JP2012194554A - フォトマスク、パターン転写方法、及びペリクル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ピーク波長の異なる例えばi線、h線、g線を含む露光光を用いる露光装置に使用されるフォトマスクである。このフォトマスクは、透明基板1と、透明基板1上に形成された転写パターン2と、波長選択手段3とを有する。波長選択手段3は、フォトマスクに照射する露光光に含まれる所定波長を反射することにより、前記所定波長の光透過量を低減するものであり、例えば、透明基板上に、それぞれ異なる屈折率を有する複数の誘電体層を交互に積層してなる誘電体多層膜で構成される。
【選択図】図1
Description
F=k1λ/NA
ここで、F:最小線幅、k1:(係数、いわゆるk1ファクター)、λ:露光光波長、NA:被転写体に対する光学系開口率である。
上式から明らかなように、露光光の波長を短くすれば、解像可能な最小線幅が小さくできるということが示されている。
このような理由で、露光光の単一波長化もしくは短波長化のために、例えば露光装置に所望の露光光波長を選択的に切り替えることが可能な手段を備えている場合には、露光光を選択し所望の波長の光に切り替えて露光を行うことにより転写パターンの解像度を向上することが可能となる。
露光光が光フィルタに照射された際に、吸収された光によって熱が生じ、フォトマスク温度が上昇することによって、フォトマスクの熱膨張によってパターン転写時の寸法精度に影響を与えるという問題である。
(構成1)
複数のピーク波長を含む波長域を有する露光光を照射して、パターン転写を行うためのフォトマスクであって、前記フォトマスクは、透明基板と、前記透明基板上に形成された転写パターンと、波長選択手段とを有し、前記波長選択手段は、前記フォトマスクに照射する露光光に含まれる所定波長を反射することにより、前記所定波長の光透過量を低減することを特徴とするフォトマスク。
前記波長選択手段は、互いに異なる屈折率を有する複数の誘電体層が積層された誘電体多層膜で構成されることを特徴とする構成1に記載のフォトマスク。
(構成3)
前記所定波長がg線(436nm)又はh線(405nm)を含むことを特徴とする構成1又は2に記載のフォトマスク。
前記波長選択手段は、i線(365nm)の透過率が60%以上であることを特徴とする構成1乃至3のいずれかに記載のフォトマスク。
(構成5)
前記波長選択手段は、前記h線及び前記g線の反射率がそれぞれ70%以上であることを特徴とする構成1乃至4のいずれかに記載のフォトマスク。
前記波長選択手段は、500nm〜650nmの範囲内のいずれかの波長に対する透過率が70%以上であることを特徴とする構成1乃至5のいずれかに記載のフォトマスク。
(構成7)
前記波長選択手段は、前記透明基板の、前記転写パターンが形成された面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする構成1乃至6のいずれかに記載のフォトマスク。
前記フォトマスクは、前記転写パターンが形成された側のフォトマスク表面に装着されたペリクルを有し、前記波長選択手段は、前記ペリクルに備えられていることを特徴とする構成1乃至7のいずれかに記載のフォトマスク。
(構成9)
前記転写パターンは、少なくとも透光部と位相調整部とを有し、前記透光部を透過する光の位相と前記位相調整部を透過する光の位相との差は、前記i線、前記h線、及び前記g線のいずれかの光において、180度±10度であることを特徴とする構成1乃至8のいずれかに記載のフォトマスク。
前記転写パターンは、遮光部、透光部、及び位相調整部を有し、前記位相調整部は、前記透明基板を所定深さに掘り込んで形成されたものであることを特徴とする構成9に記載のフォトマスク。
(構成11)
複数のピーク波長を含む露光光を用いる露光装置と、構成1乃至10のいずれかに記載のフォトマスクを用いて、被転写体上へのパターン転写を行うことを特徴とするパターン転写方法。
複数のピーク波長を含む波長域を有する露光光を照射して、パターン転写を行うための転写パターンを有するフォトマスクに装着されるペリクルであって、ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームに貼着されたペリクル膜と、波長選択手段とを有し、前記波長選択手段は、前記フォトマスクに照射する露光光に含まれる所定波長を反射することにより、前記所定波長の光透過量を低減することを特徴とするペリクル。
