JP2011524012A - X線検出器用のセンサヘッド、及び同センサヘッドを含むx線検出器 - Google Patents
X線検出器用のセンサヘッド、及び同センサヘッドを含むx線検出器 Download PDFInfo
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Abstract
【選択図】 図2b
Description
図2a,2bは、従来技術(図2a)と比較した、本発明(図2b)によるセンサヘッド30を示す側面図である。
図3a−gは、従来技術からのセンサヘッドと比較した、本発明によるセンサヘッド30の発明的改良例を示す平面図である。
図3hは、本発明におけるセンサヘッド30の別形態の発明的改良例の平面図である。
例の平面図である。
11 表面領域
12 端面
14 側面
16 ボンディングアイランド
18 長側面
20 短側面
22 切り欠き部
30 センサヘッド
32 センサチップ
34 熱電冷却素子
40 信号制御接続部
42 接続ピン
44 グラス製ボディ
46 ボンディングワイヤ
50 基板
52 台座
54 穴
60 SEM
62 磁極片
64 電子ビーム
66 試料
68 試料ホルダ
70 試料テーブル
72 X線放射
74 X線検出器
76 磁気トラップ
78 冷却装置
D 直径
A 距離
Claims (15)
- X線検出器(74)用センサヘッド(30)であって、
端面(12)および側面(14)を有するプリント配線板(10)と、
前記プリント配線板(10)の前記端面(12)に配設され放射X線(72)に感度を有するセンサチップ(32)と、
複数の信号制御接続部(40)と、
各々のボンディングワイヤ(46)のうち少なくとも1つを介することで、少なくとも幾つかが前記信号制御接続部(40)と電気的接続を有するようプリント配線板(10)に配設された複数のボンディングアイランド(16)と、
を備えたセンサヘッドにおいて、
下記(a)および(b)のうちの1つにより特徴付けられるセンサヘッド。
(a)前記ボンディングアイランド(16)が、前記プリント配線板(10)の前記側面(14)にて配設されている。
(b)前記プリント配線板(10)が、前記側面(14)に切り欠き部(22)を有し、
前記信号制御接続部(40)が、その端部が前記切り欠き部(22)の真下に位置するように構成されるか、又は、その端部が前記切り欠き部(22)に向かって延びるように構成され、
前記ボンディングアイランド(16)が、前記各切り欠き部(22)にそれぞれ隣り合うよう、前記プリント配線板(10)の前記端面(12)に配設されている。 - 請求項1に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記プリント配線板(10)の前記端面(12)が、8角形状をなし、互いに対向する4つの長側面(18)と、互いに対向する4つの短側面(20)とをそれぞれ有していることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項2に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記ボンディングアイランド(16)が、前記プリント配線板(10)の前記8角形状における前記長側面(18)に配設されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項2又は請求項3に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記長側面(18)1つあたりに配設される前記ボンディングアイランド(16)の個数が、2個以上8個以下、特に3個以上6個以下、好適には3個または4個であることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項2乃至請求項4の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記プリント配線板(10)が、前記長側面(14)に切り欠き部(22)を有し、
前記ボンディングアイランド(16)が、前記切り欠き部(22)に配設されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記ボンディングアイランド(16)が、アルミニウムまたは金にて構成されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記プリント配線板(10)が、多層複合セラミクスで構成されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記センサチップ(32)の活性表面の面積を10mm2とした場合において、
前記センサヘッド(30)の直径(D)が、14mmよりも小さく(特に13mmよりも小さく、好適には12mmよりも小さく)、より好適には11mmよりも小さくなるよう構成されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記プリント配線板(10)における前記端面(12)から見て離間した側にて、冷却手段、特に、熱電冷却素子(34)が配設されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項9の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記センサチップ(32)が、正方形状または8角形状の表面領域(11)を有し、
前記表面領域(11)が、前記プリント配線板(10)の前記端面(12)よりも小さい、又は、同端面(12)と同じ面積を有していることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項10の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記信号制御接続部(40)が、特に、グラス製ボディ(44)を有する接続ピン(42)であることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項11に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記接続ピン(42)が、前記プリント配線板(10)における前記端面(12)から見て離間した側にて配設され、前記プリント配線板(10)の前記端面(12)によって完全に又は部分的に覆い隠されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項12の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)であって、
前記プリント配線板(10)における前記端面(12)から見て離間した側が、台座(52)に配設されていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項13に記載のセンサヘッド(30)であって、
基板(50)における前記端面(12)から見て離間した側が、前記台座(52)に配設され、
前記基板(50)が、前記接続ピン(42)を含む前記グラス製ボディ(44)を収容する穴(54)を備えていることを特徴とするセンサヘッド。 - 請求項1乃至請求項14の何れか一項に記載のセンサヘッド(30)を備えたX線検出器(74)であって、特に、EDX式X線検出器。
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