JP2009177099A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数個の発光素子それぞれから放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子がパッケージに一体に形成された構成を有し、光検出素子間のリーク電流に起因して各光検出素子の検出精度が低下するのを防止することができる発光装置を提供する。
【解決手段】パッケージ2は、複数個のLEDチップ(発光素子)1a〜1dが収納される収納凹所2bが一表面に形成された実装基板2aと、シリコン基板(半導体基板)40aを用いて形成され実装基板2aの上記一表面側に接合された光検出素子形成基板40とを備える。光検出素子形成基板40は、収納凹所2bに連通する光取出孔41が形成されるとともに光取出孔41の周部において収納凹所2bに臨む表面側に複数の光検出素子それぞれの受光面が形成され、光取出孔41の周方向に離間して形成された複数の分離用スリット49により光検出素子が1つずつ形成された小片42に分離されている。
【選択図】図1
【解決手段】パッケージ2は、複数個のLEDチップ(発光素子)1a〜1dが収納される収納凹所2bが一表面に形成された実装基板2aと、シリコン基板(半導体基板)40aを用いて形成され実装基板2aの上記一表面側に接合された光検出素子形成基板40とを備える。光検出素子形成基板40は、収納凹所2bに連通する光取出孔41が形成されるとともに光取出孔41の周部において収納凹所2bに臨む表面側に複数の光検出素子それぞれの受光面が形成され、光取出孔41の周方向に離間して形成された複数の分離用スリット49により光検出素子が1つずつ形成された小片42に分離されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、LEDチップ(発光ダイオードチップ)などの発光素子を利用した発光装置に関するものである。
従来から、図10および図11に示すように、発光色の異なる4個のLEDチップ1a,1b,1c,1dと、各LEDチップ1a〜1dを収納するパッケージ2とを備え、各LEDチップ1a〜1dから放射される光を1対1で各別に検出するフォトダイオードからなる4つの光検出素子4がパッケージ2に一体に形成された発光装置が提案されている(特許文献1)。
上述のパッケージ2は、各LEDチップ1a〜1dが収納される収納凹所2bが一表面に形成され各LEDチップ1a〜1dが実装される実装基板2aと、n形のシリコン基板40aを用いて形成されて実装基板2aの上記一表面側に接合されたものであって実装基板2aの収納凹所2bに連通する光取出孔41が形成されるとともに光取出孔41の周部において収納凹所2bに臨む表面側に複数の光検出素子4それぞれの受光面が形成された光検出素子形成基板40とで構成され、収納凹所2b内および光取出孔41内が各LEDチップ1a〜1dを封止した透光性封止材(例えば、シリコーン樹脂など)からなる封止部5により充実され、光検出素子形成基板40における実装基板2a側とは反対側に、透光性部材3が接合されている。なお、光検出素子4は、シリコン基板40aの適宜位置に形成されたp形領域4aの表面が受光面を構成している。
ここにおいて、実装基板2aは、シリコン基板20aを用いて形成され各LEDチップ1a〜1dが実装されるベース基板20と、シリコン基板30aを用いて形成され収納凹所2b形成用の開口窓31を有する配光用基板30とを接合して構成されており、各LEDチップ1a〜1dはベース基板20に形成された貫通孔配線24を介して外部接続用電極27a,27aと電気的に接続され、光検出素子4は配光用基板30に形成された貫通孔配線34およびベース基板20に形成された貫通孔配線24を介して外部接続用電極27b,27bと電気的に接続されている。
特開2007−294834号公報
ところで、図10および図11に示した構成の発光装置では、光検出素子形成基板40が、シリコン基板40aを用いて形成されており、フォトダイオードからなる4つの光検出素子4が形成されているが、隣り合う光検出素子4間にp形の分離拡散領域を形成することで隣り合う光検出素子4同士を電気的に絶縁しても、リーク電流などの影響により、光検出素子4の検出精度が低下してしまう懸念がある。また、上述の構成の発光装置では、際に光検出素子形成基板40において実装基板2aの収納凹所2bの投影領域へ張り出した張出部2cに光検出素子4の受光面が形成されているが、製造時に、パッケージ2に透光性封止材を充填する際に張出部2c直下付近から気泡が抜けにくく、封止部5内にボイドが発生して光検出素子4の受光効率が低下して検出精度が低下する懸念がある。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、複数個の発光素子それぞれから放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子がパッケージに一体に形成された構成を採用しながらも、光検出素子間のリーク電流に起因して各光検出素子の検出精度が低下するのを防止することができる発光装置を提供することにある。
