JPH10307047A

JPH10307047A - 燃焼ガス流量測定装置

Info

Publication number: JPH10307047A
Application number: JP9115932A
Authority: JP
Inventors: Katsusuke Shimada; 勝介島田; Takashi Tsumura; 高志津村
Original assignee: Hibino & Co Ltd; Azbil Corp
Current assignee: Hibino & Co Ltd; Azbil Corp
Priority date: 1997-05-06
Filing date: 1997-05-06
Publication date: 1998-11-17
Anticipated expiration: 2017-05-06
Also published as: JP3630916B2

Abstract

(57)【要約】【課題】流量センサに汚れが付着し、長期間の使用で
センサ性能を劣化させるなどの課題があった。【解決手段】主管路３と、主管路３を流れる燃焼ガス
の流れを絞る多孔オリフィスプレート５と、多孔オリフ
ィスプレート５の上流側と下流側とにそれぞれ開口部８
を有し両開口部８，８を連通する分流通路１１と、分流
通路１１に設けられたマイクロフローセンサ１２と、分
流通路１１を流れる燃焼ガスの流れを絞るオリフィスプ
レート１３とを備えたことにより、配管内部が粉塵やオ
イルミスト等で汚れていることの多い都市ガス、ＬＰＧ
等の燃焼ガスの流量を、応答速度が速く、微少流量まで
高精度に測定でき、マイクロフローセンサ１２の経時変
化を有効に防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、工業用あるいは
家庭用の都市ガス、ＬＰＧなどの燃焼ガスの流量を測定
する燃焼ガス流量測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】第１の従来技術として、例えば、実開平
１−５８１１８号公報には、流体振動素子における絞り
部内に熱式フローセンサを設置し、これにより検出され
た流体の流速から流量を演算する流体振動型流量計が開
示されている。

【０００３】また、第２の従来技術として、ガス流路か
らキャピラリ管を用いて分流し、この分流したガスの流
れを、キャピラリ管の外周に設けた２つの熱線から奪わ
れる熱量を検出することで当該ガス流路のガス流量を測
定する、いわゆるキャピラリ方式によるガス流量測定手
段が知られている。かかるキャピラリ管は、層流を得る
ため、その内径を約１ｍｍ程度に細く形成してある。

【０００４】さらに、第３の従来技術として、例えば、
特許２５１７４０１号公報には、フルイディック流量計
と熱式流速センサとからなる複合流量計に関し、被測定
流体を分流させるためのバイパス流路を設けて、そのバ
イパス流路内に熱式流速センサを配置したものが開示さ
れている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の燃焼ガス流量測
定装置は以上のように構成されているので、第１の従来
技術を都市ガスやＬＰＧの配管で使用する場合にあって
は、当該配管の内部は施工時の汚れ（例えば、配管継ぎ
手部分のねじ切り作業における切り屑や切削油）がその
まま残されていることが多く、かかる汚れがガスの流れ
によって粉塵やオイルミストとしてフローセンサに付着
し、長期間の使用によってセンサの性能を劣化させるな
どの課題があった。

【０００６】また、第２の従来技術にあっては、キャピ
ラリ方式の構造上、比較的寸法が大きくならざるを得な
いことから熱容量も大きくなるため、応答速度が遅く、
また微少流量の測定が困難であるなどの課題があった。
さらに、キャピラリ管の中で層流を得るべく、その内径
を約１ｍｍ程度に細く形成してあるため、前述した粉塵
やオイルミストなどによって管が詰まりやすい都市ガス
などには、当該測定手段を使用し難いなどの課題もあっ
た。

【０００７】さらに、第３の従来技術にあっては、バイ
パス流路内に熱式流速センサを配置して流量を求めてい
るものの、分流比を精度良く保って高精度の測定を行う
手段が開示されていないなどの課題もあった。

【０００８】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、配管内部が粉塵やオイルミストな
どで汚れていることの多い、工業用あるいは家庭用の都
市ガス、ＬＰＧなどの燃焼ガスの流量を、応答速度が速
く、微少流量まで高精度に測定できると共に、長期間使
用しても性能劣化しにくい燃焼ガス流量測定装置を得る
ことを目的とする。

