流入流路12垂直地连接的上游侧流路17；与流出流路14垂直地连接的下游侧流路19；和将上游侧流路17与下游侧流路19连接起来的流路空间18。传感器片21设于传感器基板20，并架设于流路空间18中。需要说明的是，传感器片21是传感器的一例。

上游侧流路17与下游侧流路19以相同的直径设置。上游侧流路17的流路直径D比节流孔流路13的流路直径C小。分流节流孔30配置于上游侧流路17。即，分流节流孔30配置于传感器片21的上游侧。

如图2所示，分流节流孔30由节流孔板31、衬垫32、过滤板33层叠而构成。具体地说，在节流孔板31与过滤板33之间配置多个衬垫32，确保用于被测定流体(流体的一例)顺畅地流过节流孔板31的间隙。而且，过滤板33与衬垫32交替地配置。传感器流路16中，混入了被测定流体中的异物由过滤板33除去。因此，能够避免流路空间18的内壁与传感器片21之间的细小空间被异物堵塞。

分流节流孔30根据被测定流体的流量而将图3所示的小流量用节流孔板31和图4所示的大流量用节流孔板35区分使用。节流孔板31、35均以管路轴为中心形成有多个孔31a、35a。图3所示的节流孔板31具有9个直径为0.2mm的孔31a。图4所示的节流孔板35具有7个直径为0.15mm的孔35a。基于此，分流节流孔30在使用小流量用节流孔板31的情况下比使用大流量用节流孔板35的情况下开口面积大。

上述流量计1由于节流孔流路13的流路直径C比流入流路12的流路直径A小，所以在节流孔流路13内引起压力下降。因此，流入了流入流路12的被测定流体的一部分会确实地流入传感器流路16。由此，流入了流入流路12的被测定流体被分流成向传感器流路16的分流节流孔30流入的部分和流入节流孔流路13的部分。此时，被测定流体以在传感器流路16中产生的传感器侧阻抗(分流节流孔30的上游侧压力与下游侧压力的压力差)与在节流孔流路13中产生的旁路侧阻抗(节流孔流路13的上游侧压力与下游侧压力的压力差)相平衡的流量流入传感器流路16。然后，在传感器流路16中流过的被测定流体与在节流孔流路13中流过的被测定流体在流出流路14汇流，并经由输出口15流出到流量计1之外。

传感器基板20通过传感器片21对在传感器流路16中流过的被测定流体的流量进行测量。传感器基板20基于规定的分流比将由传感器片21测量出的被测定流体的流量换算成整体流量。传感器基板20与计算出的整体流量成比例地输出信号。

(关于分流节流孔与主节流孔的流量特性)

本发明的发明人们进行了调查流体压力与分流节流孔的有效截面积之间关系的第一试验、和调查流体压力与主节流孔的有效截面积之间关系的第二试验。在第一试验和第二试验中，使用了从上游侧起依次配置了调节器、压力传感器、MFC(质量流量控制器)、上游侧压力传感器、作为试验对象的流量计、下游侧压力传感器、可变节流器、真空泵的试验装置。

在第一及第二试验中，使用了空气作为被测定流体。然后，在第一及第二试验中，通过调节器将供给至MFC的空气的一次侧压力调整为0.3MPa。然后，通过MFC将空气的流量控制成恒定流量。然后通过可变节流器使作为试验对象的流量计的上游侧压力与下游侧压力变化。然后，通过上游侧压力传感器测定作为试验对象的流量计的上游侧压力P1，并通过下游侧压力传感器测定作为试验对象的流量计的下游侧压力P2。使温度T为恒定。然后，将上游侧压力P1和下游侧压力P2适用于下述的数学式1所示的亚音速区域的公式和下述的数学式2所示的音速区域的公式，逆运算出有效截面积。其中，Q为流量(L/min)，P1为上游侧压力(MPa)，P2为下游侧压力(MPa)，T为温度(K)，S为有效截面积(mm²)。此外，下述数学式1所示的亚音速区域的公式使用于(P2+0.1)/(P1+0.1)＞0.5的情况。下述数学式2所示的音速区域的公式使用于(P2+0.1)/(P1+0.1)≦0.5的情况。

