JP2012041253A - 窒化アルミニウム系粒子、窒化アルミニウム系粒子の製造方法、及び窒化アルミニウム系粒子の製造装置 - Google Patents

窒化アルミニウム系粒子、窒化アルミニウム系粒子の製造方法、及び窒化アルミニウム系粒子の製造装置 Download PDF

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Abstract

【課題】熱伝導性に優れた新規な構成のAlN粒子を簡易に提供する。
【解決手段】カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置し、次いで、前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射し、アルミナ及び酸窒化アルミニウムの少なくとも一方からなるコアと、前記コアの表面に形成された、窒化アルミニウムからなる表面層とを具える窒化アルミニウム系粒子を製造する。
【選択図】図1

Description

本発明は、高絶縁性及び高熱導電性フィラーとして有用な、窒化アルミニウム系粒子、並びにその製造方法及び製造装置に関する。
窒化アルミニウム(AlN)は、六方晶ウルツ鉱構造のワイドギャップ物質で、AlとNとが共有結合的に結びついた優れたフォノン熱伝導体である。したがって、AlNは高絶縁性を有するとともに高熱伝導性を有するため、AlN粒子は、電子部品装置や半導体装置の封止樹脂中に含有させるフィラーとして有効である。すなわち、AlN粒子を封止樹脂中に含有させることによって、封止樹脂の絶縁性を担保しながら、封止樹脂の熱伝導性を高めることができる。
このため、電子部品や半導体チップを駆動させることによって生成した熱を効率良く伝搬させて、外部に放出させることができるようになる。結果として、封止樹脂の熱劣化や熱破損を抑制することができ、上記電子部品装置や半導体装置の寿命を大幅に向上させることができる。
AlN粒子は、例えば特許文献1に記載されているように、アルミナ粉末とカーボン粉末とを窒素雰囲気下、1550℃の温度で6時間焼成することによって製造することができる。また、例えば特許文献2及び特許文献3に記載されているように、アルミナ粒子とカーボンブラックとを造粒して造粒体を得た後、この造粒体を乾燥し、さらに1600℃で420分間、または1550℃で6時間焼成して製造することができる。
しかしながら、これらの方法では、アルミナ粉末をカーボン粉末で完全に還元してAlN粒子を製造するものであるため、得られたAlN粒子の形状はその本来的な結晶構造に由来して極めていびつな形状となってしまう。このため、封止樹脂中に、特に混錬によって含有させるような場合は、AlN粒子の角部が混錬の際の抵抗となって、封止樹脂中に均一かつ多量に含有させることができないという問題があった。
また、上記方法では、AlN粒子を製造するに際し、焼成温度が1500℃〜1600℃にも達し、さらに焼成時間が数時間にも及ぶため、製造歩留まりが極めて低く、またエネルギー消費量が高いという問題もあった。
特開昭59−50008号 特開平10−245207号 特許第3706176号
本発明は、熱伝導性フィラーとして好適に用いることができる新規な構成のAlN粒子を簡易に提供することを目的とする。
上記目的を達成すべく、本発明は、
アルミナ及び酸窒化アルミニウムの少なくとも一方からなるコアと、
前記コアの表面に形成された、厚さ1.1μm以上の窒化アルミニウムからなる表面層と、
を具えることを特徴とする、窒化アルミニウム系粒子に関する。
また、本発明は、
カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置する工程と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射する工程とを具え、
アルミナ及び酸窒化アルミニウムの少なくとも一方からなるコアと、前記コアの表面に形成された、窒化アルミニウムからなる表面層とを具える窒化アルミニウム系粒子を製造することを特徴とする、窒化アルミニウム系粒子の製造方法に関する。
さらに、本発明は、
カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して配置する坩堝と、
前記坩堝の周囲に設けられた、マイクロ波透過性の断熱部材と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射するためのマイクロ波照射装置と、
を具えることを特徴とする、窒化アルミニウム系粒子の製造装置に関する。
