JP2003232822A - ４探針法による抵抗率測定方法及びその装置 - Google Patents
４探針法による抵抗率測定方法及びその装置Info
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- JP2003232822A JP2003232822A JP2002031482A JP2002031482A JP2003232822A JP 2003232822 A JP2003232822 A JP 2003232822A JP 2002031482 A JP2002031482 A JP 2002031482A JP 2002031482 A JP2002031482 A JP 2002031482A JP 2003232822 A JP2003232822 A JP 2003232822A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シリコンインゴット等の被測定物の抵抗率を
測定するのに好適な４探針法による抵抗率測定方法及び
その装置に関する。 【解決手段】 絶縁体に固定させた被測定物に４探針を
加圧接触させ、被測定物に流れる電流と、被測定物の抵
抗の電圧降下分を各々測定し、これら測定値に基づい
て、抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率
測定方法及び装置において、被測定物が固定された４探
針に加圧接触したことをトリガ信号として検出し、この
検出したトリガ信号を、コンピュ−タに入力することに
より、被測定物に流れる電流と被測定物の抵抗の電圧降
下分とを、一定時間後に、同時且つ瞬時に取り込み、演
算して、被測定物の抵抗率を算出するようにしたもので
ある。 【効果】 電源の出力電流の安定性に対する影響、外乱
ノイズの影響、外乱ノイズとしての人体からの誘導ノイ
ズ等を除去出来る。被測定物を把持して測定を行うこと
が出来、測定する際の作業効率を上げることが出来る。
測定するのに好適な４探針法による抵抗率測定方法及び
その装置に関する。 【解決手段】 絶縁体に固定させた被測定物に４探針を
加圧接触させ、被測定物に流れる電流と、被測定物の抵
抗の電圧降下分を各々測定し、これら測定値に基づい
て、抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率
測定方法及び装置において、被測定物が固定された４探
針に加圧接触したことをトリガ信号として検出し、この
検出したトリガ信号を、コンピュ−タに入力することに
より、被測定物に流れる電流と被測定物の抵抗の電圧降
下分とを、一定時間後に、同時且つ瞬時に取り込み、演
算して、被測定物の抵抗率を算出するようにしたもので
ある。 【効果】 電源の出力電流の安定性に対する影響、外乱
ノイズの影響、外乱ノイズとしての人体からの誘導ノイ
ズ等を除去出来る。被測定物を把持して測定を行うこと
が出来、測定する際の作業効率を上げることが出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、４探針法による
抵抗率測定方法及びその装置に関するもので、特にシリ
コンインゴットの抵抗率測定に好適な方法及び装置に関
するものである。
抵抗率測定方法及びその装置に関するもので、特にシリ
コンインゴットの抵抗率測定に好適な方法及び装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、被測定物の抵抗率を測定する方法
及びその装置として、図３に示すような４探針法による
抵抗率測定方法及びその装置がある。以下、これについ
て説明する。
及びその装置として、図３に示すような４探針法による
抵抗率測定方法及びその装置がある。以下、これについ
て説明する。
【０００３】図３に示すように、４１は試料（以下、被
測定物と記す）、４２は直線上に等間隔に並んだ４本の
探針（以下、４探針と記す）、４３は被測定物４１に一
定の電流を供給する定電流電源、４４は被測定物４１の
抵抗の電圧降下を測定する電位差計、４５は被測定物４
１に流れる電流を測定するための電流計である。
測定物と記す）、４２は直線上に等間隔に並んだ４本の
探針（以下、４探針と記す）、４３は被測定物４１に一
定の電流を供給する定電流電源、４４は被測定物４１の
抵抗の電圧降下を測定する電位差計、４５は被測定物４
１に流れる電流を測定するための電流計である。
【０００４】このような測定回路を用いて、被測定物の
抵抗率を測定するには、まず、被測定物４１を絶縁体
（図示せず）に固定した後、被測定物４１の表面に、間
隔Ｓの等間隔に垂直配置した４探針４２を加圧接触させ
る。ここで、４探針４２のうち、一方の外側に垂直配置
されている探針４２ａには、定電流電源４３が電流計４
４を介して接続されている。この定電流電源４３により
被測定物４１に供給される一定電流Ｉが、電流計４４で
測定される。一方、４探針４２の中側に垂直配置されて
いる２本の探針４２ｂ、４２ｃ間には、電位差計４４が