【数学式1】

【数学式2】

此处，用于在亚音速区域或音速区域计算有效截面积的公式(数学式1、数学式2)被认为在负压区域中不能充分起作用。但是，通过这些公式能够掌握某种倾向。因此，在第一试验和第二试验中，从数学式1所示的亚音速区域的公式和数学式2所示的音速区域的公式逆运算出有效截面积，从而掌握有效截面积的定性的倾向。

在第一试验中，作为试验对象的流量计，使用了除分流节流孔外构造均相同的第一对象产品、第二对象产品、和第三对象产品。第一对象产品使用了具有1个直径为0.4mm的孔的第一分流节流孔。第二对象产品使用了具有1个直径为0.6mm的孔的第二分流节流孔。第三对象产品使用了具有9个直径为0.2mm的孔的第三分流节流孔。第一试验的结果如图5所示。图5的纵轴表示有效截面积的变化(％)，横轴表示流体压力(MPa)。流体压力是供给至第一至第三对象产品的空气的流体压力(上游侧压力P1)。有效截面积的变化是：相对于流体压力(上游侧压力P1)为0MPa(大气压)时计算出的分流节流孔的有效截面积的有效截面积的变化比例。

第二分流节流孔与第三分流节流孔的孔的数量不同，但是开口面积相同。然而，如图5所示，关于第二分流节流孔，在流体压力为负压的区域中，有效截面积的变化倾向为随着向左而逐渐升高。与此相对，关于第三分流节流孔，在流体压力为负压的区域中，有效截面积的变化倾向为随着向左而逐渐下降。该流量特性的不同被认为起因于：与1个孔相比，多个孔的那一方与空气接触的面积大，空气不容易流动。

另一方面，第一分流节流孔与第二分流节流孔的孔数量均是1个，是相同的。但是，第二分流节流孔的开口面积比第一分流节流孔大。常识上认为，第二分流节流孔的有效截面积比第一分流节流孔大，流体易于流动。但是，第一试验的结果如图5所示，与第一分流节流孔相比，第二分流节流孔在流体压力为负压的区域中有效截面积的增加比例小。即，第二分流节流孔虽然开口面积比第一分流节流孔大，但流体还是不容易流动。

通过上述第一试验的结果，本发明的发明人们确认了：根据分流节流孔的开口面积和孔的数量，流体压力变动时有效截面积的变化倾向是不同的。

与此相对，在第二试验中，作为试验对象的流量计，使用了除主节流孔外构造均相同的第四对象产品和第五对象产品。第四对象产品和第五对象产品中，流入流路12、节流孔流路13以及流出流路14的流路直径是相同的，且主节流孔配置于节流孔流路13。第四对象产品使用了厚度(小径部的沿管路轴方向的长度)为9.4mm的喷嘴形的第一主节流孔。第五对象产品使用了厚度(小径部的沿管路轴方向的长度)为1mm的板状的第二主节流孔。第一主节流孔与第二主节流孔的节流孔径相同。第二试验的结果如图6所示。图6的纵轴表示有效截面积的变化(％)，横轴表示流体压力(MPa)。流体压力是供给至第四至第五对象产品的空气的流体压力(上游侧压力P1)。有效截面积的变化是相对于流体压力(上游侧压力P1)为0MPa时计算出的主节流孔的有效截面积的变化比例。

如图6所示，关于第二主节流孔，在流体压力为负压的区域中，有效截面积的变化倾向为朝向左而逐渐升高。与此相对，关于第一主节流孔，在流体压力为负压的区域中，有效截面积的变化倾向为朝向左而逐渐下降。这样的不同被认为起因于：主节流孔的小径部的长度越长，在流体与主节流孔的内壁之间产生的管摩擦阻抗就越大，流体就越不容易流动。

通过上述第二试验的结果，本发明的发明人们确认了：根据主节流孔的小径部的长度，流体压力变动时有效截面积的变化情况是不同的。

(关于主节流孔与分流节流孔的组合)

针对组合了第一主节流孔与第二分流节流孔的第一比较例、和组合了第一主节流孔与第三分流节流孔的第一实施例，研究流体压力与分流比之间的关系。

第一比较例中，在流体压力为负压的区域中，第一主节流孔的有效截面积的变化倾向为朝向左而逐渐下降，第二分流节流孔的有效截面积的变化倾向为朝向左而逐渐升高。即，第一主节流孔与第二分流节流孔的有效截面积的变化倾向相反。因此，在第一比较例中，流体压力从0MPa起越是降低，第一主节流孔的有效截面积就越小，反之，第二分流节流孔的有效截面积就越大。