請求項1の発明は、発光色が互いに異なる複数個の発光素子と、当該複数個の発光素子を収納するパッケージとを備え、各発光素子から放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子がパッケージに形成された発光装置であって、パッケージは、各発光素子が収納される収納凹所が一表面に形成され各発光素子が実装される実装基板と、半導体基板を用いて形成されて実装基板の前記一表面側に接合されたものであって実装基板の収納凹所に連通する光取出孔が形成されるとともに光取出孔の周部において収納凹所に臨む表面側に複数の光検出素子それぞれの受光面が形成された光検出素子形成基板とを備え、光検出素子形成基板が、光取出孔の周方向に離間して形成された複数の分離用スリットにより光検出素子が1つずつ形成された小片に分離されてなることを特徴とする。
この発明によれば、パッケージが、発光色が互いに異なる各発光素子が収納される収納凹所が一表面に形成され各発光素子が実装される実装基板と、半導体基板を用いて形成されて実装基板の前記一表面側に接合されたものであって実装基板の収納凹所に連通する光取出孔が形成されるとともに光取出孔の周部において収納凹所に臨む表面側に複数の光検出素子それぞれの受光面が形成された光検出素子形成基板とを備え、光検出素子形成基板が、光取出孔の周方向に離間して形成された複数の分離用スリットにより光検出素子が1つずつ形成された小片に分離されているので、複数個の発光素子それぞれから放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子がパッケージに一体に形成された構成を採用しながらも、光検出素子間のリーク電流に起因して各光検出素子の検出精度が低下するのを防止することができる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記実装基板の前記収納凹所に充填され前記各発光素子を封止した透光性封止材からなる封止部を備え、前記光検出素子形成基板は、前記実装基板の前記収納凹所の投影領域へ張り出した張出部に前記各分離用スリットそれぞれの一部が形成されてなることを特徴とする。
この発明によれば、前記光検出素子形成基板の前記各分離用スリットそれぞれの一部が、前記実装基板の前記収納凹所の投影領域へ張り出した張出部に形成されているので、封止部となる透光性封止材を前記実装基板の前記収納凹所に充填する際に張出部直下付近から気泡が前記各分離用スリットを通して抜けやすくなり、封止部にボイドが発生するのを抑制でき、前記各光検出素子の受光効率を向上できて前記各光検出素子の検出精度を向上できる。
請求項3の発明は、請求項2の発明において、前記実装基板の平面視における外周形状が正方形状であって、前記収納凹所の開口形状が正方形状であり、前記光検出素子形成基板は、前記光取出孔の開口形状が円形状であり、平面視において前記実装基板の各辺それぞれの中点に直交する方向に沿って前記各分離用スリットが形成されてなることを特徴とする。
この発明によれば、前記収納凹所の開口形状が正方形状である一方で前記光取出孔の開口形状が円形状であり、平面視において外周形状が正方形状の前記実装基板の各辺それぞれの中点に直交する方向に沿って前記各分離用スリットが形成されているので、前記各光検出素子それぞれの受光面の面積を大きくでき、前記各光検出素子の検出精度を向上できる。
請求項4の発明は、請求項2の発明において、前記実装基板の平面視における外周形状が正方形状であって、前記収納凹所の開口形状が正方形状であり、前記光検出素子形成基板は、前記光取出孔の開口形状が円形状であり、平面視において前記実装基板の対角線に沿って前記各分離用スリットが形成されてなることを特徴とする。
この発明によれば、前記収納凹所の開口形状が正方形状である一方で前記光取出孔の開口形状が円形状であり、平面視において外周形状が正方形状の前記実装基板の対角線に沿って前記各分離用スリットが形成されているので、前記透光性封止材を前記実装基板の前記収納凹所に充填する際に張出部直下付近から気泡が前記各分離用スリットを通してより抜けやすくなり、前記封止部にボイドが発生するのをより抑制でき、前記各光検出素子の受光効率を向上できて前記各光検出素子の検出精度を向上できる。
請求項5の発明は、請求項2ないし請求項4の発明において、前記実装基板は、前記収納凹所の内部空間を各発光色の前記発光素子それぞれの収納空間に区画し前記各発光素子それぞれから放射された光が2つ以上の前記光検出素子の受光面へ入射するのを阻止する遮光部が設けられてなることを特徴とする。
この発明によれば、前記実装基板に、前記収納凹所の内部空間を各発光色の前記発光素子それぞれの収納空間に区画し前記各発光素子それぞれから放射された光が2つ以上の前記光検出素子の受光面へ入射するのを阻止する遮光部が設けられているので、各発光色の前記各発光素子それぞれから放射された光を対応する前記各光検出素子でより精度良く検出することができる。
請求項6の発明は、請求項3の発明において、前記光検出素子は、フォトダイオードとカラーフィルタとで構成されるカラーセンサであることを特徴とする。
この発明によれば、請求項5の発明のような遮光部を設ける必要がなくて前記実装基板の小型化を図れて発光装置全体の小型化を図れ、しかも、色ずれを少なくすることが可能となる。
請求項1の発明では、複数個の発光素子それぞれから放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子がパッケージに一体に形成された構成を採用しながらも、光検出素子間のリーク電流に起因して各光検出素子の検出精度が低下するのを防止することができるという効果がある。
