JP3340655B2 - 燃焼ガス流量測定装置 - Google Patents
燃焼ガス流量測定装置Info
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Description
Gなどの燃焼ガスの流量を測定するための燃焼ガス流量
測定装置に関するものである。
えば、特許第2517401号公報に開示された複合流
量計があり、この複合流量計では、フルイディック流量
計の本体に、当該本体の流体通路(主流路)を流れる流
体の流量を絞る絞り機構としてノズルを一体に設けると
共に、そのノズルの上流側と下流側とを連通するバイパ
ス流路を設け、このバイパス流路には熱式流速センサを
設けて、流体の流量を測定するようになっている。
定装置は以上のように構成され、流体流量の絞り機構と
して、フルイディック流量計の本体にノズルを一体に設
けているので、このノズルの仕様に応じて前記本体を製
造しなければならず、また、前記ノズルは仕様に応じた
ものを在庫しておく必要があり、コスト高になるなどの
課題があった。特に、前記本体をダイキャストなどの金
型成型法で製造する場合には、ノズルの仕様に応じた金
型を多数用意しておく必要があって、一層コスト高にな
るという課題があった。
めになされたもので、主管路を流れる流体の流量を絞る
第1のオリフィスと、主管路からの分流通路を流れる流
体の流量を絞る第2のオリフィスとを一枚のオリフィス
プレートで兼用させることができ、部品点数が減少して
組み立てを容易化でき、部品費用や組立費用の低減が図
れる燃焼ガス流量測定装置を提供することを目的とす
る。
が容易で、その加工工程および部品点数の減少が図れる
と共に、コスト低減が図れる燃焼ガス流量測定装置を提
供することを目的とする。
流量測定装置は、燃焼ガスが流れる主管路と、この主管
路に設けられて燃焼ガスの流れを絞る第1のオリフィス
と、この第1のオリフィスの上流側と下流側とに開口し
て前記主管路を流れる燃焼ガスの一部を第1のオリフィ
スの上流側から下流側にバイパスする分流通路と、この
分流通路に設けられた第2のオリフィスと、前記分流通
路内に設けられて熱の移動により燃焼ガスの流れを検出
する検出器とを備えた燃焼ガス流量測定装置において、
前記主管路を第1の主管路ブロックと第2の主管路ブロ
ックとに分離形成し、これらの第1の主管路ブロックと
第2の主管路ブロックとの間にオリフィスプレートを挟
み込んで固定すると共に、前記オリフィスプレートに
は、前記第1の主管路ブロックから第2の主管路ブロッ
クに向って流れる燃焼ガスの流れを絞る第1のオリフィ
ス孔と、前記第1の主管路ブロックから前記分流通路に
分流して第2の主管路ブロックに向う燃焼ガスの流れを
絞る第2のオリフィス孔とが設けられている構成とした
ものである。
第1と第2の主管路ブロックのいずれか一方にのみ分流
通路を設けたものである。
焼ガス流量測定装置を示す断面図であり、図において、
1は第1の主管路ブロック、2はその第1の主管路ブロ
ック1と組合せ合体すべき第2の主管路ブロックであ
り、これらの第1および第2の主管路ブロック1,2
は、それぞれが対称形状に分離形成されている。
て燃焼ガスが流れる上流側の主管路、1bはその主管路
1aの内径を拡大して形成された上流側の拡径部、2a
は第2の主管路ブロック2に設けられた下流側の主管
路、2bはその主管路2aの内径を拡大して形成された
下流側の拡径部であり、前記上流側の主管路1aには上
流側配管3がネジ込み接続され、且つ、前記下流側の主
管路2aには下流側配管4がネジ込み接続されている。
2とは別体の第1のオリフィスプレートであり、このオ
リフィスプレート5は前記2つの主管路ブロック1,2
間に挟み込み固定されている。5aは第1のオリフィス
プレート5に設けられた複数の第1のオリフィス孔であ
り、これらのオリフィス孔5aによって、前記上流側の
主管路1aから下流側の主管路2aに流れる燃焼ガスの
流量が絞られるようになっている。
におけるオリフィスプレート5側の周壁部に設けられて
第1の主管路ブロック1とオリフィスプレート5との間
に形成された上流側の環状室、7は第2の主管路ブロッ
