JP2015114325A - 大きな作用面積を有する半導体放射線検出器およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
正面側と背面側とを有する検出器チップと、
検出器チップの背面側に電気的に接続される支持プレートと、
熱電冷却器が取り付けられ、かつ、検出器チップに向かって突出するコンタクトピンを有するベースプレートと、
前記ベースプレートの前記熱電冷却器と反対側に設けられる接着プレートと、
前記コンタクトピンと前記接着プレートとの間に設けられる第1のワイヤボンド接続と、
前記接着プレートと前記支持プレートとの間を接続する接合プレートと、
前記支持プレートと前記接着プレートとの間を、前記接合プレートを介して接続する電気的接続
とを備える半導体放射線検出器が提供される。
検出器チップを支持プレートに取り付け、
検出器チップと支持プレートとの間の電気的接続を行い、
ベースプレートと、ベースプレートに取り付けられた熱電冷却器と、ベースプレートから突出するコンタクトピンとを備えるサブアセンブリにおいて、接着プレートとコンタクトピンとの間のワイヤボンド接続を行い、および
前記支持プレートを前記接着プレートに機械的におよび電気的に接続するために、中間接合プレートを使用する
ことを含む。
・導電性の接着剤を用いた、接合プレートの支持プレートへの接着、
・接合プレート上の接触点の支持プレート上の接触点へのはんだ付け、
・導電性の接着剤を用いた、接合プレートの接着プレートへの接着、
・接合プレート上の接触点の接着プレート上の接触点へのはんだ付け。
Claims (14)
- 正面側と背面側とを有する検出器チップと、
前記検出器チップの背面側に設けられ、前記検出器チップとの電気的接続を有する支持プレートと、
熱電冷却器が取り付けられ、かつ、前記検出器チップに向かって突出するコンタクトピンを有するベースプレートと、
前記熱電冷却器の前記ベースプレートと反対側の接着プレートと、
前記コンタクトピンと前記接着プレートとの間の第1のワイヤボンド接続と、
前記接着プレートと前記支持プレートとの間の接合プレートと、
前記支持プレートと前記接着プレートとの間を、前記接合プレートを介して接続する電気的接続
とを備える半導体放射線検出器。 - 前記検出器チップと前記支持プレートとの間の電気的接続が、前記検出器チップの背面側の第2のワイヤボンド接続を含み、前記第2のワイヤボンド接続の少なくとも1つが、前記支持プレート内の開口を通過している請求項1記載の半導体放射線検出器。
- 前記支持プレートの前記検出器チップと反対側に取り付けられた電子部品と、
前記支持プレート、前記接合プレート、および前記接着プレートを含む積層内の、前記電子部品のための空洞
とを備え、前記空洞が、前記接合プレートの形状によって少なくとも部分的に画定される請求項1または2記載の半導体放射線検出器。 - 前記空洞が、前記接合プレートの中を貫通する孔によって少なくとも部分的に画定される請求項3記載の半導体放射線検出器。
- 前記空洞が、前記接合プレートの形状によって少なくとも部分的に画定される請求項3記載の半導体放射線検出器。
- 前記接合プレートを経由する、前記支持プレートと前記接着プレートとの間の電気的接続のうちの少なくとも1つが、前記接合プレートの導電通路を通過する請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体放射線検出器。
- 前記接合プレートを経由する、前記支持プレートと前記接着プレートとの間の電気的接続のうちの少なくとも1つが、前記接合プレートの表面上の導電トラックを経由する請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体放射線検出器。
- 前記接着プレートが、前記熱電冷却器の前記ベースプレートと反対側に取り付けられた、別の、電気的に絶縁性のプレートである請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体放射線検出器。
- 前記接着プレートが、前記熱電冷却器の構造において、前記熱電冷却器の前記ベースプレートと反対の端に設けられたプレートである請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体放射線検出器。
- 前記コンタクトピンが、リムを画定し、および
前記検出器チップの正面側の作用領域が、前記リムによって取り囲まれた領域よりも大きい
ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体放射線検出器。 - 半導体放射線検出器の製造方法であって、前記方法が、
検出器チップを支持プレートに取り付け、
前記検出器チップと前記支持プレートとの間の電気的接続を行い、
ベースプレートと、前記ベースプレートに取り付けられた熱電冷却器と、前記ベースプレートから突出するコンタクトピンとを有するサブアセンブリにおいて、接着プレートと前記コンタクトピンとの間のワイヤボンド接続を行い、および
前記支持プレートを前記接着プレートに機械的におよび電気的に接続するために、中間接合プレートを使用する
ことを含む方法。 - 前記検出器チップと前記支持プレートとの間の電気的接続を行う工程が、前記検出器チップの背面側の接触点を前記支持プレートの接触点にワイヤボンディングすることを含む請求項11記載の方法。
- 前記支持プレートを前記接着プレートに機械的におよび電気的に接続するために、中間接合プレートを使用する工程が、前記支持プレートの前記検出器チップと反対側に取り付けられる電子部品と、前記支持プレート、前記接合プレート、および前記接着プレートの積層内の空洞との位置合わせを含んでおり、前記空洞は、前記接合プレートの形状によって少なくとも部分的に画定される請求項11または12記載の方法。
- 前記支持プレートを前記接着プレートに機械的におよび電気的に接続するために、中間接合プレートを使用する前記工程が、
・導電性の接着剤を用いて、前記接合プレートを前記支持プレートに接着する工程、
・前記接合プレート上の接触点を前記支持プレート上の接触点にはんだ付けする工程、
・導電性の接着剤を用いて、前記接合プレートを前記接着プレートに接着する工程、
・前記接合プレート上の接触点を前記接着プレート上の接触点にはんだ付けする工程、
のうちの少なくとも1つを含む請求項11〜13のいずれか1項に記載の方法。
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