JP2011526692A - 厚さまたは表面形状の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
Claims (7)
- 白色光干渉計を用いた、基底層上に積層された薄膜層の厚さまたは表面形状の測定方法であって、
互いに異なる厚さを有する複数のサンプル薄膜層を想定し、各サンプル薄膜層に対する干渉信号をシミュレーションすることにより、各厚さに対応するシミュレーション干渉信号を生成するステップと、
前記薄膜層に白色光を照射して前記薄膜層に入射する光軸方向に対する実際の干渉信号を取得するステップと、
前記実際の干渉信号から前記薄膜層の厚さとなり得る複数の予想厚さを求めるステップと、
前記予想厚さに対応する厚さを有するシミュレーション干渉信号と前記実際の干渉信号とが実質的に一致するか否かを比較するステップと、
前記実際の干渉信号と実質的に一致するシミュレーション干渉信号の厚さを前記薄膜層の厚さに決定するステップとを含むことを特徴とする厚さまたは表面形状の測定方法。 - 前記複数の予想厚さを求めるステップは、
前記実際の干渉信号から2つ以上のピークを選択し、2つのピークの間のピーク数を用いて前記予想厚さを求めることを特徴とする請求項1に記載の厚さまたは表面形状の測定方法。 - 前記複数の予想厚さを求めるステップは、
前記実際の干渉信号を、空気層と前記薄膜層との境界面における干渉現象により生成される第1波形と、前記薄膜層と前記基底層との境界面における干渉現象により生成される第2波形とに区分するステップと、
前記第1波形及び前記第2波形からそれぞれピークを選択するステップと、
前記第1波形のピークと前記第2波形のピークとの間のピーク数を用いて前記予想厚さを求めるステップとを含むことを特徴とする請求項2に記載の厚さまたは表面形状の測定方法。 - 前記ピークを選択するステップは、
前記第2波形のピークのうち最高値を有するピークを基準ピークに設定するステップと、
前記第1波形から複数のピークを選択するステップとを含み、
前記予想厚さを求めるステップは、
前記第1波形の複数のピークと前記基準ピークとを組合せ、組合せられた各々のケースに対して、前記第1波形のピークと前記基準ピークとの間のピーク数を算出するステップと、
前記ピーク数を用いて前記予想厚さを求めるステップとを含むことを特徴とする請求項3に記載の厚さまたは表面形状の測定方法。 - 前記ピークを選択するステップは、
前記第1波形から複数のピークを選択し、前記第2波形から複数のピークを選択するステップを含み、
前記予想厚さを求めるステップは、
前記第1波形の複数のピークと前記第2波形の複数のピークとを組合せ、組合せられた各々のケースに対して、前記第1波形のピークと前記第2波形のピークとの間のピーク数を算出するステップと、
前記ピーク数を用いて前記予想厚さを求めるステップとを含むことを特徴とする請求項3に記載の厚さまたは表面形状の測定方法。 - 決定された薄膜層の厚さに対応する第1波形のピークに対して、前記薄膜層に入射する光軸方向に対する位置を前記薄膜層の表面高さに設定するステップと、
前記薄膜層に沿って移動して前記表面高さを設定するステップを繰り返すことにより、前記薄膜層の表面形状を求めるステップとを含むことを特徴とする請求項3に記載の厚さまたは表面形状の測定方法。
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