ク2の拡径部2bにおけるオリフィスプレート5側の周
壁部に設けられて第2の主管路ブロック2とオリフィス
プレート5との間に形成された下流側の環状室であり、
それらの環状室6,7の内周壁部である環状の隔壁6
a,7aのそれぞれの先端とオリフィスプレート5との
間には、前記上流側の拡径部1bと環状室6とを連通す
る上流側の開口部8aと、前記下流側の拡径部2bと環
状室7とを連通する下流側の開口部8bとが設けられて
いる。
路ブロック、10はその流路ブロック9に設けられた分
流通路(バイパス路)であり、この分流通路10は上流
側の分流配管11と下流側の分流配管12とを介して上
流側の環状室6と下流側の環状室7とを連通している。
従って、上流側の主管路1aの拡径部1bを流れる燃焼
ガスは、その一部が上流側の開口部8aから環状室6a
→上流側の分流配管11→分流通路10→下流側の分流
配管12→下流側の環状室7を通って下流側の開口部7
aから下流側の主管路2aの拡径部2bにバイパスされ
るようになっている。
のオリフィスプレートであり、このオリフィスプレート
13は、前記分流通路10を流れる燃焼ガスの分流量を
絞ってその分流比を精度よく安定に保つための多孔また
は単孔のオリフィス孔を有している。
通路10内における第2のオリフィスプレート13の下
流側に測定部を露出させた検出器であり、この検出器1
4は、前記測定部に接して流れる燃焼ガスによって当該
測定部に引き起こされる熱移動を検出することで、相対
的な流速を極めて速い応答速度で微少流量範囲まで検出
するものである。
のものを用いることが可能であるが、図6〜図8に開示
した半導体ダイアフラム構成の流速センサを用いると、
高精度かつ高速応答でもって流量を検出することができ
る。
ダイアフラム構成の流速センサは、図6に示すように、
シリコン基板100の背面側中央部に表面側には連通し
ない開口101を異方向性エッチングで形成することに
より、シリコン基板100に薄肉状のダイアフラム10
2を形成し、このダイアフラム102の表面中央に薄膜
のヒータエレメント103を配設すると共に、そのヒー
タエレメント103の両側に薄膜の測温抵抗エレメント
104,105を配設し、さらにはシリコン基板100
の基板部分に周囲温度を測定する周囲温度測温抵抗エレ
メント106を配設した構成となっている。なお、図6
中の符号Sはダイアフラム102を貫通するスリットで
あって、ヒータエレメント103および測温抵抗エレメ
ント104,105を熱的に絶縁すべく設けられてい
る。また、ダイアフラム102の材質は窒化シリコンで
ある。
ント103と周囲温度測温抵抗エレメント106と固定
抵抗R1,R2とで構成されるホイストンブリッジ回路
を使って、ヒータエレメント103が周囲温度に対して
一定の温度上昇を示すようにヒータエレメント103を
加熱すると共に、図8に示すように、測温抵抗エレメン
ト104,105と固定抵抗R3,R4とで構成される
ホイストンブリッジ回路と、このホイストンブリッジ回
路の電圧バランスのくずれを検出する差動アンプとを使
って、流速センサ上を流れる燃焼ガスにより引き起こさ
れるヒータエレメント103の熱移動を検出すること
で、その燃焼ガスの流速を検出する構成となっている。
薄いダイアフラム102上に形成されていることから極
めて速い応答速度で燃焼ガスの流速を検出できると共
に、極めて低消費電力で動作するので、危険な燃焼ガス
の流速も検出できるという特徴がある。
ついて説明する。それぞれが別体の第1の主管路ブロッ
ク1と第2の主管路ブロック2との間に、これらとは更
に別体の第1のオリフィスプレート5を挟み込んで固定
することにより、それらを三位一体に組合せ合体させ
る。これにより、燃焼ガス流量測定装置の本体が組み立
てられる。
1aに上流側配管3を、且つ、第2の主管路ブロック2
の主管路2aに下流側配管4をそれぞれネジ込み接続す
ると共に、第2のオリフィスプレート13と検出器14
とを備えた第3の流路ブロック9を、上流側および下流
側の分流配管11,12を介して第1および第2の主管
路ブロック1,2の環状室6,7に接続することによ
り、燃焼ガス流量測定装置が組み立てられる。
