JP2011504067A - デュアル感度を有する撮像素子回路及び撮像素子アレー - Google Patents

デュアル感度を有する撮像素子回路及び撮像素子アレー Download PDF

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Abstract

デュアル感度撮像素子は、iSoC集積化によって、標準感度モード及び高感度モードで動作する。高感度モードでは、感度を高めることに加えて、時間雑音を低減し、これによって、撮像素子のS/N比を最適に高める。本発明は、画素を著しく複雑にすることなく、シームレスなモード切換を容易にする補助及び制御回路を含むiSoCの補助回路を、最低限変更するだけである。
【選択図】図3

Description

本発明は、一般的には、CMOS撮像素子に関し、特に、暗い照明を含む様々な照明条件下における撮像を可能にするイメージングシステムオンチップ(imaging System-on-Chip:以下、iSoCという。)による撮像素子回路及び撮像素子アレーに関するものである。
CMOS撮像素子を用いて実現される可視撮像装置は、分解能を高め、雑音を低減するとともに、カメラのコスト及び消費電力を大幅に低減している。最新のカメラは、iSoC撮像素子を用いて、低雑音の画像検出と、タイミングコントローラ、クロックドライバ、基準電圧、A/D変換及び重要な信号処理素子を含む補助部からなるホストによる信号処理とを効率よく組み合わせている。現在では、レンズとバッテリのみを追加すれば、1つのCMOS集積回路を用いて、高性能ビデオカメラを生産することができる。このような改良により、カメラの小型化及び電池の長寿命化が実現されている。また、このような改良により、同時に又は連続して、高分解能の静止画像と高品位の映像を生成できる、二通りに使えるカメラも出現している。
カメラを生産するためのCMOS可視撮像素子におけるシステムオンチップ集積化によってもたらされる利点により、アクティブピクセルセンサ(active-pixel sensor:APS)素子を更に改良するための努力が多いになされている。オンチップのアナログ信号処理回路及び/又はデジタル信号処理回路を有するアクティブピクセルセンサは、CCDセンサを用いた科学技術用途レベルのビデオ装置よりも優れた時間雑音を有する。
現在入手可能な殆どの撮像素子は、画素によって、撮像素子固有の感度と、国際標準化機構(ISO)のISO12332−2006仕様書における最低ISO感度(base ISO speed)とが定まるアーキテクチャを用いており、ISO12332-2006仕様書は、電子撮像素子の標準露光指数を定めている。感度、すなわちISO感度を高めるために、一般的には、画素の後段に設けられた増幅器によって、標準画素感度(nominal pixel sensitivity)を増幅する。通常、この方法は、動画用途のダイナミックレンジ又は静止画用途の露出寛容度を低下させる。また、ポスト画素における増幅は、信号処理回路に必要とされる利得帯域幅積条件を高め、それによって、多くの場合、撮像素子の雑音が増加する。したがって、ISO感度に基づく感度が高く設定されたとき、多くの場合、ISO感度に基づく雑音は、実際に劣化する。したがって、カメラ内信号処理により、実際の分解能と引き換えに、雑音を低減させる。
図1は、従来技術の4トランジスタ画素回路(以下、4T画素回路という。)の構成を示す回路図であり、この4T画素回路は、ロールシャッタ(rolling shutter)設計の低雑音撮像装置用のiSoC撮像素子内の相関二重サンプリングによって補助されている。動作において、リセットトランジスタM1をリセットして、電荷を画素から除去する。この4T画素回路において、画素信号は、フローティング拡散コンデンサ(CFDとして示す)に電荷として蓄積される。読出トランジスタM3は、画素から最初の信号を読み出す。この最初の信号は、光電変換により発生された信号ではなく、回路動作に関連して発生したリセット雑音である。そして、転送トランジスタM4は、フォトダイオードPDから電荷を、フローティング拡散コンデンサCFDに転送する。次に、その電荷は、ソースフォロワとして構成された増幅器トランジスタM2によって増幅される。それから、その信号は、読出トランジスタM3によって読み出される。2つの信号は、効果的にリセット雑音成分を除去するために、差が計算される。この処理は、撮像素子アレーのそれぞれの行に対して、行毎に繰り返される。
