JP2012136379A - シリカガラスルツボ - Google Patents
シリカガラスルツボ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012136379A JP2012136379A JP2010289084A JP2010289084A JP2012136379A JP 2012136379 A JP2012136379 A JP 2012136379A JP 2010289084 A JP2010289084 A JP 2010289084A JP 2010289084 A JP2010289084 A JP 2010289084A JP 2012136379 A JP2012136379 A JP 2012136379A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silica glass
- ppm
- layer
- glass crucible
- inner layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係るシリカガラスルツボは、OH基が0.1ppm以上30ppm以下のシリカからなる内層と、前記内層の外側に形成されOH基が200ppm以上500ppm以下のシリカからなる中間層と、前記中間層の外側に形成されシリカガラスまたは無機材料からなる外層と、から構成されている。より好ましくは、中間層が、酸素欠乏型欠陥の濃度が1×1014atoms/cm3以上1×1018atoms/cm3以下である。
【選択図】図1
Description
以上の範囲であり、結晶化促進成分としてアルミニウム、またはアルカリ土類金属を50〜500ppm含有し、結晶化促進層の厚さが1mm以上である石英ガラスルツボ、という技術が開示されている。
外径φ556mm、内径φ536mm、肉厚10mmである、単結晶シリコン引上げ用シリカガラスルツボを、以下の内容で作製する。
実施例1に対して、中間層を形成せず、内層と外層のみでシリカガラスルツボを作製する。ここで、中間層の相当する箇所は、外層の材料で構成する。これを比較例1とする。
実施例1のシリカガラスルツボに対して、表1に示す内容で、内層2、中間層3の各条件を変更し、それ以外は、実施例1の製造条件、評価方法に準じた。なお、評価の指標については、次のように定めた。金属元素濃度は、1ppm未満を○、1ppm以上を×とした。単結晶化率は、90%以上を○、80%以上90%未満を△として、いずれも合格と判定した。そして、総合判定は、いずれかの評価項目に×があれば総合も×、いずれかの評価項目に△があれば総合も△として、○と△を合格とした。
Claims (2)
- OH基が0.1ppm以上30ppm以下のシリカからなる内層と、前記内層の外側に形成されOH基が200ppm以上500ppm以下のシリカからなる中間層と、前記中間層の外側に形成されシリカガラスまたは無機材料からなる外層と、から構成されていることを特徴とするシリカガラスルツボ。
- 前記中間層は、酸素欠乏型欠陥の濃度が1×1014atoms/cm3以上1×1018atoms/cm3以下であることを特徴とする、請求項1に記載のシリカガラスルツボ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010289084A JP5543909B2 (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | シリカガラスルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010289084A JP5543909B2 (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | シリカガラスルツボ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012136379A true JP2012136379A (ja) | 2012-07-19 |
JP5543909B2 JP5543909B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=46674144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010289084A Active JP5543909B2 (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | シリカガラスルツボ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5543909B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016124718A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | クアーズテック株式会社 | 石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2020111483A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 株式会社Sumco | シリカガラスルツボの製造装置および製造方法 |
JPWO2021131321A1 (ja) * | 2019-12-23 | 2021-07-01 | ||
WO2023204146A1 (ja) * | 2022-04-18 | 2023-10-26 | 信越石英株式会社 | 単結晶シリコンインゴット引き上げ用石英ガラスるつぼ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009161364A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Japan Siper Quarts Corp | 内面結晶化ルツボおよび該ルツボを用いた引上げ方法 |
-
2010
- 2010-12-27 JP JP2010289084A patent/JP5543909B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009161364A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Japan Siper Quarts Corp | 内面結晶化ルツボおよび該ルツボを用いた引上げ方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016124718A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | クアーズテック株式会社 | 石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2020111483A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 株式会社Sumco | シリカガラスルツボの製造装置および製造方法 |
JP7157932B2 (ja) | 2019-01-11 | 2022-10-21 | 株式会社Sumco | シリカガラスルツボの製造装置および製造方法 |
JPWO2021131321A1 (ja) * | 2019-12-23 | 2021-07-01 | ||
WO2021131321A1 (ja) * | 2019-12-23 | 2021-07-01 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
CN114846180A (zh) * | 2019-12-23 | 2022-08-02 | 胜高股份有限公司 | 石英玻璃坩埚及其制造方法 |
JP7400835B2 (ja) | 2019-12-23 | 2023-12-19 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
WO2023204146A1 (ja) * | 2022-04-18 | 2023-10-26 | 信越石英株式会社 | 単結晶シリコンインゴット引き上げ用石英ガラスるつぼ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5543909B2 (ja) | 2014-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4907735B2 (ja) | シリカ容器及びその製造方法 | |
JP4903288B2 (ja) | シリカ容器及びその製造方法 | |
US10843954B2 (en) | Synthetic opaque quartz glass and method for producing the same | |
JP5663870B2 (ja) | 金属不純物拡散阻止能を有する石英ガラス | |
JP4799536B2 (ja) | 大径のシリコン単結晶インゴット中のピンホール欠陥の低減を可能とする大径シリコン単結晶インゴット引上げ用高純度石英ガラスルツボ | |
JP5177979B2 (ja) | 半導体製造用複合石英ガラス管 | |
JP5847998B2 (ja) | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス | |
JP5543909B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
JP5167073B2 (ja) | シリカ容器及びその製造方法 | |
JP5852663B2 (ja) | 大寸ゼノタイムセラミックブロック及びその作製のための乾式プロセス | |
WO2014073594A1 (ja) | 溶融ガラス搬送設備要素、溶融ガラス搬送設備要素の製造方法、溶融ガラス搬送設備要素を含むガラス製造装置、およびガラス物品の製造方法 | |
WO2013005402A1 (ja) | フラットパネルディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法 | |
JP4994568B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
JP2010118505A (ja) | 太陽電池用ガラス基板 | |
JP2009084085A (ja) | シリカガラスルツボ | |
TWI486313B (zh) | Silicone container for single crystal silicon pulling and its manufacturing method | |
JP2012006805A (ja) | シリカガラスルツボ及びその製造方法、シリコンインゴットの製造方法 | |
TWI463045B (zh) | Silicone container for single crystal silicon pulling and its manufacturing method | |
JP6090705B2 (ja) | 薄膜太陽電池用ガラス板 | |
TWI236507B (en) | Preparation of crystals | |
JP2016074551A (ja) | 無アルカリガラスの製造方法 | |
JP4931106B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
WO2015064595A1 (ja) | フロートバス用錫合金浴、フロートガラスの製造装置、フロートガラスの製造方法、および、フロートガラス | |
TW201223893A (en) | Vitreous silica crucible | |
WO2013145922A1 (ja) | ガラス板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130802 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140422 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140509 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5543909 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |