JPH1012851A - 放射線撮像装置 - Google Patents
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- JPH1012851A JPH1012851A JP8157218A JP15721896A JPH1012851A JP H1012851 A JPH1012851 A JP H1012851A JP 8157218 A JP8157218 A JP 8157218A JP 15721896 A JP15721896 A JP 15721896A JP H1012851 A JPH1012851 A JP H1012851A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 テーパファイバを用いることなく、安価に製
造することができ、画像に抜けや歪がなく、Ｓ／Ｎ比の
良い画像が得られる放射線撮像装置を得る。 【解決手段】 フォトダイオードとスイッチ素子とを１
組とした受光要素をマトリックス状に配列して受光部２
３を形成し、かつ外周辺近傍に電極パッド部４４を備え
たフォトダイオードアレイチップ１１を、マトリックス
状に配置する。隣り合うフォトダイオードアレイチップ
１１間において板面を垂直にして配線板１３ａ、１３ｂ
を配設する。配線板１３ａの下部に、受光要素を一つず
つ順次選択して信号を出力する垂直シフトレジスタチッ
プ１４を設ける。配線板１３ｂの下部に、選択された各
受光要素からの信号を処理するチャージアンプアレイチ
ップ１５を設ける。
造することができ、画像に抜けや歪がなく、Ｓ／Ｎ比の
良い画像が得られる放射線撮像装置を得る。 【解決手段】 フォトダイオードとスイッチ素子とを１
組とした受光要素をマトリックス状に配列して受光部２
３を形成し、かつ外周辺近傍に電極パッド部４４を備え
たフォトダイオードアレイチップ１１を、マトリックス
状に配置する。隣り合うフォトダイオードアレイチップ
１１間において板面を垂直にして配線板１３ａ、１３ｂ
を配設する。配線板１３ａの下部に、受光要素を一つず
つ順次選択して信号を出力する垂直シフトレジスタチッ
プ１４を設ける。配線板１３ｂの下部に、選択された各
受光要素からの信号を処理するチャージアンプアレイチ
ップ１５を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線撮像装置に
係り、特に医療における放射線撮像に適した固体撮像装
置を備える放射線撮像装置に関する。
係り、特に医療における放射線撮像に適した固体撮像装
置を備える放射線撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、画像処理技術の普及に伴い光電変
換機能を有する主要なデバイスとしてＣＣＤやＢＢＤに
代表される電荷転送デバイスやＭＯＳ型固体撮像デバイ
スなどが開発されており、これらを利用した種々の固体
撮像装置が知られている。
換機能を有する主要なデバイスとしてＣＣＤやＢＢＤに
代表される電荷転送デバイスやＭＯＳ型固体撮像デバイ
スなどが開発されており、これらを利用した種々の固体
撮像装置が知られている。
【０００３】ところで、医療の分野では、２０世紀初頭
に発明されたＸ線レントゲンフィルムを用いた画像診断
は、いまだに最前線で活用されているが、患者数の増大
とともに、保管方法や保管場所などが大きな問題となっ
ている。そこで、最近では、第１に、Ｘ線をシンチレー
タ等により可視光等に変換後、テーパ状の光ファイバプ
レート（テーパファイバ）を用いてフォトダイオードに
入力して光電変換する方法、第２に、Ｘ線をシンチレー
タ等により可視光等に変換後、光ファイバプレートを用
いることなく、アモルファスシリコン等の大面積イメー
ジセンサに直接入力して画像化する方法が行われてい
る。
に発明されたＸ線レントゲンフィルムを用いた画像診断
は、いまだに最前線で活用されているが、患者数の増大
とともに、保管方法や保管場所などが大きな問題となっ
ている。そこで、最近では、第１に、Ｘ線をシンチレー
タ等により可視光等に変換後、テーパ状の光ファイバプ
レート（テーパファイバ）を用いてフォトダイオードに
入力して光電変換する方法、第２に、Ｘ線をシンチレー
タ等により可視光等に変換後、光ファイバプレートを用
いることなく、アモルファスシリコン等の大面積イメー
ジセンサに直接入力して画像化する方法が行われてい
る。
【０００４】図１０に上記第１の方法で用いる装置を示
す。この放射線撮像装置は、ＣｓＩにより形成されＸ線
を光信号に変換するシンチレータ板１を備え、このシン
チレータ板１と固体撮像部２との間には、３行３列に束
ねたテーパファイバ３が介在されている。固体撮像部２
は、テーパファイバ３に対応するように正方形板状のチ
ップ４をマトリックス状に配置して構成されている。そ
して、その一単位のチップ４には、図１１に示すよう
に、フォトダイオードとスイッチ素子とを１組の受光要
素とし、この受光要素を垂直・水平方向にマトリックス
状に配列して受光部５が形成されている。また、受光部
５の周囲であるチップ４外周辺近傍には、受光要素を一
つずつ順次選択して信号を出力する垂直シフトレジスタ
６および選択された各受光要素からの信号を処理するチ
ャージアンプアレイ７が配置されている。
す。この放射線撮像装置は、ＣｓＩにより形成されＸ線
を光信号に変換するシンチレータ板１を備え、このシン
チレータ板１と固体撮像部２との間には、３行３列に束
ねたテーパファイバ３が介在されている。固体撮像部２
は、テーパファイバ３に対応するように正方形板状のチ
ップ４をマトリックス状に配置して構成されている。そ
して、その一単位のチップ４には、図１１に示すよう
に、フォトダイオードとスイッチ素子とを１組の受光要
素とし、この受光要素を垂直・水平方向にマトリックス
状に配列して受光部５が形成されている。また、受光部
５の周囲であるチップ４外周辺近傍には、受光要素を一
つずつ順次選択して信号を出力する垂直シフトレジスタ
６および選択された各受光要素からの信号を処理するチ
ャージアンプアレイ７が配置されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の放射線撮像