(実施形態1)
以下、本実施形態の発光装置について図1〜図5に基づいて説明する。
以下、本実施形態の発光装置について図1〜図5に基づいて説明する。
本実施形態の発光装置は、発光色が互いに異なる複数個(本実施形態では、4個)のLEDチップ1a,1b,1c,1dと、各LEDチップ1a〜1dを収納するパッケージ2とを備え、各LEDチップ1a〜1dから放射される光を1対1で各別に検出する複数(本実施形態では、4つ)の光検出素子4がパッケージ2に形成されている。ここにおいて、本実施形態では、LEDチップ1a,1b,1c,1dとして、それぞれ、赤色LEDチップ、緑色LEDチップ、青色LEDチップ、黄色LEDチップを採用しており、赤色光と緑色光と青色光と黄色光の混色光として白色光を得ることができる。ただし、各LEDチップ1a〜1dの発光色は特に限定するものではなく、所望の混色光に応じて適宜選択すればよい。なお、本実施形態では、各LEDチップ1a〜1dそれぞれが発光素子を構成している。
パッケージ2は、各LEDチップ1a〜1dが収納される収納凹所2bが一表面に形成され各LEDチップ1a〜1dが実装される実装基板2aと、シリコン基板40aを用いて形成されて実装基板2aの上記一表面側に接合されたものであって実装基板2aの収納凹所2bに連通する円形状の光取出孔41が形成されるとともに光取出孔41の周部において収納凹所2bに臨む表面側に複数の光検出素子4それぞれの受光面が形成された光検出素子形成基板40とで構成され、収納凹所2b内および光取出孔41内が各LEDチップ1a〜1d、各ボンディングワイヤ14などを封止した透光性封止材(例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラスなど)からなる封止部5により充実され、光検出素子形成基板40における実装基板2a側とは反対側に、透光性部材3が接合されている。なお、透光性部材3は、必ずしも設けなくてもよく、必要に応じて適宜設ければよい。
実装基板2aは、シリコン基板20aを用いて形成され各LEDチップ1a〜1dが実装される矩形板状のベース基板20と、シリコン基板30aを用いて形成され収納凹所2b形成用の矩形状の開口窓31を有する配光用基板30とを接合して構成されており、ベース基板20と配光用基板30とで囲まれた空間が上記収納凹所2bを構成している。また、光検出素子形成基板40は、実装基板2aの収納凹所2bの投影領域へ張り出した張出部2c(つまり、張出部2cは、光検出素子形成基板40において配光用基板30の開口窓31上に張り出した部位により構成されている)に各光検出素子4が設けられている。
ここにおいて、ベース基板20、配光用基板30および光検出素子形成基板40の外周形状は矩形状であり、配光用基板30および光検出素子形成基板40はベース基板20と同じ外形寸法に形成されている。また、光検出素子形成基板40の厚み寸法はベース基板20および配光用基板30の厚み寸法に比べて小さく設定されている。
上述のベース基板20、配光用基板30、および光検出素子形成基板40は、それぞれ、導電形がn形で主表面が(100)面のシリコン基板20a,30a,40aを用いて形成してあり、配光用基板30の内側面が、アルカリ系溶液(例えば、TMAH水溶液、KOH水溶液など)を用いた異方性エッチングにより形成された(111)面により構成されており(つまり、配光用基板30は、開口窓31の開口面積がベース基板20から離れるにつれて徐々に大きくなっており)、LEDチップ1a〜1dから側方へ放射された光を前方(張出部2c側)へ反射するミラー2dを構成している。要するに、本実施形態では、配光用基板30が各LEDチップ1a〜1dから側方へ放射された光を前方へ反射させるリフレクタを兼ねている。
ベース基板20は、シリコン基板20aの一表面側(図2における上面側)に、LEDチップ1a〜1dの両電極それぞれと電気的に接続される2つ1組の導体パターン25a,25aが4組形成されるとともに、配光用基板30に形成された2つの貫通孔配線34,34を介して光検出素子4と電気的に接続される2つ1組の導体パターン25b,25bが4組形成されており、各導体パターン25a,25a,25b,25bとシリコン基板20aの他表面側(図2における下面側)に形成された各外部接続用電極27a,27a,27b,27bとがそれぞれ貫通孔配線24を介して電気的に接続されている。また、ベース基板20は、シリコン基板20aの上記一表面側に、配光用基板30と接合するための接合用金属層29も形成されている。
本実施形態におけるLEDチップ1a〜1dは、結晶成長用基板として導電性基板を用い厚み方向の両面に電極(図示せず)が形成された可視光LEDチップである。そこで、ベース基板20は、各LEDチップ1a〜1dが電気的に接続される2つの導体パターン25a,25aのうちの一方の導体パターン25aを、LEDチップ1a〜1dがダイボンディングされる矩形状のダイパッド部25aaと、ダイパッド部25aaに連続一体に形成され貫通孔配線24との接続部位となる引き出し配線部25abとで構成してある。要するに、LEDチップ1a〜1dは、上記一方の導体パターン25aのダイパッド部25aaにダイボンディングされており、ダイパッド部25aa側の電極がダイパッド部25aaに接合されて電気的に接続され、光取り出し面側の電極がボンディングワイヤ14を介して他方の導体パターン25aと電気的に接続されている。
