KR101650319B1 - 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치 - Google Patents

컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법에 관한 것으로서, 필터링단계와, 광강도 획득단계와, 스캐닝단계와, 그래프 합성단계를 포함한다. 필터링단계는 음향광변조필터를 이용하여 백색광원에서 발생된 광의 다수의 파장대 내에서 다수의 파장을 필터링한다. 광강도 획득단계는 컬러 카메라를 이용하여 다수의 파장대 내에서 다수의 파장의 광강도 신호를 동시에 획득한다. 스캐닝단계는 각각의 파장대 내에서 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하면서 필터링단계와 광강도 획득단계를 반복적으로 수행하여, 각각의 파장대 내에서 다수의 광강도 신호를 획득한다. 그래프 산출단계는 다수의 광강도 신호를 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프를 산출한다.

Description

컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치{Method and Apparatus for measuring thickness using color camera}
본 발명은 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 파장을 동시에 스캐닝하여 박막층의 두께를 신속하게 측정할 수 있는 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치에 관한 것이다.
최근의 산업계 전 분야에 걸친 급속한 기술 발전은 반도체, MEMS, 평판 디스플레이, 광부품 등의 분야에서 미세 가공을 필요로 하며, 현재는 나노 단위의 초정밀 제조 기술이 필요한 단계로 진입하고 있다. 필요한 가공의 형상도 단순한 패턴에서 복잡한 형상으로 변화하고 있으며, 이에 따라 미세 박막층의 두께를 측정하는 기술의 중요성은 더욱 부각되고 있다.
요즘 널리 쓰이고 있는 박막층의 두께 및 반사율 측정장치는 반사광도계의 원리(reflectometry)에 의한 것이다. 넓은 의미에서 박막층 측정장치(thin film layer measurement system)라고도 불리는 반사광도계(reflectometer)는 비접촉, 비파괴성 측정장치로서 다중층 박막의 특성을 측정할 수 있고, 목표로 하는 측정대상물에 특별한 준비과정이나 가공할 필요없이 직접 측정이 가능하다.
도 1은 종래의 반사광도계를 이용하여 두께를 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 반사광도계에서는 백색광원에서 발생된 광을 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하면서 흑백 카메라를 이용하여 각각의 파장에서 광강도 신호(11,12,13)를 획득하였다. 이와 같이 획득된 각 파장에서의 다수의 광강도 신호(11,12,13)를 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프를 산출하고, 산출된 반사율 그래프를 이용하여 박막층의 두께를 측정할 수 있었다.
그러나, 종래의 두께 측정방법에서는 백색광원에서 발생된 광의 전체 스펙트럼에 대하여 스캐닝하는 과정에서 수많은 파장에 대하여 순차적으로 광강도 신호를 획득함에 따라 다수의 광강도 신호를 획득하는 시간이 지연되는 문제점이 있다. 광강도 신호의 획득시간 지연은 결국 두께 측정장치의 성능과 직결되어 장치의 시간당 측정능력이 저하되는 문제점이 있다.
한국등록특허공보 제0490325호(2005.05.10 등록, 발명의 명칭 : ２차원형 검출기를 이용한 박막 특성 측정 당치 및 그 측정 방법)
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 백색광의 다수의 파장대 내에서 다수의 파장을 필터링하고 각각의 파장대 내에서 광강도 신호를 동시에 획득함으로써, 두께 측정장치의 측정 속도를 현저히 향상시킬 수 있는 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법은, 백색광원과, 상기 백색광원에서 발생된 광에서 다수의 이산된 파장을 필터링할 수 있는 음향광변조필터(AOTF)와, 측정대상물로부터 반사된 광강도 신호를 획득하는 컬러 카메라를 포함하는 반사광도계를 이용하고, 상기 음향광변조필터를 이용하여 상기 백색광원에서 발생된 광의 적색 파장대, 녹색 파장대 및 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장을 동시에 필터링하는 필터링단계; 상기 컬러 카메라를 이용하여 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장의 광강도 신호를 동시에 획득하는 광강도 획득단계; 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하면서 상기 필터링단계와 상기 광강도 획득단계를 반복적으로 수행하여, 각각의 파장대 내에서 다수의 광강도 신호를 획득하는 스캐닝단계; 및 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 획득된 다수의 광강도 신호를 모두 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프를 산출하는 그래프 산출단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
삭제
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치는, 백색광원; 상기 백색광원에서 발생된 광의 적색 파장대, 녹색 파장대 및 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장을 동시에 필터링할 수 있는 음향광변조필터(AOTF); 상기 음향광변조필터에서 필터링된 광을 측정대상물로 전달하는 광분할기; 측정대상물로부터 반사된 광의 적색 파장대, 녹색 파장대 및 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장의 광강도 신호를 동시에 획득하는 컬러 카메라; 각각의 파장대 내에서 다수의 광강도 신호를 획득하기 위하여, 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하는 필터링 신호를 상기 음향광변조필터에 전송하는 음향광변조필터 제어부; 및 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 획득된 다수의 광강도 신호를 모두 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프를 산출하는 화상처리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
삭제
본 발명의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치에 따르면, 박막층의 두께를 측정하는 속도를 현저히 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 반사광도계를 이용하여 두께를 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치를 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 도 3의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법을 통해 산출된 반사율 그래프를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 도 3의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법을 통해 산출된 반사율 그래프를 도시한 도면이다.
