JP2012015196A - トラップ装置及び基板処理装置 - Google Patents
トラップ装置及び基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012015196A JP2012015196A JP2010148013A JP2010148013A JP2012015196A JP 2012015196 A JP2012015196 A JP 2012015196A JP 2010148013 A JP2010148013 A JP 2010148013A JP 2010148013 A JP2010148013 A JP 2010148013A JP 2012015196 A JP2012015196 A JP 2012015196A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trap
- gas
- flow path
- chamber
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 56
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 58
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 5
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 24
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 12
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 12
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
【解決手段】基板を処理するためのガスを導入するためのガス供給部が接続されているチャンバーと、前記チャンバー内のガスを排気するための排気部との間に設けられたトラップ装置50であって、前記チャンバーと接続される吸入口52と、前記排気部と接続される排出口53と、第1の空間57を有するバイパス部51と、前記ガスに含まれる未反応成分を冷却して凝固させて除去する第2の空間61を有する冷却トラップ部60と、を有し、前記ガスは、第1の状態では前記第1の空間57を介し流れ、第2の状態では前記第2の空間61を介し流れるものであって、前記冷却トラップ部60に対し第1の流路55及び第2の流路56を、回転部54により相対的に移動させることにより、前記第1の状態と前記第2の状態とを切り替える。
【選択図】図5
Description
蒸着重合方式による成膜処理を行う基板処理装置においては、基板上での蒸着重合に寄与することのなかった原料モノマーは、ポリイミド膜の成膜に寄与することなくモノマーの状態で排出され、処理装置のチャンバー内を排気するための真空ポンプ内に到達する。このような原料モノマーは、真空ポンプに到達するまでの間に温度が低下し、気体から固体等の状態に変化し、真空ポンプ内において固着等してしまい真空ポンプの故障の原因となることが知られている。このため、これら原料モノマーが真空ポンプ内に到達する前に除去する必要があり、このような装置としては、水冷コイルを備えたモノマートラップを有する真空重合装置が開示されている(例えば、特許文献1)。
本実施の形態は、基板処理装置である原料モノマーとしてPMDAとODAを用いて、蒸着重合によりポリイミドを得る成膜装置及びこの基板処理装置に組み込まれるトラップ装置である。
図2及び図3に基づき、本実施の形態におけるトラップ装置及び基板処理装置について説明する。尚、図2は、本実施の形態における基板処理装置を示すものであり、図3は、本実施の形態における基板処理装置の排気系、即ち、本実施の形態におけるトラップ装置を含む排気系を示すものである。
次に、第1のトラップ30について説明する。図4に第1のトラップ30を示す。第1のトラップ30は、円筒状の筐体部31の内部に複数の円盤状のフィン32を配置した構造のものである。第1のトラップ30の吸入部33は、チャンバー11の排気口15と接続されており、第2のトラップ50を介し、真空ポンプ70により排気を行うことにより、排気される気流(ガス)が吸入部33より第1のトラップ30の内部に入り込む。第1のトラップ30は、コントローラ80により、140〜200℃に保たれており、よって、第1のトラップ30の内部に設置された複数のフィン32も、この温度に保たれている。この温度では気化したPMDAとODAが反応しポリイミドが形成されるため、チャンバー11から第1のトラップ30の内部に流れ込んだPMDAとODAとが反応し、フィン32の表面にポリイミド膜を形成する。このようにして、排気される気流中において、気化した状態のPMDAとODAとを蒸着重合させることにより、できる限り排除することができる。この後、この気流は排出口34より排気される。
次に、図5から図7に基づき、本実施の形態におけるトラップ装置である第2のトラップ50について説明する。第2のトラップ50は、円筒状に形成されており、円筒状の内部において、上段におけるバイパス部51と下段の冷却トラップ部60を有している。図5は、第2のトラップ50の機能の説明図であり、図6は、第2のトラップ50をバイパス状態にした場合の内部の構造を示すものであり、図7は、第2のトラップ50をトラップ状態にした場合の内部の構造を示すものである。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態におけるトラップ装置とは異なる構造のトラップ装置であり、第1の実施の形態における基板処理装置における第2のトラップとして用いることができるものである。
〔第3の実施の形態〕
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態及び第2の実施の形態におけるトラップ装置とは異なる構造のトラップ装置であり、第1の実施の形態における基板処理装置における第2のトラップとして用いることができるものである。
12 ウエハボート
13 インジェクター
14 インジェクター
15 排気口
16 回転部
17 ヒーター
21 PMDA気化器
22 ODA気化器
23 バルブ
24 バルブ
25 導入部
30 第1のトラップ
50 第2のトラップ
51 バイパス部
52 吸入口
53 排出口
54 回転部
55 第1の流路
56 第2の流路
57 空間(第1の空間)
58 加熱部
60 冷却トラップ部
61 空間(第2の空間)
62 冷却部
63 底面部
64 堆積物
70 真空ポンプ
80 コントローラ
W ウエハ
Claims (10)
- 基板を処理するためのガスを導入するためのガス供給部が接続されているチャンバーと、前記チャンバー内のガスを排気するための排気部との間に設けられたトラップ装置であって、
前記チャンバーと接続される吸入口と、
前記排気部と接続される排出口と、
第1の流路と、第2の流路と、前記第1の流路及び前記第2の流路の形成されていない領域に設けられた第1の空間とを有するバイパス部と、
前記第1の流路及び前記第2の流路と接続されており、前記ガスに含まれる未反応成分を冷却して凝固させて除去する第2の空間を有する冷却トラップ部と、
を有し、
前記吸入口及び前記排出口と前記第1の流路及び前記第2の流路とが接続されていない第1の状態では前記第1の空間を介し流れ、前記吸入口及び前記排出口と前記第1の流路及び前記第2の流路とが接続されている第2の状態では前記ガスは前記第2の空間を介し流れるものであって、
前記冷却トラップ部に対し前記第1の流路及び前記第2の流路を相対的に移動させることにより、前記第1の状態と前記第2の状態とに切り替えることができることを特徴とするトラップ装置。 - 前記チャンバー内を大気の状態より排気する場合には、前記第1の状態とし、
前記チャンバー内に前記ガスを導入している場合には、前記第2の状態とすることを特徴とする請求項1に記載のトラップ装置。 - 前記バイパス部には回転可能な回転部が設けられており、