【０００９】また、この発明は、分流比を安定に保ち、
外部に接続する配管形状にかかわらず、高精度な測定を
行える燃焼ガス流量測定装置を得ることを目的とする。

【００１０】さらに、この発明は、長期間使用しても性
能劣化しにくい簡易な構造の燃焼ガス流量測定装置を得
ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る燃焼ガス流量測定装置は、主管路と、前記主管路を流
れる燃焼ガスの流れを絞る第１の絞り部と、前記主管路
における前記第１の絞り部の上流側と下流側とにそれぞ
れ開口部を有し両開口部を連通する分流通路と、前記分
流通路に設けられたマイクロフローセンサと、前記分流
通路を流れる燃焼ガスの流れを絞る第２の絞り部とを備
えたものである。

【００１２】請求項２記載の発明に係る燃焼ガス流量測
定装置は、第１の絞り部は、複数の孔を有する多孔オリ
フィスを用いたものである。

【００１３】請求項３記載の発明に係る燃焼ガス流量測
定装置は、主管路の中央部付近に拡径部を備え、前記拡
径部に第１の絞り部と分流通路の開口部とを設けたもの
である。

【００１４】請求項４記載の発明に係る燃焼ガス流量測
定装置は、分流通路の一部を、少なくともマイクロフロ
ーセンサの上流側で折り曲げて形成したものである。

【００１５】請求項５記載の発明に係る燃焼ガス流量測
定装置は、環状室を設けることによって分流通路の一部
を折り曲げて形成したものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による燃
焼ガス流量測定装置を示す断面図、図２は図１のＡ−Ａ
断面図、図３は多孔オリフィスプレートを示す平面図で
ある。図において、１及び２は同一形状に形成され、後
述する多孔オリフィスプレート５を挟んで配置し一体に
構成した第１の流路ブロック及び第２の流路ブロック、
３は燃焼ガスが流れる主管路、３ａは主管路３の内径を
拡大して形成した拡大径部、４は主管路３と接続される
配管、５は図３にも示すように円形の６つの孔５ａを同
一円周上に有する多孔オリフィスプレート（第１の絞り
部）であり、第１の流路ブロック１と第２の流路ブロッ
ク２とによって挟まれて固定されている。

【００１７】６は図１及び図２に示すように隔壁７と多
孔オリフィスプレート５とによって環状の空間として形
成された環状室であり、隔壁７の先端部と多孔オリフィ
スプレート５との間に隙間として設けられた開口部８に
よって主管路３と連通させてある。９は配管（分流通
路）１０を介して第１の流路ブロック１及び第２の流路
ブロック２と接続される第３の流路ブロックであり、多
孔オリフィスプレート５の上流及び下流の開口部８，８
を連通することによって、主管路３を流れる燃焼ガスの
流れを分岐する分流通路１１を備えている。したがっ
て、上述した環状室６はこの分流通路１１の一部をなし
ており、燃焼ガスが当該環状室６内を流れてから第３の
流路ブロック９に至るように構成されている。

【００１８】１２は第３の流路ブロック９の分流通路１
１内に測定部を露出して設けられ燃焼ガスの流量を測定
するマイクロフローセンサであり、当該測定部に接して
流れる燃焼ガスによって当該測定部に引き起こされる熱
移動を検出することで、相対的な流速を極めて速い応答
速度でしかも微少流量範囲まで検出するものである。こ
のマイクロフローセンサ１２は、本出願人が特願平３−
１０６５２８号公報で開示した半導体ダイアフラム構成
をとるものを採用している。なお、マイクロフローセン
サ１２には、これを動作させるための図示しない所定の
回路や測定結果を表示する表示手段などが接続されてい
る。

【００１９】１３は分流通路１１内であってマイクロフ
ローセンサ１２の上流側に設けられ燃焼ガスの流れを絞
る多孔または単孔のオリフィスプレート（第２の絞り
部）である。すなわち、このオリフィスプレート１３
は、多孔オリフィスプレート５と同一形式の絞り手段た
るオリフィスとして採用することにより、多孔オリフィ
スプレート５と共に燃焼ガスの分流比を精度良く安定に
保つためのものである。なお、図１において、矢印は燃
焼ガスの流れを示している。

