JP2010197162A - 温度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 回路基板上の電子部品から離間して回路基板上に実装され電子部品の温度を測定する温度センサ1であって、チップ状の基体3と、該基体3の表面にサーミスタ薄膜4で別々に形成された基準部5及び検出部6と、基体3に形成され基準部5及び検出部6にそれぞれ接続された複数の電極9と、を備え、基準部5が、遮光膜7で覆われ、検出部6が、回路基板上に実装された状態で電子部品から放射される赤外線を透明部材8を介して検出可能とされている。
【選択図】図1
Description
このような回路基板上の電子部品について温度を測定するために、従来、回路基板上にサーミスタ素子を温度センサとして実装しているものがある。
すなわち、特許文献1では、測定対象の電子部品が実装される同じ回路基板上に温度センサであるサーミスタ素子を実装して雰囲気の温度を測定しているが、この場合、回路基板上に実装されている特定の電子部品の温度を個別に測定することができない。
また、回路基板に実装される電子部品の中には、発熱により高温になることから放熱のために金属膜による放熱面に接触させて実装されたものがある。この場合、放熱面があるため、温度センサを測定対象の電子部品に近接させて実装させることができない。したがって、特許文献2に記載の温度センサのように、被検知体に近接させて実装させることができず、温度センサを電子部品から距離を空けて実装しなければならず、温度測定の誤差が大きくなってしまう不都合があった。
すなわち、この温度センサでは、検出部の表面に、光学部材として透明部材が固定され、透明部材の露出表面のうち、一つの側面以外が遮光膜で覆われているので、透明部材の遮光膜で覆われていない側面を電子部品に向けることで、電子部品からの赤外線を該側面から入射させると共に透明部材の下面から検出部へ導いて温度検出を行うことができる。このように、透明部材の遮光膜で覆われていない側面を窓部とすることで、赤外線検出に指向性を持たせることができ、検出部が上面に形成されていても、正確に測定対象の電子部品の温度測定が可能になる。
すなわち、この温度センサでは、基体の下面が回路基板上への実装面とされていると共に基体の一つの側面に基準部と検出部とが形成されているので、側面に形成された検出部を直接電子部品に向けて実装することで、電子部品からの赤外線を指向性を持って検出部へ入射させることができる。
すなわち、本発明に係る温度センサによれば、基準部が、遮光膜で覆われ、検出部が回路基板上に実装された状態で電子部品から放射される赤外線を直接又は光学部材を介して検出可能とされているので、遮光された基準部と電子部品からの赤外線が入射可能な検出部との差分から電子部品の正確な温度を離間した位置で測定可能になる。
したがって、本発明の温度センサでは、回路基板上に広い放熱面が必要とされる電子部品であっても、放熱面を避けて同じ回路基板上に表面実装可能であると共に、電子部品から離間した位置でも非接触で温度測定可能となる。これにより、温度センサの回路基板に対する実装自由度が向上すると共に、電子部品の温度管理を高精度に行うことができる。
また、上記回路基板2上には、電子部品Eから発生した熱を放熱させるための銅箔等の金属膜で形成された放熱面2aが形成され、該放熱面2aに電子部品Eが接触状態に実装されている。
この基体3の上面には、下地層としてSiO2層(図示略)が形成されている。
上記基準部5及び検出部6は、それぞれSiO2層上に成膜されたサーミスタ薄膜4と、サーミスタ薄膜4及びSiO2層上にパターン形成された金属電極9と、SiO2層、金属電極9及びサーミスタ薄膜4を覆うパッシベーション膜(図示略)と、を備えたサーミスタ素子である。
上記金属電極9は、櫛形電極等の電気抵抗測定用の金属電極である。なお、図中は、簡略化して図示している。
上記パッシベーション膜は、例えばSiO2膜からなる。なお、絶縁性を有して外部雰囲気を遮断可能であれば、SiO2膜の代わりにガラス、セラミックス、耐熱樹脂等の絶縁性膜でも構わない。
また、上記検出部6は、赤外線検出用センサ部であって、光学部材として透明部材8が表面に固定され、回路基板2上に実装された状態で電子部品Eから放射される赤外線を透明部材8を介して検出可能とされている。
該透明部材8は、直方体形状の透明ガラスで形成されていると共に露出表面のうち、一つの側面8a以外が遮光膜7で覆われている。
上記基準部5及び検出部6の金属電極9は、サーミスタ薄膜4の外部に延在され、図3に示すように、互いに共通した共通電極端子部9aと、個別に設けられた2つの個別電極端子部9bと、に接続されている。なお、共通電極端子部9a及び個別電極端子部9bは、例えば基体3の下面又は側面に形成され、図示しないスルーホール又は表面若しくは側面の電極パターンを介して上記各金属電極9と電気的に接続されている。
さらに、チップ状の基体3に基準部5と検出部6とが形成されているため、電子部品Eに対して透明部材8の向きを設定した状態で回路基板2上に容易に表面実装可能である。
なお、検出部6と基準部5とがどちらもサーミスタ薄膜4で形成されているので、熱容量が小さく、高い応答性を得ることができる。
また、基準部5及び検出部6の外側の各端部には、それぞれ側面に形成された個別電極端子部9bに接続された金属電極9が形成されている。さらに、基準部5と検出部6との互いに対向する各端部には、下面に形成された同一の共通電極端子部9aに接続された金属電極9が形成されている。
また、チップ状の基体13の側面13aに基準部5と検出部6とが形成されているため、電子部品Eに対して検出部6の向きを設定した状態で回路基板2上に容易に表面実装可能である。
例えば、上記第1実施形態では、側方に位置する電子部品からの赤外線を基体上面の検出部に導く光学部材として直方体形状の透明ガラスからなる透明部材を用いているが、他の形状や材料による光学部材を採用しても構わない。例えば、窓部となる側面の反対側の側面が検出部側に傾斜した傾斜面とされた透明部材を光学部材として採用してもよい。この場合、窓部の側面から入射された赤外線を反対側の側面で下面の検出部に向けて反射させることができ、より効率的に検出することが可能になる。
Claims (3)
- 回路基板上の電子部品から離間して前記回路基板上に実装され前記電子部品の温度を測定する温度センサであって、
チップ状の基体と、
該基体の表面にサーミスタ薄膜で別々に形成された基準部及び検出部と、
前記基体に形成され前記基準部及び前記検出部にそれぞれ接続された複数の電極と、を備え、
前記基準部が、遮光膜で覆われ、
前記検出部が、前記回路基板上に実装された状態で前記電子部品から放射される赤外線を直接又は光学部材を介して検出可能とされていることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサにおいて、
前記基体の下面が前記回路基板上への実装面とされていると共に前記基体の上面に前記基準部と前記検出部とが形成され、
前記検出部の表面に、前記光学部材として透明部材が固定され、
該透明部材の露出表面のうち、一つの側面以外が遮光膜で覆われていることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサにおいて、
前記基体の下面が前記回路基板上への実装面とされていると共に前記基体の一つの側面に前記基準部と前記検出部とが形成されていることを特徴とする温度センサ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012068115A (ja) * | 2010-09-23 | 2012-04-05 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ |
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-
2009
- 2009-02-24 JP JP2009041193A patent/JP5206484B2/ja active Active
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