JP2012154803A - 角速度センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動部を有する角速度センサ素子100と、可動部の駆動振動を制御する駆動信号を角速度センサ素子100に出力し、駆動振動を一定に維持する駆動回路210と、角速度センサ素子100における容量変化を検出して検出信号を出力する検出回路220と、角速度センサ素子100を収納するパッケージと、パッケージに収納され、パッケージ内の圧力を検出する圧力センサ300と、圧力センサ300で検出された圧力から可動部における検出振動の共振倍率を演算し、検出信号および演算した共振倍率を用いて、印加された角速度を示す角速度信号を生成して出力する補正演算回路234と、を備える。
【選択図】図3
Description
本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。図1は、本実施形態における角速度センサ装置の断面構成を示す図である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサ装置は、上記第1実施形態に対して温度センサを備えたものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図4は、本実施形態における角速度センサ装置の回路構成を示すブロック図である。
上記第1実施形態では、角速度信号Ωは移動距離yを含む関数として説明したが、角速度信号Ωは容量を含む関数として表されたものを用いてもよい。すなわち、補正演算回路234において、角速度センサ素子100で検出された検出信号を移動距離yに変換することなく、そのまま利用することができるようにしてもよい。また、補正演算回路234は、角速度検出用パッド37c、47cの電位変化(容量変化)と櫛歯部38b、48bの移動距離yとの対応を示すデータを記憶した記憶部を有し、検出信号S6が入力された際に、記憶部から移動距離yを読み出すようにしてもよい。
200 回路基板
210 駆動回路
220 検出回路
234 補正演算回路
300 圧力センサ
400 パッケージ
Claims (7)
- 駆動信号に応じて第1の方向(x)へ駆動振動が可能であって前記第1の方向と直交する第2の方向(y)へ検出振動が可能な可動部(3a、4a)を備え、前記可動部(3a、4a)が前記駆動振動している際に角速度が印加されたとき、前記可動部(3a、4a)が前記検出振動を行うことによって印加された前記角速度に応じた容量変化が生じる角速度センサ素子(100)と、
前記可動部(3a、4a)の駆動振動を制御する前記駆動信号を前記角速度センサ素子(100)に出力し、前記駆動振動を一定に維持する駆動回路(210)と、
前記角速度センサ素子(100)における前記容量変化に基づいて検出信号を出力する検出回路(220)と、
前記角速度センサ素子(100)を収納するパッケージ(400)と、
前記パッケージ(400)に収納され、前記パッケージ(400)内の圧力を検出する圧力センサ(300)と、
前記圧力センサ(300)で検出された圧力から前記可動部(3a、4a)における前記検出振動の共振倍率を演算し、前記検出信号および演算した前記共振倍率を用いて、印加された前記角速度を示す角速度信号を生成して出力する補正演算回路(234)と、を有することを特徴とする角速度センサ装置。 - 前記パッケージ(400)内は、減圧されていることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ装置。
- 前記駆動回路(210)および前記検出回路(220)は回路基板(200)に形成されており、
前記パッケージ(400)には、前記回路基板(200)、前記角速度センサ素子(100)、前記圧力センサ(300)が順に積層されて配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の角速度センサ装置。 - 前記回路基板(200)は、前記パッケージ(400)に接着剤(700)を介して接合されていることを特徴とする請求項3に記載の角速度センサ装置。
- 前記パッケージ(400)内の温度を検出する温度センサ(900)と、
前記圧力センサ(300)で検出された圧力の温度補正を行う調整回路(243)と、を有し、
前記補正演算回路(234)は、前記検出信号に対して温度補正を行うことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の角速度センサ装置。 - 前記パッケージ(400)には、不活性ガスが封入されており、
前記補正演算回路(234)は、前記圧力センサ(300)で検出された圧力をP、前記可動部(3a、4a)における前記第2の方向(y)への共振倍率をQsとしたとき、QsP=一定から前記共振倍率を演算することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の角速度センサ装置。 - 前記パッケージ(400)は、セラミック層が複数積層されてなる多層基板を用いて構成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の角速度センサ装置。
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