装置では、図１１に示すように、一チップ４内に受光部
５を配置するとともに、受光部５の周辺に垂直シフトレ
ジスタ６やチャージアンプアレイ７の回路部を配置して
いたため、シンチレータ板１で変換した全ての光信号を
取り込むためには必然的にテーパファイバ３を用いて光
を絞り込まなければならなかった。
装置では、図１１に示すように、一チップ４内に受光部
５を配置するとともに、受光部５の周辺に垂直シフトレ
ジスタ６やチャージアンプアレイ７の回路部を配置して
いたため、シンチレータ板１で変換した全ての光信号を
取り込むためには必然的にテーパファイバ３を用いて光
を絞り込まなければならなかった。
【０００６】ところが、テーパファイバは、その製造上
の理由から非常に高額である。Ｘ線写真フィルムを用い
る例からも判るように、医療の分野における画像診断の
対象は人体であり、それも胸部等の大面積の領域である
ことから、撮像装置も大きなものが必要となる。したが
って、高額なテーパファイバを用いて人体に対応する面
積の放射線撮像装置を実現しようとすると、１システム
当りのコストは膨大なものになるという問題があった。
の理由から非常に高額である。Ｘ線写真フィルムを用い
る例からも判るように、医療の分野における画像診断の
対象は人体であり、それも胸部等の大面積の領域である
ことから、撮像装置も大きなものが必要となる。したが
って、高額なテーパファイバを用いて人体に対応する面
積の放射線撮像装置を実現しようとすると、１システム
当りのコストは膨大なものになるという問題があった。
【０００７】また、テーパファイバは、製造時にファイ
バの四隅が丸くなることから、ファイバ角部に対応する
位置おいて画像が得られなかったり、若干画像が歪むと
いう問題もあった。
バの四隅が丸くなることから、ファイバ角部に対応する
位置おいて画像が得られなかったり、若干画像が歪むと
いう問題もあった。
【０００８】一方、アモルファスシリコンを用いる上記
第２の方法の場合、容易に大面積を達成できるものの、
微細加工技術を施せないために、最もノイズの発生に寄
与するビデオライン容量を小さくできないという問題が
あり、特に人体の大きさまでセンサを大きくすると、こ
の問題はより一層深刻となり、良好なＳ／Ｎ比を得るこ
とは困難であった。
第２の方法の場合、容易に大面積を達成できるものの、
微細加工技術を施せないために、最もノイズの発生に寄
与するビデオライン容量を小さくできないという問題が
あり、特に人体の大きさまでセンサを大きくすると、こ
の問題はより一層深刻となり、良好なＳ／Ｎ比を得るこ
とは困難であった。
【０００９】これら問題を解決するために、ＭＯＳイメ
ージセンサを用いた例が知られている。例えば、特開平
４ー３５８８号公報に示すように、２次元ＭＯＳセンサ
の１水平受光部単位毎に積分器を配置してビデオライン
を分割し、Ｓ／Ｎ比を稼ぐ方法がある。この方法を用い
れば、もともとＭＯＳイメージセンサは１単位当りの画
素サイズを２００μｍ×２００μｍ以上にできるので、
これを大面積化することが考えられる。
ージセンサを用いた例が知られている。例えば、特開平
４ー３５８８号公報に示すように、２次元ＭＯＳセンサ
の１水平受光部単位毎に積分器を配置してビデオライン
を分割し、Ｓ／Ｎ比を稼ぐ方法がある。この方法を用い
れば、もともとＭＯＳイメージセンサは１単位当りの画
素サイズを２００μｍ×２００μｍ以上にできるので、
これを大面積化することが考えられる。
【００１０】ところが、チップ自体の面積を半導体ウェ
ハサイズ以上にはできないという制約があるために、フ
ォトダイオード一つ当りの大きさをウェハサイズぎりぎ
りまでとして、そのチップを何個も組み合わせて人体の
大きさまで構築する方法を採用せざるを得ない。しか
し、この方法でも、各フォトダイオードの繋ぎめ毎にア
ンプアレイおよび水平、垂直シフトレジスタ自体の占有
面積があるため、その分チップ間に大きな隙間が数ｍｍ
存在することになり、画像上に大きなブランク領域が発
生するので、実用上大きな障害となるという欠点があっ
た。
ハサイズ以上にはできないという制約があるために、フ
ォトダイオード一つ当りの大きさをウェハサイズぎりぎ
りまでとして、そのチップを何個も組み合わせて人体の
大きさまで構築する方法を採用せざるを得ない。しか
し、この方法でも、各フォトダイオードの繋ぎめ毎にア
ンプアレイおよび水平、垂直シフトレジスタ自体の占有
面積があるため、その分チップ間に大きな隙間が数ｍｍ
存在することになり、画像上に大きなブランク領域が発
生するので、実用上大きな障害となるという欠点があっ
た。
【００１１】また、このような大面積チップを製造する
際、特に問題となるのが、オフセットばらつきである。
ＭＯＳデバイスについては、そのしきい値電圧Ｖｔｈは
製造工程上どうしてもばらつくが、特に大面積チップを
構成する際に、そのＶｔｈばらつきはより一層顕著とな
る。ところが、特開平４ー３５８８号公報記載の装置で
は、その工夫がなされておらず、その影響がフィクスト
パターン画像ノイズとなって現れることは明白であり、
その解決手段を持たない限り、実用とはなり得ないもの
である。
際、特に問題となるのが、オフセットばらつきである。
ＭＯＳデバイスについては、そのしきい値電圧Ｖｔｈは
製造工程上どうしてもばらつくが、特に大面積チップを
構成する際に、そのＶｔｈばらつきはより一層顕著とな
る。ところが、特開平４ー３５８８号公報記載の装置で
は、その工夫がなされておらず、その影響がフィクスト
パターン画像ノイズとなって現れることは明白であり、
その解決手段を持たない限り、実用とはなり得ないもの
である。
【００１２】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、請求項１に係る発明は、テーパファイバ
を用いることなく、安価に製造することができ、画像に
抜けや歪がなく、Ｓ／Ｎ比の良い画像が得られる放射線
撮像装置を提供することを目的とする。
されたもので、請求項１に係る発明は、テーパファイバ
を用いることなく、安価に製造することができ、画像に
抜けや歪がなく、Ｓ／Ｎ比の良い画像が得られる放射線
撮像装置を提供することを目的とする。
【００１３】請求項２に係る発明は、上記目的に加え、