其结果是，在第一比较例中，流体压力一旦从0MPa变动至负压，在第一主节流孔，空气不容易流动，而在第二分流节流孔，空气易于流动。因此，在第一比较例中，流体压力为0MPa时与流体压力为负压时，第二分流节流孔侧的阻抗与第一主节流孔侧的阻抗的平衡被大幅打破。即，在第一比较例中，流体压力为0MPa时与流体压力为负压时，分流比的变动变大。因此，根据流体压力的变动，基于规定的分流比和由传感器片21测量出的流量计算出的整体流量会有变动，传感器输出的偏差变大。

例如，流入第二分流节流孔的空气与流入第一主节流孔的空气的分流比在流体压力为0MPa时为三分之一与三分之二，但在流体压力为负压的区域中，例如会变化为五分之二与五分之三。因此，传感器片21所测量的流量会变动，传感器输出会产生偏差。

与此相对，在第一实施例中，在流体压力为负压的区域中，第一主节流孔的有效截面积的变化倾向与第三分流节流孔的有效截面积的变化倾向均为朝着左而逐渐下降，是相同的。因此，在第一实施例中，流体压力一旦从0MPa起下降，第一主节流孔的有效截面积和第三分流节流孔的有效截面积均变小。

其结果是，在第一实施例中，流体压力一旦从0MPa起变动至负压，在第一主节流孔中和第三分流节流孔中，空气都变得不容易流动。因此，在第一实施例中，流体压力为0MPa时和流体压力为负压时，第三分流节流孔侧的阻抗与第一主节流孔侧的阻抗的平衡没有被大幅打破。即，在第二实施例中，流体压力为0MPa时和流体压力为负压时，分流比近似。因此，由于流体压力的变动，基于规定的分流比和由传感器片21测量出的流量计算出的整体流量不容易变动，传感器输出的偏差小。

本发明的发明人们针对第一比较例测量流体压力为0MPa时的传感器输出与流体压力为-0.07MPa时的传感器输出，与满量程最大流量相对应的精度偏移了12％(+12％F.S.)。而另一方面，本发明的发明人们针对第一实施例测量流体压力为0MPa时的传感器输出与流体压力为-0.07MPa时的传感器输出，与满量程最大流量相对应的精度偏移了3.7％(+3.7％F.S.)。因此可知，第一实施例相对于第一比较例而言，将传感器输出的精度差抑制到了三分之一左右。

进一步，本发明的发明人们利用上述第一比较例和第一实施例针对流体压力为0MPa时与流体压力为正压时调查传感器输出的差别。其结果是，第一比较例中，与满量程最大流量相对应的精度偏移了-6％(-6％F.S.)。然而在第一实施例中，与满量程最大流量相对应的精度偏移了-2.1％(-2.1％F.S.)。由此可知，第一实施例中，在流体压力为正压的区域中也能够相对于第一比较例将传感器输出的差别抑制在三分之一左右。

因此，流体压力在正压的区域和在负压的区域，均使主节流孔与分流节流孔的有效截面积的变化倾向相同，由此能够抑制随着流体压力的变动而在传感器输出的精度上产生偏差。

另外，在使用第二主节流孔的情况下，由于使用第一分流节流孔，所以在流体压力为负压的区域中，第一主节流孔与第一分流节流孔的有效截面积的变化倾向为朝向左而逐渐升高，是相同的。在该情况下，与上述一样，由于流体压力的变动所引起的分流比的变化变小，因此能够抑制传感器输出的精度降低。另外，第二分流节流孔同样地在流体压力为负压的区域中，有效截面积的变化倾向为朝向左而逐渐升高。但是，与第二分流节流孔相比，第一分流节流孔那一方的有效截面积的变化倾向更接近于第二主节流孔的有效截面积的变化倾向。因此，通过对第二主节流孔组合第一分流节流孔，能够使有效截面积的变化倾向近似，从而更有效地抑制分流比的变动，从而能够抑制传感器输出的精度降低。

本方式中，流量计1具有架设了用于测量流量的传感器片21的传感器流路16，此外还具有与传感器流路16相对应的旁路流路(流入流路12、节流孔流路13、流出流路14)，在该流量计1中，其特征在于，具有：在传感器流路16的入口侧设置的分流节流孔30；和设于旁路流路中的节流孔流路13(主节流孔)，当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，节流孔流路13(主节流孔)的有效截面积的变化倾向与分流节流孔30的有效截面积的变化倾向是相同的，因此，能够抑制因流体压力的变动而导致的传感器输出的精度降低的情况。