また、ベース基板20は、シリコン基板20aの上記他表面側における各ダイパッド部25aaそれぞれの投影領域に、シリコン基板20aよりも熱伝導率の高い金属材料からなる矩形状の放熱用パッド部28が形成されており、シリコン基板20aの厚み方向において重なるダイパッド部25aaと放熱用パッド部28とがシリコン基板20aよりも熱伝導率の高い金属材料(例えば、Cuなど)からなる複数の円柱状のサーマルビア26を介して熱的に結合されており、LEDチップ1a〜1dで発生した熱が各サーマルビア26および放熱用パッド部28を介して放熱されるようになっている。
ところで、ベース基板20は、シリコン基板20aに、上述の各貫通孔配線24それぞれが内側に形成される複数の貫通孔22aと、上述の各サーマルビア26それぞれが内側に形成される複数の貫通孔22bとが厚み方向に貫設され、シリコン基板20aの上記一表面および上記他表面と各貫通孔22a,22bの内面とに跨って熱酸化膜(シリコン酸化膜)からなる絶縁膜23が形成されており、各導体パターン25a,25a,25b,25b、接合用金属層29、各外部接続用電極27a,27a,27b,27b、各放熱用パッド部28、各貫通孔配線24および各サーマルビア26がシリコン基板20aと電気的に絶縁されている。
ここにおいて、各導体パターン25a,25a,25b,25b、接合用金属層29、各外部接続用電極27a,27a,27b,27b、各放熱用パッド部28は、絶縁膜23上に形成されたTi膜と当該Ti膜上に形成されたAu膜との積層膜により構成されており、同時に形成してある。なお、本実施形態では、絶縁膜23上のTi膜の膜厚を15〜50nm、Ti膜上のAu膜の膜厚を500nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。また、各Au膜の材料は、純金に限らず不純物を添加したものでもよい。また、各Au膜と絶縁膜23との間に密着性改善用の密着層としてTi膜を介在させてあるが、密着層の材料はTiに限らず、例えば、Cr、Nb、Zr、TiN、TaNなどでもよい。また、貫通孔配線24およびサーマルビア26の材料としては、Cuを採用しているが、Cuに限らず、例えば、Ni、Alなどを採用してもよい。
配光用基板30は、シリコン基板30aの一表面側(図2における下面側)に、ベース基板20の2つの導体パターン25b,25bと接合されて電気的に接続される2つ1組の導体パターン(図示せず)が4組形成されるとともに、ベース基板20の接合用金属層29と接合される接合用金属層36が形成されている。また、配光用基板30は、シリコン基板30aの他表面側(図2における上面側)に、貫通孔配線34,34を介して上記一表面側の2つ1組の導体パターンと電気的に接続される2つ1組の導体パターン37,37が4組形成されるとともに、光検出素子形成基板40と接合するための接合用金属層38が形成されている。
また、配光用基板30は、上述の複数の貫通孔配線34それぞれが内側に形成される複数の貫通孔32がシリコン基板30aの厚み方向に貫設され、シリコン基板30aの上記一表面および上記他表面と各貫通孔32の内面とに跨って熱酸化膜(シリコン酸化膜)からなる絶縁膜33が形成されており、上記一表面側の各導体パターンおよび上記他表面側の各導体パターン37,37および各接合用金属層36,38がシリコン基板30aと電気的に絶縁されている。ここにおいて、上記一表面側の各導体パターンおよび上記他表面側の各導体パターン37,37および各接合用金属層36,38は、絶縁膜33上に形成されたTi膜と当該Ti膜上に形成されたAu膜との積層膜により構成されており、同時に形成してある。なお、本実施形態では、絶縁膜33上のTi膜の膜厚を15〜50nm、Ti膜上のAu膜の膜厚を500nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。ここにおいて、各Au膜の材料は、純金に限らず不純物を添加したものでもよい。また、各Au膜と絶縁膜33との間に密着性改善用の密着層としてTi膜を介在させてあるが、密着層の材料はTiに限らず、例えば、Cr、Nb、Zr、TiN、TaNなどでもよい。また、貫通孔配線34の材料としては、Cuを採用しているが、Cuに限らず、例えば、Ni、Alなどを採用してもよい。
光検出素子形成基板40は、シリコン基板40aの一表面側(図2における下面側)に、配光用基板30の2つの導体パターン37,37と接合されて電気的に接続される2つ1組の導体パターン47a,47bが4組形成されるとともに、配光用基板30の接合用金属層38と接合される接合用金属層48が形成されている。ここにおいて、各光検出素子4は、フォトダイオードにより構成されており、光検出素子形成基板40に形成された2つ1組の導体パターン47a,47bの一方の導体パターン47aは、光検出素子4を構成するフォトダイオードのp形領域4aに電気的に接続され、他方の導体パターン47bは、上記フォトダイオードのn形領域4bを構成するシリコン基板40aに電気的に接続されている。