この基本回路は、画素毎に4つのトランジスタを必要とし、フローティング拡散コンデンサCFDによって、画素及び撮像素子の標準感度(nominal sensitivity)が定まる。フォトダイオードPDから、特定の蓄積時間tintが経過した後に読み出すことによって発生した検出器電圧Vdetは、列バッファにおいて増幅される前は、以下の通りである。
Figure 2011504067
一般的に、感度を高めるのに必要な全ての処理は、通常、ポスト画素における増幅によって行われる。例えば、図2は、米国特許第5,892,540号に開示されている列バッファ回路であり、引用することにより、本願に援用される。列バッファ回路は、1)感度を上げる又は下げる複数の選択可能な利得設定と、2)リセット雑音を減算するために必要とされる相関二重サンプリングを補助する手段と、3)DCオフセットキャンセル回路とを備える。しかしながら、特に、利得を高く設定した状態、及び高フレームレートの用途、例えば高品位テレビでは、増幅段の利得帯域幅積は、特に、これらをサポートするには難しく、これにより、非線形性、過剰雑音、他の偽信号を生じる。さらに、信号を、列バッファに転送した後に増幅するので、余分な白色雑音が発生する可能性がある。
本発明は、標準感度(nominal sensitivity)又は高感度(enhanced sensitivity)を選択的に提供する2つの動作モードをサポートするiSoC撮像素子のプログラム可能な画素回路である。デュアルモード動作は、組込撮像素子マトリクスアレー(embedded imaging matrix array)からの画素読出(pixel readout)を補助する周辺回路のシステムオンチップ機能によってマルチモード画素動作をサポートすることにより、行われる。したがって、画素構造を著しく複雑にすることもなく、開口率が悪化することもない。低雑音の高感度モードは、画素検出コンデンサを、標準感度の構成におけるソースフォロワ増幅器と同じトランジスタを用いて構成されるスイッチトキャパシタ積分器(switched capacitor integrator)のより小さいコンデンサに実際に置き換えることによって、達成される。
本発明の一実施の形態において、本発明に係る撮像素子回路は、少なくとも1つの画素回路と、デュアル感度選択及び補助回路とを備える。画素回路は、光検出器と、光検出器及び第1の電源バスに接続された転送トランジスタと、転送トランジスタ及び第2の電源バスに接続されたリセットトランジスタと、転送トランジスタ、リセットトランジスタ及び第3の電源バスに接続された増幅器トランジスタと、増幅器トランジスタ及び信号バスに接続された信号読出トランジスタとを有する。デュアル感度選択及び補助回路は、信号バスに接続された高感度イネーブルトランジスタと、信号バスに接続された標準感度イネーブルトランジスタと、信号バスに接続された相関二重サンプリングスイッチトランジスタと、標準感度イネーブルトランジスタと相関二重サンプリングスイッチトランジスタ間の信号バスに直列に接続された相関二重サンプリングコンデンサと、第3の電源バスに接続された高感度スイッチトランジスタと、第3の電源バスに接続された標準感度スイッチトランジスタとを有する。
本発明に係る撮像素子回路は、列バッファ回路を更に備え、デュアル感度選択及び補助回路及び列バッファ回路は、撮像素子内の画素の列によって共有される。好ましい実施の形態では、増幅器トランジスタ及び信号読出トランジスタは、撮像素子回路に関連したミラー容量を低減するために、1つのデュアルゲートトランジスタとして形成されている。
本発明に基づく撮像素子アレーは、画素の複数の列を有し、画素の各列に接続された列バッファと、列バッファと画素間に接続されたデュアル感度選択及び補助回路とを備える。デュアル感度選択及び補助回路は、列内の各画素に接続された信号バスに接続された高感度イネーブルトランジスタと、信号バスに接続された標準感度イネーブルトランジスタと、信号バスに接続された相関二重サンプリングスイッチトランジスタと、標準感度イネーブルトランジスタと相関二重サンプリングスイッチトランジスタ間の信号バスに直列に接続された相関二重サンプリングコンデンサと、各画素内の増幅器トランジスタに接続された電源バスに接続された高感度スイッチトランジスタと、電源バスに接続された標準感度スイッチトランジスタとを有する。