우선, 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치(100)는, 백색광원(110)과, 음향광변조필터(120)와, 음향광변조필터 제어부(130)와, 광분할기(140)와, 컬러 카메라(150)와, 화상처리부(160)를 포함한다. 본 실시예의 두께 측정장치(100)를 이용하여 측정되는 측정대상물(3)은 기판(1)과 기판(1) 상에 도포된 박막층(2)으로 구성된 경우를 예로 들어 설명한다.
상기 백색광원(110)은 백색광을 발생하는 광원으로서, 할로겐 램프, LED 등이 이용될 수 있다. 백색광원(110)의 후방에는 백색광원(110)에서 발생된 백색광을 콜리메이팅하는 콜리메이팅 렌즈 등이 배치될 수 있다.
상기 음향광변조필터(Acousto-Optic Tunable Filter, AOTF)(120)는 백색광원(110)에서 발생된 광의 다수의 파장대(20,30,40) 내에서 다수의 파장(21,31,41)을 필터링할 수 있다. 일반적으로 음향광변조필터(120)는 광의 전체 스펙트럼에서 특정 파장을 필터링할 수도 있고, 광에 포함된 다수의 파장대에서 다수의 이산된 파장을 필터링할 수도 있다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 음향광변조필터(120)는, 적색 파장대(20) 내에서 하나의 파장(21), 녹색 파장대(30)에서 하나의 파장(31) 및 청색 파장대(40) 내에서 하나의 파장(41)을 동시에 필터링할 수 있다. 이와 같이 음향광변조필터(120)를 이용하여 적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40)에서 각각 필터링된 3개의 이산된 파장(21,31,41)들이 포함된 광은 측정대상물(3) 측으로 전달된다.
상기 광분할기(140)는 음향광변조필터(120)에서 필터링된 3개의 이산된 파장(21,31,41)들이 포함된 광을 측정대상물(3)로 전달한다. 또한, 후술하는 바와 같이 측정대상물(3)로부터 반사된 광은 광분할기(140)를 경유하여 컬러 카메라(150)로 입사된다.
상기 컬러 카메라(150)는 측정대상물(3)로부터 반사된 광의 다수의 파장대(20,30,40) 내에서 다수의 파장(21,31,41)의 광강도 신호를 동시에 획득하며, 측정대상물(3)의 상측에 배치된다.
적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40)에서 각각 필터링된 3개의 이산된 파장(21,31,41)들이 포함된 광이 측정대상물(3)에서 반사되어 컬러 카메라(150)로 입사되면, 컬러 카메라(150)는 3개의 채널, 즉 적색 채널, 녹색 채널 및 청색 채널을 통해 3개의 파장(21,31,41)의 광강도 신호를 동시에 획득할 수 있다.
일반적으로 컬러 카메라(150)는 측정하고자 하는 영역에 적합한 화소 개수를 가지는 CCD(charge coupled device) 카메라가 이용된다. 컬러 카메라(150)의 전방에는 광분할기(140)로부터 입사되는 광을 집속시키기 위한 집광렌즈가 배치될 수 있다.