本発明によれば、従来のように、長時間の焼成によって原料であるアルミナ粒子をカーボン粒子によって完全に還元することなく、カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置した後、これらカーボン粒子及びアルミナ粒子に対してマイクロ波を照射するようにしている。
上述した焼成は熱的に平衡な状態で加熱処理が行われるが、マイクロ波照射は、熱的に非平衡な状態で加熱処理が行われる。すなわち、カーボン粒子はマイクロ波吸収が高く、その結果、高温にまで加熱されるが、アルミナ粒子はマイクロ波吸収が低く、その結果、比較的低い温度にまでしか加熱されない。したがって、アルミナ粒子とカーボン粒子との反応(還元反応)は、アルミナ粒子の比較的表層部分でのみ行われるようになる。しかしながら、カーボン粒子を十分に供給することによって、上記反応はアルミナ粒子表面において比較的深く進行するようになる。
このため、アルミナ粒子の表面には窒化アルミニウムの層が比較的厚く形成されるようになり、その結果、得られた窒化アルミニウム系粒子は、十分に厚い窒化アルミニウム層を有するようになる。したがって、上記窒化アルミニウム系粒子は、表層に形成された窒化アルミニウム層に起因して十分に高い熱伝導性を有するようになる。
なお、本発明によれば、窒化アルミニウム層は少なくとも1.1μm以上、好ましくは2.3μm以上の厚さに形成することができる。
一方、窒化アルミニウム層は、アルミナ粒子の表層にのみ形成されるので、得られた窒化アルミニウム系粒子は、アルミナ粒子の形状、すなわち球状を維持するようになる。したがって、本発明の窒化アルミニウム系粒子をフィラーとして用い、樹脂などに混錬して樹脂中に含有させようとする場合においても、その形状に依存して、樹脂中に均一かつ多量に含有させることができるようになる。
なお、本発明でいうところの球状とは、断面が真円状態の完全な球のみを意味するものではなく、表面に突起などがなく、さらに角部が形成されていないような粒子の状態を意味するものである。
また、上記現象に基づくと、本発明の窒化アルミニウム系粒子を構成するコアは、アルミナのみから構成されることになるが、実際には、上記窒化アルミニウム層の形成過程において、酸窒化アルミニウムの副生成物が生成され、コア中に存在するようになる。
本発明においては、上記窒化アルミニウム層を形成するに際し、マイクロ波装置を用い、このマイクロ波装置からマイクロ波を照射することにより実施しているので、上記窒化アルミニウム層の形成時間はマイクロ波の照射時間、すなわち数分から数十分のオーダである。したがって、製造歩留まりが高く、エネルギー消費量も極めて低くすることができる。
以上、本発明によれば、熱伝導性フィラーとして好適に用いることができる新規な構成のAlN粒子を簡易に提供することを目的とする。
本発明の窒化アルミニウム系粒子の製造装置の一例を示す構成図である。 実施例における窒化アルミニウム系粒子のXRD測定結果である。 実施例における窒化アルミニウム系粒子のSEM写真である。
以下、本発明の詳細、並びにその他の特徴及び利点について、実施の形態に基づいて説明する。
図1は、本発明の窒化アルミニウム系粒子の製造装置の一例を示す構成図である。なお、図1は、製造装置の断面を示したものであり、製造装置を構成する各部材、すなわち坩堝やマイクロ波透過性の断熱部材などは、中心線I−Iの周りに同心円状に形成された円柱状部材である。
図1に示すように、本実施形態における窒化アルミニウム系粒子の製造装置10は、坩堝11と、この坩堝11の周囲に設けられたマイクロ波透過性の断熱部材12とを有している。坩堝11は内側坩堝111及び外側坩堝112の2重構造になっており、内側坩堝111内には、原料Sとなるカーボン粒子及びアルミナ粒子が混合して配置されている。また、外側坩堝112内には、原料Sを挟むようにしてマイクロ波吸収体13が配置されている。さらに、内側坩堝111の上方には石英ウール14が内側坩堝111を塞ぐようにして設けられている。
なお、図1においては、内側坩堝111が外側坩堝112に対して突出し、断熱部材12を貫通してその上部が開口するようにして設けられているが、以下に説明するように断熱部材12はマイクロ波透過性であるので、必ずしも上述のように構成する必要はなく、内側坩堝111及び外側坩堝112を同じ高さとして断熱部材12で密閉するようにしてもよい。この場合、石英ウール14は排除することができる。
また、カーボン粒子及びアルミナ粒子は、予め所定の混錬機を用いて十分に混合した後、内側坩堝111内に配置する。
カーボン粒子及びアルミナ粒子の大きさは特に限定されるものではなく、必要に応じて任意の大きさとすることができる。例えば、カーボン粒子は、平均粒子径(D50)が0.01μm〜200μmとすることができる。また、アルミナ粒子は、平均粒子径(D50)が10μm〜150μmとすることができる。なお、アルミナ粒子の大きさは、目的とする窒化アルミニウム系粒子のコア径及び粒子自体の径を決定する大きな要素となるので、これらを考慮した上で決定することが要求される。