撮像領域を狭めることなく、回路部を放射線から完全に
保護することができる放射線撮像装置を提供することを
目的とする。
撮像領域を狭めることなく、回路部を放射線から完全に
保護することができる放射線撮像装置を提供することを
目的とする。
【００１４】請求項３に係る発明は、上記目的に加え、
接続のための領域が小さい放射線撮像装置を提供するこ
とを目的とする。
接続のための領域が小さい放射線撮像装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１５】請求項４に係る発明は、上記目的に加え、
電極パッドと配線板との接続を容易にして確実に行うこ
とができる放射線撮像装置を提供することを目的とす
る。
電極パッドと配線板との接続を容易にして確実に行うこ
とができる放射線撮像装置を提供することを目的とす
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、フォトダイオードとこれに
入力端子を接続したスイッチ素子とを１組とする複数の
受光要素をマトリックス状に配列して受光部を形成し、
かつ外周辺近傍に複数の受光要素の各行の複数のスイッ
チ素子のゲート端子に共通接続した複数のゲート用電極
パッドと各列の複数のスイッチ素子の出力端子に共通接
続した複数の出力用電極パッドとを配列して電極パッド
部を形成した複数のフォトダイオードアレイチップを、
同一平面上にマトリックス状に配置した受光ユニット
と、フォトダイオードアレイチップ上に設けたシンチレ
ータ板と、隣り合うフォトダイオードアレイチップ間に
おいて板面を受光ユニットと垂直にして配設するととも
に、板面には複数のゲート用電極パッドに対応するゲー
ト用配線または複数の出力用電極パッドに対応する出力
用配線を施した配線板と、配線板に設けられ、受光要素
を一つずつ順次選択する信号を出力するための信号出力
パッドを有する垂直シフトレジスタチップと、配線板に
設けられ、選択された各受光要素からの信号を入力する
ための信号入力パッドを有するとともに、この入力信号
を処理するチャージアンプアレイチップとを備え、ゲー
ト用配線をゲート用電極パッドと信号出力パッドに電気
的に接続し、出力用配線を出力用電極パッドと信号入力
パッドに電気的に接続して放射線撮像装置を構成した。
に、請求項１に係る発明は、フォトダイオードとこれに
入力端子を接続したスイッチ素子とを１組とする複数の
受光要素をマトリックス状に配列して受光部を形成し、
かつ外周辺近傍に複数の受光要素の各行の複数のスイッ
チ素子のゲート端子に共通接続した複数のゲート用電極
パッドと各列の複数のスイッチ素子の出力端子に共通接
続した複数の出力用電極パッドとを配列して電極パッド
部を形成した複数のフォトダイオードアレイチップを、
同一平面上にマトリックス状に配置した受光ユニット
と、フォトダイオードアレイチップ上に設けたシンチレ
ータ板と、隣り合うフォトダイオードアレイチップ間に
おいて板面を受光ユニットと垂直にして配設するととも
に、板面には複数のゲート用電極パッドに対応するゲー
ト用配線または複数の出力用電極パッドに対応する出力
用配線を施した配線板と、配線板に設けられ、受光要素
を一つずつ順次選択する信号を出力するための信号出力
パッドを有する垂直シフトレジスタチップと、配線板に
設けられ、選択された各受光要素からの信号を入力する
ための信号入力パッドを有するとともに、この入力信号
を処理するチャージアンプアレイチップとを備え、ゲー
ト用配線をゲート用電極パッドと信号出力パッドに電気
的に接続し、出力用配線を出力用電極パッドと信号入力
パッドに電気的に接続して放射線撮像装置を構成した。
【００１７】このような構成の放射線撮像装置におい
て、撮像に関して無駄なスペースとなる垂直シフトレジ
スタやチャージアンプアレイの回路部は、フォトダイオ
ードアレイを形成したチップとは別のチップに形成さ
れ、かつ、フォトダイオードアレイチップからなる受光
ユニットとは垂直な配線板に設けられ、フォトダイオー
ドアレイチップには、受光要素群である受光部と小さな
電極パッド部しか存在しない。したがって、この放射線
撮像装置では、通常の光ファイバプレートを使用するこ
とができる。これにより、放射線撮像装置を安価に提供
することができる。また、テーパファイバを用いないの
で、画像の抜けや劣化はなくなる。さらに、アモルファ
スシリコンを用いたようなＳ／Ｎ比の低下はない。
て、撮像に関して無駄なスペースとなる垂直シフトレジ
スタやチャージアンプアレイの回路部は、フォトダイオ
ードアレイを形成したチップとは別のチップに形成さ
れ、かつ、フォトダイオードアレイチップからなる受光
ユニットとは垂直な配線板に設けられ、フォトダイオー
ドアレイチップには、受光要素群である受光部と小さな
電極パッド部しか存在しない。したがって、この放射線
撮像装置では、通常の光ファイバプレートを使用するこ
とができる。これにより、放射線撮像装置を安価に提供
することができる。また、テーパファイバを用いないの
で、画像の抜けや劣化はなくなる。さらに、アモルファ
スシリコンを用いたようなＳ／Ｎ比の低下はない。
【００１８】請求項２に係る発明は、請求項１に係る放
射線撮像装置において、配線板に設けられた垂直シフト
レジスタチップおよびチャージアンプアレイチップは、
フォトダイオードアレイチップの受光面が存在する領域
とは反対の領域に位置することを特徴とする。
射線撮像装置において、配線板に設けられた垂直シフト
レジスタチップおよびチャージアンプアレイチップは、
フォトダイオードアレイチップの受光面が存在する領域
とは反対の領域に位置することを特徴とする。
【００１９】本発明の放射線撮像装置では、放射線をシ
ンチレータ板で光信号に変換し、例えばその光信号を光
ファイバで伝送する。このとき、光ファイバ中にＰｂ等
の放射線を遮断する成分が存在するので、放射線による
弊害は少ないが、回路部をフォトダイオードアレイチッ
プの受光面が存在する領域とは反対の領域に位置させる
ことで、撮像領域を狭めることなく、また垂直シフトレ
ジスタチップやチャージアンプアレイチップの回路部を
放射線から完全に保護することができる。
ンチレータ板で光信号に変換し、例えばその光信号を光