【００２０】次に動作について説明する。燃焼ガスは、
図１の矢印で示すように、上流側の配管４から第１の流
路ブロック１の主管路３に入り、拡径部３ａで上流側配
管４の形状にかかわらず常に乱流状態となる。そのた
め、配管４の形状にかかわらず、分流比を一定に保つこ
とができ、安定した測定を可能にする。燃焼ガスの大部
分は、多孔オリフィスプレート５の孔５ａを通ることに
よって絞られ、第２の流路ブロック２の拡径部３ａに入
り、配管４へと流れる。また、燃焼ガスの一部は、第１
の流路ブロック１の開口部８から環状室６に入ることで
主流から分岐され、分流通路１１に入る。そして、配管
１０を経てオリフィスプレート１３でさらに絞られてか
ら、マイクロフローセンサ１２の測定部に直接接触し、
この流れによって当該測定部に引き起こされる熱移動を
検出することで、相対的な流速が極めて速い応答速度で
しかも微少流量範囲まで検出される。検出された流速
は、図示しない表示手段によって表示される。

【００２１】ここで、燃焼ガスは、同一形式の絞り手段
たる多孔オリフィスプレート５とオリフィスプレート１
３とによって絞られているので、この両者において温度
変化などによる絞り特性の変化がほぼ同様の挙動を示す
ことになる。そのため、分流比の変化をきわめて小さく
でき、高い測定精度を得ることができる。また、燃焼ガ
スは環状室６内を流れてから第３の流路ブロック９のマ
イクロフローセンサ１２に至るため、環状室６での慣性
集塵効果（ガス流が流路の折り曲げ部分で方向を変えら
れるとき、ガス流とともに流れて来た塵は、自身が持つ
慣性によって直進し、折り曲げ部の壁面に衝突して捕捉
されることを言う）により、ガス中に含まれる粉塵やオ
イルミストなどがマイクロフローセンサ１２に到達しに
くくなり、マイクロフローセンサ１２の経時変化を有効
に防止する。さらに、配管１０や分流通路１１が当該粉
塵などによって詰まることを有効に防止する。マイクロ
フローセンサ１２を通過した燃焼ガスは、再び配管１０
を経て第２の流路ブロック２の環状室６に入り、開口部
８から主流に合流する。

【００２２】続いて、実験による動作例を図４ないし図
９に基づいてさらに詳しく説明する。ここで、図４は単
孔オリフィスプレートを示す平面図であり、図におい
て、１５は１つの孔１５ａを有する単孔オリフィスプレ
ートである。また、以下に示す比較実験を行うため、次
のような条件を設定した。すなわち、単孔オリフィスプ
レート１５の寸法は８０ｍｍ×８０ｍｍ、厚さ０．５ｍ
ｍであり、その孔１５ａは直径１２ｍｍの丸孔、開口面
積が１１３．１ｍｍ² である。また、図３に示した多孔
オリフィスプレート５の寸法は８０ｍｍ×８０ｍｍ、厚
さ０．５ｍｍであり、その６つの孔５ａは直径４．９ｍ
ｍの丸孔、開口面積が１１３．１ｍｍ² である。

【００２３】また、図５は燃焼ガス流量測定装置の上流
及び下流の配管構成が直管の場合を示す側面図、図６は
燃焼ガス流量測定装置の上流及び下流の配管構成が曲管
の場合を示す側面図である。図５において、配管４は直
管として構成し、また図６においては曲管として構成し
た。図において、Ｌ１〜Ｌ３は配管４の各部の寸法であ
り、Ｌ１＝２５０ｍｍ、Ｌ２＝４０ｍｍ、Ｌ３＝２７０
ｍｍである。なお、図５及び図６においては、第３の流
路ブロック９の図示を省略してある。

【００２４】以上のような条件の下で、単孔オリフィス
プレート１５及び多孔オリフィスプレート５における流
量とセンサ出力との関係と、オリフィス条件及び配管構
成条件の相違による流量とセンサ出力の振幅との関係を
図示例に基づいて考察する。ここで、図７は単孔オリフ
ィスプレートを使用した場合の流量とセンサ出力との関
係を示すグラフ図、図８は多孔オリフィスプレートを使
用した場合の流量とセンサ出力との関係を示すグラフ
図、図９はオリフィス条件及び配管構成条件の相違によ
る流量とセンサ出力の振幅との関係を示すグラフ図であ
る。図７において、縦軸はマイクロフローセンサ１２の
検出値に対応する出力電圧（Ｖ）であり、横軸は燃焼ガ
スの流量（ｍ³ ／ｈ）、白丸は配管４を図５に示した直
管とした場合、黒丸は配管４を図６に示した曲管とした
場合を示している。

