JP2009289834A - 構造体の製造方法、発光装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】素子基板に形成した素子の特性劣化を防止できる構造体の製造方法および発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】配光用基板(機能基板)30との接合表面側に凹部42を有する素子基板40を形成した後で素子基板40における凹部42の内底面に素子たる受光素子4を形成し、その後、素子基板40と配光用基板30との互いの接合表面が対向するように素子基板40と配光用基板30とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板40と配光用基板30との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化し、続いて、素子基板40と配光用基板30とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する。その後、発光素子が実装されたベース基板と配光用基板30とを接合する。
【選択図】 図1
【解決手段】配光用基板(機能基板)30との接合表面側に凹部42を有する素子基板40を形成した後で素子基板40における凹部42の内底面に素子たる受光素子4を形成し、その後、素子基板40と配光用基板30との互いの接合表面が対向するように素子基板40と配光用基板30とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板40と配光用基板30との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化し、続いて、素子基板40と配光用基板30とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する。その後、発光素子が実装されたベース基板と配光用基板30とを接合する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、少なくとも素子基板と機能基板とが表面活性化接合法により接合された構造体の製造方法および発光装置の製造方法に関するものである。
従来から、表面活性化接合法を利用して製造する構造体の一例として、図5に示すように、LEDチップからなる発光素子1と、3枚のシリコン基板20a,30a,40aを用いて形成され発光素子1が収納される収納凹所2aが一表面に形成された実装基板2とを備え、発光素子1から放射される光を検出するフォトダイオードからなる受光素子4が実装基板2における収納凹所2aの周部から内方へ突出する突出部2cに形成された発光装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
ここにおいて、上述の実装基板2は、シリコン基板20aを用いて形成され発光素子1が一表面側に実装されるベース基板20と、シリコン基板40aを用いて形成されベース基板20の上記一表面側に対向配置され光取出窓41が形成されるとともにフォトダイオードからなる受光素子4が形成された素子基板40と、シリコン基板30aを用いて形成されてベース基板20と素子基板40との間に介在し光取出窓41に連通する開口窓31が形成され開口窓31の内側面が発光素子1から放射された光の一部を受光素子4へ導くミラー面2dとなる配光用基板(機能基板)30とで構成されており、ベース基板20および配光用基板30それぞれに受光素子4と電気的に接続される貫通孔配線24,34が形成されるとともに、ベース基板20に発光素子1と電気的に接続される貫通孔配線(図示せず)が形成されている。
また、配光用基板30は、素子基板40側である一表面側に貫通孔配線34に電気的に接続された導体パターン(以下、第1の接続用金属層と称す)37が形成されるとともに、ベース基板20側である他表面側に貫通孔配線34に電気的に接続された導体パターン(以下、第2の接続用金属層と称す)35が形成されており、第1の接続用金属層37が素子基板40において受光素子4に電気的に接続された導体パターン(以下、第3の接続用金属層と称す)47と接合されて電気的に接続され、第2の接続用金属層35がベース基板20において貫通孔配線24に電気的に接続された導体パターン(以下、第4の接続用金属層と称す)25bと接合されて電気的に接続されている。また、配光用基板30と素子基板40とは、図示しない接合用金属層同士が接合され、配光用基板30とベース基板20とは、接合用金属層36,29同士が接合されている。
また、上記特許文献1には、上述の発光装置の製造にあたって、受光素子4が形成されたシリコン基板40aと配光用基板30とを接合する第1の接合工程を行った後、シリコン基板40aを所望の厚さまで研磨する研磨工程を行い、続いて、シリコン基板40aに光取出窓41を形成する光取出窓形成工程を行い、その後、発光素子1が実装されたベース基板20と配光用基板30とを接合する第2の接合工程を行い、その後、実装基板2の収納凹所2aに封止用の透光性材料を充填して封止部5を形成する封止部形成工程、封止部形成工程の後で実装基板2と透光性部材3とを接合する第3の接合工程を行うようにし、第3の接合工程が終了するまでの各工程をウェハレベルで行うことでウェハレベルパッケージ構造体を形成してから、ダイシング工程により個々の発光装置に分割している。