ファイバで伝送する。このとき、光ファイバ中にＰｂ等
の放射線を遮断する成分が存在するので、放射線による
弊害は少ないが、回路部をフォトダイオードアレイチッ
プの受光面が存在する領域とは反対の領域に位置させる
ことで、撮像領域を狭めることなく、また垂直シフトレ
ジスタチップやチャージアンプアレイチップの回路部を
放射線から完全に保護することができる。
【００２０】請求項３に係る発明は、請求項１または２
に係る放射線撮像装置において、受光ユニットの電極パ
ッドと配線板の配線との電気的接続を、ボンディングワ
イヤで行ったことを特徴とする。
に係る放射線撮像装置において、受光ユニットの電極パ
ッドと配線板の配線との電気的接続を、ボンディングワ
イヤで行ったことを特徴とする。
【００２１】ワイヤボンディングによる接続では、接続
に要する領域が小さくなる。
に要する領域が小さくなる。
【００２２】請求項４に係る発明は、請求項１または２
に係る放射線撮像装置において、受光ユニットの電極パ
ッドと配線板との電気的接続を、フレキシブルケーブル
で行ったことを特徴とする。すなわち、最近、液晶パネ
ルなどの実装で一般的になっているＴＣＰ（Ｔａｐｅ
Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）の方法を用いて接続
するものである。
に係る放射線撮像装置において、受光ユニットの電極パ
ッドと配線板との電気的接続を、フレキシブルケーブル
で行ったことを特徴とする。すなわち、最近、液晶パネ
ルなどの実装で一般的になっているＴＣＰ（Ｔａｐｅ
Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）の方法を用いて接続
するものである。
【００２３】フレキシブルケーブルを用いると、小さな
スペースにおいても接続が容易となり、また確実とな
る。
スペースにおいても接続が容易となり、また確実とな
る。
【００２４】
【発明の実施の形態】本実施形態の放射線撮像装置の固
体撮像部１０は、図２に示すように、フォトダイオード
アレイチップ１１をマトリックス状に配置した受光ユニ
ット１２と、隣り合うフォトダイオードアレイチップ１
１間において板面を受光ユニット１２と垂直にして配設
した配線板１３と、図１に示すような、配線板１３に設
けられた垂直シフトレジスタチップ１４と、同じく配線
板１３に設けられたチャージアンプアレイチップ１５と
から概略構成されている。
体撮像部１０は、図２に示すように、フォトダイオード
アレイチップ１１をマトリックス状に配置した受光ユニ
ット１２と、隣り合うフォトダイオードアレイチップ１
１間において板面を受光ユニット１２と垂直にして配設
した配線板１３と、図１に示すような、配線板１３に設
けられた垂直シフトレジスタチップ１４と、同じく配線
板１３に設けられたチャージアンプアレイチップ１５と
から概略構成されている。
【００２５】図３に、フォトダイオードアレイチップ１
１と、垂直シフトレジスタチップ１４と、チャージアン
プアレイチップ１５との関係を回路図で示す。
１と、垂直シフトレジスタチップ１４と、チャージアン
プアレイチップ１５との関係を回路図で示す。
【００２６】正方形板状のフォトダイオードアレイチッ
プ１１には、画素であるフォトダイオード２０とこのフ
ォトダイオード２０に入力端子を接続したＭＯＳトラン
ジスタなどのスイッチ素子２１とを１組の受光要素２２
とし、この受光要素２２をマトリックス状に配列して受
光部２３が形成されている。そして、フォトダイオード
アレイチップ１１の受光部２３の周りには、複数の受光
要素２２の各行（水平方向受光列２４）の各スイッチ素
子２１のゲート端子に共通接続した複数のゲート用電極
パッド４４ａと、各列（垂直方向受光列２５）の複数の
スイッチ素子２１の出力端子に共通接続した複数の出力
用電極パッド４４ｂとが配列されている。すなわち、フ
ォトダイオードアレイチップ１１の受光部２３の周りに
は、ゲート用電極パッド４４ａと出力用電極パッド４４
ｂとで構成される電極パッド部４４が形成されている。
プ１１には、画素であるフォトダイオード２０とこのフ
ォトダイオード２０に入力端子を接続したＭＯＳトラン
ジスタなどのスイッチ素子２１とを１組の受光要素２２
とし、この受光要素２２をマトリックス状に配列して受
光部２３が形成されている。そして、フォトダイオード
アレイチップ１１の受光部２３の周りには、複数の受光
要素２２の各行（水平方向受光列２４）の各スイッチ素
子２１のゲート端子に共通接続した複数のゲート用電極
パッド４４ａと、各列（垂直方向受光列２５）の複数の
スイッチ素子２１の出力端子に共通接続した複数の出力
用電極パッド４４ｂとが配列されている。すなわち、フ
ォトダイオードアレイチップ１１の受光部２３の周りに
は、ゲート用電極パッド４４ａと出力用電極パッド４４
ｂとで構成される電極パッド部４４が形成されている。
【００２７】垂直シフトレジスタチップ１４は、垂直シ
フトレジスタ２６を備え、光検出結果を読み出す受光要
素２２の垂直方向の位置を指示すべく、水平方向受光列
２４を一つずつ順次選択して信号を出力するための信号
出力パッド４５ａが形成されている。
フトレジスタ２６を備え、光検出結果を読み出す受光要
素２２の垂直方向の位置を指示すべく、水平方向受光列
２４を一つずつ順次選択して信号を出力するための信号
出力パッド４５ａが形成されている。
【００２８】一方、チャージアンプアレイチップ１５に
は、選択された各受光要素２２からの信号を入力するた
めの信号入力パッド４５ｂが形成されている。また、チ
ャージアンプアレイチップ１５は、垂直方向受光列２５
ごとに配置され、垂直方向受光列２５の出力をそれぞれ
積分する、チャージアンプ２７を備えたＣーＭＯＳ積分
回路２８と、この積分回路２８ごとに出力された信号を
サンプル／ホールドするサンプルホールド回路２９と、
サンプルホールド回路２９の外部への出力／非出力を行
うスイッチ３０と、スイッチ３０の出力端子に接続され
たＡ／Ｄ変換回路３１と、光検出結果を読み出す受光要
素２２の水平方向の位置をスイッチ３０のＯＮ／ＯＦＦ
により指示する水平シフトレジスタ３２とを備えてい
る。
は、選択された各受光要素２２からの信号を入力するた
めの信号入力パッド４５ｂが形成されている。また、チ