前記波長選択手段は、前記ペリクル膜上に形成された、互いに異なる屈折率を有する複数の誘電体層が積層された誘電体多層膜で構成されることを特徴とする構成12に記載のペリクル。
(構成14)
前記所定波長がg線(436nm)又はh線(405nm)を含むことを特徴とする構成12又は13に記載のペリクル。
前記波長選択手段は、i線(365nm)の透過率が60%以上であることを特徴とする構成12乃至14のいずれかに記載のペリクル。
(構成16)
前記波長選択手段は、前記g線および前記h線の反射率が、70%以上であることを特徴とする構成12乃至15のいずれかに記載のペリクル。
前記波長選択手段は、500nm〜650nm範囲内のいずれかの波長における透過率が70%以上であることを特徴とする構成12乃至16のいずれかに記載のペリクル。
(構成18)
前記ペリクル膜は、石英ガラスからなることを特徴とする構成12乃至17のいずれかに記載のペリクル。
構成12乃至18のいずれかに記載のペリクルを装着したフォトマスクを用い、複数のピーク波長を含む露光光を用いる露光装置によって、被転写体上のレジスト膜にレジストパターンを転写することを特徴とするパターン転写方法。
本発明のフォトマスクは、上記構成1にあるように、複数のピーク波長を含む波長域を有する露光光を用いて、パターン転写を行うためのフォトマスクであって、前記フォトマスクは、透明基板と、前記透明基板上に形成された転写パターンと、波長選択手段とを有する。
なお、上記ピーク波長とは、光強度がピークを示す波長である。
また、露光光波長域のうち、上記所定波長(例えばh線、g線)における透過率は、40%以下であることが好ましい。さらには20%以下であることが好ましい。
また、選択波長域に含まれる選択波長として、i線を選び、上記所定波長における反射率(たとえば、h線、g線の反射率)は70%以上であることができる。即ち、本発明の波長選択手段は、主として、光を反射することによって、露光光の波長域のうち、ある波長域の光を、他の波長より減衰するような、光学フィルタであることができる。
ここで、波長選択手段に照射される露光光の量を100%とした時に、波長選択手段によって反射される量を百分率で示したものを反射率(R%)、波長選択手段によって吸収される量を百分率で示したものを吸収率(D%)、波長選択手段を透過する量を百分率で示したものを(T%)とする。その際、R、D、Tそれぞれの値を合計したものは、波長選択手段に照射された露光光の量の100(%)となる。
また、透過率(T%)の測定は、例えば反射率測定と同様に分光光度計を用いて測定することができる。
吸収率(D%)=100%−反射率(R%)−透過率(T%) (1)
また、ペリクル膜として従来から使用されている、ニトロセルロースや酢酸セルロースなどを含む有機材料を基体とし、その表面に波長選択機能を有する物質を薄膜として形成することができる。
さらには、−2.5°以上+2.5°以下となることが望ましい。これは誘電体多層膜の傾きが上記範囲内のときに、分光特性の分布が実質的に抑止されより良好なパターン転写特性が得られるためである。
ここで、複数とは、二層以上の任意の数をいう。例えば、互いに異なる屈折率を有する2種類の層が、交互に積層された誘電体多層膜を用いることができる。又は、互いに異なる屈折率を有する3種類の層を、一定の配列順に従って積層しても良い。
本発明では、前述のとおり、前記パターン転写に用いる露光光の波長域のうち、所定波長の透過率を反射によって低減させ、それによって光透過率特性を調整することが可能な材料を用いる。例えば図2に示すように、波長選択手段として、基体31(フォトマスクの透明基板又はペリクル膜など)上に、それぞれ異なる屈折率を有する2種の誘電体材料(高屈折率材料32とそれより屈折率が低い低屈折率材料33)を交互に多層積層した誘電体多層膜を使用することが出来る。i線、h線、g線を含む紫外域に使用可能な誘電体材料として、高屈折率材料には、例えばNb2O5(五酸化ニオブ)、ZrO2(酸化ジルコニウム)などが、低屈折率材料には、例えばSiO2などが使用できる。本発明に用いる誘電体多層膜としては、紫外域の吸収率が10%以下であり、かつ紫外域に高い耐性を有するものが好ましい。
