JP2012212788A - 金属ベース基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板1を準備し、ベース板1の全面に陽極酸化処理及び封孔処理を実施してアルミナ層2を形成した後、ベース板1の一方の面のアルミナ層2を研磨により除去して電子部品搭載部を形成する。
【選択図】図1
Description
さらに、前記アルミナ層が陽極酸化によって形成されたものであることが好ましく、前記ベース板の側面にアルミナ層が形成されていることが好ましい。
また、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板を準備し、前記ベース板の一方の面にレジストを形成し、次に陽極酸化処理及び封孔処理を実施した後、前記レジストを剥離することにより、前記ベース板の一方の面に電子部品搭載部を形成することを特徴とする、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板の一方の面に電子部品搭載部を有し、前記ベース板の他方の面の全面にアルミナ層が形成された金属ベース基板の製造方法である。
本発明においては、アルミニウムからなるベース板1として純アルミニウム板(99.9%Al)の縦100×横50mmで厚さが0.3mmのものを準備する(図4、a))。次に、前記ベース板の一方の面の全面に熱硬化型レジスト6を塗布し、熱硬化した(図4、b))。次に、レジストが塗布された一方の面を除いて、ベース板1の表面に陽極酸化処理により厚さが75μm、ビッカース硬さが約500Hvの硬質アルミナ(酸化アルミニウム)層2(硬質アルマイト層)を設ける。次いで封孔処理を行った(図4、c))。すなわち、他方の面の全面および側面にアルミナ層2が形成される。
アルミニウムベース板1の厚さを0.5mmとしたことを除いて、実施例1と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミニウムベース板1の厚さを1.0mmとしたことを除いて実施例1と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミニウムベース板1の厚さを1.5mmとしたことを除いて、実施例1と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミニウムベース板1の厚さを0.6mmとしたことを除いて、実施例1と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミニウムベース板1の厚さを2.0mmとしたことを除いて、実施例1と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミナ層2の厚さを50μmとしたことを除いて、実施例3と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミナ層2の厚さを150μmとしたことを除いて、実施例7と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
アルミニウムベース板1の厚さを0.9mmとしたことを除いて、実施例1と同様にして金属ベース基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。
図5に示される通り、直径3mmのねじ穴がアルミニウムベース板の4隅に開いており、ベース板の中央部に縦80mm、横30mmのレジストを形成し、ベース板の厚さが1mmである以外は、実施例1と同様に金属ベース基板を作成した。さらに実施例1と同様にその絶縁性を調べ表1に示した。
アルミナ層2の厚さを10μmとしたことを除いて、実施例1と同様にして金属ベース回路基板を作成し、その絶縁性を調べ表1に示した。比較例1においてはサンプル作製後とヒートサイクル後のいずれも絶縁性に問題があることがわかった。
図6の断面図(a−1)及び上面図(a−2)に示されるような、外形が長さ60mm、幅30mmであって、厚さが5mmの厚い部分がベース板1の中央部に形成され、厚さが2mmの薄い部分がベース板1の両側に形成されている、アルミニウムからなるベース板1を準備する。前記薄い部分は長さ10mm、幅30mmであってベース板1の両端に位置しており、また、角部は5Rのアールが形成されている。また、薄い部分の中央部には直径5mmのネジ止め用の穴が開けられている。前記厚い部分は長さ40mm、幅30mmである。
2 アルミナ層
3 めっき
4 放熱板
5 レジスト
6 半田
7 電子部品(半導体チップ)
8 ねじ
10 金属ベース基板
Claims (10)
- アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板の一方の面に電子部品搭載部を有し、前記ベース板の他方の面の全面にアルミナ層が形成された金属ベース基板。
- 前記電子部品搭載部にめっきが形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の金属ベース基板。
- 前記ベース板の材質が、99.5%以上のアルミニウムからなる純アルミニウムまたはアルミニウム合金であることを特徴とする、請求項1または2に記載の金属ベース基板。
- 前記アルミナ層の厚さが30〜200μmであることを特徴とする、請求項1、2または3に記載の金属ベース基板。
- 前記アルミナ層が陽極酸化によって形成されたものであることを特徴とする、請求項1、2、3または4に記載の金属ベース基板。
- 前記ベース板の側面にアルミナ層が形成されていることを特徴とする、請求項1、2、3、4、5または6に記載の金属ベース基板。
- アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板を準備し、前記ベース板の全面に陽極酸化処理及び封孔処理を実施してアルミナ層を形成した後、前記ベース板の一方の面のアルミナ層を研磨により除去して電子部品搭載部を形成することを特徴とする、
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板の一方の面に電子部品搭載部を有し、前記ベース板の他方の面の全面にアルミナ層が形成された金属ベース基板の製造方法。 - アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板を準備し、前記ベース板の一方の面にレジストを形成し、次に陽極酸化処理及び封孔処理を実施した後、前記レジストを剥離することにより、前記ベース板の一方の面に電子部品搭載部を形成することを特徴とする、
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板の一方の面に電子部品搭載部を有し、前記ベース板の他方の面の全面にアルミナ層が形成された金属ベース基板の製造方法。 - 前記電子部品搭載部にめっきを施すことを特徴とする、請求項7または8に記載の金属ベース板の製造方法。
- 前記ベース板の材質が、99.5%以上のアルミニウムからなる純アルミニウムまたはアルミニウム合金であることを特徴とする、請求項7、8または9に記載の金属ベース基板の製造方法。
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