図1に矢印で示すように、上流側配管3から第1の主管
路ブロック1の主管路1aを通って当該主管路1a(上
流側)の拡径部1bに入り、この拡径部1bでは燃焼ガ
スが常に乱流状態となる。そして、前記拡径部1bの燃
焼ガスは大部分が第1のオリフィスプレート5のオリフ
ィス孔5aを通ることにより絞られて第2の主管路ブロ
ック2の拡径部2bに入った後、下流側の主管路2aを
通って下流側配管4へと流れる。
の一部は、上流側の開口部8aから上流側の環状室6に
入り、上流側の分流配管11を通って第3の流路ブロッ
ク9の分流通路10を流れ、この分流通路10では第2
のオリフィスプレート13で流量が更に絞られてから、
検出器14の測定部(図6〜図8で説明したヒータエレ
メント103、測温抵抗エレメント104,105)に
直接接触して流れ、その流れによって引き起こされる前
記測定部の熱移動を検出することにより、第2のオリフ
ィスプレート13で絞られた燃焼ガスの流速が検出され
る。
は、下流側の分流配管12を通って下流側の環状室7に
入った後、下流側の開口部8bから第2の主管路ブロッ
ク2の拡径部2bに入って主流と合流し、下流側の主管
路2aを通って下流側配管4へと流れる。
の主管路ブロック1と第2の主管路ブロック2と第1の
オリフィスプレート5とをそれぞれ別体としているの
で、それらを個々に成型でき、しかも、第1の主管路ブ
ロック1と第2の主管路ブロック2は対称形状をなして
いるので、それら2つの主管路ブロック1,2を1種類
の金型で効率的に成型でき、このため、成型コストの低
減を図ることができるという効果が得られる。
の相互間に第1のオリフィスプレート5を挟み込んで固
定することにより、それらを三位一体に組合せ合体した
構造を採っているので、様々な仕様に対応可能な燃焼ガ
ス流量測定装置を容易に得ることができる。
態2による燃焼ガス流量測定装置を示す分解斜視図であ
り、図1と同一または相当部分には同一符号を付して重
複説明を省略する。また、組立固定に用いるネジやネジ
孔も省略する。
のオリフィス孔5aを有する一枚のオリフィスプレート
5に設けられた第2のオリフィス孔、15は第1の主管
路ブロック1に設けられた上流側の分流通路であり、こ
の分流通路15は、第1の主管路ブロック1の環状室6
内に開口した上流側の分流入口15aを有する入口側分
流通路15bと、第1の主管路ブロック1におけるオリ
フィスプレート5との当接壁面に開口した上流側の分流
出口15cを有する出口側分流通路15dと、第1の主
管路ブロック1の上面に凹設されて前記入口側分流通路
15bと出口側分流通路15dとを接続する中間分流通
路15eとからなり、その中間分流通路15eには中間
部付近を絞った形状のセンサ設置部15fが設けられ、
このセンサ設置部15fに実施の形態1で述べた検出器
14が設置されるようになっている。
cはオリフィスプレート5の第2のオリフィス孔5bに
接続されるようになっている。
放端が蓋部材(図示せず)によって閉塞されるものであ
る。
た下流側の分流通路であり、この分流通路16は、第2
の主管路ブロック2におけるオリフィスプレート5との
当接壁面に開口して第2のオリフィス孔5bに接続され
る下流側の分流入口16aと、第2の主管路ブロック2
の環状室7に開口した下流側の分流出口16bとを有し
ている。
路ブロック1自体に上流側の分流通路15を、且つ、第
2の主管路ブロック2自体に下流側の分流通路16をそ
れぞれ設けると共に、前記2つの主管路ブロック1,2
の相互間に挟み込んで固定する一枚のオリフィスプレー
ト5に第1のオリフィス孔5aと第2のオリフィス孔5
bとを設け、上流側の主管路1aから下流側の主管路2
aに向って流れる燃焼ガスの主流量を前記第1のオリフ
ィス孔5aで絞り、且つ、上流側の分流通路15から下
流側の分流通路16に向って流れる燃焼ガスの分流量を
前記第2のオリフィス孔5bで絞る構成としたものであ
る。
した実施の形態1における第3の流路ブロック9と分流
配管11,12および第1のオリフィスプレート5とは
別体の第2のオリフィスプレート13をそれぞれ不要化
できる。このため、部品点数および組立工数が減少して