平均粒子径(D50)は、レーザ回折法により求めた、質量基準の累積百分率が50%に相当する粒子径を意味する。
坩堝11は、汎用の坩堝材、例えば石英や黒鉛、窒化ホウ素などから構成することができる。但し、石英はマイクロ波透過性であるため、マイクロ波を導入した場合に、マイクロ波を坩堝内に十分に閉じ込めておくことができず、以下に説明するような、カーボン粒子を十分に加熱することができない場合がある。したがって、アルミナ粒子の表層部分でのアルミナ粒子とカーボン粒子との反応(還元反応)を十分に行うことができない場合がある。
また、黒鉛は原料となるカーボン粒子と同様にマイクロ波吸収性が高く、部分的に溶解して反応系を汚染させてしまう恐れがあり、また、高強度のマイクロ波を照射することによって溶解破損してしまう場合がある。以上のことから、坩堝11は、上述した欠点のない窒化ホウ素から構成することが好ましい。
断熱部材12は、坩堝11を外界から熱的に遮断し、坩堝11内にマイクロ波を導入し、坩堝11内に配置した原料(特にカーボン粒子)を加熱した場合において、その温度を簡易かつ十分に保持するためのものである。但し、断熱部材12がマイクロ波を吸収してしまうと、反応の過程で断熱部材12が部分的あるいは全体的に溶解して破損してしまう恐れがあるので、マイクロ波透過性の材料から構成する。マイクロ波透過性の材料としては、炭化ケイ素やアルミナなどを挙げることができるが、入手が容易であって安価であることからアルミナが好ましい。
マイクロ波吸収体13は、マイクロ波照射による原料の加熱を補助するためのものであり、マイクロ波を吸収して加熱されるような材料から構成する。具体的には、本発明の原料と同じカーボンから構成することができる。この場合、マイクロ波吸収体13を構成する材料を別途準備する必要がないため、目的とする窒化アルミニウム系粒子を得る際の操作をより簡易化することができる。
また、図1から明らかなように、坩堝11の上方にはマイクロ波照射装置15が配置され、このマイクロ波照射装置15から発せられたマイクロ波が、導管16を伝わって坩堝11、すなわち内側坩堝111内に導入されるようになっている。
図1に示す製造装置10は、マイクロ波照射装置15及び導管16を除いた坩堝11及び断熱部材12などは、マイクロ波が製造装置10の外部に漏洩しないように、図示しない所定のアプリケータに収納するが、その内部雰囲気は窒素雰囲気とする。
次に、図1に示す製造装置を用いた場合の、窒化アルミニウム系粒子の製造方法について説明する。
最初に、上述したように、所定の混錬機でカーボン粒子及びアルミナ粒子を所定の混合比となるように混合した後、製造装置10の内側坩堝111内に原料Sとして配置する。カーボン粒子及びアルミナ粒子の混合比は、目的とする反応を経ることによって目的とする窒化アルミニウム系粒子を得ることができれば特に限定されるものではないが、好ましくはカーボン粒子とアルミナ粒子との混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)が、窒化アルミニウムを生成する際に要求されるカーボン粒子とアルミナ粒子との化学量論的な混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)以上となるようにする。これによって、目的とする窒化アルミニウム系粒子を得る際の製造条件が緩和される。具体的には、照射すべきマイクロ波の強度を低下させることができ、照射時間を短縮することができる。
なお、この原因については現在明確ではないが、反応過程で生成あるいは雰囲気中に存在する酸素などがカーボン粒子に吸着してしまい、実際の反応に寄与するカーボン粒子の割合が実質的に減少してしまうためと考えている。したがって、カーボン粒子の割合を化学量論的な割合よりも大きくすることによって、実際の反応に寄与するカーボン粒子の実質的な割合が化学量論的な割合により近くなり、その結果、上述のように製造条件の自由度が向上するものと考えられる。但し、これらの事項は、あくまで本発明者らの考察に基づくものであって、本発明の範囲や進歩性に対して何ら影響を与えるものではない。
一例として、カーボン粒子とアルミナ粒子との混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)を、窒化アルミニウムを生成する際に要求されるカーボン粒子とアルミナ粒子との化学量論的な混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)の4/3倍、あるいはそれ以上とすることができる。
