KR20170078200A - 높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계 - Google Patents

높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 광원부에서 서로 다른 광경로를 통해 서로 다른 위상을 갖도록 생성된 이중 가간섭광을 이용하여, 높은 단차를 갖는 시편의 삼차원 형상을 짧은 구동영역으로 측정할 수 있는 높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 관한 것이다.

Description

높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계{Apparatus of high speed white light scanning interferometer using dual coherence for high step height and thickness measurements}
본 발명은 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 광원부에서 서로 다른 광경로를 통해 서로 다른 위상을 갖도록 생성된 이중 가간섭광을 이용하여, 높은 단차를 갖는 시편의 삼차원 형상을 짧은 구동영역으로 측정할 수 있는 높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 관한 것이다.
일반적으로 백색광 주사 간섭계(white light scanning interferometer, WLSI)는 위상천이 간섭계(phase shifting interferometry)와는 달리 모호성 없이 단차를 갖는 시편을 포함한 측정 대상물의 3차원 형상을 측정할 수 있으므로, 공초점 현미경(confocal microscopy)과 함께 현재 반도체 및 LCD 산업 분야에서 각 요소 부품 및 제품의 기하학적 형상에 대한 측정 및 검사 장비로 활용되고 있다.
또한, 백색광 주사 간섭계는 접사 렌즈(macro lens) 등을 이용하여 대면적 측정이 가능하고, 간섭원리에 따른 높은 분해능을 지니는 장점을 지니고 있다.
한국 등록특허 제10-1010189호에는 백색광 주사간섭법을 이용하여 투과성 박막층의 두께 및 박막층의 표면형상을 정확하게 측정할 수 있는 백색광 주사 간섭계가 개시되어 있다.
도 1은 종래의 백색광 주사 간섭계를 이용하여, 단차를 갖는 시편의 표면 형상을 측정하는 방법을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 백색광 주사 간섭계는 단차(d)를 갖는 시편의 표면 형상을 측정할 때에는, 먼저 제1 측정면을 향해 백색광이 조사되도록 위치시킨다.
이후, 제1 측정면을 통해 반사되는 측정광과 간섭계의 기준면에 조사되는 기준광에 의해 간섭무늬(a'-1)가 형성되게 하여, 제1 측정면의 표면 높이를 측정한다.
다음, 상기 제1 측정면과 다른 높이로 형성된 제2 측정면 향해 백색광이 조사되도록 위치시킨다.
이후, 상기 제2 측정면을 통해 반사되는 측정광과 간섭계의 기준면에 조사되는 기준광에 의해 간섭무늬(a'-2)가 형성되도록 주사(scanning) 길이를 조절하여, 제2 측정면의 표면높이를 측정함으로써, 단차를 갖는 시편의 표면 형상을 측정한다.
하지만, 종래의 백색광 주사 간섭계는 주사 길이가 단차(d) 만큼 구동되어야하므로, 측정 시간이 오래 걸리는 문제점이 있었다.
이러한 문제점은 단차(d) 이상으로 주사 길이가 확보되도록 구동부가 구비되어야 하고, 측정시간의 증가에 따라 생산성이 저하되는 문제점을 수반하게 된다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 높은 단차를 갖는 시편의 형상을 짧은 구동영역으로 측정할 수 있게 하여, 측정 속도를 향상시킬 수 있는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 구동부를 간소화시켜, 제품의 제조단가를 절감시킬 수 있는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 가간섭 광을 조사하는 광원부; 상기 광원부로부터 입사된 광을 측정면과 기준면에 조사하기 위해 측정광과 기준광으로 분할시키며, 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상되는 간섭 렌즈계; 상기 간섭 렌즈계에 결상된 간섭무늬를 획득하는 영상획득부; 및 상기 간섭 렌즈부를 광축 방향으로 이동시키기 위한 구동부;를 포함하고, 상기 광원부는 서로 다른 광경로를 통해 서로 다른 위상을 갖는 제1 가간섭 광 및 제2 가간섭 광을 생성하는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 간섭 렌즈계는 상기 제1 가간섭 광에 의한 간섭무늬, 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬 또는 상기 제1 가간섭 광 및 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬가 결상된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 광원부는 백색광을 조사하는 광원; 상기 백색광을 반사광과 투과광으로 분할시키는 제1 광분할기; 상기 반사광을 상기 제1 광분할기를 향해 반사하여, 제1 광경로를 형성하는 제1 미러; 및 상기 투과광을 상기 제1 광분할기를 향해 반사하여, 제2 광경로를 형성하는 제2 미러;를 포함하고, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리가 서로 다르다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 간섭 렌즈부는 상기 광원부를 통해 입사되는 광을 집광시키는 제1 집광 렌즈; 및 소정 위치에 구비되는 기준면; 상기 제1 집광 렌즈를 통해 집광된 광을 시편의 측정면과 상기 기준면에 조사하기 위해 분할시키는 제2 광분할기;를 포함하고, 상기 제2 광분할기에는 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 광원부와 상기 간섭 렌즈부 사이에 구비되어, 상기 광원부로부터 입사되는 광을 분할하는 제3 광분할기; 및 상기 제3 광분활기를 통해 입사되는 상기 제1 가간섭광과 상기 제2 가간섭광의 스펙트럼을 계측하여, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리 차이를 실시간으로 산출하는 분광기;를 더 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 영상획득부는 상기 제3 광분할기를 통해 상기 간섭 렌즈부에 결상된 간섭무늬를 획득하는 CCD 카메라를 포함한다.