ャージアンプアレイチップ１５は、垂直方向受光列２５
ごとに配置され、垂直方向受光列２５の出力をそれぞれ
積分する、チャージアンプ２７を備えたＣーＭＯＳ積分
回路２８と、この積分回路２８ごとに出力された信号を
サンプル／ホールドするサンプルホールド回路２９と、
サンプルホールド回路２９の外部への出力／非出力を行
うスイッチ３０と、スイッチ３０の出力端子に接続され
たＡ／Ｄ変換回路３１と、光検出結果を読み出す受光要
素２２の水平方向の位置をスイッチ３０のＯＮ／ＯＦＦ
により指示する水平シフトレジスタ３２とを備えてい
る。
【００２９】このような回路構成では、垂直シフトレジ
スタ２６により選択された一水平方向受光列２４分の各
フォトダイオード２０からの電荷量がＣーＭＯＳ積分回
路２８に転送されて電圧信号としてサンプルホールド回
路２９に入力される。サンプルホールドされた結果は、
水平シフトレジスタ３２によりＯＮ／ＯＦＦされたスイ
ッチ３０を介してアナログ信号としてＡ／Ｄ変換回路３
１に与えられ、ディジタル信号となって外部に最終信号
出力の形で出力される。
スタ２６により選択された一水平方向受光列２４分の各
フォトダイオード２０からの電荷量がＣーＭＯＳ積分回
路２８に転送されて電圧信号としてサンプルホールド回
路２９に入力される。サンプルホールドされた結果は、
水平シフトレジスタ３２によりＯＮ／ＯＦＦされたスイ
ッチ３０を介してアナログ信号としてＡ／Ｄ変換回路３
１に与えられ、ディジタル信号となって外部に最終信号
出力の形で出力される。
【００３０】本実施形態の放射線撮像装置の骨組は、図
１、図２および図４に示すように、フォトダイオードア
レイチップ１１の台座３５の四辺を横方向（矢印Ｘ方
向）の配線板１３ｂおよび縦方向（矢印Ｙ方向）の配線
板１３ａで組み込み支持して構成されている。正方形板
状の台座３５のＸ方向の対向辺には、角部を切り欠いて
なる中央の第１の凸部３６と角部を突き出してなる一対
の第２の凸部３７が形成されている。一方、Ｙ方向の配
線板１３ａの両側辺中間部には、切り欠き３８が形成さ
れており、配線板１３ａの切り欠き３８より上部の板厚
はそれより下部の板厚より薄くなっていて、図１および
図４で配線板１３ａの裏側となる面には段部が形成され
ている。
１、図２および図４に示すように、フォトダイオードア
レイチップ１１の台座３５の四辺を横方向（矢印Ｘ方
向）の配線板１３ｂおよび縦方向（矢印Ｙ方向）の配線
板１３ａで組み込み支持して構成されている。正方形板
状の台座３５のＸ方向の対向辺には、角部を切り欠いて
なる中央の第１の凸部３６と角部を突き出してなる一対
の第２の凸部３７が形成されている。一方、Ｙ方向の配
線板１３ａの両側辺中間部には、切り欠き３８が形成さ
れており、配線板１３ａの切り欠き３８より上部の板厚
はそれより下部の板厚より薄くなっていて、図１および
図４で配線板１３ａの裏側となる面には段部が形成され
ている。
【００３１】台座３５は、その第１の凸部３６がＹ方向
前方の配線板１３ａの段部に係合され、対をなす第２の
凸部３７が後方の配線板１３ａの切り欠き３８に嵌め込
まれて、Ｙ方向の配線板１３ａに支持されている。
前方の配線板１３ａの段部に係合され、対をなす第２の
凸部３７が後方の配線板１３ａの切り欠き３８に嵌め込
まれて、Ｙ方向の配線板１３ａに支持されている。
【００３２】さらに、Ｙ方向の配線板１３ａの両側辺上
部には、段違いとなる凸部３９、４０が形成されてい
る。そして、Ｘ方向の配線板１３ｂの上辺に形成された
切り欠き４１に、Ｙ方向の配線板１３ａの下側の凸部４
０を嵌め込むとともに、嵌め込んだ凸部４０の上に隣の
配線板１３ａの上側の凸部３９が重なるようにして嵌め
込んでＸＹ方向の配線板１３ａ、１３ｂが縦横立体的に
組み立てられている。
部には、段違いとなる凸部３９、４０が形成されてい
る。そして、Ｘ方向の配線板１３ｂの上辺に形成された
切り欠き４１に、Ｙ方向の配線板１３ａの下側の凸部４
０を嵌め込むとともに、嵌め込んだ凸部４０の上に隣の
配線板１３ａの上側の凸部３９が重なるようにして嵌め
込んでＸＹ方向の配線板１３ａ、１３ｂが縦横立体的に
組み立てられている。
【００３３】図１に示すように、台座３５に載置された
フォトダイオードアレイチップ１１の受光部２３の隣り
合う二辺の周り、すなわちフォトダイオードアレイチッ
プ１１の外周二辺の近傍には、前述のように、受光要素
２２の各水平方向受光列２４および垂直方向受光列２５
ごとにそれぞれ対応する数の電極パッド４５ａ、４５ｂ
が形成されている。一方、Ｙ方向の配線板１３ａおよび
Ｘ方向の配線板１３ｂには、図１および図４に示すよう
に、切り欠き３８位置の上下方向にわたって、金めっき
等の配線により、各ゲート用電極パッド４４ａおよび出
力用電極パッド４４ｂに対応した数のゲート用配線４６
ａおよび出力用配線４６ｂがそれぞれ施されている。
フォトダイオードアレイチップ１１の受光部２３の隣り
合う二辺の周り、すなわちフォトダイオードアレイチッ
プ１１の外周二辺の近傍には、前述のように、受光要素
２２の各水平方向受光列２４および垂直方向受光列２５
ごとにそれぞれ対応する数の電極パッド４５ａ、４５ｂ
が形成されている。一方、Ｙ方向の配線板１３ａおよび
Ｘ方向の配線板１３ｂには、図１および図４に示すよう
に、切り欠き３８位置の上下方向にわたって、金めっき
等の配線により、各ゲート用電極パッド４４ａおよび出
力用電極パッド４４ｂに対応した数のゲート用配線４６
ａおよび出力用配線４６ｂがそれぞれ施されている。
【００３４】そして、図１に示すように、フォトダイオ
ードアレイチップ１１を搭載した台座３５を配線板１３
ａ、１３ｂに組み込んだ状態で、フォトダイオードアレ
イチップ１１のゲート用電極パッド４４ａとＹ方向の配
線板１３ａのゲート用配線４６ａ、および出力用電極パ
ッド４４ｂとＸ方向の配線板１３ｂの出力用配線４６ｂ
とは、ボンディングワイヤ４７によりそれぞれ電気的に
接続されている。
ードアレイチップ１１を搭載した台座３５を配線板１３
ａ、１３ｂに組み込んだ状態で、フォトダイオードアレ
イチップ１１のゲート用電極パッド４４ａとＹ方向の配
線板１３ａのゲート用配線４６ａ、および出力用電極パ
ッド４４ｂとＸ方向の配線板１３ｂの出力用配線４６ｂ
