JP2012121118A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、研削手段による研削加工部に研削水を供給する研削水供給手段とを具備し、研削手段がスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントと、ホイールマウントに取り付けられたホイール基台とホイール基台の下面外周部に装着された環状の研削砥石とからなる研削ホイールを具備している研削装置であって、研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている。
【選択図】図2
Description
また、研削砥石によってウエーハの裏面を研削すると、研削砥石に目詰まりが発生し研削能力が低下する。特に、シリコン基板や表面に光デバイスが形成されたサファイヤ基板や磁気ヘッドが形成されるアルチック基板等のモース高度が高い硬質材料を研削すると、研削砥石の目詰まりによる研削能力の低下によって生産性が著しく低下するという問題がある。このため、研削砥石を頻繁にドレッシングしなければならず、生産性が悪い。
該研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている、
ことを特徴とする研削装置が提供される。
また、上記超音波振動付与機構は、研削手段による研削加工部において環状の研削砥石の外周面に沿って配設されスピンドルハウジングに装着された円弧状の振動部を備えた振動体と、該振動体に配設された超音波振動手段と、該超音波振動手段に高周波電力を印加する電力供給手段とを具備している。
図1には、本発明に従って構成された研削装置の斜視図が示されている。図1に示す研削装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研削手段としての研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
ホイールマウント43は、図3に示すように回転スピンドル42の下端に一体に円盤状に形成されている。このホイールマウント43には、4個のボルト挿通穴431が設けられている。また、ホイールマウント43の中心部には、コネクター挿入穴423が形成されている。
上記電力供給手段9から電動モータ8のステータコイル82に交流電力が供給される。この結果、電動モータ8が回転して回転スピンドル42が回転し、該回転スピンドル42の先端に取付けられた研削ホイール5が回転せしめられる。
上記ウエーハWを研削するには、図1に示すように研削装置の被加工物載置域24に位置付けられているチャックテーブル12上にウエーハWを載置する。なお、ウエーハWのデバイスが形成されている表面には保護テープTが貼着されており、この保護テープT側をチャックテーブル12に載置する。このようにしてチャックテーブル12上に載置されたウエーハWは、図示しない吸引手段によってチャックテーブル12上に吸引保持される。
図示の実施形態における超音波振動付与機構の振動体600は、図5および図6に示すようにスピンドルハウジング41における研削ホイール5を構成する環状の研削砥石52による研削加工部と対応する位置に装着されている。図示の実施形態における振動体600は、上端部に設けられた取り付け部601と、該取り付け部601の下端から下方に突出して形成された円弧状の振動部602とからなり、取り付け部601が締結ボルト603によってスピンドルハウジング41に取り付けられる。このようにしてスピンドルハウジング41に取り付けられた振動体600は、円弧状の振動部602が研削ホイール5を構成する環状の研削砥石52の外周面に沿って配設される。
3:研削ユニット
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
43:ホイールマウント
5:研削ホイール
51:ホイール基台
52:研削砥石
6:超音波振動付与機構
60、600:振動体
7:超音波振動手段
71:環状の超音波振動子
72a、72b:一対の環状の電極板
70a:第1の超音波振動手段
70b:第2の超音波振動手段
701:超音波振動子
702a、702b:一対の電極板
8:電動モータ
9:電力供給手段
10:研削ユニット送り機構
12:チャックテーブル
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、該研削手段による研削加工部に研削水を供給する研削水供給手段とを具備し、該研削手段がスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントに取り付けられたホイール基台と該ホイール基台の下面外周部に装着された環状の研削砥石とからなる研削ホイールを具備している研削装置において、
該研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている、
ことを特徴とする研削装置。 - 該超音波振動付与機構は、該環状の研削砥石の内周面に沿って配設され該ホイール基台とともに回転する円筒状の振動部を備えた振動体と、該振動体に配設された超音波振動手段と、該超音波振動手段に高周波電力を印加する電力供給手段とを具備している、請求項1記載の研削装置。
- 該超音波振動付与機構は、該研削手段による研削加工部において該環状の研削砥石の外周面に沿って配設され該スピンドルハウジングに装着された円弧状の振動部を備えた振動体と、該振動体に配設された超音波振動手段と、該超音波振動手段に高周波電力を印加する電力供給手段とを具備している、請求項1記載の研削装置。
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