ここにおいて、上記特許文献1には、第1の接合工程および第2の接合工程において、接合前に互いの接合表面の清浄・活性化を行ってから接合表面同士を接触させて接合する表面活性化接合法の一種である常温接合法を採用することが記載されている。ここで、常温接合法では、接合前に互いの接合表面へアルゴンのイオンビーム若しくはアルゴンの原子ビームを真空中で照射して各接合表面の清浄化・活性化を行ってから、接合表面同士を接触させ、常温下で直接接合する。なお、常温接合法による接合を行うための常温接合装置としては、接合対象の2つの基板を対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを2つの基板の間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化し、その後、2つの基板の互いの接合表面を重ね合わせて接合できるように構成されたものが提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2007−294834号公報
特開2007−266058号公報
ところで、上述の発光装置の製造にあたって、第1の接合工程において、図6(a)に示すように、配光用基板30を多数形成したウェハ300と受光素子4を多数形成したウェハ400とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを2つのウェハ300,400の間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化し、その後、図6(b)に示すように2つのウェハ300,400の互いの接合表面を重ね合わせて接合した場合、受光素子4の受光部がイオンビームもしくは原子ビームによるダメージを受けて受光素子4の特性が劣化してしまうことが考えられる。要するに、上述の構造体の製造方法では、素子基板40に形成されている素子である受光素子4の特性が劣化してしまうことが考えられる。なお、素子基板40に形成する素子としては、フォトダイオードからなる受光素子4に限らず、例えば、カラーセンサ素子や、ダイオードからなる温度検出素子なども考えられる。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、素子基板に形成した素子の特性劣化を防止できる構造体の製造方法および発光装置の製造方法を提供することにある。
請求項1の発明は、少なくとも素子基板と機能基板とが表面活性化接合法により接合された構造体の製造方法であって、機能基板との接合表面側に凹部を有する素子基板を形成する素子基板形成工程と、素子基板形成工程の後で素子基板における凹部の内底面に素子を形成する素子形成工程と、素子形成工程の後で素子基板と機能基板との互いの接合表面が対向するように素子基板と機能基板とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板と機能基板との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程と、表面活性化工程の後で素子基板と機能基板とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する接合工程とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、素子基板形成工程において、機能基板との接合表面側に凹部を有する素子基板を形成し、素子基板形成工程の後の素子形成工程において、素子基板における凹部の内底面に素子を形成するので、素子形成工程の後で素子基板と機能基板との互いの接合表面が対向するように素子基板と機能基板とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板と機能基板との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程で、不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームが素子に照射されるのを抑制することができ、素子の特性劣化を防止することができる。
