JP2012136379A - シリカガラスルツボ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るシリカガラスルツボは、OH基が0.1ppm以上30ppm以下のシリカからなる内層と、前記内層の外側に形成されOH基が200ppm以上500ppm以下のシリカからなる中間層と、前記中間層の外側に形成されシリカガラスまたは無機材料からなる外層と、から構成されている。より好ましくは、中間層が、酸素欠乏型欠陥の濃度が1×1014atoms/cm3以上1×1018atoms/cm3以下である。
【選択図】図1
Description
以上の範囲であり、結晶化促進成分としてアルミニウム、またはアルカリ土類金属を50〜500ppm含有し、結晶化促進層の厚さが1mm以上である石英ガラスルツボ、という技術が開示されている。
外径φ556mm、内径φ536mm、肉厚10mmである、単結晶シリコン引上げ用シリカガラスルツボを、以下の内容で作製する。
実施例1に対して、中間層を形成せず、内層と外層のみでシリカガラスルツボを作製する。ここで、中間層の相当する箇所は、外層の材料で構成する。これを比較例1とする。
実施例1のシリカガラスルツボに対して、表1に示す内容で、内層2、中間層3の各条件を変更し、それ以外は、実施例1の製造条件、評価方法に準じた。なお、評価の指標については、次のように定めた。金属元素濃度は、1ppm未満を○、1ppm以上を×とした。単結晶化率は、90%以上を○、80%以上90%未満を△として、いずれも合格と判定した。そして、総合判定は、いずれかの評価項目に×があれば総合も×、いずれかの評価項目に△があれば総合も△として、○と△を合格とした。
Claims (2)
- OH基が0.1ppm以上30ppm以下のシリカからなる内層と、前記内層の外側に形成されOH基が200ppm以上500ppm以下のシリカからなる中間層と、前記中間層の外側に形成されシリカガラスまたは無機材料からなる外層と、から構成されていることを特徴とするシリカガラスルツボ。
- 前記中間層は、酸素欠乏型欠陥の濃度が1×1014atoms/cm3以上1×1018atoms/cm3以下であることを特徴とする、請求項1に記載のシリカガラスルツボ。
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