また、誘電体多層膜における低屈折率材料と高屈折率材料の積層方法としては、いくつかの低屈折率材料と高屈折率材料とを組み合わせたものを1単位として、その1単位を繰り返し積層した構成を含むことができる。組み合わせの単位が複数存在し、それらを一定の序列で積層し構成してもよい。
誘電体材料は真空蒸着やスパッタなどの成膜方法によって基体上に積層させることが可能である。
露光装置には、フォトマスクの温度をコントロールするための冷却装置が備えられているが、波長選択手段の光学特性によって光吸収量が変わり、発生する熱の量も変化する。こうしたことを考慮すると、所定波長の反射によって、露光光の透過率を低減する本発明のフォトマスクは、発熱が小さい為、非常に有利である。
この場合、露光光の波長域として500nm以下のものを使用することが好ましい。
ここでは、本発明のフォトマスクの具体的な実施例として、基板掘り込みを有するレベンソン型位相シフトマスクについて説明する。
図4は、上記レベンソン型位相シフトマスクの製造工程を示す断面図である。この製造工程に従って説明する。
透明基板として、サイズ1220mm×1400mm、厚さ13mmの石英基板10を用い、この基板上に遮光膜11(Cr膜を100nm、その上に低反射層として10nmの酸化クロム層)の形成されたマスクブランクを用意し、スピンコートもしくはCAPコーターなどの方法を用いて遮光膜11上にポジ型レジストを1000nmの厚さで塗布し、第1レジスト膜12を形成する(図4(a))。
次に、上記第1レジストパターン12aをマスクとして、硝酸セリウムアンモンと過塩素酸の混合溶液などのエッチング剤で、遮光膜11をエッチングして、遮光膜パターン11aを形成する(図4(c))。その後、残存する第1レジストパターン12aをレジスト剥離液等を使用して除去する(図4(d))。
次に、上記第2レジスト膜12に対して、レーザー描画機により所定の描画露光を行い、スプレー方式等の手法によりレジスト膜に現像液を供給し現像を行い、位相シフト部を除く領域を覆う第2レジストパターン12bを形成する(図4(f))。
具体的には、フォトマスクの裏面(パターン形成面とは反対側の面)に、スパッタ法を用いて、高屈折率材料(Nb2O5を使用)と低屈屈折率材料(SiO2を使用)を交互に成膜し、誘電体多層膜を形成する。堆積膜厚と層数は、反射させたい波長領域に基づき決定した。具体的には40nmから80nmの膜厚範囲の高屈折率材料と低屈折率材料を組み合わせ、交互に22層積層することで、h線およびそれよりも長波長の光を反射させることにより、この波長域の透過率を低減した。これにより、i線の透過率が、h線、g線に比べて相対的に大きくなった。
こうして、本発明の一実施例であるレベンソン型の位相シフトマスクを完成させた(図4(j))。
また、図5に示すように、本発明では、波長選択手段として、ペリクルにその機能を備えたものを使用することが出来る。例えばペリクルフレーム15に取り付けられた1mm厚の石英ガラス14をペリクル膜(基体)とし、その表面に上記誘電体多層膜と同じ設計の波長選択手段13を同様の方法で形成したペリクルを用意し、上記パターンの完成したフォトマスク(図4(i))上に貼り付けることで、本発明に係るペリクル付きのフォトマスクを完成させた。
すなわち、遮光部(A)を挟んで、位相シフト量が0度の透光部(B)と位相シフト量が180度の位相シフト部(C)が交互に配列された、レベンソン型位相シフトパターンのラインアンドスペースパターンとした。このラインアンドスペースパターンは、隣り合った遮光部Aと位相シフト部Cとの中心線間の距離と、および隣り合った遮光部Aと透光部Bとの中心線間の距離とが同一であり、かつ遮光部A、透光部B、位相シフト部Cの各パターンの幅も上記中心線間の距離の値と同じになるように配列してある。ここで、上記中心線間の距離は、1.5μmから3.0μmの範囲で0.1μm刻みに、複数種のサイズのラインアンドスペースパターンの組がそれぞれ形成されている。例えば、上記中心線間の距離が、2.0μmのものを、2.0μmラインアンドスペースパターンと呼ぶことができる。