【００２５】また、図８において、縦軸はマイクロフロ
ーセンサ１２の検出値に対応する出力電圧（Ｖ）であ
り、横軸は燃焼ガスの流量（ｍ³ ／ｈ）、白三角は配管
４を図５に示した直管とした場合、黒三角は配管４を図
６に示した曲管とした場合を示している。図７に示すよ
うに、単孔オリフィスプレート１５を使用すると、配管
４を直管とする場合と曲管とする場合とで出力電圧に差
が生じていることが分かる。これに対し、図８では多孔
オリフィスプレート５を使用したことにより、かかる出
力電圧の差は生じていないことが分かる。すなわち、多
孔オリフィスプレート５を使用した図１の構成を採用す
ることにより、配管４の形状が変わった場合の測定値に
与える影響をほとんどなくすことができ、測定の信頼性
が向上する。

【００２６】また、図９において、縦軸はマイクロフロ
ーセンサ１２の検出値に対応する出力電圧（ｍＶ）の振
幅であり、横軸は燃焼ガスの流量（ｍ³ ／ｈ）、白丸は
単孔オリフィスプレート１５を使用し配管４を図５に示
した直管とした場合、黒丸は単孔オリフィスプレート１
５を使用し配管４を図６に示した曲管とした場合、白三
角は多孔オリフィスプレート５を使用し配管４を図５に
示した直管とした場合、黒三角は多孔オリフィスプレー
ト５を使用し配管４を図６に示した曲管とした場合を示
している。図９から分かるように、多孔オリフィスプレ
ート５を使用した場合には、単孔オリフィスプレート１
５を使用した場合に比べて、各流量において振幅を小さ
くできると共に、配管４の形状が変わった時の振幅差を
いずれの流量においても小さくできる。したがって、高
精度の測定を行うことができ、しかもこれを配管形状に
かかわらず行うことができる。

【００２７】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、配管内部が粉塵やオイルミストなどで汚れているこ
との多い、工業用あるいは家庭用の都市ガス、ＬＰＧな
どの燃焼ガスの流量を、応答速度が速く、微少流量まで
高精度に測定できると共に、長期間使用しても性能劣化
しにくい燃焼ガス流量測定装置を得られる効果がある。
特に、燃焼ガスは、同一形式の絞り手段たる多孔オリフ
ィスプレート５とオリフィスプレート１３とによって絞
られているので、燃焼ガスの温度変化などによる分流比
の変化をきわめて小さくでき、高い測定精度を得ること
ができる効果がある。また、多孔オリフィスプレート５
を使用したことにより、外部に接続する配管４の形状に
かかわらず高精度の測定を行うことができる効果もあ
る。

【００２８】さらに、拡径部３ａを設けたことにより、
燃焼ガスが拡径部３ａで常に乱流状態となるので、配管
４の形状にかかわらず、安定した測定ができる効果があ
る。さらに、マイクロフローセンサ１２を主管路３では
なく分流通路１１内に設けたことにより、マイクロフロ
ーセンサ１２に対する粉塵やオイルミストなどの付着機
会を大幅に減少させることにより、経時変化を有効に防
止できる効果がある。さらに、燃焼ガスは環状室６内を
流れてから第３の流路ブロック９のマイクロフローセン
サ１２に至るため、ラビリンスと同様に環状室６での慣
性集塵効果により、燃焼ガス中に含まれる粉塵やオイル
ミストなどがマイクロフローセンサ１２に到達しにくく
なり、マイクロフローセンサ１２の経時変化を有効に防
止できる効果がある。特に、簡易な構造の環状室６を設
けることにより、当該慣性集塵効果を容易に得ることが
できる。