接続され、この電位差計４５により、この間の電位差Ｖ
が測定される。さらに、他方の外側に垂直配置されてい
る探針４２ｄには、定電流源４３のリターンに接続され
ている。
抵抗率を測定するには、まず、被測定物４１を絶縁体
（図示せず）に固定した後、被測定物４１の表面に、間
隔Ｓの等間隔に垂直配置した４探針４２を加圧接触させ
る。ここで、４探針４２のうち、一方の外側に垂直配置
されている探針４２ａには、定電流電源４３が電流計４
４を介して接続されている。この定電流電源４３により
被測定物４１に供給される一定電流Ｉが、電流計４４で
測定される。一方、４探針４２の中側に垂直配置されて
いる２本の探針４２ｂ、４２ｃ間には、電位差計４４が
接続され、この電位差計４５により、この間の電位差Ｖ
が測定される。さらに、他方の外側に垂直配置されてい
る探針４２ｄには、定電流源４３のリターンに接続され
ている。
【０００５】このようにしてそれぞれ電流計４４で測定
した被測定物４１に流れる電流Ｉ［Ａ］、及び電位差計
４５で測定した探針間の電位差Ｖ［Ｖ］から、下式によ
り、抵抗率ρが求められる。 ρ＝２πＳＶ／Ｉ［Ω・ｃｍ］ ここで、 Ｓ：探針間距離［ｃｍ］
した被測定物４１に流れる電流Ｉ［Ａ］、及び電位差計
４５で測定した探針間の電位差Ｖ［Ｖ］から、下式によ
り、抵抗率ρが求められる。 ρ＝２πＳＶ／Ｉ［Ω・ｃｍ］ ここで、 Ｓ：探針間距離［ｃｍ］
【０００６】
【発明が解決しようとする問題点】このように、被測定
物４１の抵抗率ρを測定するには、まず被測定物４１を
手でもって絶縁体上に固定した後、４探針４２を被測定
物４１に加圧接触させ、次いで、電流計４４で測定した
被測定物４１に流れる電流Ｉ［Ａ］及び電位差計４５で
測定した探針間の電位差Ｖ［Ｖ］をそれぞれ求め、これ
らの測定データから、抵抗率ρを算出していた。
物４１の抵抗率ρを測定するには、まず被測定物４１を
手でもって絶縁体上に固定した後、４探針４２を被測定
物４１に加圧接触させ、次いで、電流計４４で測定した
被測定物４１に流れる電流Ｉ［Ａ］及び電位差計４５で
測定した探針間の電位差Ｖ［Ｖ］をそれぞれ求め、これ
らの測定データから、抵抗率ρを算出していた。
【０００７】そのため、被測定物４１をいちいち絶縁体
上に固定した後、電流Ｉ及び電位差Ｖを測定するため、
作業効率が悪いという問題があった。そこで、作業効率
を上げるために、被測定物４１を絶縁物に固定させずに
手で持って探針４２に加圧接触させ、測定を行うことも
考えられるが、一般的には誘導等の外乱ノイズによる誤
差を生じるため、測定には技術を要するという問題があ
る。その上、さらに被測定物４１を手に持って測定する
ということは、多量の誘導ノイズを生じ、測定値に耐え
難い誤差を生じるという問題があった。又、この誘導ノ
イズを排除するためには、多くのフィルタが必要であっ
た。
上に固定した後、電流Ｉ及び電位差Ｖを測定するため、
作業効率が悪いという問題があった。そこで、作業効率
を上げるために、被測定物４１を絶縁物に固定させずに
手で持って探針４２に加圧接触させ、測定を行うことも
考えられるが、一般的には誘導等の外乱ノイズによる誤
差を生じるため、測定には技術を要するという問題があ
る。その上、さらに被測定物４１を手に持って測定する
ということは、多量の誘導ノイズを生じ、測定値に耐え
難い誤差を生じるという問題があった。又、この誘導ノ
イズを排除するためには、多くのフィルタが必要であっ
た。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に係わる発明
は、絶縁体に固定した被測定物に４探針を加圧接触さ
せ、この被測定物に流れる電流と前記被測定物の抵抗の
電圧降下分を測定し、これら測定値に基づいて、抵抗率
を算出するようにした４探針法による抵抗率の測定方法
において、被測定物が４探針に加圧接触したことをトリ
ガ信号として検出し、この検出したトリガ信号をコンピ
ュ−タ（演算装置）に入力することにより、被測定物に
流れる電流と被測定物の抵抗の電圧降下分とを同時且つ
瞬時に取り込み、この取り込んだ被測定物に流れる電流
と被測定物の抵抗の電圧降下分とから被測定物の抵抗率
を算出するようにしたものである。
は、絶縁体に固定した被測定物に４探針を加圧接触さ
せ、この被測定物に流れる電流と前記被測定物の抵抗の
電圧降下分を測定し、これら測定値に基づいて、抵抗率
を算出するようにした４探針法による抵抗率の測定方法
において、被測定物が４探針に加圧接触したことをトリ
ガ信号として検出し、この検出したトリガ信号をコンピ
ュ−タ（演算装置）に入力することにより、被測定物に
流れる電流と被測定物の抵抗の電圧降下分とを同時且つ
瞬時に取り込み、この取り込んだ被測定物に流れる電流
と被測定物の抵抗の電圧降下分とから被測定物の抵抗率
を算出するようにしたものである。
【０００９】請求項２に係わる発明は、請求項１に係わ
る発明において、４短針を固定するとともに、絶縁体に
前記被測定物を固定する代わりにこれを把持して４探針
に加圧接触するようにしたものである。
る発明において、４短針を固定するとともに、絶縁体に