請求項2の発明は、発光素子と、発光素子が一表面側に実装されたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に対向配置され光取出窓が形成されるとともに素子である受光素子が形成された素子基板と、ベース基板と素子基板との間に介在し光取出窓に連通する開口窓が形成され発光素子から放射された光の一部を受光素子側へ反射するミラーが形成された機能基板とを備えた発光装置の製造方法であって、機能基板との接合表面側に凹部を有する素子基板を形成する素子基板形成工程と、素子基板形成工程の後で素子基板における凹部の内底面に受光素子を形成する素子形成工程と、素子形成工程の後で素子基板と機能基板との互いの接合表面が対向するように素子基板と機能基板とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板と機能基板との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程と、表面活性化工程の後で素子基板と機能基板とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する第1の接合工程と、第1の接合工程の後で発光素子が実装されたベース基板と機能基板とを接合する第2の接合工程とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、素子基板形成工程において、機能基板との接合表面側に凹部を有する素子基板を形成し、素子基板形成工程の後の素子形成工程において、素子基板における凹部の内底面に素子である受光素子を形成するので、素子形成工程の後で素子基板と機能基板との互いの接合表面が対向するように素子基板と機能基板とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板と機能基板との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程で、不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームが素子に照射されるのを抑制することができ、素子の特性劣化を防止することができる。
請求項1,2の発明では、素子基板に形成した素子の特性劣化を防止できるという効果がある。
以下、少なくとも素子基板と機能基板とが表面活性化接合法により接合された構造体の一例である発光装置について図2および図3に基づいて説明した後、製造方法について図1に基づいて説明する。
発光装置は、LEDチップからなる発光素子1と、発光素子1を収納する収納凹所2aが一表面に形成され収納凹所2aの内底面に発光素子1が実装された実装基板2と、実装基板2の上記一表面側において収納凹所2aを閉塞する形で実装基板2に固着された透光性部材3と、実装基板2に設けられ発光素子1から放射された光を検出するフォトダイオードからなる受光素子4と、実装基板2の収納凹所2aに充填された透光性材料(例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラスなど)からなり発光素子1および当該発光素子1に接続されたボンディングワイヤ14(図3参照)を封止した封止部5と備えている。ここで、実装基板2は、上記一表面側において収納凹所2aの周部から内方へ突出した庇状の突出部2cを有しており、当該突出部2cに受光素子4が設けられている。なお、本実施形態では、実装基板2と透光性部材3とでパッケージを構成しているが、透光性部材3は、必ずしも設けなくてもよく、必要に応じて適宜設ければよい。
実装基板2は、発光素子1が一表面側に搭載される矩形板状のベース基板20と、ベース基板20の上記一表面側に対向配置されベース基板20側の一表面に形成された凹部42の底部に円形状の光取出窓41が形成されるとともに凹部42の内底面に受光素子4が形成された素子基板40と、ベース基板20と素子基板40との間に介在し光取出窓41に連通する矩形状の開口窓31が形成された配光用基板(機能基板)30とで構成されており、ベース基板20と配光用基板30と素子基板40とで囲まれた空間が上記収納凹所2aを構成している。ここにおいて、ベース基板20および配光用基板30および素子基板40の外周形状は矩形状であり、配光用基板30および素子基板40はベース基板20と同じ外形寸法に形成されている。なお、本実施形態では、受光素子4が素子を構成し、素子基板40において配光用基板30の開口窓31上に張り出した部位が、上述の突出部2cを構成している。
上述のベース基板20、配光用基板30、素子基板40は、それぞれ、導電形がn形で主表面が(100)面のシリコン基板20a,30a,40aを用いて形成してあり、配光用基板30の開口窓31の内側面が、アルカリ系溶液(例えば、TMAH溶液、KOH溶液など)を用いた異方性エッチングにより形成された(111)面からなる鏡面により構成されており(つまり、配光用基板30は、開口窓31の開口面積がベース基板20から離れるにつれて徐々に大きくなっており)、当該開口窓31の内側面が、発光素子1から放射された光の一部を受光素子4側へ反射するミラー2dを構成しているが、当該開口窓31の内側面に金属膜などからなる反射膜を形成してもよい。