또한, 본 발명은 본 발명의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 이용하여 단차를 갖는 시편의 표면 형상 측정 방법으로서, 시편의 제1 측정면의 표면 높이를 측정하는 단계; 및 상기 제1 측정면과 다른 높이를 갖는 제2 측정면의 표면 높이을 측정하는 단계;를 포함하여 이루어지고, 상기 제1 측정면의 표면형상을 측정하는 단계는 상기 제1 측정면에 조사되는 상기 측정광과 상기 기준면에 조사되는 상기 기준광의 광경로차가 0에 근접하도록 상기 기준면의 위치를 조절하여, 상기 제1 가간섭광에 의한 간섭무늬와 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬가 발생되게 하고, 상기 제2 측정면의 표면형상을 측정하는 단계는 상기 제1 가간섭광 및 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬가 발생되도록 상기 기준면의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 단차를 갖는 시편의 표면 형상 측정 방법을 더 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제2 측정면의 표면형상을 측정하는 단계에서, 상기 기준면의 구동거리는 상기 시편의 단차에서 상기 제1 가간섭 광경로와 상기 제2 가간섭 광경로의 차이를 뺀 값이다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.
먼저, 본 발명의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 의하면, 광원부에서 서로 다른 광경로를 통해 서로 다른 위상을 갖도록 생성된 이중 가간섭광을 이용하여, 높은 단차를 갖는 시편의 형상을 짧은 구동영역으로 측정할 수 있게 함으로써, 측정 속도를 향상시킬 수 있는 장점을 지닌다.
또한, 본 발명의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 의하면, 시편을 주사하기 위한 구동부를 간소화하여, 제품의 제조비용을 절감시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계에 의하면, 이중 가간섭 광의 광경로 차이를 조절할 수 있고, 동시에 광경로 차이를 실시간으로 측정할 수 있으므로, 임의의 시편 표면형상을 용이하게 측정할 수 있는 장점을 지닌다.
도 1은 본 발명의 종래의 백색광 주사 간섭계를 이용하여 단차를 갖는 시편의 표면 형상을 측정하는 방법을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 이용하여 단차를 갖는 시편 표면 형상을 측정하는 방법을 보여주는 예시도이다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 2는 본 발명에 따른 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 보여주는 도면으로, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계(100)는 광원부에서 생성된 이중 가간섭 광을 이용하여, 시편의 삼차원 형상을 측정하기 위한 백색광 주사 간섭계로서, 광원부(110), 간섭렌즈계(120), 영상획득부(130), 구동부(140)를 포함하여 이루어진다.
상기 광원부(110)는 가간섭 광을 조사하는 광원부로서, 광원(111), 제1 광분할기(112), 제1 미러(113), 제2 미러(114) 및 시준기(115)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 광원(111)은 백색광을 조사할 수 있는 수단이면 제한되는 바가 아니며, 일 예로 할로겐 램프 등이 이용될 수 있다.
또한, 상기 제1 광분할기(112)는 상기 광원(111)으로부터 조사되는 백색광을 반사광과 투과광으로 분할시키는 광분할기이다.
또한, 시준기(115)는 상기 광원(111)과 상기 제1 광분할기(112) 사이에 구비될 수 있으며, 상기 광원(111)으로부터 조사되는 백색광을 평행광으로 변화시킨다.
또한, 상기 제1 미러(113)는 상기 반사광을 상기 제1 광분할기(112)를 향해 반사하여 제1 광경로를 형성한다.
또한, 상기 제2 미러(114)는 상기 투과광을 상기 제2 광분할기(112)를 향해 반사하여 제2 광경로를 형성한다.
이때, 상기 제1 광분할기(112)와 상기 제1 미러(112) 사이의 거리(m1)와 상기 제1 광분할기(112)와 상기 제2 미러(113) 사이의 거리(m2)는 서로 다르게 구비된다.
즉, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리가 서로 다르도록 구비되는 것이다.
또한, 상기 제1 광분할기(112)와 상기 제1 미러(112) 사이의 거리(m1)와 상기 제1 광분할기(112)와 상기 제2 미러(113) 사이의 거리(m2)는 용이하게 조절할 수 있다.
