JP2012015201A - 貫通配線基板および製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】貫通ビアが設けられた貫通配線基板であって、貫通孔が設けられた基板と、貫通孔に充填された導電体の貫通ビアと、貫通ビアと貫通孔の間のボイドに充填された樹脂を備える貫通配線基板および製造方法を提供する。基板は、ガラス基板であってよい。樹脂は、ポリイミドであってよい。また、樹脂は、ポリマーであってもよい。また、樹脂は、光に反応して固体に変化する光硬化樹脂であってもよい。
【選択図】図1
Description
特許文献1 特開2006−60119号公報
Claims (20)
- 貫通ビアが設けられた貫通配線基板であって、
貫通孔が設けられた基板と、
前期貫通孔に充填された導電体の貫通ビアと、
前記貫通ビアと前記貫通孔の間のボイドに充填された樹脂を備える貫通配線基板。 - 前記基板は、ガラス基板である請求項1に記載の貫通配線基板。
- 前記樹脂は、ポリイミドである請求項1または2に記載の貫通配線基板。
- 前記樹脂は、ポリマーである請求項1または2に記載の貫通配線基板。
- 前記樹脂は、光に反応して固体に変化する光硬化樹脂である請求項1または2に記載の貫通配線基板。
- 基板を貫通する貫通孔内に貫通ビアが設けられた貫通配線基板を製造する製造方法であって、
前記基板上に樹脂を塗布して、前記貫通ビアと前記貫通孔の間のボイドに前記樹脂を充填する充填段階と、
前記基板の表面の前記樹脂を除去する除去段階と、
前記樹脂を硬化させる硬化段階と、
を備える貫通配線基板を製造する製造方法。 - 前記基板は、ガラス基板である請求項6に記載の製造方法。
- 前記樹脂は、ポリイミドである請求項6または7に記載の製造方法。
- 前記樹脂は、ポリマーである請求項6または7に記載の製造方法。
- 前記充填段階は、少なくとも前記樹脂を2回に分けて充填し、先に充填する前記樹脂は、後に充填する前記樹脂よりも粘性の高い請求項8または9に記載の製造方法。
- 前記樹脂は、光に反応して固体に変化する光硬化樹脂であり、
前記硬化段階は、前記基板に光を照射して前記樹脂を硬化させる請求項6または7に記載の製造方法。 - 前記硬化段階は、前記樹脂を熱処理によって硬化させる、請求項6から10のいずれかに記載の製造方法。
- 前記樹脂は感光性を有し、
前記除去段階は、前記基板の表面に塗布された前記樹脂にマスクを介して光を照射し、現像液で前記樹脂の露光部分を除去し、
前記硬化段階は、前記除去段階において除去されなかった前記樹脂を硬化する請求項12に記載の製造方法。 - 前記除去段階は、前期基板の上面において、前期貫通ビアの外周から前記貫通孔の少なくとも内周までを前記マスクで覆って光を照射し、前記樹脂の露光部分を除去する請求項13に記載の製造方法。
- 前記除去段階は、前期基板上の少なくとも一部の前記樹脂を除去して前記貫通ビアの上面を露出させる請求項13に記載の製造方法。
- 前記除去段階は、前記硬化段階において前記基板の表面で硬化した前記樹脂をエッチングによって除去する請求項6から12のいずれかに記載の製造方法。
- 前記基板に支持基盤を張り合わせる張り合わせ段階をさらに備える請求項6から16のいずれかに記載の製造方法。
- 前記張り合わせ段階は、前記基板と前記支持基盤とを張り合わせ材によって張り合わせ、
前記硬化段階は、前記張り合わせ材を熱処理によって融解して、前記基板と前記支持基盤とを分離する請求項17に記載の製造方法。 - 前記張り合わせ段階は、前記基板と前記支持基盤とを張り合わせ材によって張り合わせ、
前記硬化段階は、前記張り合わせ材を剥離液によって融解し、前記基板と前記支持基盤とを分離する請求項17に記載の製造方法。 - 前記張り合わせ段階は、前記基板上にレジストを塗布して固化されたレジストを前記支持基盤とし、
前記硬化段階は、前記レジストを現像液または剥離液によって前記基板と分離する請求項17に記載の製造方法。
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