とは、ボンディングワイヤ４７によりそれぞれ電気的に
接続されている。
【００３５】また、Ｙ方向の配線板１３ａにおいて、フ
ォトダイオードアレイチップ１１の受光面が存在する領
域とは反対の領域（配線板１３ａの下部）には、図１お
よび図４に示すように、垂直シフトレジスタチップ１４
が接着剤によりダイボンドされている。同様にして、Ｘ
方向の配線板１３ｂにおいて、フォトダイオードアレイ
チップ１１の受光面が存在する領域とは反対の領域（配
線板１３ｂの下部）には、チャージアンプアレイチップ
１５が接着剤によりダイボンドされている。
ォトダイオードアレイチップ１１の受光面が存在する領
域とは反対の領域（配線板１３ａの下部）には、図１お
よび図４に示すように、垂直シフトレジスタチップ１４
が接着剤によりダイボンドされている。同様にして、Ｘ
方向の配線板１３ｂにおいて、フォトダイオードアレイ
チップ１１の受光面が存在する領域とは反対の領域（配
線板１３ｂの下部）には、チャージアンプアレイチップ
１５が接着剤によりダイボンドされている。
【００３６】そして、垂直シフトレジスタチップ１４の
信号出力パッド４５ａとＹ方向の配線板１３ａのゲート
用配線４６ａ、およびチャージアンプアレイチップ１５
の信号入力パッド４５ｂとＸ方向の配線板１３ｂの出力
用配線４６ｂとは、ボンディングワイヤ４７によりそれ
ぞれ電気的に接続されている。
信号出力パッド４５ａとＹ方向の配線板１３ａのゲート
用配線４６ａ、およびチャージアンプアレイチップ１５
の信号入力パッド４５ｂとＸ方向の配線板１３ｂの出力
用配線４６ｂとは、ボンディングワイヤ４７によりそれ
ぞれ電気的に接続されている。
【００３７】フォトダイオードアレイチップ１１を搭載
した台座３５と、垂直シフトレジスタチップ１４および
チャージアンプアレイチップ１５を搭載した配線板１３
ａ、１３ｂとを組み立て、フォトダイオードアレイチッ
プ１１をマトリックス状に配置して受光ユニット１２を
配線板１３ａ、１３ｂで支持した固体撮像部１０は、図
５に示すような枠体５０に収められる。この枠体５０
は、上面が開口した箱体であり、側壁５１上部には溝５
２が形成されるとともに、底板５３の上面にも溝５４が
形成されている。そして、Ｙ方向の配線板１３ａの下側
の凸部３９および上側の凸部４０並びにＸ方向の配線板
１３ｂの上部の凸部４２（図２および図４参照）を枠体
５０の溝５２にそれぞれ嵌め込むとともに、Ｘ方向およ
びＹ方向の配線板１３ａ、１３ｂの下部に突出して設け
た脚部４３（図１、図２および図４参照）を底板５３の
溝５４に嵌め込んで、固体撮像部１０が枠体５０に収め
られる。
した台座３５と、垂直シフトレジスタチップ１４および
チャージアンプアレイチップ１５を搭載した配線板１３
ａ、１３ｂとを組み立て、フォトダイオードアレイチッ
プ１１をマトリックス状に配置して受光ユニット１２を
配線板１３ａ、１３ｂで支持した固体撮像部１０は、図
５に示すような枠体５０に収められる。この枠体５０
は、上面が開口した箱体であり、側壁５１上部には溝５
２が形成されるとともに、底板５３の上面にも溝５４が
形成されている。そして、Ｙ方向の配線板１３ａの下側
の凸部３９および上側の凸部４０並びにＸ方向の配線板
１３ｂの上部の凸部４２（図２および図４参照）を枠体
５０の溝５２にそれぞれ嵌め込むとともに、Ｘ方向およ
びＹ方向の配線板１３ａ、１３ｂの下部に突出して設け
た脚部４３（図１、図２および図４参照）を底板５３の
溝５４に嵌め込んで、固体撮像部１０が枠体５０に収め
られる。
【００３８】もちろん、この固体撮像部１０は、放射線
撮像装置に組み込んで用いるものであるから、図６に示
すように、台座３５に搭載されるフォトダイオードアレ
イチップ１１上に、全体が均一の太さの通常の光ファイ
バプレート６０と、ＣｓＩからなるシンチレータ板６１
とを、光学接着剤６２により順次貼り付けた状態として
枠体５０に組み込むものである。
撮像装置に組み込んで用いるものであるから、図６に示
すように、台座３５に搭載されるフォトダイオードアレ
イチップ１１上に、全体が均一の太さの通常の光ファイ
バプレート６０と、ＣｓＩからなるシンチレータ板６１
とを、光学接着剤６２により順次貼り付けた状態として
枠体５０に組み込むものである。
【００３９】図７は、そのように光ファイバプレート６
０およびシンチレータ板６１を備えた本実施形態の放射
線撮像装置７０を枠体５０に組み込んだ状態を示す。
０およびシンチレータ板６１を備えた本実施形態の放射
線撮像装置７０を枠体５０に組み込んだ状態を示す。
【００４０】この放射線撮像装置７０により人体を放射
線撮像するには、図９に示すように、放射線撮像装置７
０をフォトダイオードアレイチップ１１の受光部２３の
対角線方向に移動させて行うとよい。すなわち、ごく小
さな領域ではあるが、１度の撮像では、フォトダイオー
ドアレイチップ１１の電極パッド部４４の領域分および
配線板１３ａ、１３ｂの厚さ分の撮像に寄与しない領域
が存在する。そこで、２度目の撮像では、例えば電極パ
ッド部４４と配線板１３ａ、１３ｂとから形成される撮
像不能領域のΔＸおよびΔＹ分だけ放射線撮像装置７０
を対角線方向に移動させる。これにより、撮像不能領域
を完全に補うことができる。
線撮像するには、図９に示すように、放射線撮像装置７
０をフォトダイオードアレイチップ１１の受光部２３の
対角線方向に移動させて行うとよい。すなわち、ごく小
さな領域ではあるが、１度の撮像では、フォトダイオー
ドアレイチップ１１の電極パッド部４４の領域分および
配線板１３ａ、１３ｂの厚さ分の撮像に寄与しない領域
が存在する。そこで、２度目の撮像では、例えば電極パ
ッド部４４と配線板１３ａ、１３ｂとから形成される撮
像不能領域のΔＸおよびΔＹ分だけ放射線撮像装置７０
を対角線方向に移動させる。これにより、撮像不能領域
を完全に補うことができる。
【００４１】以上のように、本実施形態の放射線撮像装
置７０によれば、撮像に関して無駄なスペースとなる垂
直シフトレジスタチップ１４やチャージアンプアレイチ
ップ１５は、受光ユニット１２とは垂直な配線板１３に
設けられ、フォトダイオードアレイチップ１１上には、
受光要素２２群である受光部２３と小さな電極パッド部
４４しか存在しない。したがって、放射線撮像装置７０