ベース基板20は、シリコン基板20aの一表面側に、発光素子1の両電極それぞれと電気的に接続される2つの導体パターン25a,25aが形成され、当該導体パターン25a,25aとシリコン基板20aの他表面側に形成された第1の外部接続用電極(図示せず)とがそれぞれ第1の貫通孔配線(図示せず)を介して電気的に接続されている。また、ベース基板20は、シリコン基板20aの上記一表面側に、配光用基板30に形成された貫通孔配線34,34を介して受光素子4と電気的に接続される2つの導体パターン25b,25bが形成されており、当該導体パターン25b,25bとシリコン基板20aの上記他表面側に形成された第2の外部接続用電極27b,27bとがそれぞれ第2の貫通孔配線24を介して電気的に接続されている。また、ベース基板20は、シリコン基板20aの上記一表面側に、配光用基板30と接合するための接合用金属層29も形成されている。
発光素子1は、結晶成長用基板として導電性基板を用い厚み方向の両面に電極(図示せず)が形成された可視光LEDチップである。そこで、ベース基板20は、発光素子1が電気的に接続される2つの導体パターン25a,25aのうちの一方の導体パターン25aを、発光素子1がダイボンディングされる矩形状のダイパッド部25aaと、ダイパッド部25aaに連続一体に形成され貫通孔配線24との接続部位となる引き出し配線部25abとで構成してある。要するに、発光素子1は、上記一方の導体パターン25aのダイパッド部25aaにダイボンディングされており、ダイパッド部25aa側の電極がダイパッド部25aaに接合されて電気的に接続され、光取り出し面側の電極がボンディングワイヤ14を介して他方の導体パターン25aと電気的に接続されている。
また、ベース基板20は、シリコン基板20aの上記他表面側に、シリコン基板20aよりも熱伝導率の高い金属材料からなる矩形状の放熱用パッド部28が形成されており、ダイパッド部25aaと放熱用パッド部28とがシリコン基板20aよりも熱伝導率の高い金属材料(例えば、Cuなど)からなる複数(本実施形態では、9つ)の円柱状のサーマルビア26を介して熱的に結合されており、発光素子1で発生した熱が各サーマルビア26および放熱用パッド部28を介して放熱されるようになっている。
ところで、ベース基板20は、シリコン基板20aに、上述の2つの第1の貫通孔配線それぞれが内側に形成される2つの第1の貫通孔と、2つの第2の貫通孔配線24それぞれが内側に形成される2つの第2の貫通孔22aと、上述の9つのサーマルビア26それぞれが内側に形成される9つ第3の貫通孔22bとが厚み方向に貫設され、シリコン基板20aの上記一表面および上記他表面と上記第1の貫通孔、第2の貫通孔22a、第3の貫通孔22bそれぞれの内面とに跨って熱酸化膜(シリコン酸化膜)からなる絶縁膜(以下、第1の絶縁膜と称する)23が形成されており、各導体パターン25a,25a,25b,25b、接合用金属層29、各第1の外部接続用電極、各第2の外部接続用電極27b,27b、放熱用パッド部28、各第1の貫通孔配線、各第2の貫通孔配線24および各サーマルビア26がシリコン基板20aと電気的に絶縁されている。
ここにおいて、各導体パターン25a,25a,25b,25b、接合用金属層29、各第1の外部接続用電極、各第2の外部接続用電極27b,27b、放熱用パッド部28は、第1の絶縁膜23上に形成されたTi膜と当該Ti膜上に形成されたAu膜との積層膜により構成されており、シリコン基板20aの上記一表面側の各導体パターン25a,25a,25b,25b、接合用金属層29が同時に形成され、シリコン基板20aの上記他表面側の各第1の外部接続用電極、各第2の外部接続用電極27b,27b、放熱用パッド部28が同時に形成されている。なお、本実施形態では、第1の絶縁膜23上のTi膜の膜厚を15〜50nm、Ti膜上のAu膜の膜厚を500nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。また、各Au膜の材料は、純金に限らず不純物を添加したものでもよい。また、各Au膜と第1の絶縁膜23との間に密着性改善用の密着層としてTi膜を介在させてあるが、密着層の材料はTiに限らず、例えば、Cr、Nb、Zr、TiN、TaNなどでもよい。また、上記第1の貫通孔配線、第2の貫通孔配線24およびサーマルビア26の材料としては、Cuを採用しているが、Cuに限らず、例えば、Ni、Alなどを採用してもよい。
配光用基板30は、シリコン基板30aの一表面側(図2における上面側)に、貫通孔配線34,34を介して導体パターン35,35と電気的に接続される導体パターン37,37が形成されるとともに、素子基板40と接合するための接合用金属層(図示せず)が形成されており、シリコン基板30aの他表面側(図2における下面側)に、ベース基板20の2つの導体パターン25b,25bと接合されて電気的に接続される2つの導体パターン35,35が形成されるとともに、ベース基板20の接合用金属層29と接合される接合用金属層36が形成されている。