前記第1の流路及び前記第2の流路は前記回転部に設けられているものであって、
前記第1の状態と前記第2の状態との切換えは、前記回転部を回転させることにより行うものであることを特徴とする請求項1または2に記載のトラップ装置。 - 前記バイパス部、前記冷却トラップ部の順に、重力の働く方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のトラップ装置。
- 前記バイパス部は、前記ガスに含まれる未反応成分が凝固する温度よりも高い温度に設定されており、
前記冷却トラップ部は、前記ガスに含まれる未反応成分が凝固する温度よりも低い温度に設定されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のトラップ装置。 - 前記ガスは、少なくともPMDAまたはODAのいずれかを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のトラップ装置。
- 前記冷却トラップ部の温度は、120℃以下に設定されていることを特徴とする請求項6に記載のトラップ装置。
- 基板を処理するためのチャンバーと、
前記チャンバー内にガスを導入するためのガス供給部と、
前記チャンバー内のガスを排気するための排気部と、
を有し、前記チャンバーと前記排気部との間に、請求項1から7のいずれかに記載のトラップ装置を配置したことを特徴とする基板処理装置。 - 前記排気部と、前記トラップ装置と間には、他のトラップが設けられており、
前記他のトラップは、前記ガスに含まれる未反応成分を反応させてポリマーを形成することにより除去するものであることを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。 - 前記他のトラップの温度は140〜200℃に設定されていることを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010148013A JP5254279B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | トラップ装置及び基板処理装置 |
US13/637,426 US9067151B2 (en) | 2010-06-29 | 2011-06-20 | Trap apparatus and substrate processing apparatus |
KR1020127022808A KR101396185B1 (ko) | 2010-06-29 | 2011-06-20 | 트랩 장치 및 기판 처리 장치 |
PCT/JP2011/064093 WO2012002191A1 (ja) | 2010-06-29 | 2011-06-20 | トラップ装置及び基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010148013A JP5254279B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | トラップ装置及び基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012015196A true JP2012015196A (ja) | 2012-01-19 |
JP5254279B2 JP5254279B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=45401912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010148013A Active JP5254279B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | トラップ装置及び基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9067151B2 (ja) |
JP (1) | JP5254279B2 (ja) |
KR (1) | KR101396185B1 (ja) |
WO (1) | WO2012002191A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101132605B1 (ko) * | 2009-03-13 | 2012-04-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 트랩 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 트랩 장치의 제어 방법 |
JP6111171B2 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-04-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法及び成膜装置 |
JP6254459B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2017-12-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 重合膜の耐薬品性改善方法、重合膜の成膜方法、成膜装置、および電子製品の製造方法 |
KR102362534B1 (ko) * | 2014-12-08 | 2022-02-15 | 주성엔지니어링(주) | 기판 처리방법 |
JP6828674B2 (ja) * | 2017-12-20 | 2021-02-10 | 株式会社Sumco | クリーニング方法、シリコン単結晶の製造方法、および、クリーニング装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005108932A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
JP2007522649A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-08-09 | ジョン シー. シューマカー、 | 半導体反応器用の排気調整システム |
JP2007300074A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-11-15 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置の排気系構造、成膜装置、および排ガスの処理方法 |
JP2010018889A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-01-28 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05132759A (ja) | 1991-11-08 | 1993-05-28 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着重合装置 |
US6051053A (en) * | 1996-12-16 | 2000-04-18 | Ebara Corporation | Trapping device and method of operation therefor |
JP2000070664A (ja) | 1998-06-18 | 2000-03-07 | Kokusai Electric Co Ltd | 加熱型トラップ装置および成膜装置 |
JP2000256856A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-19 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理装置用真空排気システム及び減圧cvd装置及び減圧cvd装置用真空排気システム及びトラップ装置 |
