JP2012129308A - 半導体ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶インゴットから半導体ウェーハを製造する方法において、前記単結晶インゴットの側面における成長軸方向の抵抗率分布を測定し、所望の抵抗率を示す所望抵抗率位置を特定して、所定の長さのブロックを切り出し、これから半導体ウェーハをスライスする。この成長軸方向の抵抗率は、いわゆる4探針法による抵抗率測定方法を適用することができる。
【選択図】図4
Description
(1)単結晶インゴットから半導体ウェーハを製造する方法において、前記単結晶インゴットの側面における成長軸方向の抵抗率分布を測定し、所望の抵抗率を示す所望抵抗率位置を特定し、前記成長軸に垂直な方向に前記インゴットを切断することにより前記所望抵抗率位置を含む所定の長さのブロックを切り出し、前記ブロックをスライスすることにより半導体ウェーハを製造することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法を提供することができる。
ρ=2πTV/I[Ωcm]
14 絶縁基台 16a,16b,16c,16d 探針
20 定電流電源 22 電流計 24 電位差計
Claims (5)
- 単結晶インゴットから半導体ウェーハを製造する方法において、
前記単結晶インゴットの側面における成長軸方向の抵抗率分布を4探針法により測定し、
所望の抵抗率を示す所望抵抗率位置を特定し、
前記成長軸に垂直な方向に前記インゴットを切断することにより前記所望抵抗率位置を含む所定の長さのブロックを切り出し、
前記ブロックをスライスすることにより1Ωcm以下の半導体ウェーハを製造することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。 - 前記半導体ウェーハは、リン、アンチモン、又は、砒素をドーパントとして含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 前記単結晶インゴットは抵抗率測定の前に円筒研削を行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 前記単結晶インゴットの前記成長軸方向の前記抵抗率分布の変化の度合いを求め、前記所望抵抗率位置の前記成長軸方向において変化の度合いが低い方の側に長くなるように前記ブロックを切り出すことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 請求項1の半導体ウェーハの製造方法において測定した前記成長軸方向の前記抵抗率分布と、前記単結晶インゴットを引上げる条件とを関連付けてコンピュータにより記憶手段に記憶させ、
前記条件のうち抵抗率を上げる上昇要因と、抵抗率を下げる下降要因を区別して前記コンピュータにより前記記憶手段に記憶させ、
新たな次の所望の抵抗率(「次抵抗率」という)の入力に応じて、前記コンピュータは、前記記憶手段から所定の情報を出力手段に出力させるが、
前記次抵抗率が前記所望の抵抗率よりも高い場合に出力する所定の情報は前記上昇要因であり、前記次抵抗率が前記所望の抵抗率よりも低い場合に出力する所定の情報は前記下降要因であり、
各々の出力された所定の情報に基づく前記条件を適用して、次の単結晶インゴットを引き上げるが、その際に、抵抗率分布の変化の度合いが成長軸方向において小さくなるように単結晶引き上げ条件を調整して次の単結晶インゴットを作成し、
前記次の単結晶インゴットの側面における成長軸方向の抵抗率分布を測定し、
所望の抵抗率を示す所望抵抗率位置を特定し、
前記成長軸に垂直な方向に前記インゴットを切断することにより前記所望抵抗率位置を含む所定の長さのブロックを切り出し、
前記ブロックをスライスすることにより半導体ウェーハを製造することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。
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