また、配光用基板30は、上述の2つの貫通孔配線34それぞれが内側に形成される2つの貫通孔32がシリコン基板30aの厚み方向に貫設され、シリコン基板30aの上記一表面および上記他表面と各貫通孔32の内面とに跨って熱酸化膜(シリコン酸化膜)からなる絶縁膜(以下、第2の絶縁膜と称する)33が形成されており、各導体パターン35,35,37,37、素子基板40側の上記接合用金属層、およびベース基板20側の接合用金属層36がシリコン基板30aと電気的に絶縁されている。ここにおいて、各導体パターン35,35,37,37、上記接合用金属層、および接合用金属層36は、第2の絶縁膜33上に形成されたTi膜と当該Ti膜上に形成されたAu膜との積層膜により構成されており、シリコン基板30aの上記他表面側の導体パターン35,35および接合用金属層36が同時に形成され、シリコン基板30aの上記一表面側の導体パターン37,37および上記接合用金属層が同時に形成されている。なお、本実施形態では、第2の絶縁膜33上のTi膜の膜厚を15〜50nm、Ti膜上のAu膜の膜厚を500nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。ここにおいて、各Au膜の材料は、純金に限らず不純物を添加したものでもよい。また、各Au膜と第2の絶縁膜33との間に密着性改善用の密着層としてTi膜を介在させてあるが、密着層の材料はTiに限らず、例えば、Cr、Nb、Zr、TiN、TaNなどでもよい。また、貫通孔配線34の材料としては、Cuを採用しているが、Cuに限らず、例えば、Ni、Alなどを採用してもよい。
素子基板40は、シリコン基板40aの一表面側(図2における下面側)に、配光用基板30の2つの導体パターン37,37と接合されて電気的に接続される2つの導体パターン47,47が形成されるとともに、配光用基板30の上記接合用金属層と接合される接合用金属層(図示せず)が形成されている。ここにおいて、受光素子4は、フォトダイオードにより構成されており、素子基板40に形成された2つの導体パターン47,47の一方の導体パターン47(図2における右側の導体パターン47)が、受光素子4を構成するフォトダイオードのp形領域4aに電気的に接続され、他方の導体パターン47(図2における左側の導体パターン47)が、上記フォトダイオードのn形領域4bを構成するシリコン基板40aに電気的に接続されている。ここで、受光素子4の受光部となるp形領域4aは、シリコン基板40aの上記一表面に形成された凹部42の内底面にイオン注入技術や拡散技術などを利用して形成されている。
また、素子基板40は、シリコン基板40aの上記一表面側にシリコン酸化膜からなる絶縁膜(以下、第3の絶縁膜と称する)43が形成されており、当該第3の絶縁膜43がフォトダイオードの反射防止膜を兼ねている。また、素子基板40は、上記一方の導体パターン47が、第3の絶縁膜43に形成したコンタクトホール43aを通してp形領域4aと電気的に接続され、上記他方の導体パターン47が第3の絶縁膜43に形成したコンタクトホール43bを通してn形領域4bと電気的に接続されている。ここにおいて、各導体パターン47,47および上記接合用金属層は、第3の絶縁膜43上に形成されたTi膜と当該Ti膜上に形成されたAu膜との積層膜により構成されており、同時に形成してある。なお、本実施形態では、第3の絶縁膜43上のTi膜の膜厚を15〜50nm、Ti膜上のAu膜の膜厚を500nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。ここにおいて、各Au膜の材料は、純金に限らず不純物を添加したものでもよい。また、各Au膜と第3の絶縁膜43との間に密着性改善用の密着層としてTi膜を介在させてあるが、密着層の材料はTiに限らず、例えば、Cr、Nb、Zr、TiN、TaNなどでもよい。
上述の実装基板2の形成にあたっては、凹部42、受光素子4、第3の絶縁膜43、各導体パターン47,47、および上記接合用金属層が形成されたシリコン基板40aと配光用基板30とを表面活性化接合法(例えば、常温接合法など)により接合する第1の接合工程を行った後、誘導結合プラズマ(ICP)型のドライエッチング装置などを用いてシリコン基板40aに光取出窓41を形成する光取出窓形成工程を行うことで素子基板40を完成させてから、発光素子1が実装されたベース基板20と配光用基板30とを表面活性化接合法(例えば、常温接合法など)などにより接合する第2の接合工程を行うようにすればよい。表面活性化接合法では、接合前に互いの接合表面へアルゴンのイオンビーム若しくはアルゴンの原子ビームを真空中で照射して各接合表面の清浄化・活性化を行ってから、接合表面同士を接触させ、直接接合する。ここで、表面活性化接合法で用いるガスは、不活性ガスであればよく、アルゴンに限らず、窒素、ヘリウムなどを用いてもよい。なお、第1の接合工程と光取出窓形成工程との間に、シリコン基板40aを上記他表面側から研磨する研磨工程を設けてシリコン基板40aを所望の厚みまで薄型化するようにしてもよい。