즉, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리 차이는 용이하게 조절될 수 있는 것이다.
이에 따라, 상기 제1 광경로를 통해 조사되는 광(이하, 제1 가간섭 광이라함)과 상기 제2 광경로를 통해 조사되는 광(이하, 제2 가간섭 광이라 함)이 각각 상기 간섭 렌즈계(120)로 조사되며, 상기 제1 가간섭 광과 상기 제2 가간섭광은 서로 다른 위상으로 상기 간섭 렌즈계(120)에 조사된다.
상기 간섭 렌즈계(120)는 상기 광원부(110)로부터 입사되는 가간섭 광의 광경로 차이가 0 근처일 때, 간섭 무늬가 결상되는 렌즈로서, 제1 집광렌즈(121), 기준면(122) 및 제2 광분할기(123)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 제1 집광렌즈(121)는 상기 광원부를 통해 입사되는 가간섭 광을 집광시키는 렌즈이다.
또한, 상기 기준면(122)은 상기 제2 광분할기(120)의 상부 소정 위치에 구비되며, 반사 거울이 이용될 수 있다.
또한, 상기 제2 광분할기(123)는 상기 제1 집광렌즈(121)를 통해 집광된 광을 시편(10)의 측정면과 상기 기준면(122)에 조사하기 위해 분할시킨다.
또한, 상기 제2 광분할기(123)에는 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면(122)에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상된다.
즉, 본 발명의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계(100)는 상기 제1 가간섭 광에 의한 간섭무늬, 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬, 상기 제1 가간섭 광 및 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬가 결상될 수 있는 구조이다.
이에 따라, 상기 제1 가간섭 광 및 상기 제2 가간섭 광을 이용한 이중 가간섭성에 의해, 높은 단차를 지닌 시편을 짧은 주사(scanning) 영역으로 측정할 수 있게 된다.
상기 영상획득부(130)는 상기 간섭 렌즈계(120)에 결상된 간섭무늬를 획득하는 장치이다.
또한, 상기 구동부(140)는 상기 간섭 렌즈계(120)를 소정 간격 이동시키기 위한 구동수단으로서, 상기 간섭 렌즈계(120)를 광축 방향(c)으로 소정 간격 이동하면서, 간섭무늬가 결상되는 위치를 찾게 한다.
또한, 상기 광원부(110)와 상기 간섭 렌즈부(120) 사이에 구비되는 제3 광분할기(150)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제3 광분할기(150)를 통해 입사되는 상기 제1 가간섭광과 상기 제2 가간섭광의 스펙트럼을 계측하여, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리 차이를 산출하는 분광기(160)를 더 포함할 수 있다.
이는 상기 분광기(160)가 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 차이를 실시간으로 측정할 수 있게 함으로써, 임의의 시편 표면형상을 용이하게 측정할 수 있게 한다.
또한, 상기 제2 광분할기(150)의 전방에는 상기 제1 가간섭광과 상기 제2 가간섭광이 집광되게 하는 제2 집광렌즈(161)가 더 구비될 수 있다.
또한, 상기 제3 광분할기(150)는 상기 간섭 렌즈부(120)에 결상된 간섭무늬를 상기 영상획득부로(130)로 전달할 수 있다.
또한, 상기 영상획득부(130)는 상기 제3 광분할기(150)를 통해 전달되는 광을 집광시키는 제3 집광렌즈(131) 및 측정하고자 하는 영역에 적합한 화수 개수를 가지는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명은 본 발명의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계(100)를 이용하여 단차(d)를 갖는 시편(10)의 표면 형상 측정 방법을 제공한다.
도 3을 도시된 바와 같이, 먼저, 단차(d)를 갖는 시편의 제1 측정면(11)을 향해 백색광이 조사되도록 위치시킨다.
이후, 상기 제1 측정면(11)에 조사되는 상기 측정광과 상기 기준면(122)에 조사되는 상기 기준광의 광경로 차가 0에 근접하도록 상기 기준면(122)의 위치를 조절한다.
이때, 상기 제1 가간섭광에 의한 간섭무늬(a-1)와 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬(a-1)가 발생되며, 상기 제1 측정면의 표면 높이를 측정한다.
다음, 상기 제1 측정면(11)과 다른 높이로 형성된 제2 측정면(12)을 향해 백생광이 조사되도록 위치시킨다.
이후, 상기 제2 측정면(12)을 향해 조사되는 상기 제1 가간섭광 및 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬(a-2)가 발생되도록 상기 기준면의 위치를 조절하여, 상기 제2 측정면의 표면 높이를 측정한다.
이때, 상기 기준면(122)의 구동거리는 상기 시편(10)의 단차(d)에서 상기 제1 가간섭 광경로와 상기 제2 가간섭 광경로의 차이(t)를 뺀 값이다.