상기 음향광변조필터 제어부(130)는 각각의 파장대(20,30,40) 내에서 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하는 필터링 신호를 음향광변조필터(120)에 전송한다.
도 3을 참조하면, 우선 음향광변조필터 제어부(130)는 적색 파장대(20) 내에서 하나의 파장(21), 녹색 파장대(30)에서 하나의 파장(31) 및 청색 파장대(40) 내에서 하나의 파장(41)을 동시에 필터링할 수 있는 필터링 신호를 음향광변조필터(120)에 전송할 수 있다. 이후, 음향광변조필터 제어부(130)는 적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40) 내에서 각각 일정 간격만큼 파장을 증가 또는 감소시켜 해당 파장대의 파장을 스캐닝하는 필터링 신호를 음향광변조필터(120)에 전송할 수 있다.
예를 들어, 700∼610nm를 적색 파장대(20), 570∼500nm를 녹색 파장대(30), 500∼450nm를 청색 파장대(40)라고 가정하면, 우선 음향광변조필터 제어부(130)는 적색 파장대(20) 내에서 610nm의 파장(21), 녹색 파장대(30)에서 500nm의 파장(31) 및 청색 파장대(40) 내에서 450nm의 파장(41)을 동시에 필터링할 수 있는 필터링 신호를 음향광변조필터(120)에 전송할 수 있다. 이후, 음향광변조필터 제어부(130)는 각각의 파장대(20,30,40)에서 10nm만큼 파장을 증가시키면서 각각의 파장대(20,30,40)의 파장 전체를 스캐닝하는 필터링 신호를 음향광변조필터(120)에 전송할 수 있다.
이러한 과정을 통해 적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40) 내에서 10nm 간격으로 각각의 파장대(20,30,40) 내의 전체 파장에 대한 다수의 광강도 신호(22,32,42)를 동시에 획득할 수 있다.
상기 화상처리부(160)는 다수의 광강도 신호(22,32,42)를 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프(50)를 산출한다.
컬러 카메라(150)의 적색 채널, 녹색 채널 및 청색 채널을 통해 3개의 파장대(20,30,40)의 광강도 신호(22,32,42)를 동시에 획득하기 때문에, 종래의 두께 측정장치와 대비하여 전체 스펙트럼에 대하여 보다 빠른 시간 내에 광강도 신호를 획득할 수 있다.
이와 같이 각각의 파장대(20,30,40)에서 획득한 광강도 신호(22,32,42)를 합성하면, 측정대상물(3)에서 반사된 광의 전체 스펙트럼에 대한 광강도 그래프를 산출할 수 있다. 이후, 측정대상물(3)에서 반사된 광의 전체 스펙트럼에 대한 광강도 신호를, 측정대상물(3)에 입사된 광의 전체 스펙트럼에 대한 광강도 신호로 나누게 되면, 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프(50)를 산출할 수 있다.
박막층(2)의 각각의 포인트에서 상술한 반사율 그래프(50)를 구한 후, 이를 이용하여 해당 위치에서의 박막층(2)의 두께를 측정할 수 있다. 반사율 그래프(50)를 이용하여 박막층(2)의 두께를 측정하는 방법은 해당 기술분야의 통상의 기술자에게 널리 알려진 사항이므로, 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상술한 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치(100)를 이용하여, 본 발명의 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법을 설명한다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법은, 필터링단계와, 광강도 획득단계와, 스캐닝단계와, 그래프 산출단계를 포함한다.
상기 필터링단계는 음향광변조필터(120)를 이용하여 백색광원(110)에서 발생된 광의 다수의 파장대(20,30,40) 내에서 다수의 파장(21,31,41)을 필터링한다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 필터링단계에서는, 적색 파장대(20) 내에서 하나의 파장(21), 녹색 파장대(30)에서 하나의 파장(31) 및 청색 파장대(40) 내에서 하나의 파장(41)을 동시에 필터링할 수 있다. 이와 같이 음향광변조필터(120)를 이용하여 적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40)에서 각각 필터링된 3개의 이산된 파장(21,31,41)들이 포함된 광은 측정대상물(3) 측으로 전달된다.
상기 광강도 획득단계는 컬러 카메라(150)를 이용하여 다수의 파장대(20,30,40) 내에서 다수의 파장(21,31,41)의 광강도 신호를 동시에 획득한다.
