JP2012206419A - ノズル基板、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル基板1の接着面側にレジスト膜を形成し、第1ノズル孔10a、チップ外周側面14aとなる部分のレジスト膜を除去するパターニングを行う。ここで、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより数μm内側となるようにパターニングする。液滴保護膜厚さの数十倍である数μmとすることにより、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。
【選択図】図2
Description
また、ノズル基板や液滴吐出ヘッドの製造歩留まりが向上するという効果を得ることができる。
また、ノズル基板や液滴吐出ヘッドの製造歩留まりが向上するという効果を得ることができる。
また、ノズル基板や液滴吐出ヘッドの製造歩留まりが向上するという効果を得ることができる。
図1は、実施形態1に係るノズル基板1を液滴吐出面側から見た上面図である。図1に示すように、ノズル基板1の表面には複数のノズル孔10が直線状に配置されている。13は液滴吐出ヘッド組立時のピンアライメント孔、14はチップ外周部である。
図2は、図1のノズル基板A−A部分の断面図である。図2に示すように、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより内側となる段差構造となっている。そして、チップ外周側面14a,14bには液滴保護膜11が形成されている。ここで、液滴保護膜11はノズル基板の外周部に形成された酸化膜と、その表面に形成された撥水膜を含めた膜を言う。
このような構造から、液滴吐出面側から液滴保護膜を形成する際、チップ外周側面の段差による影部が液滴吐出面に近づくことにより、液滴吐出面と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄くする効果がある。このため、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面の液滴保護膜が剥がれ難くなり、これによって、チップ表面及びノズル孔部に付着して接着、液滴吐出の妨げになる液滴保護膜剥がれを低減することができる。
図3(A)に示すように、最初に単結晶シリコン基板(以下ノズル基板1)を準備し、このノズル基板1の両面に熱酸化膜15を厚さ0.5μm程度形成する。
ここで、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより数μm内側となるようにパターニングする。液滴保護膜厚さの数十倍である数μmとすることにより、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。
ここで、エッチング開口面積差を利用し、チップ外周側面14aの深さaが第2ノズル孔10bの深さbより深くなる構造ができる。これにより、液滴吐出面側から液滴保護膜を形成する際に、影部がより膜形成側となり、チップ外周側面14aに形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。
図4(F)に示すように、熱酸化膜15を剥離し、厚さ0.1μmの液滴保護膜としての酸化膜11aを熱酸化で形成する。
図4(G)に示すように、ノズル基板1に支持基板17を、支持テープ17aを用いて貼り合せ、所定の板厚になるまで、研削、研磨し、ノズル孔10、チップ外周部14を貫通させる。
図4(H)に示すように、液滴吐出面側からプラズマCVDにより酸化膜を形成した後、シランカップリング剤をディップコートし、液滴吐出面に液滴保護膜としての撥水膜11bを形成する。
図5(I)に示すように、液滴吐出面に撥水性保護テープ18cを介して支持テープ18aと支持基板18を貼り、接着面側の支持基板17を剥離した後、接着面から酸素、または、アルゴンプラズマ処理により、ノズル孔内の撥水膜を親水化する。
図5(J)に示すように、最後に、支持基板18を剥離して、ノズル基板1が完成する。
液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより内側となる段差構造により、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aに形成される液滴保護膜11の厚さは薄く、面積小となる。これによって、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面から液滴保護膜が剥がれ難く、剥がれ量も少なくなり、歩留まりが向上する。
図6は、実施形態1で説明したノズル基板を備えた、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面図である。
図7は本実施形態の液滴吐出装置を示す図である。例えば、液滴吐出装置としてインクジェット記録装置300を例示することができる。
このインクジェット記録装置300は、実施形態1で説明したノズル基板を備えており、印字品質の安定した液滴吐出装置を提供できる。
Claims (5)
- 液滴吐出面側に開口した第1ノズル孔と、前記第1ノズル孔に連通し前記液滴吐出面側と反対側に開口した前記第1ノズル孔より断面積が大きい第2ノズル孔と、が連続したノズル孔と、
前記液滴吐出面と反対側のチップ外周側面が、前記液滴吐出面の前記チップ外周側面より内側となるチップ外周側面と、
前記チップ外周側面に形成された液滴保護膜と、
を有することを特徴とするノズル基板。 - 請求項1記載のノズル基板において、
前記液滴吐出面と反対側の前記チップ外周側面の深さaと、前記液滴吐出面と反対側に開口した第2ノズル孔深さbとが、
a>b、
となることを特徴とするノズル基板。 - 請求項1記載のノズル基板において、
前記液滴吐出面と反対側の前記チップ外周側面が、前記液滴吐出面側の前記チップ外周側面より内側となり段差部が形成され、前記段差部の幅が前記液滴保護膜の厚みよりも大きいことを特徴とするノズル基板。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載のノズル基板を液滴吐出部に備えた液滴吐出ヘッド。
- 請求項4記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002067334A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Seiko Epson Corp | 撥水物品及びその製造方法、インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェットプリンタ |
JP2003266710A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッドの製造方法、該方法に用いる装置、並びにインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、カラーフィルタ製造装置及びその製造方法、並びに電界発光基板製造装置及びその製造方法 |
JP2004330604A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートの撥液膜形成方法及びノズルプレート並びにインクジェットプリンタヘッド |
JP2006159661A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置 |
JP2007038570A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出ヘッド |
JP2009220471A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP2010149375A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Seiko Epson Corp | ノズル基板の製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002067334A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Seiko Epson Corp | 撥水物品及びその製造方法、インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェットプリンタ |
JP2003266710A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッドの製造方法、該方法に用いる装置、並びにインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、カラーフィルタ製造装置及びその製造方法、並びに電界発光基板製造装置及びその製造方法 |
JP2004330604A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートの撥液膜形成方法及びノズルプレート並びにインクジェットプリンタヘッド |
JP2006159661A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出装置 |
JP2007038570A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出ヘッド |
JP2009220471A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
JP2010149375A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Seiko Epson Corp | ノズル基板の製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018020538A (ja) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | ローム株式会社 | インクジェットプリントヘッドおよびその製造方法 |
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