レジスト膜がエッチングマスクとして現像後に残膜する領域と、現像後に完全にレジスト膜が除去される領域の両方が存在するための被露光条件として、フォトマスクを透過して被転写体に照射される露光光は、フォトマスクを透過した露光光の透過率において、残膜させる領域の最小透過率は11%以下を満たし、かつ除去される領域の透過率は40%以上を満たすこととした(なお、ここでは被転写体上のレジストはポジレジストを使用する)。以上の条件を満たさない場合は、実際のフォトマスクを使用した露光時に、フォトマスク面内に生じる線幅のばらつきや露光光の照度ムラなどのばらつきの影響が顕著に現れるようになり、安定したパターニングを行うことが難しくなる(図7参照)。
以上の条件から、上記フォトマスクにおける、1.5μmから3.0μmのラインアンドスペースパターンについて、透過光の光強度曲線を得て、0.1μm刻みにプロットした。このとき、フォトマスクを透過した露光光をCCD(撮像素子)を備えた撮像手段によってとらえ、得られた画像情報から、光強度曲線を得た。実際の露光装置の露光光と結像光学系に光学特性を近似させた、検査光と検査光学系を装備し、この検査光学系を通った検査光をフォトマスクに照射することで、実際の露光装置で転写した時と同等の転写像を、CCD等の撮像手段に結像し取得できるシミュレータを用いた。
このように取得した光強度曲線により、上記パターン形成条件を満たすものとして、2.0μmラインアンドスペースパターンを抽出することができた。
なお、本発明による他の実施例として、遮光膜パターンを有していない基板掘り込みタイプの位相シフトマスク(クロムレス型)を作製し、本実施例と同様にして解像度の検証を行った結果、解像度の向上効果があることを確認できた。
本発明における波長選択手段を設けていないフォトマスク(図4(i)を参照)について、同様の解像度の検証を行った。なお、露光光波長強度比g/h/i=34.8/32.1/33.1とし、他は上記実施例と同様にして、2.0μmラインアンドスペースパターンの透過率曲線を求めた(図7中の黒丸のプロットを参照)。
その結果、レジスト膜がエッチングマスクとして現像後に残膜する領域と、現像後に完全にレジストが除去される領域の両方が存在するための被露光条件(フォトマスクを透過した露光光の透過率が残膜させる領域の最小透過率は11%以下、かつ除去される領域の透過率は40%以上)を満たすことが出来ず、フォトマスクに形成した2.0μmラインアンドスペースパターンによって被転写体上には2.0μmラインアンドスペースパターン形成をすることが出来ないことが分かった。
実施例1と同様の誘電体多層膜からなる波長選択手段をフォトマスク裏面に形成した図1(a)に示すようなバイナリフォトマスクを作製し、実施例1と同様にしてラインアンドスペースパターンによる転写パターンの解像度評価を行った。その結果、線幅2.8μmのパターンを転写することが、透過率曲線を元にシミュレーションで確認された。
上記波長選択手段を設けていないこと以外は実施例2と同様にして作製した2階調フォトマスクについて、実施例1と同様にして転写パターンの解像度評価を行った。その結果、3.0μm未満のパターンが未解像となることが、透過率曲線を元にシミュレーションで確認された。
以上の実施例2、比較例2の結果から、本発明により転写可能な線幅として7%程度の縮小効果が認められた。
また、本発明の波長選択手段として、適切な誘電体多層膜を適用することで、露光光波長から所望の波長域を選択的にカットするなどの、光学設計の自由度がある。更に、検査に必要な波長域(例えば500nm〜650nmの範囲)での光透過を確保する波長選択手段を選択すれば、フォトマスクの製造や管理に有利である。
また、本発明のフォトマスクは、波長選択機能を持つ露光装置を使用するか否かに関わらず、複数の露光装置間で同じフォトマスクによる、同じ転写パターンを転写することが可能となる。
2 転写パターン
3 波長選択手段
4 ペリクル膜
5 ペリクルフレーム
10 透明基板
11 遮光膜
12 レジスト膜
13 波長選択手段
14 ペリクル膜
15 ペリクルフレーム
31 基体
32 高屈折率材料
33 低屈折率材料
Claims (19)
- 複数のピーク波長を含む波長域を有する露光光を照射して、パターン転写を行うためのフォトマスクであって、
前記フォトマスクは、透明基板と、
前記透明基板上に形成された転写パターンと、
波長選択手段とを有し、