前記被測定物を固定する代わりにこれを把持して４探針
に加圧接触するようにしたものである。
【００１０】請求項３に係わる発明は、請求項１〜請求
項２にそれぞれ係わる発明において、被測定物に固定し
た４探針が加圧接触した時、検出されるトリガ信号は、
４探針に接続したマイクロスイッチの接点データである
ようにしたものである。
項２にそれぞれ係わる発明において、被測定物に固定し
た４探針が加圧接触した時、検出されるトリガ信号は、
４探針に接続したマイクロスイッチの接点データである
ようにしたものである。
【００１１】請求項４に係わる発明は、請求項１〜請求
項３にそれぞれ係わる発明において、被測定物として
は、シリコンインゴットを測定するようにしたものであ
る。
項３にそれぞれ係わる発明において、被測定物として
は、シリコンインゴットを測定するようにしたものであ
る。
【００１２】請求項５に係わる発明は、絶縁体に固定し
た被測定物に加圧接触するための４探針と、この４探針
を被測定物に加圧接触した時の被測定物に流れる電流を
測定する電流計と、被測定物の抵抗にかかる電圧降下分
を測定する電位差計と、電流値と電圧降下分とを基準に
して抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率
測定装置において、被測定物が４探針に加圧接触したこ
とをトリガ信号として検出する探針加圧接触検出装置
と、このトリガ信号が入力した時、被測定物に流れる電
流と被測定物の抵抗にかかる電圧降下分とを同時且つ瞬
時に取り込む機能と、この取り込んだ被測定物に流れる
電流と被測定物の抵抗の電圧降下分とから被測定物の抵
抗率を算出する機能とを有するコンピュータを備えたも
のである。
た被測定物に加圧接触するための４探針と、この４探針
を被測定物に加圧接触した時の被測定物に流れる電流を
測定する電流計と、被測定物の抵抗にかかる電圧降下分
を測定する電位差計と、電流値と電圧降下分とを基準に
して抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率
測定装置において、被測定物が４探針に加圧接触したこ
とをトリガ信号として検出する探針加圧接触検出装置
と、このトリガ信号が入力した時、被測定物に流れる電
流と被測定物の抵抗にかかる電圧降下分とを同時且つ瞬
時に取り込む機能と、この取り込んだ被測定物に流れる
電流と被測定物の抵抗の電圧降下分とから被測定物の抵
抗率を算出する機能とを有するコンピュータを備えたも
のである。
【００１３】請求項６に係わる発明は、請求項５に係わ
る発明において、探針加圧接触検出装置は、４探針に設
けたマイクロスイッチ接点であるようにしたものであ
る。
る発明において、探針加圧接触検出装置は、４探針に設
けたマイクロスイッチ接点であるようにしたものであ
る。
【００１４】請求項７に係わる発明は、請求項５〜請求
項６にそれぞれ係わる発明において、トリガ信号は、４
短針が被測定物に加圧接触した時のマイクロスイッチ接
点データとしたものである。
項６にそれぞれ係わる発明において、トリガ信号は、４
短針が被測定物に加圧接触した時のマイクロスイッチ接
点データとしたものである。
【００１５】請求項８に係わる発明は、請求項５〜請求
項７にそれぞれ係わる発明において、被測定物をシリコ
ンインゴットとしたものである。
項７にそれぞれ係わる発明において、被測定物をシリコ
ンインゴットとしたものである。
【００１６】請求項９に係わる発明は、絶縁体に固定し
た被測定物に加圧接触するための４探針と、この４探針
を被測定物に加圧接触した時の被測定物に流れる電流を
測定する電流計と、被測定物の抵抗にかかる電圧降下分
を測定する電位差計と、電流値と電圧降下分とを基準に
して抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率
測定装置において、被測定物が４探針に加圧接触した際
に、被測定物に流れる初期電流をトリガ信号として検出
する初期電流検出装置と、このトリガ信号が入力した
時、被測定物に流れる電流と被測定物の抵抗にかかる電
圧降下分とを同時且つ瞬時に取り込む機能と、この取り
込んだ被測定物に流れる電流と被測定物の抵抗の電圧降
下分とから被測定物の抵抗率を算出する機能とを有する
コンピュータを備えたものである。
た被測定物に加圧接触するための４探針と、この４探針
を被測定物に加圧接触した時の被測定物に流れる電流を
測定する電流計と、被測定物の抵抗にかかる電圧降下分
を測定する電位差計と、電流値と電圧降下分とを基準に
して抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率
測定装置において、被測定物が４探針に加圧接触した際
に、被測定物に流れる初期電流をトリガ信号として検出
する初期電流検出装置と、このトリガ信号が入力した
時、被測定物に流れる電流と被測定物の抵抗にかかる電
圧降下分とを同時且つ瞬時に取り込む機能と、この取り
込んだ被測定物に流れる電流と被測定物の抵抗の電圧降
下分とから被測定物の抵抗率を算出する機能とを有する