相関二重サンプリングによるロールシャッタを有する従来技術の4T画素回路の回路図である。 4T画素回路をプログラム可能な利得によって補助する従来技術(米国特許第5,892,540号)の列バッファの回路図である。 本発明を適用した4T画素回路の一実施の形態の回路図である。 ソースフォロワ増幅器にデュアルゲートトランジスタを採用した本発明の4T画素回路の好ましい実施の形態の回路図である。 4T画素回路と、iSoC撮像素子の各列を補助する列バッファとを含む標準感度モードの画素読出回路の回路図である。 4T画素回路と、iSoC撮像素子の各列を補助する列バッファとを含む標準感度モードの画素読出回路の回路図である。 4T画素回路と、iSoC撮像素子の各列を補助する列バッファとを含む高感度モードの画素読出回路の回路図である。 4T画素回路と、iSoC撮像素子の各列を補助する列バッファとを含む高感度モードの画素読出回路の回路図である。 本発明の動作をサポートするために、図2の画素回路に追加される回路の回路図である。
以下、当業者が本発明を実施及び利用できるように、並びに本発明の発明者が、本発明を実施するために最良と考える実施の形態を用いて、本発明を説明する。なお、当業者にとっては、様々に変更できることは明らかである。これらの変更、等価物、代替物は、全て、本発明の思想及び範囲内に含まれる。
デュアル感度モードをサポートする本発明に基づくイメージングシステムオンチップ(以下、iSoCという。)回路は、1画素当たり数個のトランジスタと、バイアス電源とを備え、高開口率、低雑音及び従来のCMOSイメージセンサ(CIS)プロセス技術との互換性を維持している。2つの感度モードは、1)標準感度(nominal sensitivity)及び大部分の照明条件における雑音を特徴とする標準感度モードと、2)より低い時間雑音を有する低照明レベルでの動作の高感度モード(enhanced sensitivity mode)とである。さらに、高感度モードは、低雑音での動作が可能であり、ISO感度(ISO speed)に基づく感度と、ISO感度に基づく雑音との両方を改善する。
好ましい実施の形態の標準感度モードにおける画素回路は、図3に示すように、4つのトランジスタからなる画素回路10であり、画素回路10は、3つの電源バス14、16、18と、1つの信号バス12とからなるバス構造によって補助されている。画素回路10は、標準感度モードでは、読出トランジスタM2と、増幅器トランジスタM3とからなるソースフォロワ増幅器として動作する。ソースフォロワ構成の読出トランジスタM2及び増幅器トランジスタM3は、PINフォトダイオード(光検出器)PDから信号を読み出すために、列バッファ内の電流源によって補助されている。NMOSのリセットトランジスタM1は、光電流及び暗電流を含む、光検出器で発生した電流をリセットするために用いられる。ソースフォロワ構成は、ノーブル(Noble)によって開示されており(IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-15, No. 4, April, 1968)、PINフォトダイオードは、サックス(Saks)(理論:Electron Device Letters, Vol. EDL-I, No. 7, July, 1980)及びテラニシ(Teranishi)(実現:米国特許第4,484,210号)によって開示されている。しかしながら、このソースフォロワの構成は、本発明の高感度モードを最適にサポートするためのものである。図3に示す4トランジスタの構成に加えて、図4に、画素回路10の好ましい他の実施の形態を示す。図4では、NMOSの読出トランジスタM2及び増幅器トランジスタM3をデュアルゲートトランジスタM2/M3に置換して、反転増幅器のミラー容量を最小にし、高感度モードの動作において、可能な限り高い感度と、可能な限り低い雑音とを達成することができる。