を製造するにあたっては、通常の光ファイバプレート６
０を使用することができる。これにより、放射線撮像装
置７０を安価に提供することができる。また、テーパフ
ァイバを用いないので、画像の抜けや劣化はなくなる。
さらに、アモルファスシリコンを用いたようなＳ／Ｎ比
の低下はない。
置７０によれば、撮像に関して無駄なスペースとなる垂
直シフトレジスタチップ１４やチャージアンプアレイチ
ップ１５は、受光ユニット１２とは垂直な配線板１３に
設けられ、フォトダイオードアレイチップ１１上には、
受光要素２２群である受光部２３と小さな電極パッド部
４４しか存在しない。したがって、放射線撮像装置７０
を製造するにあたっては、通常の光ファイバプレート６
０を使用することができる。これにより、放射線撮像装
置７０を安価に提供することができる。また、テーパフ
ァイバを用いないので、画像の抜けや劣化はなくなる。
さらに、アモルファスシリコンを用いたようなＳ／Ｎ比
の低下はない。
【００４２】また、垂直シフトレジスタチップ１４およ
びチャージアンプアレイチップ１５をフォトダイオード
アレイチップ１１の受光面が存在する領域とは反対の領
域の配線板１３ａ、１３ｂ下部に位置させることで、撮
像領域を狭めることなく、また垂直シフトレジスタチッ
プ１４やチャージアンプアレイチップ１５を放射線から
完全に保護することができる。
びチャージアンプアレイチップ１５をフォトダイオード
アレイチップ１１の受光面が存在する領域とは反対の領
域の配線板１３ａ、１３ｂ下部に位置させることで、撮
像領域を狭めることなく、また垂直シフトレジスタチッ
プ１４やチャージアンプアレイチップ１５を放射線から
完全に保護することができる。
【００４３】なお、図１に示す固体撮像部１０では、フ
ォトダイオードアレイチップ１１の電極パッド４４ａ、
４４ｂと配線板１３ａ、１３ｂの配線４６ａ、４６ｂと
の接続は、ワイヤボンディングにより行ったが、図８に
示すように、ＴＣＰ４８により接続してもよい。また、
配線板１３ａ、１３ｂの配線４６ａ、４６ｂと垂直シフ
トレジスタチップ１４の信号出力パッド４５ａおよびチ
ャージアンプアレイチップ１５の信号入力パッド４５ｂ
との接続もＴＣＰ４８により接続することが可能であ
る。
ォトダイオードアレイチップ１１の電極パッド４４ａ、
４４ｂと配線板１３ａ、１３ｂの配線４６ａ、４６ｂと
の接続は、ワイヤボンディングにより行ったが、図８に
示すように、ＴＣＰ４８により接続してもよい。また、
配線板１３ａ、１３ｂの配線４６ａ、４６ｂと垂直シフ
トレジスタチップ１４の信号出力パッド４５ａおよびチ
ャージアンプアレイチップ１５の信号入力パッド４５ｂ
との接続もＴＣＰ４８により接続することが可能であ
る。
【００４４】ＴＣＰ４８による接続は、容易であって、
また確実である。
また確実である。
【００４５】
【発明の効果】以上のように、本発明の放射線撮像装置
によれば、撮像に関して無駄なスペースとなる垂直シフ
トレジスタやチャージアンプアレイの回路部は、フォト
ダイオードアレイを形成したチップとは別のチップに形
成され、かつ、フォトダイオードアレイチップからなる
受光ユニットとは垂直な配線板に設けられ、フォトダイ
オードアレイチップには、受光要素群である受光部と小
さな電極パッド部しか存在しない。したがって、本発明
の放射線撮像装置では、通常の光ファイバプレートを使
用することができる。これにより、放射線撮像装置を安
価に提供することができる。また、テーパファイバを用
いないので、画像の抜けや劣化はなくなる。さらに、ア
モルファスシリコンを用いたようなＳ／Ｎ比の低下はな
い。
によれば、撮像に関して無駄なスペースとなる垂直シフ
トレジスタやチャージアンプアレイの回路部は、フォト
ダイオードアレイを形成したチップとは別のチップに形
成され、かつ、フォトダイオードアレイチップからなる
受光ユニットとは垂直な配線板に設けられ、フォトダイ
オードアレイチップには、受光要素群である受光部と小
さな電極パッド部しか存在しない。したがって、本発明
の放射線撮像装置では、通常の光ファイバプレートを使
用することができる。これにより、放射線撮像装置を安
価に提供することができる。また、テーパファイバを用
いないので、画像の抜けや劣化はなくなる。さらに、ア
モルファスシリコンを用いたようなＳ／Ｎ比の低下はな
い。
【００４６】回路部をフォトダイオードアレイチップの
受光面が存在する領域とは反対の領域に位置させること
で、撮像領域を狭めることなく、また垂直シフトレジス
タチップやチャージアンプアレイチップの回路部を放射
線から完全に保護することができる。
受光面が存在する領域とは反対の領域に位置させること
で、撮像領域を狭めることなく、また垂直シフトレジス
タチップやチャージアンプアレイチップの回路部を放射
線から完全に保護することができる。
【００４７】また、電極パッドと配線板との接続をボン
ディングワイヤで行うと、接続に要する領域が小さくて
済む。
ディングワイヤで行うと、接続に要する領域が小さくて
済む。
【００４８】さらに、電極パッドと配線板との接続にフ
レキシブルケーブルを用いると、小さなスペースにおい
ても接続が容易となり、また確実となる。
レキシブルケーブルを用いると、小さなスペースにおい
ても接続が容易となり、また確実となる。
【図１】本発明の一実施形態の放射線撮像装置の要部を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】同実施形態の放射線撮像装置の骨組の概略構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】同実施形態の放射線撮像装置の固体撮像部の回
路構成図である。
路構成図である。
【図４】同実施形態の放射線撮像装置を示す要部分解斜
視図である。
視図である。
【図５】同実施形態の放射線撮像装置の枠体を示す斜視
図である。
図である。
【図６】同実施形態の固体撮像部にシンチレータ板およ
び光ファイバプレートを設けた状態を示す斜視図であ
る。
び光ファイバプレートを設けた状態を示す斜視図であ
る。
【図７】同実施形態の放射線撮像装置を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】他の実施形態の放射線撮像装置の要部を示す斜