上述の第1の接合工程では、シリコン基板40aの上記一表面側に形成されている上記接合用金属層と配光用基板30の上記他表面側に形成されている上記接合用金属層とが接合されるとともに、シリコン基板40aの上記一表面側に形成されている導体パターン47,47と配光用基板30の導体パターン37,37とが接合され電気的に接続される。ここで、導体パターン47,47と導体パターン37,37との接合部位は、貫通孔配線34に重なる領域からずらしてあるので、導体パターン47,47と導体パターン37,37との互いの接合表面の平坦度を高めることができ、接合歩留まりを高めることができるとともに接合信頼性を高めることができる。また、第2の接合工程では、ベース基板20の接合用金属層29と配光用基板30の接合用金属層36とが接合されるとともに、ベース基板20の導体パターン25b,25bと配光用基板30の導体パターン35,35とが接合され電気的に接続される。ここで、導体パターン25b,25bと導体パターン35,35との接合部位は、貫通孔配線24に重なる領域および貫通孔配線34に重なる領域からずらしてあるので、導体パターン25b,25bと導体パターン35,35との互いの接合表面の平坦度を高めることができ、接合歩留まりを高めることができるとともに接合信頼性を高めることができる。
また、上述の透光性部材3は、透光性材料(例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラスなど)からなる透光性基板を用いて形成してある。ここで、透光性部材3は、実装基板2と同じ外周形状の矩形板状に形成されており、実装基板2側とは反対の光取り出し面に、発光素子1から放射された光の全反射を抑制する微細凹凸構造が形成されている。ここにおいて、透光性部材3の光取り出し面に形成する微細凹凸構造は、多数の微細な凹部が2次元周期構造を有するように形成されている。なお、上述の微細凹凸構造は、例えば、レーザ加工技術やエッチング技術やインプリントリソグラフィ技術などを利用して形成すればよい。また、微細凹凸構造の周期は、発光素子1の発光ピーク波長の1/4〜100倍程度の範囲で適宜設定すればよい。
以上説明した本実施形態の発光装置の製造にあたっては、上述のシリコン基板20aとしてベース基板20を多数形成可能なウェハ(シリコンウェハ)を用い、シリコン基板30a,40aとして、それぞれ配光用基板30、素子基板40を多数形成可能なウェハ(シリコンウェハ)300,400(後述の図1参照)を用いるとともに、上述の透光性基板として透光性部材3を多数形成可能なウェハ状のもの(透光性ウェハ)を用い、上述の第1の接合工程、光取出窓形成工程、第2の接合工程、実装基板2の収納凹所2aに封止用の透光性材料を充填して封止部5を形成する封止部形成工程、封止部形成工程の後で実装基板2と透光性部材3とを接合する第3の接合工程などの各工程をウェハレベルで行うことでウェハレベルパッケージ構造体を形成してから、ダイシング工程により実装基板2のサイズに分割されている。したがって、ベース基板20と配光用基板30と素子基板40と透光性部材3とが同じ外形サイズとなり、小型のパッケージを実現できるとともに、製造が容易になる。また、配光用基板30におけるミラー2dと素子基板40における受光素子4との相対的な位置精度を高めることができ、発光素子1から側方へ放射された光がミラー2dにより反射されて受光素子4へ導かれる。
ところで、上述の素子基板40の形成にあたっては、素子基板40の基礎となるシリコン基板40aの上記一表面に凹部42を形成することで素子基板40を形成する凹部形成工程を行った後、凹部42の内底面に素子である受光素子4を形成する素子形成工程を行い、その後、第3の絶縁膜43を形成する絶縁膜形成工程を行い、その後、各導体パターン47,47および上記接合用金属層を形成する金属層形成工程を行い、その後、上述の第1の接合工程の後で、光取出窓41を形成する光取出窓形成工程を行う。なお、本実施形態では、凹部形成工程が、機能基板との接合表面側に凹部42を有する素子基板40を形成する素子基板形成工程を構成している。なお、素子基板40の凹部42は、シリコン基板40aの上記一表面側に凹部42を形成するためのマスク層を形成してから、アルカリ系溶液(例えば、KOH水溶液、TMAH水溶液など)を用いてシリコン基板40aを上記一表面側から所定深さまで異方性エッチングすることにより形成している。なお、凹部42は、必ずしもアルカリ系溶液を用いた異方性エッチングにより形成する必要はなく、ドライエッチングにより形成するようにしてもよいが、凹部42の形成後に形成する導体パターン47,47の断線を防止するために凹部42の内側面がテーパ状となるようなエッチング条件を採用することが望ましい。
また、上述の発光装置の製造にあたって、第1の接合工程においては、図1(a)に示すように、配光用基板30を多数形成したウェハ300と光取出窓41形成前の素子基板40を多数形成したウェハ400とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源100から不活性ガスであるArのイオンビームもしくはArの原子ビームを2つのウェハ300,400の間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化し(図1(a)において一点鎖線で囲まれた部分はイオンビームもしくは原子ビームが照射される範囲を模式的に示している)、その後、図1(b)に示すように2つのウェハ300,400の互いの接合表面を重ね合わせて常温下で適宜の荷重を印加することにより2つのウェハ300,400を接合する。なお、荷重を印加する場合の温度は常温に限らず、例えば、80〜100℃程度に加熱してもよく、加熱することにより接合強度を高めることが可能となる。