【００２９】なお、上記実施の形態１においては、多孔
オリフィスプレート５として、円形の孔５ａを同一円周
上に６つ設けるものとして説明したが、これに限られ
ず、孔５ａを図１０または図１１に示すような配置及び
個数にて形成し、同様の効果を得ることもできる。ここ
で、図１０及び図１１は他の多孔オリフィスプレートを
示す平面図である。さらに、孔５ａの形状も円形に限ら
れず、四角形その他の形状であってもよい。また、オリ
フィス以外に、ベンチュリ管やノズルなどの一般的な絞
り手段を採用してもよい。

【００３０】実施の形態２．上記実施の形態１は、第３
の流路ブロック９に分流通路１１の一部とマイクロフロ
ーセンサ１２とを設け、さらに配管１０を設けて構成し
たが、本実施の形態２は、第３の流路ブロック９を設け
ず、分流通路の一部とマイクロフローセンサとを第１の
流路ブロックに設けることにより配管を不要とし、装置
全体をコンパクトに構成したものである。図１２はこの
発明の実施の形態２による燃焼ガス流量測定装置を示す
分解斜視図である。なお、上記実施の形態１において示
した部材と同一の部材若しくは相当する部材には、同一
の符号を付して説明を省略する。

【００３１】図において、１６は燃焼ガスの流れを分岐
する分流通路、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄは分流
通路１６の開口部たる連通孔、１７は第１の流路ブロッ
ク１の上面に凹設された分流通路であり、中央部付近を
絞った形状に形成して、図示しないマイクロフローセン
サを設置するマイクロフローセンサ設置部を有してい
る。この分流通路１７は、図示しない蓋部材によって閉
塞されることとなる。１８は図示しないオリフィス（第
２の絞り部）を設置するオリフィス設置部、１９は連通
孔１６ｂに対応する連通孔である。なお、〜は第１
の流路ブロック１、第２の流路ブロック２及び多孔オリ
フィスプレート５を組み付ける場合において、それぞれ
の対応位置を示し、矢印は燃焼ガスの流れを示してい
る。

【００３２】次に動作について説明する。基本動作は上
記実施の形態１の場合と同様であり、燃焼ガスが分流通
路１６を流れる点において異なる。すなわち、図１２の
矢印で示すように、燃焼ガスの大部分は多孔オリフィス
プレート５の孔５ａを通ることによって絞られ、第２の
流路ブロック２の主管路３へと流れる。また、燃焼ガス
の一部は第１の流路ブロック１の主管路３から隔壁７を
越えて環状室６に入ることで主流から分岐され、連通孔
１６ａから分流通路１６に入る。そして、当該燃焼ガス
は、オリフィス設置部１８に設置された図示しないオリ
フィスによってさらに絞られてから、マイクロフローセ
ンサ設置部１７ａに設置された図示しないマイクロフロ
ーセンサの測定部に直接接触し、この流れによって当該
測定部に引き起こされる熱移動を検出することで、相対
的な流速が極めて速い応答速度でしかも微少流量範囲ま
で検出される。検出された流速は、図示しない表示手段
によって表示される。

【００３３】図示しないマイクロフローセンサを通過し
た燃焼ガスは、分流通路１６の連通孔１６ｂから多孔オ
リフィスプレート５の連通孔１９を通過し、さらに第２
の流路ブロック２の連通孔１６ｃから分流通路１６に入
り、連通孔１６ｄから環状室６を経て、主管路３の主流
に合流する。

【００３４】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、上記実施の形態１の場合と同様の効果が得られるほ
か、分流通路１６の一部と図示しないマイクロフローセ
ンサとを第１の流路ブロック１に設けることにより、実
施の形態１において使用した配管１０を不要として部材
点数を削減でき、さらに装置全体をコンパクトに構成で
きる効果が得られる。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、主管路と、前記主管路を流れる燃焼ガスの流れを
絞る第１の絞り部と、前記主管路における前記第１の絞
り部の上流側と下流側とにそれぞれ開口部を有し両開口
部を連通する分流通路と、前記分流通路に設けられたマ
イクロフローセンサと、前記分流通路を流れる燃焼ガス
の流れを絞る第２の絞り部とを備えて構成したので、配
管内部が粉塵やオイルミストなどで汚れていることの多
い、工業用あるいは家庭用の都市ガス、ＬＰＧなどの燃
焼ガスの流量を、応答速度が速く、微少流量まで高精度
に測定できると共に、長期間使用しても性能劣化しにく
い燃焼ガス流量測定装置を得られる効果がある。