図3又は図4に示す標準感度(standard sensitivity:以下、SSという。)の画素回路10は、先行文献である米国特許第5,892,540号に開示されている基本的な列バッファの設計を用いて、読み出すことができる。図5a、5bに、標準感度での画素読出に必要な列バッファの追加された部品を含む信号回路(signal chain)を示す。NMOSのSSイネーブルトランジスタM9が追加されており、SSイネーブルトランジスタM9は、NMOSの読出トランジスタM2及び増幅器トランジスタM3による画素回路10のソースフォロワ読出用の電流源である。相関二重サンプリング(correlated double sampling:以下、CDSという。)トランジスタM6及び直列コンデンサCCDSは、この信号回路に含まれ、低雑音信号を、信号バス100を介して列バッファの残りの回路に供給する。スイッチトランジスタM5をイネーブルして、電源VDDからの電力をソースフォロワに供給する。先行文献に開示されているように、CDSトランジスタM6と直列コンデンサCCDSとは、相関二重サンプリング回路を構成しており、相関二重サンプリング回路は、フォトダイオードPDに蓄積された電荷を転送する前に、先ず、フローティング拡散コンデンサCFDがリセットされた後の画素リセット値を保存する。光検出器信号がフローティング拡散コンデンサCFDに転送され、直列コンデンサCCDSを介して読み出されると、kTC雑音は、実質的に除去される。列バッファ内の信号を処理する残りの回路は、米国特許第5,892,540号で開示されたものと同じである。
次に、高感度(High Sensitivity:以下、HSという。)モードの読出により達成される改善について説明する。既に説明したように、画素回路10の構成は、図3の単純な実施の形態又は図4の好ましい実施の形態と同じである。トランジスタM3は、ソースフォロワとして動作するのではなく、カスコード接続のCMOS反転増幅器(cascoded CMOS inverter)として動作し、トランジスタM2は、カスコードトランジスタ(cascoded CMOS inverter)として動作する。図6a、6bは、HSモードの信号回路の構成を示し、列バッファに更なる部品を追加している。
モザイク撮像素子の各画素でPINフォトダイオードPD1のHSモードの読出を開始するために、リセットトランジスタM1は、フローティング拡散コンデンサCFDを、SSモードの読出の多くの場合におけるような電源VDDの電圧ではなく、所定のリセット電圧VRSTにリセットする。リセット電圧VRSTは、iSoC撮像素子の複数の基準電圧の発生器によって供給されるプログラム可能な電圧である。次に、画素のリセットレベルは、列バッファ回路に読み込まれて、低雑音読出のための相関二重サンプリング処理が開始される。ソースフォロワ読出のために使用されるフロントエンドの列バッファ部品をイネーブルにするのではなく、PMOSの電流源トランジスタであるHSイネーブルトランジスタM7をイネーブルにして、画素トランジスタである読出トランジスタM2及び増幅器トランジスタM3とともに、カスコードCMOS反転増幅器を構成する。電流源トランジスタであるHSイネーブルトランジスタM7は、直列コンデンサCCDS及びCDSトランジスタM6とともに、改良した列バッファに配置される。スイッチトランジスタM8をイネーブルすると、電源VDDからの電圧をソースフォロワに供給する。
したがって、改良した列バッファは、標準感度モードと高感度モードとのデュアルモードの動作に必要な全ての追加部品及び関連する制御回路を含んでいる。図7は、米国特許第5,892,540号の列バッファに追加し、又は、その代わりに米国特許第7,046,284号の完全なiSoC信号回路に追加することにより、デュアル感度読出に対応した回路ブロックを示す。説明したように、直列コンデンサCCDSに加えて、スイッチトランジスタM5と、CDSトランジスタM6と、HSイネーブルトランジスタM7と、スイッチトランジスタM8と、SSイネーブルトランジスタM9とを用いることにより、SS読出モード又はHS読出モードのどちらにおいても、各画素を読み出すことができる。