コンピュータを備えたものである。
【００１７】請求項１０に係わる発明は、請求項９に係
わる発明において、被測定物をシリコンインゴットとし
たものである。
わる発明において、被測定物をシリコンインゴットとし
たものである。
【００１８】
【実施例１】この発明の第１の実施例を、図１に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１９】図１は、この発明の第１の実施例を示すブ
ロック図で、１は被測定物であり、この実施例の場合に
は、シリコンインゴットである。２は直線上に等間隔に
並んだ４本の探針（以下４探針と記す）で、後述する探
針加圧接触検出装置１１に接続されている。そして、こ
の４探針２は被測定物１の表面にある凹凸にも対応出来
るように、４探針２の周囲をそれぞれ包囲するケース
（図示せず）の内奥部には、スプリング（図示せず）を
介在させて、このスプリングの弾性により４探針２の先
端部は、凹凸に対応してケースから出入り可能に形成さ
れている。なお、この実施例では探針の軸上５ｍｍの出
入りが出来るように構成されている。
ロック図で、１は被測定物であり、この実施例の場合に
は、シリコンインゴットである。２は直線上に等間隔に
並んだ４本の探針（以下４探針と記す）で、後述する探
針加圧接触検出装置１１に接続されている。そして、こ
の４探針２は被測定物１の表面にある凹凸にも対応出来
るように、４探針２の周囲をそれぞれ包囲するケース
（図示せず）の内奥部には、スプリング（図示せず）を
介在させて、このスプリングの弾性により４探針２の先
端部は、凹凸に対応してケースから出入り可能に形成さ
れている。なお、この実施例では探針の軸上５ｍｍの出
入りが出来るように構成されている。
【００２０】３は、定電流電源で、被測定物１に一定電
流を供給するためのものである。なお、この発明では、
出力電流の安定性は必ずしも必要ではない。４は電流検
出用抵抗であり、既知の抵抗値が用いられており、定電
流電源３から供給される電流が流れることにより、その
抵抗値による電圧降下を測定するためのものである。
流を供給するためのものである。なお、この発明では、
出力電流の安定性は必ずしも必要ではない。４は電流検
出用抵抗であり、既知の抵抗値が用いられており、定電
流電源３から供給される電流が流れることにより、その
抵抗値による電圧降下を測定するためのものである。
【００２１】５は、電流測定用絶縁アンプで、定電流電
源３から供給される電流による電流検出用抵抗４の電圧
降下分を、アイソレーションをとった上で増幅する。６
は、被測定物１の抵抗検出用絶縁アンプであり、定電流
電源３から供給される電流が、４探針２の中側に配置さ
れている２本の探針間における被測定物１の抵抗による
電圧降下分を、アイソレーションをとった上で増幅す
る。
源３から供給される電流による電流検出用抵抗４の電圧
降下分を、アイソレーションをとった上で増幅する。６
は、被測定物１の抵抗検出用絶縁アンプであり、定電流
電源３から供給される電流が、４探針２の中側に配置さ
れている２本の探針間における被測定物１の抵抗による
電圧降下分を、アイソレーションをとった上で増幅す
る。
【００２２】７は、Ａ／Ｄコンバータであり、電流測定
用絶縁アンプ５と被測定物１の抵抗検出用絶縁アンプ６
とからのそれぞれアナログ信号の電流や電圧をデジタル
信号に変換する。
用絶縁アンプ５と被測定物１の抵抗検出用絶縁アンプ６
とからのそれぞれアナログ信号の電流や電圧をデジタル
信号に変換する。
【００２３】８は、コンピュータであり、被測定物１が
４探針２に加圧接触した事により発生するトリガ信号が
入力した時、Ａ／Ｄコンバータ７によりデジタル信号に
変換された電流及び抵抗の電圧降下分に対応する各デジ
タル信号を、同時且つ瞬時に取り込む機能、測定タイミ
ングの制御、被測定物１に流れる電流及び探針間の抵抗
の電圧降下分に対応する各デジタル信号から抵抗率ρを
算出する機能等を備えている。
４探針２に加圧接触した事により発生するトリガ信号が
入力した時、Ａ／Ｄコンバータ７によりデジタル信号に
変換された電流及び抵抗の電圧降下分に対応する各デジ
タル信号を、同時且つ瞬時に取り込む機能、測定タイミ
ングの制御、被測定物１に流れる電流及び探針間の抵抗
の電圧降下分に対応する各デジタル信号から抵抗率ρを
算出する機能等を備えている。
【００２４】９は、表示器であり、コンピュータ８によ
って算出された抵抗率ρを表示する。１０は、表示器９
以外の出力装置であり、コンピュータ８によって算出さ
れた抵抗率ρを出力する。
って算出された抵抗率ρを表示する。１０は、表示器９
以外の出力装置であり、コンピュータ８によって算出さ
れた抵抗率ρを出力する。
【００２５】１１は、探針加圧接触検出装置で、被測定
物１が４探針２に加圧接触したことを検出するためのも
ので、この実施例の場合には、４探針２にはマイクロス
イッチが接続されており、被測定物１が４探針２に加圧
接触した際のストロークでマイクロスイッチが入り、そ
の接点データがトリガ信号としてコンピュータ８にて取
り込まれる。