【００３６】請求項２記載の発明によれば、第１の絞り
部は、複数の孔を有する多孔オリフィスを用いて構成し
たので、外部に接続する配管形状にかかわらず高精度の
測定を行うことができる効果がある。

【００３７】請求項３記載の発明によれば、主管路の中
央部付近に拡径部を備え、前記拡径部に第１の絞り部と
分流通路の開口部とを設けて構成したので、燃焼ガスが
拡径部で常に乱流状態となるので、外部に接続する配管
形状にかかわらず、安定した測定ができる効果がある。

【００３８】請求項４記載の発明によれば、分流通路の
一部を、少なくともマイクロフローセンサの上流側で折
り曲げて形成して構成したので、ラビリンスと同様、慣
性集塵効果により、燃焼ガス中に含まれる粉塵やオイル
ミストなどがマイクロフローセンサに到達しにくくな
り、マイクロフローセンサの経時変化を有効に防止でき
る効果がある。

【００３９】請求項５記載の発明によれば、環状室を設
けることによって分流通路の一部を折り曲げて形成して
構成したので、簡易な構成によって慣性集塵効果を容易
に得ることができ、マイクロフローセンサの経時変化を
有効に防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１による燃焼ガス流量測
定装置を示す断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】多孔オリフィスプレートを示す平面図である。

【図４】単孔オリフィスプレートを示す平面図である。

【図５】燃焼ガス流量測定装置の上流及び下流の配管構
成が直管の場合を示す側面図である。

【図６】燃焼ガス流量測定装置の上流及び下流の配管構
成が曲管の場合を示す側面図である。

【図７】単孔オリフィスプレートを使用した場合の流量
とセンサ出力との関係を示すグラフ図である。

【図８】多孔オリフィスプレートを使用した場合の流量
とセンサ出力との関係を示すグラフ図である。

【図９】オリフィス条件及び配管構成条件の相違による
流量とセンサ出力の振幅との関係を示すグラフ図であ
る。

【図１０】他の多孔オリフィスプレートを示す平面図で
ある。

【図１１】他の多孔オリフィスプレートを示す平面図で
ある。

【図１２】この発明の実施の形態２による燃焼ガス流量
測定装置を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

３主管路３ａ拡径部５多孔オリフィスプレート（第１の絞り部）５ａ孔６環状室８開口部１０配管（分流通路）１１，１６，１７分流通路１２マイクロフローセンサ１３オリフィスプレート（第２の絞り部）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】燃焼ガスが流れる主管路と、前記主管路
に設けられ前記燃焼ガスの流れを絞る第１の絞り部と、
前記主管路における前記第１の絞り部の上流側と下流側
とにそれぞれ開口部を有し両開口部を連通することによ
って当該主管路を流れる前記燃焼ガスの流れを分岐する
分流通路と、前記分流通路内に測定部を露出して設けら
れ前記燃焼ガスの流量を測定するマイクロフローセンサ
と、前記分流通路内であって前記マイクロフローセンサ
の上流側に設けられ前記燃焼ガスの流れを前記第１の絞
り部と同一形式で絞る第２の絞り部とを備えた燃焼ガス
流量測定装置。
【請求項２】第１の絞り部は、複数の孔を有する多孔
オリフィスを用いたことを特徴とする請求項１記載の燃
焼ガス流量測定装置。
【請求項３】主管路の中央部付近の内径を当該主管路
の端部付近の内径よりも大きく形成した拡径部を備え、
前記拡径部に第１の絞り部と分流通路の開口部とを設け
たことを特徴とする請求項１または請求項２記載の燃焼
ガス流量測定装置。
【請求項４】分流通路の一部を、少なくともマイクロ
フローセンサの上流側で折り曲げて形成したことを特徴
とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載
の燃焼ガス流量測定装置。
【請求項５】分流通路の開口部に隣接する環状室を設
けることによって当該分流通路の一部を折り曲げて形成
したことを特徴とする請求項４記載の燃焼ガス流量測定
装置。