以上説明した本実施形態の発光装置の製造方法によれば、機能基板である配光用基板30との接合表面側に凹部42を有する素子基板40を形成する素子基板形成工程と、素子基板形成工程の後で素子基板40における凹部42の内底面に受光素子4を形成する素子形成工程と、素子形成工程の後で素子基板40と配光用基板30との互いの接合表面が対向するように素子基板40と配光用基板30とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板40と配光用基板30との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程と、表面活性化工程の後で素子基板40と配光用基板30とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する第1の接合工程と、第1の接合工程の後で発光素子1が実装されたベース基板20と配光用基板30とを接合する第2の接合工程とを備えており、素子基板形成工程において、配光用基板30との接合表面側に凹部42を有する素子基板40を形成し、素子基板形成工程の後の素子形成工程において、素子基板40における凹部42の内底面に素子である受光素子4を形成するので、凹部42の深さ寸法を当該凹部42の内底面に形成した受光素子4にビーム照射源100からのイオンビームもしくは原子ビームが照射されないように設定しておくことにより、素子形成工程の後で素子基板40と配光用基板30との互いの接合表面が対向するように素子基板40と配光用基板30とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板40と配光用基板30との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程で、不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームが受光素子4に照射されるのを抑制することができ、受光素子4の特性劣化を防止することができる。なお、発光素子1が実装されたベース基板20と配光用基板30とを表面活性化接合法により接合する場合、上述の第2の接合工程の前に、配光用基板30と発光素子1を実装したベース基板20との互いの接合表面が対向するように配光用基板30とベース基板20とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された上記ビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを配光用基板30とベース基板20との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程を行うことになるが、当該表面活性化工程において発光素子1は、光取出し面に微細な凹凸が形成され、結果的に光取り出し効率が向上することとなる。
ところで、上述の実施形態では、素子基板40を1枚のウェハ400を用いて形成してあるが、図4(a)に示すように、光取出窓41を形成した第1のウェハ(シリコンウェハ)400Aと凹部42に対応する部位に凹部用開口窓41bを形成した第2のウェハ(シリコンウェハ)400Bとを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置されたビーム照射源100から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを第1のウェハ400Aと第2のウェハ400Bとの間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程を行ってから、図4(b)に示すように、第1のウェハ400Aと第2のウェハ400Bとを互いの接合表面を重ね合わせて接合し(なお、この場合、第1のウェハ400Aと第2のウェハとの接合はSi−Siの接合となる)、続いて、受光素子4を形成し、その後、第3の絶縁膜43を形成し、その後、各導体パターン47,47および上記接合用金属層を形成するようにしてもよい。
ところで、上述の実施形態では、発光素子1として可視光LEDチップを用いているが、発光素子1は、可視光LEDチップに限らず、紫外光LEDチップや、LEDチップと当該LEDチップに積層され少なくとも当該LEDチップから放射された光によって励起されて当該LEDチップよりも長波長の光を放射する蛍光体により形成された蛍光体層とで構成されたものや、有機EL素子などでもよい。また、発光素子1としては、例えば、結晶成長用基板の主表面側に発光部などをエピタキシャル成長した後に発光部を支持する導電性基板(例えば、Si基板など)を発光部に固着してから、結晶成長用基板などを除去したものを用いてもよい。また、ベース基板20は、シリコン基板20aに限らず、例えば、金属板を用いて形成してもよく、金属板を用いて形成することにより、発光素子1で発生した熱をより効率良く放熱させることが可能となる。