物１が４探針２に加圧接触したことを検出するためのも
ので、この実施例の場合には、４探針２にはマイクロス
イッチが接続されており、被測定物１が４探針２に加圧
接触した際のストロークでマイクロスイッチが入り、そ
の接点データがトリガ信号としてコンピュータ８にて取
り込まれる。
【００２６】次に、図１に基づいて作用動作について説
明する。まず、被測定物１を把持して、探針加圧接触検
出装置１１にケーブル（図示せず）を介して接続され、
固定されている４探針２に加圧接触させる。すると、こ
の加圧接触したことは、探針加圧接触検出装置１１によ
り、４探針２の奥に配設されているマイクロスイッチの
接点データとしてトリガ信号が検出され、このトリガ信
号はコンピュータ８に入力される。
明する。まず、被測定物１を把持して、探針加圧接触検
出装置１１にケーブル（図示せず）を介して接続され、
固定されている４探針２に加圧接触させる。すると、こ
の加圧接触したことは、探針加圧接触検出装置１１によ
り、４探針２の奥に配設されているマイクロスイッチの
接点データとしてトリガ信号が検出され、このトリガ信
号はコンピュータ８に入力される。
【００２７】トリガ信号がコンピュータ８に入力する
と、被測定物１に流れる電流は、既知の抵抗値を持った
電流検出抵抗４の電圧降下分から算出され、この算出さ
れた電流は、電流測定絶縁アンプ５によりアイソレーシ
ョンをとった上で増幅される。次いで、Ａ／Ｄコンバー
タ７にてＡ／Ｄ変換されて、デジタル信号の電流とし
て、コンピュータ８に取り込まれる。
と、被測定物１に流れる電流は、既知の抵抗値を持った
電流検出抵抗４の電圧降下分から算出され、この算出さ
れた電流は、電流測定絶縁アンプ５によりアイソレーシ
ョンをとった上で増幅される。次いで、Ａ／Ｄコンバー
タ７にてＡ／Ｄ変換されて、デジタル信号の電流とし
て、コンピュータ８に取り込まれる。
【００２８】同様に、トリガ信号がコンピュータ８に入
力すると、４探針２の中側に配置されている２本の探針
間の電位差は、被測定物１の抵抗の電圧降下分を、被測
定物抵抗検出用絶縁アンプ６によりアイソレーションを
とった上で増幅される。次いで、Ａ／Ｄコンバータ７に
てＡ／Ｄ変換されて、デジタル信号の電圧降下分とし
て、コンピュータ８に取り込まれる。
力すると、４探針２の中側に配置されている２本の探針
間の電位差は、被測定物１の抵抗の電圧降下分を、被測
定物抵抗検出用絶縁アンプ６によりアイソレーションを
とった上で増幅される。次いで、Ａ／Ｄコンバータ７に
てＡ／Ｄ変換されて、デジタル信号の電圧降下分とし
て、コンピュータ８に取り込まれる。
【００２９】次いで、このようにしてトリガ信号がコン
ピュータ８に取り込まれた一定時間後における同時かつ
瞬時の電圧・電流値により、上記の式から、抵抗率ρが
算出される。なお、この実施例では一定時間を１秒とし
て行ったが、任意の時間に設定可能である。
ピュータ８に取り込まれた一定時間後における同時かつ
瞬時の電圧・電流値により、上記の式から、抵抗率ρが
算出される。なお、この実施例では一定時間を１秒とし
て行ったが、任意の時間に設定可能である。
【００３０】この算出された抵抗率ρは、表示器９にお
いて表示され、また、表示器以外の出力装置１０にも出
力される。
いて表示され、また、表示器以外の出力装置１０にも出
力される。
【００３１】なお、この表示器９は、何桁かの７セグメ
ント表示器でもよいし、液晶ディスプレイでもよいし、
ＣＲＴ（陰極線管）でもよい。また、この表示器以外の
出力装置１０としては、装置外部の何桁かの７セグメン
ト表示器、液晶ディスプレイ、ＣＲＴ（陰極線管）とい
った表示器でもよいし、プリンタでもよいし、装置内外
のハードディスク装置でもよいし、磁気テープ、ＦＤ
（フレキシブルディスク）、ＣＤ−Ｒ（書き込み可能コ
ンパクトディスク）、ＣＤ−ＲＷ（再書き込み可能コン
パクトディスク）、ＭＯ（再書き込み可能光磁気ディス
ク）等といった外部記憶媒体の装置でもよい。
ント表示器でもよいし、液晶ディスプレイでもよいし、
ＣＲＴ（陰極線管）でもよい。また、この表示器以外の
出力装置１０としては、装置外部の何桁かの７セグメン
ト表示器、液晶ディスプレイ、ＣＲＴ（陰極線管）とい
った表示器でもよいし、プリンタでもよいし、装置内外
のハードディスク装置でもよいし、磁気テープ、ＦＤ
（フレキシブルディスク）、ＣＤ−Ｒ（書き込み可能コ
ンパクトディスク）、ＣＤ−ＲＷ（再書き込み可能コン
パクトディスク）、ＭＯ（再書き込み可能光磁気ディス
ク）等といった外部記憶媒体の装置でもよい。
【００３２】
【実施例２】この発明の第２の実施例を、図２に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００３３】図２は、この発明の第２の実施例を示すブ
ロック図で、２１は電流検出手段で、被測定物１に流れ
る電流を検出しており、電流測定絶縁アンプ５及びＡ／
Ｄコンバータ７より構成されている。２２は初期電流検
出装置で、電流検出手段２１に接続されており、被測定
物１が４探針２に加圧接触した際に、被測定物１に流れ