コスト低減が図れると共に、装置全体をコンパクト化で
きるという効果が得られる。
態3による燃焼ガス流量測定装置を示す断面図、図4は
図3の概略的な分解斜視図であり、図1および図2と同
一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略
する。
ク1の環状室6を形成する隔壁6aの先端における網掛
け部分を例えば0.1mm程度削り取った削取部分であ
り、この削取部分6bによってオリフィスプレート5と
の間に上流側の開口部8a(図3参照)が形成される。
7bは第2の主管路ブロック2の隔壁7aの先端におけ
る網掛け部分を第1の主管路ブロック1の隔壁6aの場
合と同様に削り取った削取部分であり、この削取部分7
bによってオリフィスプレート5との間に下流側の開口
部8b(図3参照)が形成される。
ク1の環状室6内に装填されたスポンジ等のフィルタで
あり、このフィルタ17を介して分流通路15に主管路
1aからの分流燃焼ガスが流れ込むようになっている。
ック1にのみ上記実施の形態2で述べた流路構成の分流
通路15を設け、この分流通路15の分流出口15cに
オリフィスプレート5の第2のオリフィス孔5bの上流
側を接続させ、このオリフィス孔5bの下流側は、第2
の主管路ブロック2の環状室7内に直接開口させてい
る。従って、前記分流通路15を流れる分流燃焼ガス
は、第2のオリフィス孔5bで絞られて当該オリフィス
孔5bから第2の主管路ブロック2の環状室7内に流れ
込むようになっており、このため、実施の形態2で述べ
た下流側(第2主管路ブロック2)の分流通路16を不
要化でき、第1の主管路ブロック1にのみ孔あけ加工を
施して分流通路15を設ければよいので、加工費用の低
減が図れる。
サ設置部15fに張られた金網等のフィルタ、19は分
流通路15における中間分流通路15eの凹状開放端を
覆う流路カバーであり、この流路カバー19の中央部に
は段付孔からなるセンサ取付孔19aが設けられ、この
センサ取付孔19aに検出器14が嵌め込まれている。
ブロック1の上面全面を覆う蓋、20aはその蓋20の
中央部に設けられた端子孔であり、この端子孔20aか
ら検出器14の端子14aを引き出すようにしている。
22は蓋20を第1の主管路ブロック1の上面に止着す
る締付ネジであり、この締付ネジ22で止着された蓋2
0は、図3に示すように、Oリング21と検出器14の
それぞれを押え込んでいる。
る片面周縁側と第2の主管路ブロック2におけるオリフ
ィスプレート5との対向面周縁側との間に介在させる弾
性体からなる密閉部材であり、この密閉部材23はOリ
ングからなっている。24は第2の主管路ブロック2に
おけるオリフィスプレート5との対向面周縁側に設けら
れた密閉部材当接面であり、この密閉部材当接面24
は、図3に示すように、第1の主管路ブロック1におけ
る第2の主管路ブロック2との対向面に形成された環状
内周面1cとの間で密閉部材23をオリフィスプレート
5に圧接するテーパー状に形成されている。
て第2の主管路ブロック2側に突出する嵌合凸部、25
aはその嵌合凸部25に開口させたネジ孔、26は第2
の主管路ブロック2における前記嵌合凸部25との対応
位置に設けられた嵌合凹部、26aはその嵌合凹部26
に一端が開口して第2の主管路ブロック2を貫通する締
付ネジ挿通用の貫通孔、27は第1と第2の主管路ブロ
ック1,2の相互を組合せ合体の状態で締め付ける締付
ネジであり、この締付ネジ27は図4に1本しか開示し
ていないが、図4では4本が用いられる。
1の主管路ブロック1には流路カバー19と検出器14
とOリング21および蓋20のそれぞれを予め組み付け
セットした状態において、その第1の主管路ブロック1
の環状室6内にフィルタ17を装填した後、第1の主管
路ブロック1の環状内周面1cに、オリフィスプレート
5と密閉部材23を順次嵌め込みセットする。
部25と第2の主管路ブロック2の嵌合凹部26とを凹
凸嵌合させることにより、第1と第2の主管路ブロック
1,2の相互は、それらのネジ孔25aと締付ネジ挿通
用の貫通孔26aとが合致した正規の組合せ位置に位置
決めされる。従って、前記嵌合凸部25と嵌合凹部26
