JP2011502330A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- (a)
i)銀金属、銀合金、酸化銀、銀塩およびこれらの混合物からなる群から選択される導電性銀粉末;
ii)1つまたは複数のガラスフリットであって、前記ガラスフリットの少なくとも1つが鉛フリーであるもの;
iii)Mg、Mgの金属酸化物、焼成の際にMgの金属酸化物を生成することができる任意の化合物、およびそれらの混合物よりなる群から選択されるMg含有添加剤であって、前記Mg含有添加剤が全組成物の0.1から10重量パーセントであるもの、および
iv)有機媒体を含み、
前記導電性銀粉末、前記1つまたは複数のガラスフリット、および前記Mg含有添加剤が、全て前記有機媒体中に分散された厚膜組成物と;
(b)1つまたは複数の絶縁膜と、
(c)1つまたは複数の基材と
を含む構造物であり;
焼成の際に、前記有機媒体が除去され、前記ガラスフリットと銀粉末とが焼結され、且つ、前記構造物が半導体デバイスである構造物。 - 前記Mg含有添加剤がMgOである請求項1に記載の構造物。
- 焼成の際に、前記1つまたは複数の絶縁膜に、前記厚膜組成物の成分が浸透する請求項1に記載の構造物。
- 前記半導体デバイスが太陽電池である請求項1から3のいずれか1項に記載の構造物。
- 前記厚膜組成物が、(a)Zn、Gd、Ce、Zr、Ti、Mn、Sn、Ru、Co、Fe、CuおよびCrから選択される金属;(b)Zn、Gd、Ce、Zr、Ti、Mn、Sn、Ru、Co、Fe、CuおよびCrから選択される金属の1つまたは複数の金属酸化物;(c)焼成の際に(b)の金属酸化物を生成することができる任意の化合物;ならびに(d)それらの混合物からなる群から選択される追加の添加剤をさらに含む請求項1に記載の構造物。
- (1)1つまたは複数の半導体基材、1つまたは複数の絶縁膜、および厚膜組成物を提供するステップであり、前記厚膜組成物が、
a)銀金属、銀合金、酸化銀、銀塩およびこれらの混合物からなる群から選択される導電性銀粉末、
b)1つまたは複数のガラスフリットであって、前記ガラスフリットの少なくとも1つが鉛フリーであるもの、
c)Mg含有添加剤であって、Mg、Mgの金属酸化物、焼成の際にMgの金属酸化物を生成することができる任意の化合物、およびそれらの混合物よりなる群から選択され、前記Mg含有添加剤が全組成物の0.1から10重量パーセントであるもの、および
d)有機媒体を含み、
前記導電性銀粉末、前記1つまたは複数のガラスフリット、および前記Mg含有添加剤が、全て前記有機媒体中に分散されているステップと、
(2)前記半導体基材上に前記絶縁膜を適用するステップと、
(3)前記半導体基材上の前記絶縁膜上に前記厚膜組成物を適用するステップと、
(4)前記半導体、絶縁膜および厚膜組成物を焼成するステップとを含み、
焼成の際に、前記有機ビヒクルが除去され、前記銀とガラスフリットとが焼結される
半導体デバイスの製造方法。 - a)銀金属、銀合金、酸化銀、銀塩およびこれらの混合物からなる群から選択される導電性銀粉末と;
b)1つまたは複数のガラスフリットであって、前記ガラスフリットの少なくとも1つが鉛フリーであるものと;
c)Mg含有添加剤であって、Mg、Mgの金属酸化物、焼成の際にMgの金属酸化物を生成することができる任意の化合物、およびそれらの混合物からなる群から選択され、前記Mg含有添加剤が全組成物の0.1から10重量パーセントであるものと、
d)有機媒体とを含み、
前記導電性銀粉末、前記1つまたは複数のガラスフリット、および前記Mg含有添加剤が、全て前記有機媒体中に分散されている厚膜組成物。 - 前記Mg含有添加剤がMgOである請求項7に記載の組成物。
- 前記厚膜組成物が、(a)Zn、Gd、Ce、Zr、Ti、Mn、Sn、Ru、Co、Fe、CuおよびCrから選択される金属;(b)Zn、Gd、Ce、Zr、Ti、Mn、Sn、Ru、Co、Fe、CuおよびCrから選択される金属の1つまたは複数の金属酸化物;(c)焼成の際に(b)の金属酸化物を生成することができる任意の化合物;ならびに(d)それらの混合物からなる群から選択される追加の添加剤をさらに含む請求項7に記載の組成物。
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---|---|---|---|---|
US7708831B2 (en) * | 2006-03-01 | 2010-05-04 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Process for producing ZnO single crystal according to method of liquid phase growth |
WO2009052266A1 (en) * | 2007-10-18 | 2009-04-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Conductive compositions and processes for use in the manufacture of semiconductor devices: mg-containing additive |
JP2011517117A (ja) * | 2008-04-09 | 2011-05-26 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 伝導性組成物、および半導体デバイスの製造における使用方法 |
US8283559B2 (en) * | 2009-04-09 | 2012-10-09 | Silevo, Inc. | Silicon-based dielectric stack passivation of Si-epitaxial thin-film solar cells |
KR101144810B1 (ko) * | 2009-07-06 | 2012-05-11 | 엘지전자 주식회사 | 태양전지용 전극 페이스트, 이를 이용한 태양전지, 및 태양전지의 제조방법 |
US9012766B2 (en) * | 2009-11-12 | 2015-04-21 | Silevo, Inc. | Aluminum grid as backside conductor on epitaxial silicon thin film solar cells |
US8227292B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-07-24 | E I Du Pont De Nemours And Company | Process for the production of a MWT silicon solar cell |
US8252204B2 (en) * | 2009-12-18 | 2012-08-28 | E I Du Pont De Nemours And Company | Glass compositions used in conductors for photovoltaic cells |
KR101038967B1 (ko) | 2009-12-21 | 2011-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
EP2558426B1 (en) * | 2010-04-15 | 2020-04-08 | Ferro Corporation | Low-melting lead-free bismuth sealing glasses |
US9214576B2 (en) | 2010-06-09 | 2015-12-15 | Solarcity Corporation | Transparent conducting oxide for photovoltaic devices |