즉, 종래의 백색광 주사 간섭계는 단차(d)를 가지는 측정 대상물을 측정할 때에는 구동부가 단차(d) 이상으로 구동해야 측정이 가능한 구조이나, 본 발명에 따른 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계(100) 및 이를 이용한 표면 형상 측정 방법은 이중 가간섭성을 이용하여, 단차(d)를 갖는 시편(10)의 형상을 짧은 구동영역(d-t)으로 측정할 수 있게 함으로써, 측정 속도를 향상시킬 수 있는 장점을 지닌다
또한, 상기 제1 가간섭 광경로와 상기 제2 가간섭 광경로의 차이를 실시간을 측정할 수 있으므로, 임의의 시편 표면형상을 용이하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
더욱이, 시편을 주사하기 위한 구동부(140)를 간소화시킬 수 있으므로, 제품의 제조비용을 절감시킬 수 있는 효과가 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
10 : 시편 110 : 광원부
111 : 광원 112 : 제1 광분할기
113 : 제1 미러 114 : 제2 미러
115 : 시준기 120 : 간섭 렌즈계
121 : 제1 집광렌즈 122 : 기준면
123 : 제2 광분할기 130 : 영상획득부
131 : 제3 집광렌즈 140 : 구동부
150 : 제2 광분할기 160 : 분광기
161 : 제2 집광렌즈

Claims (8)

  1. 가간섭 광을 조사하는 광원부;
    상기 광원부로부터 입사된 광을 측정면과 기준면에 조사하기 위해 측정광과 기준광으로 분할시키며, 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상되는 간섭 렌즈계;
    상기 간섭 렌즈계에 결상된 간섭무늬를 획득하는 영상획득부; 및
    상기 간섭 렌즈부를 광축 방향으로 이동시키기 위한 구동부;를 포함하고,
    상기 광원부는 서로 다른 광경로를 통해 서로 다른 위상을 갖는 제1 가간섭 광 및 제2 가간섭 광을 생성하는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 간섭 렌즈계는
    상기 제1 가간섭 광에 의한 간섭무늬, 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬 또는 상기 제1 가간섭 광 및 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬가 결상되는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 광원부는
    백색광을 조사하는 광원;
    상기 백색광을 반사광과 투과광으로 분할시키는 제1 광분할기;
    상기 반사광을 상기 제1 광분할기를 향해 반사하여, 제1 광경로를 형성하는 제1 미러; 및
    상기 투과광을 상기 제1 광분할기를 향해 반사하여, 제2 광경로를 형성하는 제2 미러;를 포함하고,
    상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리가 서로 다른 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 간섭 렌즈부는
    상기 광원부를 통해 입사되는 광을 집광시키는 제1 집광 렌즈; 및
    소정 위치에 구비되는 기준면;
    상기 제1 집광 렌즈를 통해 집광된 광을 시편의 측정면과 상기 기준면에 조사하기 위해 분할시키는 제2 광분할기;를 포함하고,
    상기 제2 광분할기에는 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상되는 것을 특징으로 하는 가간섭 백색광 주사 간섭계.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 광원부와 상기 간섭 렌즈부 사이에 구비되어, 상기 광원부로부터 입사되는 광을 분할하는 제3 광분할기; 및
    상기 제3 광분활기를 통해 입사되는 상기 제1 가간섭광과 상기 제2 가간섭광의 스펙트럼을 계측하여, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리 차이를 실시간으로 산출하는 분광기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 영상획득부는
    상기 제3 광분할기를 통해 상기 간섭 렌즈부에 결상된 간섭무늬를 획득하는 CCD 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 이용하여 단차를 갖는 시편의 표면 형상 측정 방법으로서,
    시편의 제1 측정면의 표면 높이를 측정하는 단계; 및
    상기 제1 측정면과 다른 높이를 갖는 제2 측정면의 표면 높이을 측정하는 단계;를 포함하여 이루어지고,
    상기 제1 측정면의 표면형상을 측정하는 단계는 상기 제1 측정면에 조사되는 상기 측정광과 상기 기준면에 조사되는 상기 기준광의 광경로차가 0에 근접하도록 상기 기준면의 위치를 조절하여, 상기 제1 가간섭광에 의한 간섭무늬와 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬가 발생되게 하고,
    상기 제2 측정면의 표면형상을 측정하는 단계는 상기 제1 가간섭광 및 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬가 발생되도록 상기 기준면의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 단차를 갖는 시편의 표면 형상 측정 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제2 측정면의 표면형상을 측정하는 단계에서,
    상기 기준면의 구동거리는
    상기 시편의 단차에서 상기 제1 가간섭 광경로와 상기 제2 가간섭 광경로의 차이를 뺀 값인 것을 특징으로 하는 시편의 표면 형상 측정 방법.
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