る初期電流を検出する。なお、第１の実施例と同一のも
のは同一の名称及び同一番号を使用し、その説明を省略
する。
ロック図で、２１は電流検出手段で、被測定物１に流れ
る電流を検出しており、電流測定絶縁アンプ５及びＡ／
Ｄコンバータ７より構成されている。２２は初期電流検
出装置で、電流検出手段２１に接続されており、被測定
物１が４探針２に加圧接触した際に、被測定物１に流れ
る初期電流を検出する。なお、第１の実施例と同一のも
のは同一の名称及び同一番号を使用し、その説明を省略
する。
【００３４】次に、図２に基づいて作用動作について説
明する。まず、第１の実施例と同様に、被測定物１を把
持して、固定されている４探針２に加圧接触させる。
明する。まず、第１の実施例と同様に、被測定物１を把
持して、固定されている４探針２に加圧接触させる。
【００３５】通常、被測定物１が４探針２に加圧接触す
るまではオープンループであり電流が流れず、接触した
時にクローズドループとなり電流が流れる。そこで、被
測定物１を把持して４探針２に加圧接触させると、定電
流電源３からの電流が電流検出手段２１に流れるが、こ
の際、初期電流は、電流検出手段２１を介して初期電流
検出装置２２で検出される。この検出された初期電流が
トリガ信号としてコンピュータ８に入力される。即ち、
初期電流検出装置２２は、定電流電源３からの出力があ
ったことを検出するもので、この出力検出をトリガ信号
としてコンピュータ８に入力するようにしたものであ
る。
るまではオープンループであり電流が流れず、接触した
時にクローズドループとなり電流が流れる。そこで、被
測定物１を把持して４探針２に加圧接触させると、定電
流電源３からの電流が電流検出手段２１に流れるが、こ
の際、初期電流は、電流検出手段２１を介して初期電流
検出装置２２で検出される。この検出された初期電流が
トリガ信号としてコンピュータ８に入力される。即ち、
初期電流検出装置２２は、定電流電源３からの出力があ
ったことを検出するもので、この出力検出をトリガ信号
としてコンピュータ８に入力するようにしたものであ
る。
【００３６】以下、トリガ信号がコンピュータ８に入力
された後の動作については、第１の実施例と同一である
ので説明を省略する。
された後の動作については、第１の実施例と同一である
ので説明を省略する。
【００３７】
【発明の効果】請求項１、請求項５及び請求項９に係わ
る発明では、被測定物の抵抗率の測定において、定電流
電源の出力電流の安定性による影響や、外乱ノイズの影
響を除去することが出来るとともに、それに加えて、外
乱ノイズとしての人体からの誘導ノイズも併せて除去出
来る。さらに、従来のように、誘導ノイズを除去するた
めのフィルタは必要ない等の効果を有する。
る発明では、被測定物の抵抗率の測定において、定電流
電源の出力電流の安定性による影響や、外乱ノイズの影
響を除去することが出来るとともに、それに加えて、外
乱ノイズとしての人体からの誘導ノイズも併せて除去出
来る。さらに、従来のように、誘導ノイズを除去するた
めのフィルタは必要ない等の効果を有する。
【００３８】又、請求項２に係わる発明は、４探針を固
定するとともに、被測定物を把持して４探針に加圧接触
するようにしたもので、被測定物を手に持って測定を行
うことが出来るから、従来のように被測定物をいちいち
絶縁体上に固定して測定するものに比べて、測定する際
の作業効率が非常によくなる。
定するとともに、被測定物を把持して４探針に加圧接触
するようにしたもので、被測定物を手に持って測定を行
うことが出来るから、従来のように被測定物をいちいち
絶縁体上に固定して測定するものに比べて、測定する際
の作業効率が非常によくなる。
【００３９】請求項３及び請求項６、請求項７に係わる
発明は、トリガ信号の発生源としてマイクロスイッチを
用いたので、装置を簡単化、小型化することが出来る。
発明は、トリガ信号の発生源としてマイクロスイッチを
用いたので、装置を簡単化、小型化することが出来る。
【００４０】又、請求項４、請求項８及び請求項１０に
係わる発明は、被測定物としては、シリコンインゴット
を用いたので、この抵抗率の測定を短時間で、且つ容易
に測定することが出来る。
係わる発明は、被測定物としては、シリコンインゴット
を用いたので、この抵抗率の測定を短時間で、且つ容易
に測定することが出来る。
【図１】この発明の第１の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】この発明の第２の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図３】従来の４探針法による抵抗率測定方法を示す説
明概略図である。
明概略図である。
１ 被測定物
２ ４探針
３ 定電流電源
６ 電流検出用抵抗
８ コンピュータ
１１ 探針加圧接触検出装置
２２ 初期電流検出装置
Claims (10)
- 【請求項１】 絶縁体に固定した被測定物に４探針を加
圧接触させ、 この被測定物に流れる電流と前記被測定物の抵抗の電圧
降下分とを測定し、 これら測定値に基づいて、抵抗率を算出するようにした