次いで、マイクロ波照射装置15から、例えば周波数2.45GHzのマイクロ波を、導管16を伝搬させて内側坩堝111内に配置した原料Sに対して照射する。このとき、原料Sは上記マイクロ波を吸収することによって加熱される。一方、一部漏洩したマイクロ波がマイクロ波吸収体13にも吸収されるようになり、これによってマイクロ波吸収体13も加熱されるようになる。したがって、原料Sは、マイクロ波吸収体13によっても間接的及び補助的に加熱されるようになる。また、原料Sは断熱部材12によって外界と熱的に遮断されている。
結果として、原料S、すなわち反応系は、所定の温度で所定の時間保持することができ、目的とする窒化アルミニウム系粒子を製造できるようになる。
なお、原料S、すなわちカーボン粒子及びアルミナ粒子からの窒化アルミニウムの生成は、以下に示すような炭素還元窒化の反応式に基づく。
Al+3C+N→2AlN+3CO
但し、熱的に平衡な焼成などの加熱処理と異なり、マイクロ波照射は、熱的に非平衡な加熱処理である。すなわち、カーボン粒子はマイクロ波吸収が高く、その結果、高温にまで加熱されるが、アルミナ粒子はマイクロ波吸収が低く、その結果、比較的低い温度にまでしか加熱されない。したがって、アルミナ粒子とカーボン粒子との、上記反応式による反応は、アルミナ粒子の比較的表層部分でのみ行われるようになる。したがって、窒化アルミニウム層は、アルミナ粒子の表層部分においてのみ形成されるようになる。
また、カーボン粒子を十分に供給することによって、上記反応はアルミナ粒子表面において比較的深く進行するようになる。このため、アルミナ粒子の表面には窒化アルミニウムの層が比較的厚く形成されるようになり、その結果、得られた窒化アルミニウム系粒子は、十分に厚い窒化アルミニウム層を有するようになる。
一方、窒化アルミニウム層は、アルミナ粒子の表層にのみ形成されるので、得られた窒化アルミニウム系粒子は、アルミナ粒子の形状、すなわち球状を維持するようになる。したがって、窒化アルミニウム系粒子をフィラーとして用い、樹脂などに混錬して樹脂中に含有させようとする場合においても、その形状に依存して、樹脂中に均一かつ多量に含有させることができるようになる。
なお、本発明でいうところの球状とは、断面が真円状態の完全な球のみを意味するものではなく、表面に突起などがなく、さらに角部が形成されていないような粒子の状態を意味するものである。
マイクロ波の照射時間は、数分から数十分である。また、マイクロ波の強度は、例えば図1に示すように、内側坩堝111の内径を8mm、高さを53mm、外側坩堝112の内径を20mm、高さを35mmとしたような場合、すなわち製造装置10の大きさが数ミリメートルから数十ミリメートルのオーダである場合、数百Wのオーダとすることができる。なお、マイクロ波照射によって原料Sが飛散するような場合においても、内側坩堝111の上部は石英ウール14によって塞がれているので、原料Sが内側坩堝111の外部に漏洩することはない。
また、上述のように、カーボン粒子とアルミナ粒子との混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)を、窒化アルミニウムを生成する際に要求されるカーボン粒子とアルミナ粒子との化学量論的な混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子=3/1:上記反応式参照)あるいはそれ以上とすることによって、目的とする窒化アルミニウム系粒子を得る際の製造条件が緩和され、照射すべきマイクロ波の強度を低下させることができ、照射時間を短縮することができる。
さらに、カーボン粒子は、活性炭粒子とすることができる。この場合においても、目的とする窒化アルミニウム系粒子を得る際の製造条件を緩和することができる。具体的には、照射すべきマイクロ波の強度を低下させることができ、照射時間を短縮することができる。この理由についても特に明確ではないが、活性炭粒子が何らかの触媒作用を奏していることに起因すると推定される。但し、この事項も、あくまで本発明者らの考察に基づくものであって、本発明の範囲や進歩性に対して何ら影響を与えるものではない。
以上のような操作を行うことによって、アルミナ及び酸窒化アルミニウムの少なくとも一方を含むコアと、このコアの表面に形成された窒化アルミニウム層からなる窒化アルミニウム系粒子を製造することができる。なお、コアを構成する酸窒化アルミニウムは、マイクロ波照射によって窒化アルミニウム系粒子を製造する際に生成される副生成物である。