적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40)에서 각각 필터링된 3개의 이산된 파장(21,31,41)들이 포함된 광이 측정대상물(3)에서 반사되어 컬러 카메라(150)로 입사되면, 컬러 카메라(150)는 3개의 채널, 즉 적색 채널, 녹색 채널 및 청색 채널을 통해 3개의 파장(21,31,41)의 광강도 신호를 동시에 획득할 수 있다.
상기 스캐닝단계는 각각의 파장대(20,30,40) 내에서 다수의 광강도 신호(22,32,42)를 획득한다.
우선 음향광변조필터 제어부(130)는 적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40) 내에서 각각 일정 간격만큼 파장을 증가 또는 감소시켜 해당 파장대의 파장을 스캐닝하는 필터링 신호를 음향광변조필터(120)에 전송한다.
3개의 파장대(20,30,40)에서 파장을 각각 스캐닝하면서 필터링단계와 광강도 획득단계를 반복적으로 수행하게 되면, 적색 파장대(20), 녹색 파장대(30) 및 청색 파장대(40) 내의 모든 파장(정확하게는 모든 파장 중 선택된 이산 파장)에서 다수의 광강도 신호(22,32,42)를 동시에 획득할 수 있다.
상기 그래프 산출단계는 다수의 광강도 신호(22,32,42)를 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프(50)를 산출한다.
각각의 파장대(20,30,40)에서 획득한 광강도 신호(22,32,42)를 합성하면, 측정대상물(3)에서 반사된 광의 전체 스펙트럼에 대한 광강도 그래프를 산출할 수 있다. 이후, 측정대상물(3)에서 반사된 광의 전체 스펙트럼에 대한 광강도 신호를, 측정대상물(3)에 입사된 광의 전체 스펙트럼에 대한 광강도 신호로 나누게 되면, 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프(50)를 산출할 수 있다.
박막층(2)의 각각의 포인트에서 상술한 반사율 그래프(50)를 구한 후, 이를 이용하여 해당 위치에서의 박막층(2)의 두께를 측정할 수 있다. 반사율 그래프(50)를 이용하여 박막층(2)의 두께를 측정하는 방법은 해당 기술분야의 통상의 기술자에게 널리 알려진 사항이므로, 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법 및 두께 측정장치는, 광의 다수의 파장대 내에서 다수의 파장을 필터링하고 각각의 파장대 내에서 광강도 신호를 동시에 획득함으로써, 박막층의 두께를 측정하는 속도를 현저히 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
20 : 적색 파장대
30 : 녹색 파장대
40 : 청색 파장대
100 : 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치
110 : 백색광원
120 : 음향광변조필터
130 : 음향광변조필터 제어부
150 : 컬러 카메라

Claims (4)

  1. 백색광원과, 상기 백색광원에서 발생된 광에서 다수의 이산된 파장을 필터링할 수 있는 음향광변조필터(AOTF)와, 측정대상물로부터 반사된 광강도 신호를 획득하는 컬러 카메라를 포함하는 반사광도계를 이용하고,
    상기 음향광변조필터를 이용하여 상기 백색광원에서 발생된 광의 적색 파장대, 녹색 파장대 및 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장을 동시에 필터링하는 필터링단계;
    상기 컬러 카메라를 이용하여 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장의 광강도 신호를 동시에 획득하는 광강도 획득단계;
    상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하면서 상기 필터링단계와 상기 광강도 획득단계를 반복적으로 수행하여, 각각의 파장대 내에서 다수의 광강도 신호를 획득하는 스캐닝단계; 및
    상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 획득된 다수의 광강도 신호를 모두 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프를 산출하는 그래프 산출단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 카메라를 이용한 두께 측정방법.
