JP2012041214A - 炭化ケイ素焼結体の製造方法及び炭化ケイ素焼結体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化ケイ素焼結体の製造方法は、炭化ケイ素と、チタンを含むチタン原料と、炭素を含む炭素原料と、が混合した原料粉末を調製する原料混合工程と、原料粉末を焼結する焼結工程と、酸化性雰囲気下で炭素を酸化して除去する酸化工程と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明の炭化ケイ素焼結体の製造方法は、原料混合工程、焼結工程、酸化工程、を有する。
本発明の炭化ケイ素焼結体は、上記の製造方法により製造された焼結体である。本発明の炭化ケイ素焼結体は、上記の製造方法で製造された焼結体であり、低温〜高温の広い温度域で、良好な抵抗値を得られる。つまり、低温(常温)〜高温(数百度)にわたってすぐれた抵抗値を有する。
実施例及び比較例の炭化ケイ素焼結体の評価として、低温(室温)及び高温(400℃)における抵抗値を測定した。測定結果を表3に示した。
Claims (8)
- 炭化ケイ素と、チタンを含むチタン原料と、炭素を含む炭素原料と、が混合した原料粉末を調製する原料混合工程と、
前記原料粉末を焼結する焼結工程と、
酸化性雰囲気下で炭素を酸化して除去する酸化工程と、
を有することを特徴とする炭化ケイ素焼結体の製造方法。 - 前記酸化工程は、前記焼結工程の焼結温度よりも低い温度で加熱する請求項1記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
- 前記焼結工程は、不活性ガス雰囲気下で施される請求項1〜2のいずれかに記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
- 前記原料粉末は、前記チタン原料の粒子と前記炭素原料の粒子とが混合した状態,前記チタン原料と前記炭素原料とが化合物を形成して混合した状態、の少なくとも一方である請求項1〜3のいずれかに記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
- 前記チタン原料に含まれるチタンは、前記原料粉末に含まれる炭素と等モル以下で含まれる請求項1〜4のいずれかに記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
- 前記チタン原料がTiO2である請求項4〜5のいずれかに記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
- 前記チタン原料と前記炭素原料の化合物が、TiCである請求項4〜5のいずれかに記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法を施してなることを特徴とする炭化ケイ素焼結体。
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2010
- 2010-08-17 JP JP2010181993A patent/JP2012041214A/ja active Pending
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