視図である。
視図である。
【図９】図７に示す放射線撮像装置を用いた撮像方法を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図１０】従来の放射線撮像装置を示す斜視図である。
【図１１】従来の放射線撮像装置の固体撮像部を示す平
面図である。
面図である。
１０…固体撮像装置、１１…フォトダイオードアレイチ
ップ、１２…受光ユニット、１３ａ，１３ｂ…配線板、
１４…垂直シフトレジスタチップ、１５…チャージアン
プアレイチップ、２０…フォトダイオード、２１…スイ
ッチ素子、２２…受光要素、２３…受光部、２４…水平
方向受光列、２５…垂直方向受光列、２６…垂直シフト
レジスタ、３５…台座、４４…電極パッド部、４４ａ…
ゲート用電極パッド、４４ｂ…出力用電極パッド、４５
ａ…信号出力パッド、４５ｂ…信号入力パッド、４６ａ
…ゲート用配線、４６ｂ…出力用配線、４７…ボンディ
ングワイヤ、４８…ＴＣＰ、５０…枠体、６０…光ファ
イバプレート、６１…シンチレータ板、７０…放射線撮
像装置
ップ、１２…受光ユニット、１３ａ，１３ｂ…配線板、
１４…垂直シフトレジスタチップ、１５…チャージアン
プアレイチップ、２０…フォトダイオード、２１…スイ
ッチ素子、２２…受光要素、２３…受光部、２４…水平
方向受光列、２５…垂直方向受光列、２６…垂直シフト
レジスタ、３５…台座、４４…電極パッド部、４４ａ…
ゲート用電極パッド、４４ｂ…出力用電極パッド、４５
ａ…信号出力パッド、４５ｂ…信号入力パッド、４６ａ
…ゲート用配線、４６ｂ…出力用配線、４７…ボンディ
ングワイヤ、４８…ＴＣＰ、５０…枠体、６０…光ファ
イバプレート、６１…シンチレータ板、７０…放射線撮
像装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 恵一 東京都文京区本郷７丁目３番１号 東京大 学附属病院内 (72)発明者 杉原 正一 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 フォトダイオードとこれに入力端子を接
続したスイッチ素子とを１組とする複数の受光要素をマ
トリックス状に配列して受光部を形成し、かつ外周辺近
傍に前記複数の受光要素の各行の複数の前記スイッチ素
子のゲート端子に共通接続した複数のゲート用電極パッ
ドと各列の複数の前記スイッチ素子の出力端子に共通接
続した複数の出力用電極パッドとを配列して電極パッド
部を形成した複数のフォトダイオードアレイチップを、
同一平面上にマトリックス状に配置した受光ユニット
と、 前記フォトダイオードアレイチップ上に設けたシンチレ
ータ板と、 隣り合う前記フォトダイオードアレイチップ間において
板面を前記受光ユニットと垂直にして配設するととも
に、前記板面には前記複数のゲート用電極パッドに対応
するゲート用配線または前記複数の出力用電極パッドに
対応する出力用配線を施した配線板と、 前記配線板に設けられ、前記受光要素を一つずつ順次選
択する信号を出力するための信号出力パッドを有する垂
直シフトレジスタチップと、 前記配線板に設けられ、前記選択された各受光要素から
の信号を入力するための信号入力パッドを有するととも
に、この入力信号を処理するチャージアンプアレイチッ
プとを備え、 前記ゲート用配線を前記ゲート用電極パッドと前記信号
出力パッドに電気的に接続し、 前記出力用配線を前記出力用電極パッドと前記信号入力
パッドに電気的に接続したことを特徴とする放射線撮像
装置。 - 【請求項２】 前記配線板に設けられた前記垂直シフト
レジスタチップおよび前記チャージアンプアレイチップ
は、前記フォトダイオードアレイチップの受光面が存在
する領域とは反対の領域に位置することを特徴とする請
求項１記載の放射線撮像装置。 - 【請求項３】 前記受光ユニットの電極パッドと前記配
線板の配線との電気的接続は、ボンディングワイヤで行
ったことを特徴とする請求項１または２記載の放射線撮
像装置。 - 【請求項４】 前記受光ユニットの電極パッドと前記配
線板の配線との電気的接続は、フレキシブルケーブルで
行ったことを特徴とする請求項１または２記載の放射線
撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8157218A JPH1012851A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 放射線撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8157218A JPH1012851A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 放射線撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1012851A true JPH1012851A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15644809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8157218A Pending JPH1012851A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 放射線撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1012851A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109545810A (zh) * | 2018-11-20 | 2019-03-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种平板探测器及其制备方法 |
-
1996
- 1996-06-18 JP JP8157218A patent/JPH1012851A/ja active Pending
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