スイッチトランジスタM8がHSイネーブル信号によってイネーブルにされて、画素トランジスタである読出トランジスタM2及び増幅器トランジスタM3と、HSイネーブルトランジスタM7とから構成される反転増幅回路が接地され、一旦、帰還増幅回路が形成されると、HSモードの読出を開始するために使用される特定のリセット電圧に関わらず、リセット電圧レベルは、この反転増幅回路を介して読み出される。その後、増幅されたリセット電圧レベルは、直列コンデンサCCDSに保存される。次に、NMOSの転送トランジスタM4の転送ゲートをイネーブルにすることによって、信号レベルが読み出され、フォトダイオードPDからの蓄積電荷は、フローティング拡散コンデンサCFDに転送される。
NMOSの読出トランジスタM2及び増幅器トランジスタM3は、PMOSのHSイネーブルトランジスタM7に接続され、スイッチトランジスタM8をイネーブルにすることによって、接地されたときに、ミラー積分器を形成する。CMOS反転増幅器の帰還容量は、ミラー容量Cである。ミラー容量Cは、カスコード構成を用い、読出トランジスタM2を最適にバイアスすることによって、最小化され、C=CgsM3+2CgdM3となる。ここで、CgsM3は、増幅器トランジスタM3のゲート−ソース間容量であり、CgdM3は、増幅器トランジスタM3のゲート−ドレイン間容量である。
CMOS反転増幅器の帰還動作によって、フローティング拡散コンデンサCFDの電圧レベルを、リセット期間中に設定されたDCレベルに略維持する。一方、フローティング拡散コンデンサCFDのリセット期間中のCMOS反転増幅器の出力電圧と比較して増幅される信号電圧は、その後、CMOS反転増幅器の出力を形成する。この信号、すなわち光検出器に電荷が蓄積されたときの信号は、転送された光検出器電流に、反転増幅器のトランスインピーダンスを乗じたものである。このトランスインピーダンスは、最小のミラー容量に反比例する。したがって、当業者にとって明らかなように、ミラー容量Cは、通常、共通のレイアウト方法を用いて、フローティング拡散コンデンサCFDの1/3〜1/4に設計されている。したがって、高感度モードでは、標準感度モードの3倍〜4倍の感度を得ることができる。高感度モードの場合、ミラー容量Cを、約1fF(フェムトファラド)〜数fFにすることが必要であるが、増幅器トランジスタM3の寄生容量を含む増幅回路の寄生容量を、市販の設計ツールを用いて算出し、特定の実装面積を、撮像素子の製品における実際の大きさに縮小した後、再度、最適化することによって、ミラー容量Cの設計目標を検証することができる。
上述した説明に基づき、ダイナミックレンジを許容できる限りにおいて、ミラー容量Cを更に低減することにより、より高い感度を達成することができる。したがって、図4のデュアルゲートトランジスタM2/M3のゲート−ドレイン間容量は、図3の画素回路10で達成可能な容量よりも更に小さいので、最も高い感度を達成する好ましいCMOSの実施の形態として、図4の実施の形態の画素回路10を開示する。図3において、増幅器トランジスタM3のゲート−ドレイン間容量は、ドレイン拡散領域でオーバラップしている容量であるが、図4におけるデュアルゲートトランジスタM2/M3は、より小さいゲート−ドレイン間容量を有し、この場合、ゲート−ドレイン間容量CgdM2/M3は、互いの電極のギャップによって形成される周縁の寄生容量(parasitic fringing capacitance)ではない。ゲート−ドレイン間容量CgdM2/M3は、最新のCMOSプロセス技術においては、非常に小さく、ミラー容量Cは、更に、増幅器トランジスタM3のゲート−ソース間容量CgsM3によって決まる値に低下する。
本発明によって、+6dB、+12dB又は更に高い感度が直接得られるとともに、時間雑音も減少することは、当業者にとっては明らかである。この種類のミラー積分器の時間雑音は、以下の簡略化された数式を用いることによって、推定することができる。
Figure 2011504067
ここで、Cは、CMOS反転増幅器の出力における負荷容量である。C=1pF、C=1fF、CFD=4fFと仮定すると、推定時間雑音は、約0.9e、すなわち1e以下である。これは、典型的な4T画素回路の雑音である3e〜5eに比較して、有利な値である。したがって、本発明は、感度を高めるのと同時に、ダイナミックレンジ及び露出寛容度を拡大する。
上述の好ましい実施の形態の様々な変更及び修正は、本発明の範囲及び精神を逸脱しない範囲で行うことができることは、当業者にとっては明らかである。したがって、特許請求の範囲内において、特にここに説明した実施の形態以外の形態で、発明を実施できることは、言うまでもない。