また、受光素子4は、フォトダイオードに限らず、例えば、フォトダイオードとカラーフィルタとを組み合わせたカラーセンサや、フォトダイオードと波長選択フィルタとを組み合わせたものなどでもよい。
また、上記実施形態では、実装基板2の収納凹所2aの内底面に1つの発光素子1を実装してあるが、発光素子1の数は特に限定するものではなく、発光色が同じ複数の発光素子1を収納凹所2aの内底面に実装するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、構造体として発光装置を例示したが、構造体は、発光装置に限らず、例えば、加速度センサチップが実装されるベース基板と、ベース基板に対向配置され加速度センサチップの周囲温度を検出する温度検出素子からなる素子を形成した素子基板と、ベース基板と素子基板との間に介在し温度検出素子に電気的に接続される貫通孔配線が形成され加速度センサチップを囲む枠状の機能基板とを備えた加速度センサなどでもよい。
1 発光素子
2d ミラー
4 受光素子(素子)
20 ベース基板
30 配光用基板(機能基板)
31 開口窓
40 素子基板
41 光取出窓
42 凹部
100 ビーム照射源
300 ウェハ
400 ウェハ
2d ミラー
4 受光素子(素子)
20 ベース基板
30 配光用基板(機能基板)
31 開口窓
40 素子基板
41 光取出窓
42 凹部
100 ビーム照射源
300 ウェハ
400 ウェハ
Claims (2)
- 少なくとも素子基板と機能基板とが表面活性化接合法により接合された構造体の製造方法であって、機能基板との接合表面側に凹部を有する素子基板を形成する素子基板形成工程と、素子基板形成工程の後で素子基板における凹部の内底面に素子を形成する素子形成工程と、素子形成工程の後で素子基板と機能基板との互いの接合表面が対向するように素子基板と機能基板とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板と機能基板との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程と、表面活性化工程の後で素子基板と機能基板とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する接合工程とを備えることを特徴とする構造体の製造方法。
- 発光素子と、発光素子が一表面側に実装されたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に対向配置され光取出窓が形成されるとともに素子である受光素子が形成された素子基板と、ベース基板と素子基板との間に介在し光取出窓に連通する開口窓が形成され発光素子から放射された光の一部を受光素子側へ反射するミラーが形成された機能基板とを備えた発光装置の製造方法であって、機能基板との接合表面側に凹部を有する素子基板を形成する素子基板形成工程と、素子基板形成工程の後で素子基板における凹部の内底面に受光素子を形成する素子形成工程と、素子形成工程の後で素子基板と機能基板との互いの接合表面が対向するように素子基板と機能基板とを対向配置して両者の対向方向に直交する方向に配置された1つのビーム照射源から不活性ガスのイオンビームもしくは不活性ガスの原子ビームを素子基板と機能基板との間の空間に向けて照射することで各接合表面それぞれを清浄・活性化する表面活性化工程と、表面活性化工程の後で素子基板と機能基板とを互いの接合表面を重ね合わせて接合する第1の接合工程と、第1の接合工程の後で発光素子が実装されたベース基板と機能基板とを接合する第2の接合工程とを備えることを特徴とする発光装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008138633A JP2009289834A (ja) | 2008-05-27 | 2008-05-27 | 構造体の製造方法、発光装置の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020031168A (ja) * | 2018-08-24 | 2020-02-27 | ローム株式会社 | 半導体発光装置 |
-
2008
- 2008-05-27 JP JP2008138633A patent/JP2009289834A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
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JP2020031168A (ja) * | 2018-08-24 | 2020-02-27 | ローム株式会社 | 半導体発光装置 |
JP7219565B2 (ja) | 2018-08-24 | 2023-02-08 | ローム株式会社 | 電子機器 |
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