JP2004226142A - 差圧流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体Fが流通するキャピラリ5と、このキャピラリ5の両端における圧力P1 ,P2 差を測定する圧力センサ3,4と、圧力差(P1 −P2 )の測定値から液体Fの流量Vを求める演算処理部6とを有する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、差圧流量計に関するものであり、とりわけ微小流量の液体を正確に測定可能とする差圧流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】特開2001−125649号公報
図4はオリフィスを用いた液体の液体流量制御機器21の構成を示す図である。図4において、22は液体Fが流通する第1流路22a〜第3流路22cを設けた本体ブロック、23は第1流路22aと第2流路22bの間に介在させたオリフィス、24はオリフィス23の上流側における液体Fの圧力P1 を測定する圧力センサ、25はオリフィス23の下流側における液体Fの圧力P2 を測定する圧力センサ、26は第2流路22bと第3流路22cの間における流路の開度を調整する流量調整弁、27は演算処理部、28はケースである。
【0003】
上記構成の液体流量制御機器21において、液体Fがオリフィス23を通過すると、このオリフィス23の絞り部分23aの形状に合わせた圧力降下が生じる。したがって、前記演算処理部27は両圧力センサ24,25の測定値P1 ,P2 を用いてオリフィス23による圧力差(P1 −P2 )から液体Fの流量を求めることができる。つまり、液体流量制御機器21は一点鎖線に示す部分から図示左側部分において差圧流量計21Aを形成している。また、演算処理部27はオリフィス23を流れる液体Fの流量が設定流量Vset になるように流量調整弁26に対する開度制御信号Sを出力する。
【0004】
ところで、オリフィス23は液体Fが流れる管径を基準にして標準オリフィスの形状寸法がJIS(日本工業規格)で定められている。また、その標準オリフィスを使うことにより、オリフィス23の両端における圧力差(P1 −P2 )と流量Vとの間には、以下の式(1)に示す関係がある。
V=CA0 √{2(P1 −P2 )/ρx} … 式(1)
但し、A0 は絞り部分23aの断面積、ρx(xは液体の種類を示している)は液体Fの比重、Cは流量係数である。
【0005】
また、前記オリフィス23に代えてノズルを用いた場合にも前記式(1)の関係がある。このノズルの流入部の形状はオリフィスと同じ丸みをもつ形状であり、それに続く円筒部を形成してなり、ノズルの形状についてもオリフィス同様規格化され、その流量係数が測定されている。そして、一般的にオリフィスまたはノズルを用いた差圧流量計21Aは絞り部分23aにおいて乱流が生じるので、一般的に乱流領域の大きな流量の測定に使われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述のようなオリフィスまたはノズルを用いた差圧流量計21Aは微小流量の測定には使用が困難であった。すなわち、オリフィスまたはノズルを用いて微小流量の測定を行なうためには、絞り部分23aの径を極微小径に形成する必要が生じ、例えば数mL/min程度の流量を測定しようとする場合には直径が数十μm程度のかなり小径(極微小径)の絞り部分23aを形成する必要があった。また、微小流量のオリフィスまたはノズルの製作には、高度な技術を要する微細加工を必要としており、絞りを用いた微小流量の差圧流量計を製造する場合には、この絞りの部分の製造コストがかかることが避けられなかった。
【0007】
さらに、絞り部分23aの径が小さくなると、この絞り部分23aを透過する液体Fに極小さな不純物(パーティクル)が含まれているだけで、この絞り部分23aが閉塞することがあった。この問題は絞り部分23aが小さい場合に顕著に現れていた。
【0008】
加えて、絞り部分23aを通過する液体Fの圧力P1 ,P2 はノズルの前後において大きく変動するので、液体に大きな圧力変化を与えると、減圧沸騰によるキャビテーション(発泡現象)が起こり、これによってさまざまな弊害が生じることがあった。
【0009】
本発明は上述の事柄を考慮に入れて成されたものであって、その目的は、閉塞などの問題を起こすことなく極微小流量の測定を安定して行うことができると共に製造コストを削減できる差圧流量計を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の差圧流量計は、液体が流通するキャピラリと、このキャピラリの両端における圧力差を測定する圧力センサと、圧力差の測定値から液体の流量を求める演算処理部とを有することを特徴としている。(請求項1)
【0011】
すなわち、キャピラリに液体を流通させることにより、この液体に生じる圧力損失をキャピラリの全長に分散することができる。したがって、キャピラリの流路を長くすればするほど、その流路の径を前記絞り部23aに比べて大径にすることができ、液体に含まれる不純物などによってキャピラリが閉塞するなどの問題が生じることを防止できる。また、仮にキャピラリが大きな不純物によって閉塞することがあったとしても、このキャピラリを低コストにて交換することが可能となる。
【0012】