特别是，流量计1的特征在于：在纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，在流体压力为负压的区域中，分流节流孔30的有效截面积以朝向左而逐渐下降的方式变化；在纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，在流体压力为负压的区域中，节流孔流路13(主节流孔)的有效截面积以朝向左而逐渐下降的方式变化，因此，即使流体压力在负压的区域发生变动，也能够有效地抑制分流比的变动。

此外，流量计1根据亚音速区域的公式(上述数学式1)和音速区域的公式(上述数学式2)计算有效截面积。如上所述，用于在亚音速区域和音速区域中计算出有效截面积的公式被认为在负压区域中不能充分发挥作用，但是根据该公式能够掌握某种倾向。本方式正是利用了该定性的倾向。即，根据本方式的流量计1，利用公知的亚音速区域的公式能够简单地求得分流节流孔与主节流孔的有效截面积的变化倾向。

此外，流量计1的特征在于：节流孔流路13的沿管路轴方向的长度(主节流孔的小径部的长度)为9mm以上；分流节流孔30在小流量用的情况下具有9个直径为0.2mm的孔；在大流量用的情况下具有7个直径为0.15mm的孔，因此，由于根据被测定流体的流量而区分使用小流量用的分流节流孔和大流量用的分流节流孔，所以从小流量到大流量都能够精度良好地进行测定。

具体而言，例如图7所示，流量越多，正压流体与负压流体的传感器输出越容易产生偏差。这意味着不仅根据流体压力，根据流量，分流比也会变动。因此，关于分流节流孔30，由于根据流量而区分使用小流量用节流孔板31和大流量用节流孔板35，因此能够更有效地抑制传感器输出的偏差。

另外，本实施方式只不过是例示，并非对本发明的限定。因此，本发明当然能够在不脱离其主旨的范围内进行各种改进和变形。

例如，分流节流孔30也可以不仅仅是配置在传感器流路16的入口侧(上游侧流路17)，还可以也配置在出口侧(下游侧流路19)。由此，在对于流量计1而言流体双方向流动时，也能够抑制因流体压力的变动而引起的传感器输出的精度降低的情况。

例如，也可以是，使节流孔流路13的流路直径C与流入流路12的流路直径A相同，并配置与阀体10分体的主节流孔。在该情况下，主节流孔可以是小径部的沿管路轴方向的长度L相对于与管路轴方向正交方向的流路直径不足2倍的板状节流孔，也可以是长度L相对于流路直径为2倍以上的喷嘴形的节流孔。

例如，分流节流孔30可以由小流量用节流孔板31和大流量用节流孔板35的任一构成，从而省略衬垫32和过滤板33。

例如，分流节流孔30的平面形状可以不是圆形，也可以是矩形。

附图标记说明

1 流量计

13 节流孔流路

16 传感器流路

30 分流节流孔

31a 孔

35a 孔

C 流路直径

L 沿管路轴方向的长度

Claims (5)

1.一种流量计，包括架设了用于测量流量的传感器的传感器流路，还包括与所述传感器流路相对应的旁路流路，其特征在于，

所述流量计具有：分流节流孔，设于所述传感器流路的入口侧；和主节流孔，设于所述旁路流路中，

当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，所述主节流孔的有效截面积的变化倾向与所述分流节流孔的有效截面积的变化倾向是相同的。

2.根据权利要求1所述的流量计，其特征在于，

当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，

在所述流体压力为负压的区域中，所述分流节流孔的有效截面积以朝向左而逐渐下降的方式变化，

当纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，

在所述流体压力为负压的区域中，所述主节流孔的有效截面积以朝向左而逐渐下降的方式变化。

3.根据权利要求1或2所述的流量计，其特征在于，

所述主节流孔为喷嘴状，且沿管路轴方向的长度是相对于管路轴正交方向上的流路直径的2倍以上；

所述分流节流孔具有多个孔。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流量计，其特征在于，

通过亚音速区域的公式计算所述有效截面积。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流量计，其特征在于，

所述主节流孔具有小径部，该小径部的长度为9mm以上；

所述分流节流孔在小流量用时具有9个直径为0.2mm的孔，在大流量用时具有7个直径为0.15mm的孔。