また、光検出素子形成基板40は、シリコン基板40aの上記一表面側にシリコン酸化膜からなる絶縁膜43が形成されており、当該絶縁膜43がフォトダイオードの反射防止膜を兼ねている。また、光検出素子形成基板40は、上記一方の導体パターン47aが、絶縁膜43に形成した第1のコンタクトホール(図示せず)を通してp形領域4aと電気的に接続され、上記他方の導体パターン47bが絶縁膜43に形成した第2のコンタクトホール(図示せず)を通してn形領域4bと電気的に接続されている。ここにおいて、各導体パターン47a,47bおよび接合用金属層48は、絶縁膜43上に形成されたTi膜と当該Ti膜上に形成されたAu膜との積層膜により構成されており、同時に形成してある。なお、本実施形態では、絶縁膜43上のTi膜の膜厚を15〜50nm、Ti膜上のAu膜の膜厚を500nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。ここにおいて、各Au膜の材料は、純金に限らず不純物を添加したものでもよい。また、各Au膜と絶縁膜43との間に密着性改善用の密着層としてTi膜を介在させてあるが、密着層の材料はTiに限らず、例えば、Cr、Nb、Zr、TiN、TaNなどでもよい。
ところで、上述の光検出素子形成基板40は、光取出孔41の周部において収納凹所2bに臨む表面側に複数の光検出素子4それぞれの受光面が形成されているが、光取出孔41の周方向に離間して形成された複数(本実施形態では、4つ)の分離用スリット49により光検出素子4が1つずつ形成された小片42に分離されている。ここにおいて、光検出素子形成基板40は、実装基板2aの収納凹所2bの投影領域へ張り出した張出部2cに各分離用スリット49それぞれの一部が形成されている。より具体的に説明すれば、実装基板2aの平面視における外周形状が正方形状であって、収納凹所2bの開口形状が正方形状であり、光検出素子形成基板40は、光取出孔41の開口形状が円形状であり、平面視において実装基板2aの外周線の各辺それぞれの中点に直交する方向に沿って各分離用スリット49が形成されている。
また、上述の透光性部材3は、透光性材料(例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラスなど)からなる透光性基板を用いて形成してある。ここで、透光性部材3は、パッケージ2と同じ外周形状の矩形板状に形成されており、パッケージ2側とは反対の光取り出し面に、LEDチップ1a〜1dから放射された光の全反射を抑制する微細凹凸構造が形成されている。ここにおいて、透光性部材3の光取り出し面に形成する微細凹凸構造は、多数の微細な凹部が2次元周期構造を有するように形成されている。なお、上述の微細凹凸構造は、例えば、レーザ加工技術やエッチング技術やインプリントリソグラフィ技術などを利用して形成すればよい。また、微細凹凸構造の周期は、LEDチップ1a〜1dの発光ピーク波長の1/4〜100倍程度の範囲で適宜設定すればよい。
上述の発光装置の形成にあたっては、各光検出素子4、絶縁膜43、各導体パターン47a,47b、および接合用金属層48が形成され且つ光取出孔41および各分離用スリット49が形成されていないシリコン基板40a(図5(b)参照)と配光用基板30とを接合する第1の接合工程を行った後、シリコン基板40aを所望の厚みまで研磨する研磨工程を行い、その後、誘導結合プラズマ(ICP)型のドライエッチング装置などを用いてシリコン基板40aに光取出孔41を形成するのと同時に各分離用スリット42を形成する光取出孔形成工程を行うことで光検出素子形成基板40(図5(a)参照)を完成させてから、LEDチップ1a〜1dが搭載され各ボンディングワイヤ14の結線が行われたベース基板20(つまり、LEDチップ1a〜1dが実装されたベース基板20)と配光用基板30とを接合する第2の接合工程を行うことによりパッケージ2を完成させ、続いて、パッケージ2における実装基板2aの収納凹所2b内および光検出素子形成基板40の光取出孔41内に透光性封止材(例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラスなど)を充填して封止部5を形成する封止部形成工程、封止部形成工程の後でパッケージ2と透光性部材3とを接合する第3の接合工程を行うようにすればよい。ここにおいて、第1の接合工程、第2の接合工程では、接合前に互いの接合表面へアルゴンのプラズマ若しくはイオンビーム若しくは原子ビームを真空中で照射して各接合表面の清浄化・活性化を行ってから、接合表面同士を接触させ、常温下で直接接合する常温接合法を採用しているが、常温接合法に限らず、AuSnや半田などの低融点共晶材料を用いた接合法を採用してもよい。
上述の第1の接合工程では、シリコン基板40aの接合用金属層48と配光用基板30の接合用金属層38とが接合されるとともに、シリコン基板40aの導体パターン47a,47bと配光用基板30の導体パターン37,37とが接合され電気的に接続される。ここで、導体パターン47a,47bと導体パターン37,37との接合部位は、貫通孔配線34に重なる領域からずらしてあるので、導体パターン47a,47bと導体パターン37,37との互いの接合面の平坦度を高めることができ、特に常温接合法により接合する際の接合歩留まりを高めることができるとともに接合信頼性を高めることができる。また、上述の第2の接合工程では、ベース基板20の接合用金属層29と配光用基板30の接合用金属層36とが接合されるとともに、ベース基板20の導体パターン25b,25bと配光用基板30の導体パターンとが接合され電気的に接続される。ここで、導体パターン25b,25bと導体パターンとの接合部位は、貫通孔配線24に重なる領域および貫通孔配線34に重なる領域からずらしてあるので、導体パターン25b,25bと導体パターンとの互いの接合面の平坦度を高めることができ、特に常温接合法により接合する際の接合歩留まりを高めることができるとともに接合信頼性を高めることができる。