４探針法による抵抗率測定方法において、 前記被測定物が前記４探針に加圧接触したことをトリガ
信号として検出し、 この検出したトリガ信号をコンピュ−タ（演算装置）に
入力することにより、前記被測定物に流れる電流と前記
被測定物の抵抗の電圧降下分とを、一定時間後に同時且
つ瞬時に取り込み、 この取り込んだ前記被測定物に流れる電流と前記被測定
物の抵抗の電圧降下分とから前記被測定物の抵抗率を算
出することを特徴とする４探針法による抵抗率測定方
法。 - 【請求項２】 前記４探針を固定するとともに、絶縁体
に前記被測定物を固定する代わりにこれを把持して前記
４探針に加圧接触することを特徴とする請求項１に記載
の４探針法による抵抗率測定方法。 - 【請求項３】 前記被測定物に前記固定した４探針が加
圧接触した時、検出されるトリガ信号は、前記４探針に
接続したマイクロスイッチの接点データであることを特
徴とする請求項１〜請求項２にそれぞれ記載の４探針法
による抵抗率測定方法。 - 【請求項４】 前記被測定物は、シリコンインゴットで
あることを特徴とする請求項１〜請求項３にそれぞれ記
載の４探針法による抵抗率測定方法。 - 【請求項５】 絶縁体に固定した被測定物に加圧接触す
るための４探針と、この４探針を前記被測定物に加圧接
触した時のこの被測定物に流れる電流を測定する電流計
と、前記被測定物の抵抗にかかる電圧降下分を測定する
電位差計と、前記電流値と前記電圧降下分とを基準にし
て抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率測
定装置において、 前記被測定物が前記４探針に加圧接触したことをトリガ
信号として検出する探針加圧接触検出装置と、 前記トリガ信号が入力した時、前記被測定物に流れる電
流と前記被測定物の抵抗にかかる電圧降下分とを同時且
つ瞬時に取り込む機能と、この取り込まれた前記被測定
物に流れる電流と前記被測定物の抵抗の電圧降下分とか
ら前記被測定物の抵抗率を算出する機能とを有するコン
ピュータと、 を備えたことを特徴とする４探針法による抵抗率測定装
置。 - 【請求項６】 前記探針加圧接触検出装置は、前記４探
針に設けたマイクロスイッチ接点であることを特徴とす
る請求項５に記載の４探針法による抵抗率測定装置。 - 【請求項７】 前記トリガ信号は、前記４短針が被測定
物に加圧接触した時のマイクロスイッチ接点データであ
ることを特徴とする請求項５〜請求項６にそれぞれ記載
の４探針法による抵抗率測定装置。 - 【請求項８】 前記被測定物は、シリコンインゴットで
あることを特徴とする請求項５〜請求項７にそれぞれ記
載の４探針法による抵抗率測定装置。 - 【請求項９】 絶縁体に固定した被測定物に加圧接触す
るための４探針と、この４探針を前記被測定物に加圧接
触した時のこの被測定物に流れる電流を測定する電流計
と、前記被測定物の抵抗にかかる電圧降下分を測定する
電位差計と、前記電流値と前記電圧降下分とを基準にし
て抵抗率を算出するようにした４探針法による抵抗率測
定装置において、 前記被測定物が前記４探針に加圧接触した際に、前記被
測定物に流れる初期電流をトリガ信号として検出する初
期電流検出装置と、 前記トリガ信号が入力した時、前記被測定物に流れる電
流と前記被測定物の抵抗にかかる電圧降下分とを同時且
つ瞬時に取り込む機能と、この取り込まれた前記被測定
物に流れる電流と前記被測定物の抵抗の電圧降下分とか
ら前記被測定物の抵抗率を算出する機能とを有するコン
ピュータと、 を備えたことを特徴とする４探針法による抵抗率測定装
置。 - 【請求項１０】 前記被測定物は、シリコンインゴット
であることを特徴とする請求項９に記載の４探針法によ
る抵抗率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002031482A JP2003232822A (ja) | 2002-02-07 | 2002-02-07 | ４探針法による抵抗率測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002031482A JP2003232822A (ja) | 2002-02-07 | 2002-02-07 | ４探針法による抵抗率測定方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003232822A true JP2003232822A (ja) | 2003-08-22 |
Family
ID=27774879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002031482A Pending JP2003232822A (ja) | 2002-02-07 | 2002-02-07 | ４探針法による抵抗率測定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003232822A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009541740A (ja) * | 2006-06-19 | 2009-11-26 | エムアールエル インダストリーズ，インコーポレイティド | 高精度のその場での抵抗値計測法 |