は、前記2つの主管路ブロック1,2相互の組合せ合体
時における回転を防止して両者を正しく位置決めするた
めの回転防止手段を構成する。
ク1,2相互を組合せ合体させた状態で両者を締付ネジ
27によって締め付けると、フィルタ17とオリフィス
プレート5および当該オリフィスプレート5と密閉部材
23とがそれぞれ圧接された状態となって装置本体が組
み立てられる。
1aに上流側配管3がネジ込み接続され、且つ、第2の
主管路ブロック2の主管路2aに下流側配管4がネジ込
み接続されるが、この際、前記2つの主管路ブロック
1,2の相互は上述のように凹凸嵌合しているので、前
記上流側配管3および下流配管4のネジ込みによって、
第1の主管路ブロック1と第2の主管路ブロック2との
位置関係がずれてしまうようなことはない。
上流側配管3から第1の主管路ブロック1の主管路1a
を通って当該主管路1a(上流側)の拡径部1bに入
り、この拡径部1bで乱流状態となった燃焼ガスの大部
分はオリフィスプレート5の第1のオリフィス孔5aを
通ることにより絞られて第2の主管路ブロック2の拡径
部2bに入った後、下流側の主管路2aを通って下流側
配管4へと流れる。
の一部は、上流側の開口部8aからフィルタ17を介し
て分流通路15に入り、この分流通路15内のフィルタ
18を通過した分流燃焼ガスは検出器14の測定部に直
接接触して流れ、その流れによって引き起こされる前記
測定部の熱移動を検出することにより、前記分流燃焼ガ
スの流速が検出される。
スは、オリフィスプレート5の第2のオリフィス孔5b
で絞られて当該オリフィス孔5bから第2の主管路ブロ
ック2の環状室7内に直接入った後、下流側の開口部8
bを通り下流側の拡径部2bに入って主流と合流し、下
流側の主管路2aを通って下流側配管4へと流れる。
ような効果が得られる。 (1)第1の主管路ブロック1に嵌め込んだオリフィス
プレート5の下流側の片面にリング状の密閉部材23を
当接配置し、第2の主管路ブロック2には、その密閉部
材23に当接させるテーパー状の密閉部材当接面24を
形成して、前記2つの主管路ブロック1,2の相互でオ
リフィスプレート5と密閉部材23とを挟み込んで固定
する構成としたので、前記2つの主管路ブロック1,2
間の気密性を一つの密閉部材23で確保しつつ組立作業
を容易に行うことができる。
通路15を設け、第2の主管路ブロック2には何らの分
流通路をも設けないので、第1の主管路ブロック1にの
み孔あけ加工を施して分流通路15を形成すればよく、
このため、燃焼ガスのバイパス流路である分流通路の加
工工数が少なくなって分流通路を容易に加工できると共
に、加工コストの低減が図れる。
合凸部25と、第2の主管路ブロック2に設けた嵌合凹
部26とを嵌合させて第1,第2の主管路ブロック1,
2相互を組合せ合体させることにより、2つの主管路ブ
ロック1,2相互の回転が防止されるので、それらの主
管路ブロック1,2に対する上流側配管3および下流側
配管4のネジ込みによって、2つの主管路ブロック1,
2相互の位置関係がくずれるようなことがない。
態4による燃焼ガス流量測定装置を示す概略的な分解斜
視図である。
主管路ブロック1,2相互の回転防止手段として、両方
の主管路ブロック1,2に嵌合凸部25と嵌合凹部26
とを設けたが、この実施の形態4では、前記主管路ブロ
ック1,2相互の回転防止手段として、一方(第1)の
主管路ブロック1の底部側にベース状の突出片部28を
設け、この突出片部28上に第2の主管路ブロック2を
載置整合させることにより、第1と第2の主管路ブロッ
ク1,2相互が所定の組合せ合体位置に位置決めされ、
その組合せ合体後の締付け状態において、両者が配管
3,4のネジ込みによって位置ずれしないようにしたも
のである。
した実施の形態3の場合と同様の回転防止効果が得られ
る。
ガスが流れる主管路を第1と第2の主管路ブロックに分
離形成し、その第1と第2の主管路ブロックの相互間に
オリフィスプレートを挟み込んで固定すると共に、前記
オリフィスプレートには、第1の主管路ブロックから第
2の主管路ブロックに向って流れる燃焼ガスの流れを絞
る第1のオリフィス孔と、第1の主管路ブロックから分