また、本実施形態の発光装置の製造にあたっては、上述の各シリコン基板20a,30a,40aとして、それぞれベース基板20、配光用基板30、光検出素子形成基板40を多数形成可能なシリコンウェハを用いるとともに、上述の透光性基板として透光性部材3を多数形成可能なウェハ状のもの(透光性ウェハ)を用い、上述の第1の接合工程、研磨工程、光取出孔形成工程、第2の接合工程、封止部形成工程、第3の接合工程などの各工程をウェハレベルで行うことでウェハレベルパッケージ構造体を形成してから、ダイシング工程によりパッケージ2のサイズに分割されている。したがって、ベース基板20と配光用基板30と光検出素子形成基板40と透光性部材3とが同じ外形サイズとなり、小型のパッケージ2を実現できるとともに、製造が容易になる。また、配光用基板30におけるミラー2dと光検出素子形成基板40における光検出素子4との相対的な位置精度を高めることができ、LEDチップ1a〜1dから側方へ放射された光がミラー2dにより反射されて各LEDチップ1a〜1dに対応する光検出素子4へ導かれる。
ところで、本実施形態の発光装置は、上述のように、光検出素子形成基板40に各発光色のLEDチップ1a〜1dそれぞれから放射された光を各別に検出する4つの光検出素子4が設けられており、4つの光検出素子4と互いに発光色の異なる4つのLEDチップ1a〜1dとを1対1で対応させるために、実装基板2aにおける収納凹所2bの内部空間(つまり、ベース基板20と配光用基板30とで囲まれた内部空間)を各発光色のLEDチップ1a〜1dそれぞれの収納空間に区画し各LEDチップ1a〜1dそれぞれから放射された光が2つ以上の光検出素子4の受光面へ入射するのを阻止する十字状の遮光部39が、配光用基板30に連続一体に形成されている。見方を変えれば、本実施形態の発光装置では、遮光部39が、ベース基板20から突設され上記内部空間を上記各収納空間に区画する十字状の仕切壁により構成されている。ここで、本実施形態の発光装置では、配光用基板30の開口窓31が遮光部39によって4つの小空間31aに区画されており、各LEDチップ1a〜1dそれぞれから放射される光の放射範囲が遮光部39により制限される。ここにおいて、本実施形態では、配光用基板30における遮光部39がアルカリ系溶液を用いた異方性エッチングにより開口窓31と同時に形成されており、遮光部39の各側面が開口窓31の内側面と同様に(111)面となっているので、遮光部39の各側面がLEDチップ1a〜1dから放射された光を前方へ反射するミラーとして機能する。なお、本実施形態の発光装置では、遮光部39の先端面と透光性部材3とが離間しているので、遮光部39に起因して影(暗部)が生じるのを防止することができる。
以上説明した本実施形態の発光装置では、パッケージ2が、発光色が互いに異なる複数個のLEDチップ1a〜1dが収納される収納凹所2bが上記一表面に形成され各LEDチップ1a〜1dが実装される実装基板2aと、シリコン基板40aを用いて形成されて実装基板2aの上記一表面側に接合されたものであって実装基板2aの収納凹所2bに連通する光取出孔41が形成されるとともに光取出孔41の周部において収納凹所2bに臨む表面側に複数の光検出素子4それぞれの受光面が形成された光検出素子形成基板40とを備え、光検出素子形成基板40が、光取出孔41の周方向に離間して形成された複数の分離用スリット49により光検出素子4が1つずつ形成された小片42に分離されているので、複数個のLEDチップ1a〜1dそれぞれから放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子4がパッケージ2に一体に形成された構成を採用しながらも、光検出素子4間のリーク電流に起因して各光検出素子4の検出精度が低下するのを防止することができる。なお、本実施形態では、ベース基板20、配光用基板30、光検出素子形成基板40それぞれをシリコン基板20a,30a,40aを用いて形成してあるが、シリコン基板20a,30a,40aに限らず、半導体基板であればよく、例えば、シリコンカーバイド基板(SiC基板)を用いて形成してもよい。また、少なくとも光検出素子形成基板40は、シリコン基板40aなどの半導体基板を用いて形成する必要があるが、ベース基板20および配光用基板30については、必ずしも半導体基板により形成する必要はなく、例えば、金属板などを用いて形成してもよい。