  2. 삭제
  3. 백색광원;
    상기 백색광원에서 발생된 광의 적색 파장대, 녹색 파장대 및 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장을 동시에 필터링할 수 있는 음향광변조필터(AOTF);
    상기 음향광변조필터에서 필터링된 광을 측정대상물로 전달하는 광분할기;
    측정대상물로부터 반사된 광의 적색 파장대, 녹색 파장대 및 청색 파장대 내에서 각각 하나의 파장의 광강도 신호를 동시에 획득하는 컬러 카메라;
    각각의 파장대 내에서 다수의 광강도 신호를 획득하기 위하여, 상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 일정 간격의 파장만큼 스캐닝하는 필터링 신호를 상기 음향광변조필터에 전송하는 음향광변조필터 제어부; 및
    상기 적색 파장대, 상기 녹색 파장대 및 상기 청색 파장대 각각에서 획득된 다수의 광강도 신호를 모두 합성하여 전체 스펙트럼에 대한 반사율 그래프를 산출하는 화상처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 카메라를 이용한 두께 측정장치.
  4. 삭제
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030025891A (ko) * 2001-09-21 2003-03-29 케이맥(주) 다층박막의 두께형상과 굴절률분포를 2차원형반사광도계의 원리를 이용하여 측정하는 장치와 그 측정방법
JP2005503547A (ja) * 2001-09-21 2005-02-03 ケイマック 多層薄膜の厚さ形状及び屈折率分布を二次元反射光度計の原理を利用して測定する装置とその測定方法
KR100631060B1 (ko) * 2004-11-10 2006-10-04 한국과학기술원 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을측정하는 장치 및 방법
KR20100105976A (ko) * 2009-03-23 2010-10-01 에스엔유 프리시젼 주식회사 반사도분포곡선의 모델링방법 및 이를 이용하는 두께 측정방법, 두께 측정 반사계

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5541413A (en) * 1992-04-24 1996-07-30 Thiokol Corporation Acousto-optic tunable filter-based surface scanning system and process
JPH08219729A (ja) * 1995-02-14 1996-08-30 Jeol Ltd 膜厚測定装置
US6353673B1 (en) * 2000-04-27 2002-03-05 Physical Optics Corporation Real-time opto-electronic image processor
US20040225222A1 (en) * 2003-05-08 2004-11-11 Haishan Zeng Real-time contemporaneous multimodal imaging and spectroscopy uses thereof
US7928928B2 (en) * 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7321425B2 (en) * 2004-12-20 2008-01-22 Honeywell International Inc. Sensor and methods for measuring select components in sheetmaking systems
US7545510B2 (en) * 2007-04-25 2009-06-09 Academia Sinica Method of characterizing transparent thin-films using differential optical sectioning interference microscopy
KR100988454B1 (ko) * 2008-01-31 2010-10-18 에스엔유 프리시젼 주식회사 두께 측정방법
KR101010189B1 (ko) * 2008-06-30 2011-01-21 에스엔유 프리시젼 주식회사 두께 또는 표면형상 측정방법
CN101871815B (zh) * 2009-04-24 2012-06-06 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种基于孔径分割和声光可调谐滤光器的可编程偏振超光谱成像仪
CN101539456B (zh) * 2009-04-24 2010-09-08 华东师范大学 通用超光谱成像组件
CN101718621B (zh) * 2009-11-26 2011-12-14 北京航空航天大学 声光可调谐滤波器参数定标系统
CA2793449A1 (en) * 2010-03-17 2011-09-22 Haishan Zeng Rapid multi-spectral imaging methods and apparatus and applications for cancer detection and localization
CN203464912U (zh) * 2013-09-22 2014-03-05 浙江大学 表面形貌抗振干涉测量系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030025891A (ko) * 2001-09-21 2003-03-29 케이맥(주) 다층박막의 두께형상과 굴절률분포를 2차원형반사광도계의 원리를 이용하여 측정하는 장치와 그 측정방법
JP2005503547A (ja) * 2001-09-21 2005-02-03 ケイマック 多層薄膜の厚さ形状及び屈折率分布を二次元反射光度計の原理を利用して測定する装置とその測定方法
KR100490325B1 (ko) 2001-09-21 2005-05-17 케이맥(주) 2차원형 검출기를 이용한 박막 특성 측정 장치 및 그 측정 방법
KR100631060B1 (ko) * 2004-11-10 2006-10-04 한국과학기술원 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을측정하는 장치 및 방법
KR20100105976A (ko) * 2009-03-23 2010-10-01 에스엔유 프리시젼 주식회사 반사도분포곡선의 모델링방법 및 이를 이용하는 두께 측정방법, 두께 측정 반사계

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