流通路に分流して第2の主管路ブロックに向う燃焼ガス
の流れを絞る第2のオリフィス孔とが設けられている構
成としたので、主管路を流れる流体の流量を絞る第1の
オリフィスと、主管路からの分流通路を流れる流体の流
量を絞る第2のオリフィスとを一枚のオリフィスプレー
トで兼用させることができ、このため、部品点数が減少
して組み立てを容易化でき、部品費用や組立費用の低減
が図れるという効果がある。また、第1と第2の主管路
ブロック間にオリフィスプレートを挟み込んで固定する
ことにより、それらを三位一体に組合せ合体した構造を
採っているので、様々な仕様に対応可能な燃焼ガス流量
測定装置を容易に得ることができるという効果がある。
ロックのいずれか一方にのみ分流通路を設けたので、燃
焼ガスのバイパス流路の加工が容易で、その加工工程お
よび部品点数の減少が図れると共に、コスト低減が図れ
るという効果がある。
定装置を示す断面図である。
定装置を示す分解斜視図である。
定装置を示す断面図である。
定装置を示す概略的な断面図である。
出器として例示した流速センサの平面図、(b)は図6
(a)のA−A線矢視図である。
周囲温度測温抵抗エレメントの系統の回路図である。
と固定抵抗とで構成されるホイストンブリッジ回路の回
路図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 燃焼ガスが流れる主管路と、この主管路
に設けられて燃焼ガスの流れを絞る第1のオリフィス
と、この第1のオリフィスの上流側と下流側とに開口し
て前記主管路を流れる燃焼ガスの一部を第1のオリフィ
スの上流側から下流側にバイパスする分流通路と、この
分流通路に設けられた第2のオリフィスと、前記分流通
路内に設けられて熱の移動により燃焼ガスの流れを検出
する検出器とを備えた燃焼ガス流量測定装置において、
前記主管路を第1の主管路ブロックと第2の主管路ブロ
ックとに分離形成し、これらの第1の主管路ブロックと
第2の主管路ブロックとの間にオリフィスプレートを挟
み込んで固定すると共に、前記オリフィスプレートに
は、前記第1の主管路ブロックから第2の主管路ブロッ
クに向って流れる燃焼ガスの流れを絞る第1のオリフィ
ス孔と、前記第1の主管路ブロックから前記分流通路に
分流して第2の主管路ブロックに向う燃焼ガスの流れを
絞る第2のオリフィス孔とが設けられていることを特徴
とする燃焼ガス流量測定装置。 - 【請求項2】 第1と第2の主管路ブロックのいずれか
一方にのみ分流通路が設けられていることを特徴とする
請求項1記載の燃焼ガス流量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28718097A JP3340655B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 燃焼ガス流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28718097A JP3340655B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 燃焼ガス流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH11118542A JPH11118542A (ja) | 1999-04-30 |
JP3340655B2 true JP3340655B2 (ja) | 2002-11-05 |
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ID=17714123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP28718097A Expired - Fee Related JP3340655B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 燃焼ガス流量測定装置 |
Country Status (1)
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