| JP2012129308A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | 半導体ウェーハの製造方法 |
| CN102555445A (zh) * | 2012-01-05 | 2012-07-11 | 天长吉阳新能源有限公司 | 一种晶硅太阳能电池丝网印刷测试方法 |
| CN101858940B (zh) * | 2009-04-07 | 2012-09-19 | 中茂电子(深圳)有限公司 | 输出阻抗测量方法及装置 |
| CN102981058A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-20 | 辽宁省电力有限公司抚顺供电公司 | 抗干扰直流电阻测试装置 |
| CN105372502A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-02 | 广东工业大学 | 一种基于LabVIEW的热电材料电阻率测量系统及测量方法 |
| CN109270350A (zh) * | 2018-10-26 | 2019-01-25 | 元能科技（厦门）有限公司 | 一种极片电阻测量仪、系统及方法 |
| CN113466557A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-10-01 | 包头稀土研究院 | 钕铁硼电阻率测量系统及其测量方法 |
| CN114325053A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 广州昆德半导体测试技术有限公司 | 一种四探针电阻率及方阻测试仪 |
| CN117647677A (zh) * | 2024-01-30 | 2024-03-05 | 湖南恩智测控技术有限公司 | 微小电阻测量电路、方法及测量仪表 |
| CN117647677B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-05-17 | 湖南恩智测控技术有限公司 | 微小电阻测量电路、方法及测量仪表 |
-
2002
- 2002-02-07 JP JP2002031482A patent/JP2003232822A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009541740A (ja) * | 2006-06-19 | 2009-11-26 | エムアールエル インダストリーズ，インコーポレイティド | 高精度のその場での抵抗値計測法 |
| CN101858940B (zh) * | 2009-04-07 | 2012-09-19 | 中茂电子(深圳)有限公司 | 输出阻抗测量方法及装置 |
| JP2012129308A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | 半導体ウェーハの製造方法 |
| CN102555445A (zh) * | 2012-01-05 | 2012-07-11 | 天长吉阳新能源有限公司 | 一种晶硅太阳能电池丝网印刷测试方法 |
| CN102981058A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-20 | 辽宁省电力有限公司抚顺供电公司 | 抗干扰直流电阻测试装置 |
| CN105372502A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-02 | 广东工业大学 | 一种基于LabVIEW的热电材料电阻率测量系统及测量方法 |
| CN109270350A (zh) * | 2018-10-26 | 2019-01-25 | 元能科技（厦门）有限公司 | 一种极片电阻测量仪、系统及方法 |
| CN113466557A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-10-01 | 包头稀土研究院 | 钕铁硼电阻率测量系统及其测量方法 |
| CN114325053A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 广州昆德半导体测试技术有限公司 | 一种四探针电阻率及方阻测试仪 |
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| CN117647677B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-05-17 | 湖南恩智测控技术有限公司 | 微小电阻测量电路、方法及测量仪表 |
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