また、本実施形態の発光装置では、光検出素子形成基板40の各分離用スリット49それぞれの一部が、実装基板2aの収納凹所2bの投影領域へ張り出した張出部2cに形成されているので、各分離用スリット49の幅を遮光部39の幅よりも広く設定しておけば、封止部5となる透光性封止材を実装基板2aの収納凹所2bに充填する際に張出部2c直下付近から気泡が各分離用スリット49を通して抜けやすくなり、封止部5にボイドが発生するのを抑制でき、各光検出素子4の受光効率を向上できて各光検出素子4の検出精度を向上できる。また、本実施形態の発光装置では、実装基板2aの収納凹所2bの開口形状が正方形状である一方で光検出素子形成基板40の光取出孔41の開口形状が円形状であり、平面視において外周形状が正方形状の実装基板2aの各辺それぞれの中点に直交する方向に沿って各分離用スリット49が形成されているので、各光検出素子4それぞれの受光面の面積を大きくでき、各光検出素子4の検出精度を向上できる。
また、本実施形態の発光装置では、実装基板2aにおける収納凹所2bの内部空間を各発光色のLEDチップ1a〜1dそれぞれの収納空間に区画し各LEDチップ1a〜1dそれぞれから放射された光が2つ以上の光検出素子4の受光面へ入射するのを阻止する十字状の遮光部39が実装基板2aに形成されているので、各発光色のLEDチップ1a〜1dと各光検出素子4とを1対1で対応させることができ、各光検出素子4において対応するLEDチップ1a〜1dから放射された光のみを選択的に検出可能となり、各発光色のLEDチップ1a〜1dから放射された光を対応する光検出素子4で精度良く検出することができ、しかも、各光検出素子4それぞれに透過特性の異なるフィルタを設ける必要がないから、低コスト化が可能となる。また、本実施形態の発光装置では、パッケージ2を複数のシリコン基板20a,30a,40aを用いて形成しているので、フォトダイオードのような光電変換素子からなる光検出素子4を一般的な半導体製造プロセスによってパッケージ2中に容易に形成することが可能となり、低コスト化を図れる。また、上述の発光装置の製造方法では、パッケージ2の形成にあたって、上述の各接合工程において、低温での直接接合が可能な常温接合法を採用しているので、各接合工程でLEDチップ1a〜1dのジャンクション温度が最大ジャンクション温度を超えるのを防止することができる。
また、本実施形態の発光装置を例えば回路基板などに実装して照明装置を構成する場合、当該回路基板に各LEDチップ1a〜1dを駆動する駆動回路部と、各光検出素子4により検出される光強度がそれぞれの目標値に保たれるように駆動回路部から各発光色のLEDチップ1a〜1dに流れる電流をフィードバック制御する制御回路部などを設けておくことにより、各光検出素子4それぞれの出力に基づいて各発光色のLEDチップ1a〜1dの光出力を各別に制御することができ、各発光色ごとのLEDチップ1a〜1dの光出力の経時変化の違いなどによらず混色光(ここでは、白色光)の光色や色温度の精度を向上することができる。要するに、所望の混色光を安定して得ることができる。
(実施形態2)
以下、本実施形態の発光装置について図6および図7に基づいて説明する。
以下、本実施形態の発光装置について図6および図7に基づいて説明する。
本実施形態の発光装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、光検出素子形成基板40における各分離用スリット49の形成位置などが相違する。ここにおいて、本実施形態における光検出素子形成基板40は、光取出孔41の開口形状が円形状であり、平面視において実装基板2aの対角線に沿って各分離用スリット49が形成されている。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。また、本実施形態では、光検出素子形成基板40における各分離用スリット49の形成位置の変更に伴って貫通孔配線24,34などの形成位置も適宜変更してある。
しかして、本実施形態の発光装置では、実装基板2aの収納凹所2bの開口形状が正方形状である一方で光取出孔41の開口形状が円形状であり、平面視において外周形状が正方形状の実装基板2aの対角線に沿って各分離用スリット49が形成されているので、透光性封止材を実装基板2aの収納凹所2bに充填する際に張出部2c直下付近から気泡が各分離用スリット49を通してより抜けやすくなり、封止部5にボイドが発生するのをより抑制でき、各光検出素子4の受光効率を向上できて各光検出素子4の検出精度を向上できる。
(実施形態3)
本実施形態の発光装置について図8および図9に基づいて説明する。
本実施形態の発光装置について図8および図9に基づいて説明する。
本実施形態の発光装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、実施形態1にて説明した遮光部39を設けていない点などが相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の発光装置は、光検出素子形成基板40における光検出素子4をフォトダイオードとフォトダイオードの受光面側に形成されたカラーフィルタとで構成されるカラーセンサにより構成してあり、各カラーフィルタを各LEDチップ1a〜1dそれぞれの発光色を選択的に透過させるように設計することにより、各LEDチップ1a〜1dそれぞれの発光色の波長域の光を各光検出素子4で同時かつ各別に精度良く検出することができるようになっている。
しかして、本実施形態の発光装置では、実施形態1で説明した遮光部39を設ける必要がなくて実装基板2aの小型化を図れて発光装置全体の小型化を図れ、しかも、色ずれを少なくすることが可能となる。
なお、上記各実施形態1〜3における各LEDチップ1a〜1cの発光色と蛍光体の発光色との組み合わせは上述の組み合わせに限らず、所望の混色光に応じて適宜選択すればよい。