前記波長選択手段は、前記フォトマスクに照射する露光光に含まれる所定波長を反射することにより、前記所定波長の光透過量を低減することを特徴とするフォトマスク。 - 前記波長選択手段は、互いに異なる屈折率を有する複数の誘電体層が積層された誘電体多層膜で構成されることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク。
- 前記所定波長がg線(436nm)又はh線(405nm)を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のフォトマスク。
- 前記波長選択手段は、i線(365nm)の透過率が60%以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のフォトマスク。
- 前記波長選択手段は、前記h線及び前記g線の反射率がそれぞれ70%以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のフォトマスク。
- 前記波長選択手段は、500nm〜650nmの範囲のいずれかの波長における透過率が70%以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のフォトマスク。
- 前記波長選択手段は、前記透明基板の、前記転写パターンが形成された面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のフォトマスク。
- 前記フォトマスクは、前記転写パターンが形成された側のフォトマスク表面に装着されたペリクルを有し、
前記波長選択手段は、前記ペリクルに備えられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のフォトマスク。 - 前記転写パターンは、少なくとも透光部と位相調整部とを有し、前記透光部を透過する光の位相と前記位相調整部を透過する光の位相との差は、前記i線、前記h線、及び前記g線のいずれかの光において、180度±10度であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のフォトマスク。
- 前記転写パターンは、遮光部、透光部、及び位相調整部を有し、前記位相調整部は、前記透明基板を所定深さに掘り込んで形成されたものであることを特徴とする請求項9に記載のフォトマスク。
- 複数のピーク波長を含む露光光を用いる露光装置と、請求項1乃至10のいずれかに記載のフォトマスクを用いて、被転写体上へのパターン転写を行うことを特徴とするパターン転写方法。
- 複数のピーク波長を含む波長域を有する露光光を用いて、パターン転写を行うための転写パターンを有するフォトマスクに装着されるペリクルであって、
ペリクルフレームと、
前記ペリクルフレームに貼着されたペリクル膜と、
波長選択手段とを有し、
前記波長選択手段は、前記フォトマスクに照射する露光光に含まれる所定波長を反射することにより、前記所定波長の光透過量を低減することを特徴とするペリクル。 - 前記波長選択手段は、前記ペリクル膜上に形成された、互いに異なる屈折率を有する複数の誘電体層が積層された誘電体多層膜で構成されることを特徴とする請求項12に記載のペリクル。
- 前記所定波長がg線(436nm)又はh線(405nm)を含むことを特徴とする請求項12又は13に記載のペリクル。
- 前記波長選択手段は、i線(365nm)の透過率が60%以上であることを特徴とする請求項12乃至14のいすれかに記載のペリクル。
- 前記波長選択手段は、前記g線および前記h線の反射率が、それぞれ70%以上であることを特徴とする請求項12乃至15のいずれかに記載のペリクル。
- 前記波長選択手段は、500nm〜650nm範囲のいずれかの波長における透過率が70%以上であることを特徴とする請求項12乃至16のいずれかに記載のペリクル。
- 前記ペリクル膜は、石英ガラスからなることを特徴とする請求項12乃至17のいずれかに記載のペリクル。
- 請求項12乃至18のいずれかに記載のペリクルを装着したフォトマスクを用い、複数のピーク波長を含む露光光を用いる露光装置によって、被転写体上のレジスト膜にレジストパターンを転写することを特徴とするパターン転写方法。
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