窒化アルミニウム層の厚さは、少なくとも1.1μm以上、好ましくは2.3μm以上とすることができる。厚さの調整は、供給するカーボン粒子の量と、マイクロ波照射強度及び照射時間とを調整することによって行うことができる。なお、この場合の、コアの大きさ、すなわち平均粒子径は、5μm〜148μmとすることができる。このように、本実施形態で得た窒化アルミニウム系粒子は、平均粒子径5μm〜148μmのコアに対して、少なくとも1.1μm以上の厚さの窒化アルミニウム表面層を有しているので、十分高い熱伝導性を有する。なお、コアの平均粒子径は、例えばSEM観察による実測によって求めることができる。
なお、窒化アルミニウム層の厚さの上限は特に限定されるものではないが、窒化アルミニウム層の厚さをあまりにも大きくし過ぎると、原料であるアルミナ粒子の大きさが比較的小さいような場合、炭素還元が十分な深さにまで進行してしまって、得られた窒化アルミニウム系粒子の形状が、窒化アルミニウムの本来的な結晶構造に基づき、部分的に凹凸となり、アルミナ粒子の形状を反映しなくなる場合がある。この場合、得られた窒化アルミニウム系粒子をフィラーとして、樹脂中に混錬する場合、均一かつ十分な量を含有させることができない。
したがって、このような問題が生じない限りにおいて、上記厚さの上限値は任意に決定することができる。現状認識している上限値は例えば10μmである。
上述のようにして得た窒化アルミニウム系粒子には、さらに600℃〜800℃の温度で加熱処理を行い、窒化アルミニウム系粒子の表面に残留する炭素を除去することができる。これによって、不純物の少ない窒化アルミニウム系粒子を得ることができる。
(実施例1)
活性炭(ノーリットSX-II)とマイクロンアルミナ(AX116)とを4:1のモル比で秤量及び混合した原料Sを0.6gとし、マイクロ波吸収体13として活性炭ノーリットSX-II1.0gを用いた。次いで、図1に示す製造装置10を用い、上述した製造方法にしたがって窒化アルミニウム系粒子を得た。マイクロ波照射装置から照射されるマイクロ波の強度は300Wとし、照射時間を20分、25分及び30分とした。
図2は、得られた窒化アルミニウム系粒子のXRD測定結果である。照射時間20分、25分、30分のいずれにおいても、Al、AlN及びAlONのピークが混在しており、Al及びAlONからなるコアの表面にAlNからなる表面層が形成されていることが推認された。
次に、これらの窒化アルミニウム系粒子に対してSEM−EPMAによって、粒子の深さ方向における組成分析を行った。その結果、照射時間20分、25分、30分の順に、厚さ1.1μm、1.8μm、及び2.3μmの窒化アルミニウム層が形成されていることが判明した。また、コアの大きさは、順に18.4μm、17.0μm及び16.0μmであることが判明した。
なお、図3には、それぞれの照射時間によって得た窒化アルミニウム系粒子のSEM写真を示す。図3から明らかなように、いずれの場合においても、原料であるアルミナ粒子の形状を反映し、得られた窒化アルミニウム系粒子の形状も球状となっていることが分かる。
(実施例2)
原料Sとマイクロ波吸収体13に用いるカーボンとして純カーボン(トーカブラック#18500/F)の1.0gを用いた以外は、実施例1と同様にして窒化アルミニウムワイヤーを製造した。但し、マイクロ波の照射強度を375Wとした。
実施例1と同様にして、窒化アルミニウム系粒子に対してSEM−EPMAによって、粒子の深さ方向における組成分析を行った。その結果、照射時間20分、25分、30分の順に、厚さ1.3μm、2.2μm、及び3.0μmの窒化アルミニウム層が形成されていることが判明した。また、コアの大きさは、順に18.0μm、16.2μm及び14.4μmであることが判明した。
なお、それぞれの照射時間によって得た窒化アルミニウム系粒子の形状は、図3に示すように球状であった。
以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
10 窒化アルミニウム系粒子の製造装置
11 坩堝
111 内側坩堝
112 外側坩堝
13 マイクロ波吸収体
14 石英ウール
15 マイクロ波照射装置
16 導管

Claims (18)

  1. アルミナ及び酸窒化アルミニウムの少なくとも一方からなるコアと、
    前記コアの表面に形成された、厚さ1.1μm以上の窒化アルミニウムからなる表面層と、
    を具えることを特徴とする、窒化アルミニウム系粒子。
  2. 前記表面層の厚さが、2.3μm以上であることを特徴とする、請求項1に記載の窒化アルミニウム系粒子。
  3. 前記コアの平均粒子径が5μm〜148μmであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の窒化アルミニウム系粒子。
  4. 前記窒化アルミニウム系粒子は、球状を呈することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子。