加えて、比較的流路径が大きなキャピラリは極微小の絞り部分を形成したオリフィスやノズルに比べてはるかに低コストにて製造可能であるから、それだけ差圧流量計の製造コストを削減できる。さらに、短いノズルやオリフィスによって圧力変化を形成することがなく、長いキャピラリを用いて圧力損失を形成して、キャピラリを流通する液体の圧力が急激に変化することがないので、液体の流れによって液体にキャビテーションが発生することを防止できる。
【0013】
また、圧損部分を比較的径の大きなキャピラリに変更することにより、キャピラリ内において層流領域を形成できる。そして、一直線状に配置されたキャピラリ内の層流領域における流量Vとキャピラリの両端における圧力差(P1 −P2 )との間には以下の式(2)に示す関係がある。
V=πr4 (P1 −P2 )/(8×L×ηx) … 式(2)
但し、rはキャピラリの内部流路の半径、Lはキャピラリの長さ、ηxは液体の粘度(xは液体の種類を示している)である。
【0014】
前記圧力センサがキャピラリの上流側と下流側に連通する連通部に配置された差圧センサである場合(請求項2)には、1つの圧力センサを用いてキャピラリの上流側と下流側における圧力差を確実に測定でき、2つの圧力センサを用いてキャピラリの上流側と下流側における圧力を測定して減算する場合に比べて、圧力センサの固体差による影響を最小限に抑えることができる。また、圧力センサの数を削減することで、製造コストの削減をはかることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1,2は、本発明の第1実施例である差圧流量計1の構成を示す図である。
図1はその全体的な構成を概略的に示しており、図2は一部を分解して示す斜視図である。
【0016】
図1に示すように、2は液体Fが流通する第1流路2aおよび第2流路2bを形成してなる本体ブロック、3は第1流路2aに連通するように設けた第1圧力センサ、4は第2流路2bに連通するように設けた第2圧力センサ、5は第1流路2aと第2流路2bとを連通連結するように設けたキャピラリ、6は両圧力センサ3,4によって測定された圧力P1 ,P2 の測定値を用いて流量Vを算出する演算処理部である。
【0017】
図2に示すように、本体ブロック2は例えばベースブロック2Aと、圧力測定ブロック2Bと、キャピラリブロック2Cと、蓋体2Dとに分けることができる。そして、例えば圧力測定ブロック2Bに対する圧力センサ3,4の接続部およびキャピラリブロック2Cに対する蓋体2Dの接続部は例えばビス7の螺合および解除によって着脱可能に形成されている。また、ベースブロック2Aには液体Fの流入部および流出口を形成する配管の接続部材8,9が形成されている。
【0018】
前記キャピラリブロック2Cには、平面視略凹字状であり湾曲部10aの曲率がキャピラリ5の流路を潰さない程度に大きくなるように形成した溝10を形成すると共に、キャピラリ5の両端部を前記流路2a,2bにロウ付け接続するための開口部11を形成している。すなわち、キャピラリ5を溝10内に埋め込むことにより、キャピラリブロック2Cの大きさをコンパクトに抑えながらキャピラリ5の長さLを長くすることができる。
【0019】
キャピラリ5は耐蝕性に優れた材質(例えばステンレスなど)からなる管体であり、その長さLおよびその内部流路の半径(内径)rは前記式(2)に示すように、キャピラリ5の両端における液体Fの差圧(P1 −P2 )と流量Vとの比例関係に影響を与える要素である。なお、式(2)が成立する条件としてキャピラリ5が直管であることとされているが、本例ではキャピラリ5の湾曲部10aの曲率をその流路を潰さない程度に大きくすることで、キャピラリ5に所定の曲率以上の直線性を持たせてキャピラリ5内の層流を乱すことがなく、前記式(2)を近似的に適用することが可能である。
【0020】
したがって、キャピラリ5の長さLを長くすればするほど、内径rを大きくすることができ、それだけキャピラリ5を流通する液体Fに詰まりが生じるのを防止できる。本例では一例として5mL/min以下の液体Fの微小流量を測定可能とするものであり、内径r=0.2mm,長さL=200mmのキャピラリ5を用いる。
【0021】
また、前記演算処理部6は前記式(2)における粘度ηxの値を液体Fの種類xに合わせて記憶する記憶部(図示省略)を有する。なお、実際にはキャピラリ5の内径rおよび長さLの値が固定であるから、前記式(2)を以下の式(3)に示すように簡略化して各液体Fの種類に合わせた定数Cxをそれぞれ記憶するようにしてもよい。
V=(P1 −P2 )×Cx … 式(3)
【0022】
なお、本例の差圧流量計1によって測定する液体Fの種類xは種々考えられるが、単一の液体Fのみを測定対象とする場合には複数の液体Fの粘度ηxまたは定数Cxを記憶する必要はない。逆に、差圧流量計1が複数の液体Fの粘度ηxまたは定数Cxを記憶する場合には、測定対象の液体Fの種類を選択するためのディップスイッチやロータリースイッチ、さらには、データ通信によって書換え可能な記憶部などからなる設定部を設けることで、差圧流量計1によって取り扱う液体Fの種類xを選択可能とすることが考えられる。この場合、複数記憶された各粘度ηxまたは定数Cxの中から適宜に選択して、測定対象となる液体Fを切換えることができる。
【0023】