また、上記各実施形態1〜3では、パッケージ2が複数のシリコン基板(Si基板)を用いて形成されているが、各シリコン基板の代わりにシリコンカーバイド基板(SiC基板)を用いれば、耐熱性を向上させることができる。また、SiCの方がSiに比べて熱伝導率が高いので、パッケージ2の放熱性を高めることができる。また、上記各実施形態1〜3では、実装基板2aを2枚のシリコン基板20a,30aを用いて形成してあるが、1枚のシリコン基板を用いて形成してもよい。また、実装基板2aにおけるシリコン基板20aの代わりに、金属板を用いてもよく、この場合には、放熱性を高めることが可能となる。また、上記各実施形態1〜3におけるLEDチップ1a〜1dとしては、例えば、結晶成長用基板の主表面側に発光部などをエピタキシャル成長した後に発光部を支持する導電性基板(例えば、Si基板など)を発光部に固着してから、結晶成長用基板などを除去したものを用いてもよい。
1a〜1d LEDチップ(発光素子)
2 パッケージ
2a 実装基板
2b 収納凹所
2c 張出部
4 光検出素子
20 ベース基板
20a シリコン基板
24 貫通孔配線
30 配光用基板
30a シリコン基板
34 貫通孔配線
39 遮光部
40 光検出素子形成基板
40a シリコン基板(半導体基板)
42 小片
49 分離用スリット
2 パッケージ
2a 実装基板
2b 収納凹所
2c 張出部
4 光検出素子
20 ベース基板
20a シリコン基板
24 貫通孔配線
30 配光用基板
30a シリコン基板
34 貫通孔配線
39 遮光部
40 光検出素子形成基板
40a シリコン基板(半導体基板)
42 小片
49 分離用スリット
Claims (6)
- 発光色が互いに異なる複数個の発光素子と、当該複数個の発光素子を収納するパッケージとを備え、各発光素子から放射される光を1対1で各別に検出する複数の光検出素子がパッケージに形成された発光装置であって、パッケージは、各発光素子が収納される収納凹所が一表面に形成され各発光素子が実装される実装基板と、半導体基板を用いて形成されて実装基板の前記一表面側に接合されたものであって実装基板の収納凹所に連通する光取出孔が形成されるとともに光取出孔の周部において収納凹所に臨む表面側に複数の光検出素子それぞれの受光面が形成された光検出素子形成基板とを備え、光検出素子形成基板が、光取出孔の周方向に離間して形成された複数の分離用スリットにより光検出素子が1つずつ形成された小片に分離されてなることを特徴とする発光装置。
- 前記実装基板の前記収納凹所に充填され前記各発光素子を封止した透光性封止材からなる封止部を備え、前記光検出素子形成基板は、前記実装基板の前記収納凹所の投影領域へ張り出した張出部に前記各分離用スリットそれぞれの一部が形成されてなることを特徴とする請求項1記載の発光装置。
- 前記実装基板の平面視における外周形状が正方形状であって、前記収納凹所の開口形状が正方形状であり、前記光検出素子形成基板は、前記光取出孔の開口形状が円形状であり、平面視において前記実装基板の各辺それぞれの中点に直交する方向に沿って前記各分離用スリットが形成されてなることを特徴とする請求項2記載の発光装置。
- 前記実装基板の平面視における外周形状が正方形状であって、前記収納凹所の開口形状が正方形状であり、前記光検出素子形成基板は、前記光取出孔の開口形状が円形状であり、平面視において前記実装基板の対角線に沿って前記各分離用スリットが形成されてなることを特徴とする請求項2記載の発光装置。
- 前記実装基板は、前記収納凹所の内部空間を各発光色の前記発光素子それぞれの収納空間に区画し前記各発光素子それぞれから放射された光が2つ以上の前記光検出素子の受光面へ入射するのを阻止する遮光部が設けられてなることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記光検出素子は、フォトダイオードとカラーフィルタとで構成されるカラーセンサであることを特徴とする請求項3記載の発光装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008016917A JP2009177099A (ja) | 2008-01-28 | 2008-01-28 | 発光装置 |
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CN105405953A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-03-16 | 浙江唯唯光电科技有限公司 | 低热阻高光效大功率led灯珠 |
KR20160115695A (ko) * | 2016-02-15 | 2016-10-06 | (주)파트론 | 수광 센서 패키지 |
CN114373744A (zh) * | 2022-03-22 | 2022-04-19 | 至芯半导体(杭州)有限公司 | 一种紫外光源封装 |
-
2008
- 2008-01-28 JP JP2008016917A patent/JP2009177099A/ja not_active Withdrawn
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