  5. カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置する工程と、
    前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射する工程とを具え、
    アルミナ及び酸窒化アルミニウムの少なくとも一方からなるコアと、前記コアの表面に形成された、窒化アルミニウムからなる表面層とを具える窒化アルミニウム系粒子を製造することを特徴とする、窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  6. 前記坩堝の周囲において、マイクロ波透過性の断熱部材を配置する工程を具えることを特徴とする、請求項5に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  7. 前記断熱部材はアルミナからなることを特徴とする、請求項6に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  8. 前記カーボン粒子は活性炭粒子であることを特徴とする、請求項5〜7のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  9. 前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)は、窒化アルミニウムを生成する際に要求される前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との化学量論的な混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)以上となるように設定したことを特徴とする、請求項5〜8のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  10. 前記窒化アルミニウム系粒子に対して600℃〜800℃の温度で加熱処理を行い、前記窒化アルミニウム系粒子の表面に残留する炭素を除去する工程を具えることを特徴とする、請求項5〜9のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  11. 前記窒化アルミニウム系粒子の前記表面層の厚さが、1.1μm以上であることを特徴とする、請求項5〜10のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  12. 前記窒化アルミニウム系粒子の前記表面層の厚さが、2.3μm以上であることを特徴とする、請求項11に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  13. 前記窒化アルミニウム系粒子の前記コアの平均粒子径が5μm〜148μmであることを特徴とする、請求項5〜12のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  14. 前記窒化アルミニウム系粒子は、球状を呈することを特徴とする、請求項5〜13のいずれか一に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造方法。
  15. カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して配置する坩堝と、
    前記坩堝の周囲に設けられた、マイクロ波透過性の断熱部材と、
    前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射するためのマイクロ波照射装置と、
    を具えることを特徴とする、窒化アルミニウム系粒子の製造装置。
  16. 前記断熱部材は、アルミナからなることを特徴とする、請求項15に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造装置。
  17. 前記坩堝と前記断熱部材との間に、前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子を挟み込むようにして配置したマイクロ波吸収体を具えることを特徴とする、請求項15又は16に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造装置。
  18. 前記マイクロ波吸収体はカーボンからなることを特徴とする、請求項17に記載の窒化アルミニウム系粒子の製造装置。
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