前記構成の差圧流量計1は、配管の接続部材8を介して液体Fが供給されることで、第1流路2aに流入した液体Fがキャピラリ5を通って第2流路2bに流れ、接続部材9を介して下流側に流れる。このとき、キャピラリ5を通る液体Fにはキャピラリ5の内部流路の断面積に応じた抵抗により徐々に圧力低下が整流状態で発生するので、第1流路2a内の内圧P1 が第2流路2b内の内圧P2 に比べて高くなる。それゆえに、この差圧(P1 −P2 )を圧力センサ3,4によって求めることにより、演算処理部6は前記式(2)または式(3)に示すように液体Fの微量流速Vを求めることができる。
【0024】
また、前記差圧流量計1では、液体Fに生じる圧力変動が緩やかに生じるので、急激な圧力変動が生じたときに問題となる気泡現象(キャビテーション)の発生を効果的に抑えることができる。つまり、それだけ測定結果の信頼性が向上すると共に液体Fに与える影響を小さくすることができる。
【0025】
加えて、前記キャピラリ5には、図4に示した従来のオリフィス23のように微小な断面積を有する絞り部分23aを形成する必要がないので、キャピラリ5は高度な微細加工によって製造する必要がなく、その加工が極めて容易であって、汎用の用途で大量生産されているものを利用可能であるから、その製造コストを飛躍的に削減することができる。さらに、キャピラリ5の内径rが太くなればなるほどキャピラリ5に不純物の詰まりが発生する可能性を小さくすることができ、それだけ差圧流量計1の信頼性を向上できる。
【0026】
また、仮にキャピラリ5が何らかの原因で詰まりを発生したり、劣化したとしても、本例の差圧流量計1はキャピラリブロック2C内にキャピラリ5を着脱可能に取付けられるものであるから、前記蓋体2Dを取り外してキャピラリ5の交換をすることが可能である。この場合にも、キャピラリ5が安価であるから従来のオリフィス23のように高価な部品を交換する場合に比べて、コストを削減できる。さらに、キャピラリ5の交換を行うことで、前記式(2)に示す各値r,Lを変更することも可能であり、これによって差圧流量計1の流量仕様の変更を行うことも可能である。
【0027】
図3は本発明の第2実施例である差圧流量計1の構成を概略的に示す図である。なお、図3において、図1,2と同じ符号を付した部分は同一または同等の部分であるから、その詳細な説明を省略する。
【0028】
図3において、12はキャピラリ5の上流側に連通する第1流路2aと、キャピラリ5の下流側に連通する第2流路2bとを橋渡しするように形成された連通部、13はこの連通部12内に配置されてこれを閉鎖すると共に両流路2a,2b間の差圧(P1 −P2 )を測定する差圧センサである。
【0029】
本例のように、一つの差圧センサ13によってキャピラリ5の上流側と下流側における圧力の差を検出することにより、複数の圧力センサ3,4を用いて圧力P1 ,P2 を検出した後にその差(P1 −P2 )を演算によって求める場合に比べて装置構成を簡素できる。すなわち、使用する圧力センサの数を削減して差圧流量計1の製造コストを削減できるだけでなく、圧力P1 ,P2 の差を一つの差圧センサ13内で測定することで、その測定誤差を可及的に小さくできる。
【0030】
なお、前記差圧センサ13は好ましくは連通部12を閉鎖するように配置したダイヤフラム13aを有し、圧力差(P1 −P2 )の大きさによって生じるダイヤフラム13の撓みの大きさから差圧(P1 −P2 )を検出することが望ましい。この場合、圧力センサ13の個体差が影響する部分を最小限に抑えることができるので、それだけ測定精度を向上させることができる。
【0031】
上述した各例に示す差圧流量計1は何れも液体の微少流量を測定可能とするものであり、極微少流量であっても詰まりやキャビテーションを起こすことがない点において有用であるが、本発明は微少流量を測定することに限定される必要はない。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、オリフィスやノズルのような短い絞り部分を形成する場合に比べて長いキャピラリを用いた緩やかな圧力損失部分を形成することにより、キャピラリの内部流路の断面積を比較的大きくして圧損部分の閉塞を防止できるだけでなく、微細な製造を行う必要がないので、それだけ製造コストを削減することができる。また、キャピラリ内を液体が流れるときに生じる圧力変化が緩慢であるから、それだけキャビテーションの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例である差圧流量計の構成を示す概略図である。
【図2】前記差圧流量計の斜視図である。
【図3】第2実施例の差圧流量計の構成を示す概略図である。
【図4】従来の差圧流量計を用いた液体流量制御機器の構成を示す図である。
【符号の説明】
1…差圧流量計、3,4…圧力センサ、5…キャピラリ、6…演算処理部、12…連通部、13…差圧センサ、F…液体、P1 ,P2 …圧力、V…流量。
Claims (2)
- 液体が流通するキャピラリと、
このキャピラリの両端における圧力差を測定する圧力センサと、
圧力差の測定値から液体の流量を求める演算処理部とを有することを特徴とする差圧流量計。 - 前記圧力センサがキャピラリの上流側と下流側に連通する連通部に配置された差圧センサである請求項1に記載の差圧流量計。
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