JP2012069966A - 熱スペーサを有する半導体デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ユニットセルは各々、制御電極24と、第1及び第2の被制御電極20,22とを有する。熱スペーサ(すなわち、電気的に不活性な領域)40が、これらのユニットセルのうち少なくとも1つを第1の活性部分及び第2の活性部分50に分割し、第2の活性部分は、この熱スペーサにより第1の部分から離隔される。ユニットセルの制御電極ならびに第1及び第2の被制御電極は、第1の熱スペーサを横切っている。
【選択図】図2
Description
本発明は、米海軍により授与された契約N39997−99−C−3761号に基づく政府助成により開発されたものである。米国政府は、本発明において一定の権利を有する。
本発明の利点及び特徴、ならびにその利点及び特徴がどのように実現されるかは、本発明についての以下の詳細な説明を例示的な実施形態を示す添付図面と共に考慮することより容易に明らかになるであろう。
Claims (33)
- 各々が制御電極と第1の被制御電極及び第2の被制御電極とを有し、並列に接続された複数のユニットセルと、
前記ユニットセルの少なくとも1つを第1の活性部分及び第2の活性部分に分割し、前記第2の活性部分を前記第1の活性部分から離隔する熱スペーサとを備え、
前記少なくとも1つのユニットセルの前記制御電極と前記第1の被制御電極及び前記第2の被制御電極は、前記熱スペーサを横切って延びていることを特徴とする高出力高周波半導体デバイス。 - 前記熱スペーサは、第1の熱スペーサを備え、
前記半導体デバイスは、前記少なくとも1つのユニットセルを分割して第3の活性部分を形成し、前記第3の活性部分を前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分から離隔する第2の熱スペーサをさらに備え、
前記少なくとも1つのユニットセルの前記制御電極と前記第1の被制御電極及び前記第2の被制御電極は、前記第2の熱スペーサを横切って延びていることを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。 - 隣接するユニットセルを第1の活性部分及び第2の活性部分に分割する第3の熱スペーサをさらに備え、
前記隣接するユニットセルの前記制御電極と前記第1の被制御電極及び前記第2の被制御電極は、前記第3の熱スペーサを横切って延びており、
前記第3の熱スペーサは、前記第1の熱スペーサ及び前記第2の熱スペーサからずれていることを特徴とする請求項2に記載の高出力高周波半導体デバイス。 - 前記少なくとも1つのユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分はメサを含み、前記熱スペーサは前記メサ間の領域を含むことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記少なくとも1つのユニットセルの前記第1の被制御電極及び/又は前記第2の被制御電極の少なくとも1つは、前記メサ間の前記領域に架かるエアブリッジを含むことを特徴とする請求項4に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記少なくとも1つのユニットセルの前記制御電極は前記メサの側壁上に設けられ、前記メサ間の前記領域の底面へと延びていることを特徴とする請求項4に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記メサは基板上のエピタキシャル層を含み、前記メサ間の前記領域は前記基板の露出領域を含むことを特徴とする請求項4に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記熱スペーサは、前記少なくとも1つのユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分の間に電気的に不活性な埋め込み領域及び/又は絶縁体領域を含むことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記制御電極が前記熱スペーサと交差するところでの該制御電極の断面積が、前記少なくとも1つのユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分上の前記制御電極の断面積よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記制御電極が前記熱スペーサと交差するところでの該制御電極の幅が、前記少なくとも1つのユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分上の前記制御電極の幅よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記熱スペーサは、特定の1組の動作条件で、対応する単一ゲートデバイスよりも低いピーク接合部温度を提供するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記ユニットセルは、リニアアレイに配置された複数のユニットセルを含むことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記制御電極はゲートフィンガを含み、前記第1の被制御電極及び前記第2の被制御電極はソース電極及びドレイン電極を含むことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記ユニットセルは、炭化ケイ素MESFETのユニットセルを含むことを特徴とする請求項13に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記ユニットセルは、GaNトランジスタのユニットセルを含むことを特徴とする請求項13に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 前記熱スペーサは、動作中に発熱しないように構成された電気的に不活性な領域を含むことを特徴とする請求項1に記載の高出力高周波半導体デバイス。
- 各々がソース領域及びドレイン領域を有し、電気的に並列接続された複数のユニットセルと、
前記ユニットセルの、電気的に並列接続された複数のゲート電極と、
前記ユニットセルの、電気的に並列接続された複数のソース電極と、
前記ユニットセルの、電気的に並列接続された複数のドレイン電極と、
前記複数のユニットセルのうちの対応するユニットセルを、少なくとも第1の活性部分及び第2の活性部分に分割する複数の熱スペーサとを備え、
前記ユニットセルの前記ゲート電極と前記ソース電極と前記ドレイン電極が前記対応する熱スペーサを横切っていることを特徴とする高出力高周波電界効果トランジスタ。 - 前記複数のユニットセルは、ユニットセルのリニアアレイを含むことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記複数の熱スペーサは、市松模様を提供することを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記複数の熱スペーサの寸法は、ほぼ均一であることを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記複数の熱スペーサは、隣り合うユニットセル間で整合されていることを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記複数の熱スペーサの寸法は、不均一であることを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記複数のユニットセルは、複数の炭化ケイ素ユニットセルを含むことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記複数のユニットセルは、窒化ガリウムをベースとする複数のユニットセルを含むことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記ユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分はメサを含み、前記熱スペーサは前記メサ間の領域を含むことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記ユニットセルの前記第1の被制御電極及び/又は前記第2の被制御電極の少なくとも1つは、前記メサ間の前記領域に架かるエアブリッジを含むことを特徴とする請求項25に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記ユニットセルの前記制御電極は前記メサの側壁上に設けられ、前記メサ間の前記領域の底面へと延びていることを特徴とする請求項25に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記メサは基板上のエピタキシャル層を含み、前記メサ間の前記領域は前記基板の露出領域を含むことを特徴とする請求項25に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記熱スペーサは、前記ユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分の間に電気的に不活性な埋め込み領域及び/又は絶縁体領域を含むことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記制御電極が前記熱スペーサと交差するところでの該制御電極の断面積が、前記ユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分上の前記制御電極の断面積よりも大きいことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記制御電極が前記熱スペーサと交差するところでの該制御電極の幅が、前記ユニットセルの前記第1の活性部分及び前記第2の活性部分上の前記制御電極の幅よりも大きいことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記熱スペーサは、特定の1組の動作条件で、対応する単一ゲートデバイスよりも低いピーク接合部温度を提供するように構成されていることを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
- 前記熱スペーサは、動作中に発熱しないような電気的に不活性な領域を含むことを特徴とする請求項17に記載の高出力高周波電界効果トランジスタ。
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