US6206971B1 (en) * | 1999-03-29 | 2001-03-27 | Applied Materials, Inc. | Integrated temperature controlled exhaust and cold trap assembly |
JP4092821B2 (ja) * | 1999-07-27 | 2008-05-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置の排気システム |
JP2001262349A (ja) | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置の排気方法 |
KR100553194B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2006-02-22 | 다나까 기낀조꾸 고교 가부시끼가이샤 | Lpcvd 장치 및 박막 제조방법 |
US20060174611A1 (en) * | 2005-02-07 | 2006-08-10 | Dilley Roland L | Exhaust gas cooler |
KR100642528B1 (ko) * | 2006-07-13 | 2006-11-10 | 주식회사 미래보 | 반도체 생산장비에서의 자동교체식 부산물 포집장치 및그의 제어 방법 |
JP5135856B2 (ja) * | 2007-03-31 | 2013-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | トラップ装置、排気系及びこれを用いた処理システム |
KR100918588B1 (ko) * | 2007-09-19 | 2009-09-28 | 세메스 주식회사 | 파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 |
JP5320639B2 (ja) * | 2008-02-13 | 2013-10-23 | 日立電線株式会社 | 絶縁電線 |
-
2010
- 2010-06-29 JP JP2010148013A patent/JP5254279B2/ja active Active
-
2011
- 2011-06-20 KR KR1020127022808A patent/KR101396185B1/ko active IP Right Grant
- 2011-06-20 WO PCT/JP2011/064093 patent/WO2012002191A1/ja active Application Filing
- 2011-06-20 US US13/637,426 patent/US9067151B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010018889A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-01-28 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2005108932A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
JP2007522649A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-08-09 | ジョン シー. シューマカー、 | 半導体反応器用の排気調整システム |
JP2007300074A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-11-15 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置の排気系構造、成膜装置、および排ガスの処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101396185B1 (ko) | 2014-05-19 |
WO2012002191A1 (ja) | 2012-01-05 |
JP5254279B2 (ja) | 2013-08-07 |
US9067151B2 (en) | 2015-06-30 |
US20130008381A1 (en) | 2013-01-10 |
KR20120127477A (ko) | 2012-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5254279B2 (ja) | トラップ装置及び基板処理装置 | |
KR101240076B1 (ko) | 원료 회수 방법, 원료 회수를 위한 트랩 기구, 배기계 및 성막 장치 | |
US8573154B2 (en) | Plasma film forming apparatus | |
KR101194511B1 (ko) | 진공 배기 장치 및 가스 배기 방법 | |
KR101576322B1 (ko) | 성막 장치 | |
TW201719743A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP5281146B2 (ja) | 基板処理装置、トラップ装置、基板処理装置の制御方法及びトラップ装置の制御方法 | |
JP2018157028A (ja) | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 | |
CA2609075A1 (en) | Deposition chamber desiccation systems and methods of use thereof | |
US5426865A (en) | Vacuum creating method and apparatus | |
JP5534979B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理装置のクリーニング方法 | |
TWI657163B (zh) | 使用矽原料的成膜裝置 | |
JP2012530372A (ja) | 基板上に材料の薄膜を堆積させる装置及びそのような装置の再生方法 | |
JP2009120965A (ja) | トラップ装置 | |
JPH0729962A (ja) | 真空排気方法及び装置 | |
CN208173561U (zh) | 基板处理装置 | |
US20070048170A1 (en) | Method for forming a film of lithium metal or lithium alloys and an apparatus for the same | |
CN101988191A (zh) | 基板卸载装置及卸载方法 | |
KR20120106964A (ko) | Cu(in,ga)x₂박막을 증착시키는 캐소드 스퍼터 | |
US20230197472A1 (en) | Systems and methods for controlling moisture in semiconductor processing systems | |
JP5763947B2 (ja) | 基板処理装置及び回収装置 | |
EP3579964B1 (fr) | Dispositif pour la production et le traitement de flux gazeux a travers un volume de liquide regule automatiquement | |
JP2004197182A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2015068556A (ja) | 真空冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130314 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5254279 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |