JP2006256937A5 - 炭化ケイ素生成用前駆体 - Google Patents

Description

本発明は、炭化ケイ素、または、炭化ケイ素と炭素が均質に混合分散された混合物を、簡便に製造する方法のための前駆体に関する。

炭化ケイ素セラミックスは常温及び高温での化学的性質が安定で、高温における機械的強度にも優れているため、高温構造材料として利用されている。最近では、半導体製造分野において、耐熱性、耐クリープ性に優れた高純度の炭化ケイ素セラミックス焼結体が、ウエハーを熱処理したり、微量元素を熱拡散したりする工程でのボートやプロセスチューブなどに利用されるようになっている。ここで、用いられる炭化ケイ素材料に不純物元素が含まれていると、ウエハーの加熱中にこの不純物元素が侵入して汚染されるという問題が生じるため、これらの用途に用いられる炭化ケイ素材料は、できるだけ高純度であることが好ましい。

発明１は、炭素源とケイ素源との加熱反応により炭化ケイ素を生成する方法に用いる前駆体であって、炭素源に混合されたケイ素源が有機ケイ素化合物のオリゴマーであることを特徴とする。
発明２は、発明１の炭化ケイ素生成用前駆体において、前記有機ケイ素化合物がエチルシリケートであることを特徴とする。
発明３は、発明１又は２の炭化ケイ素生成用前駆体において、その炭素源が、炭素を含む樹脂であることを特徴とする。

本発明者は、液状のケイ素化合物、および、熱硬化性樹脂から炭化ケイ素粉末を作製する手法を詳細に検討した結果、原料の液状のケイ素化合物として有機ケイ素化合物のオリゴマーを用いることにより、酸触媒を用いなくても原料混合物にゲル化が生じてゲル状前駆体物質を作製できることを見出した。
液状ケイ素化合物として有機ケイ素化合物のオリゴマーを用いることにより、トルエンスルホン酸などの酸触媒を用いなくても混合したゾル溶液前駆体がゲル化する。ゲル化において、超音波照射は不要である。触媒非存在下で反応を行うことができるため、酸触媒に関連した工程とコストを削減できる利点があることに加え、酸触媒に不可避の元素を含まずに炭化ケイ素の前駆体物質を生成することができ、この前駆体物質を焼成することにより、半導体製造装置部品や単結晶原料など、酸触媒に起因する不純物元素の含有が好ましくない用途にも利用できる高純度の炭化ケイ素を製造することができる。

Claims (3)

1. 炭素源とケイ素源との加熱反応により炭化ケイ素を生成する方法に用いる前駆体であって、炭素源に混合されたケイ素源が有機ケイ素化合物のオリゴマーであることを特徴とする炭化ケイ素生成用前駆体。
2. 請求項１に記載の炭化ケイ素生成用前駆体において、前記有機ケイ素化合物がエチルシリケートであることを特徴とする炭化ケイ素生成用前駆体。
3. 請求項１又は２に記載の炭化ケイ素生成用前駆体において、その炭素源が、炭素を含む樹脂であることを特徴とする炭化ケイ素生成用前駆体。