Claims (10)

  1. 少なくとも1つの画素回路と、
    デュアル感度選択及び補助回路とを備え、
    上記画素回路は、
    光検出器と、
    上記光検出器及び第1の電源バスに接続された転送トランジスタと、
    上記転送トランジスタ及び第2の電源バスに接続されたリセットトランジスタと、
    上記転送トランジスタ、上記リセットトランジスタ及び第3の電源バスに接続された増幅器トランジスタと、
    上記増幅器トランジスタ及び信号バスに接続された信号読出トランジスタとを有し、
    上記デュアル感度選択及び補助回路は、
    上記信号バスに接続された高感度イネーブルトランジスタと、
    上記信号バスに接続された標準感度イネーブルトランジスタと、
    上記信号バスに接続された相関二重サンプリングスイッチトランジスタと、
    上記標準感度イネーブルトランジスタと上記相関二重サンプリングスイッチトランジスタ間の上記信号バスに直列に接続された相関二重サンプリングコンデンサと、
    上記第3の電源バスに接続された高感度スイッチトランジスタと、
    上記第3の電源バスに接続された標準感度スイッチトランジスタとを有することを特徴とする撮像素子回路。
  2. 上記信号バスに接続された列バッファ回路を更に備えることを特徴とする請求項1記載の撮像素子回路。
  3. 上記デュアル感度選択及び補助回路と、上記列バッファ回路とは、撮像素子内の画素の列によって共有されることを特徴とする請求項2記載の撮像素子回路。
  4. 上記増幅器トランジスタ及び上記信号読出トランジスタは、当該撮像素子回路に関連したミラー容量を低減するために、1つのデュアルゲートトランジスタとして形成されていることを特徴とする請求項1記載の撮像素子回路。
  5. 上記信号バスに接続された列バッファ回路を更に備えることを特徴とする請求項4記載の撮像素子回路。
  6. 上記デュアル感度選択及び補助回路と、上記列バッファ回路とは、撮像素子内の画素の列によって共有されることを特徴とする請求項5記載の撮像素子回路。
  7. 上記高感度イネーブルトランジスタ及び上記高感度スイッチトランジスタは、高感度モードを選択するために、イネーブルにされ、
    上記標準感度イネーブルトランジスタ及び上記標準感度スイッチトランジスタは、標準感度モードを選択するために、イネーブルにされることを特徴とする請求項4記載の撮像素子回路。
  8. 上記高感度イネーブルトランジスタ及び上記高感度スイッチトランジスタは、高感度モードを選択するために、イネーブルにされ、
    上記標準感度イネーブルトランジスタ及び上記標準感度スイッチトランジスタは、標準感度モードを選択するために、イネーブルにされることを特徴とする請求項1記載の撮像素子回路。
  9. 画素の複数の列を有する撮像素子アレーにおいて、
    上記画素の各列に接続された列バッファと、
    上記列バッファと上記画素間に接続されたデュアル感度選択及び補助回路とを備え、
    上記デュアル感度選択及び補助回路は、
    上記画素の列内の各画素に接続された信号バスに接続された高感度イネーブルトランジスタと、
    上記信号バスに接続された標準感度イネーブルトランジスタと、
    上記信号バスに接続された相関二重サンプリングスイッチトランジスタと、
    上記標準感度イネーブルトランジスタと上記相関二重サンプリングスイッチトランジスタ間の上記信号バスに直列に接続された相関二重サンプリングコンデンサと、
    各画素内の増幅器トランジスタに接続された電源バスに接続された高感度スイッチトランジスタと、
    上記電源バスに接続された標準感度スイッチトランジスタとを有することを特徴とする撮像素子アレー。
  10. 上記高感度イネーブルトランジスタ及び上記高感度スイッチトランジスタは、高感度モードを選択するために、イネーブルにされ、
    上記標準感度イネーブルトランジスタ及び上記標準感度スイッチトランジスタは、標準感度モードを選択するために、イネーブルにされることを特徴とする請求項9記載の撮像素子アレー。
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