JP5488282B2 (ja) * | 2010-07-13 | 2014-05-14 | 昭栄化学工業株式会社 | 導電性ペースト |
US9773928B2 (en) | 2010-09-10 | 2017-09-26 | Tesla, Inc. | Solar cell with electroplated metal grid |
US9800053B2 (en) | 2010-10-08 | 2017-10-24 | Tesla, Inc. | Solar panels with integrated cell-level MPPT devices |
US9129725B2 (en) | 2010-12-17 | 2015-09-08 | E I Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste composition containing lithium, and articles made therefrom |
US8486308B2 (en) | 2010-12-17 | 2013-07-16 | E I Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste composition containing lithium, and articles made therefrom |
US9309146B2 (en) | 2011-02-22 | 2016-04-12 | Guardian Industries Corp. | Vanadium-based frit materials, binders, and/or solvents and methods of making the same |
KR101941716B1 (ko) * | 2011-02-22 | 2019-01-23 | 가디언 인더스트리즈 코퍼레이션. | 바나듐-기초 프릿 물질 및 이를 제조하는 방법 |
US8802203B2 (en) | 2011-02-22 | 2014-08-12 | Guardian Industries Corp. | Vanadium-based frit materials, and/or methods of making the same |
CN102097183B (zh) * | 2011-02-24 | 2012-05-30 | 苏州晶银新材料股份有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池正面电极用导电浆料的制备工艺 |
CN102280207B (zh) * | 2011-05-30 | 2012-12-19 | 周涛 | 水热法制备有机氟掺杂硅太阳能电池用银浆工艺方法 |
US9054256B2 (en) | 2011-06-02 | 2015-06-09 | Solarcity Corporation | Tunneling-junction solar cell with copper grid for concentrated photovoltaic application |
US20140261975A1 (en) * | 2011-11-02 | 2014-09-18 | Ferro Corporation | Microwave Sealing Of Inorganic Substrates Using Low Melting Glass Systems |
WO2013130516A1 (en) * | 2012-02-27 | 2013-09-06 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Silver paste and use thereof in the production of solar cells |
CN102643615A (zh) * | 2012-04-21 | 2012-08-22 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池铝浆用无机粘结剂及其制备方法 |
JP2013243279A (ja) | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Namics Corp | 太陽電池の電極形成用導電性ペースト |
CN102751000B (zh) * | 2012-06-16 | 2015-05-06 | 合肥圣达电子科技实业公司 | 一种压电陶瓷用无铅无镉电极银浆料及其制备方法 |
CN102831958B (zh) * | 2012-08-24 | 2014-09-10 | 合肥中南光电有限公司 | 无铅环保型晶体硅太阳能电池正面银浆及其制备方法 |
CN104781936A (zh) | 2012-10-04 | 2015-07-15 | 喜瑞能源公司 | 具有电镀的金属格栅的光伏器件 |
US9865754B2 (en) | 2012-10-10 | 2018-01-09 | Tesla, Inc. | Hole collectors for silicon photovoltaic cells |
KR102079148B1 (ko) | 2012-10-19 | 2020-02-19 | 나믹스 가부시끼가이샤 | 도전성 페이스트 |
CN103021567A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-04-03 | 彩虹集团公司 | 一种硅基太阳能用正面电极银浆的制备方法 |
US9281436B2 (en) | 2012-12-28 | 2016-03-08 | Solarcity Corporation | Radio-frequency sputtering system with rotary target for fabricating solar cells |
US9219174B2 (en) | 2013-01-11 | 2015-12-22 | Solarcity Corporation | Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes |
US9412884B2 (en) | 2013-01-11 | 2016-08-09 | Solarcity Corporation | Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes |
US10074755B2 (en) | 2013-01-11 | 2018-09-11 | Tesla, Inc. | High efficiency solar panel |
CN104004454B (zh) * | 2013-02-21 | 2015-11-25 | 西北稀有金属材料研究院 | 一种无机粘结材料的制备方法及由此得到的无机粘结材料 |
US9624595B2 (en) | 2013-05-24 | 2017-04-18 | Solarcity Corporation | Electroplating apparatus with improved throughput |
JP2016528738A (ja) * | 2013-08-21 | 2016-09-15 | ジーティーエイティー・コーポレーション | 金属片を太陽電池へ連結するためのアクティブはんだの使用 |
US9793025B2 (en) * | 2013-12-03 | 2017-10-17 | E I Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste composition and semiconductor devices made therewith |
US9761742B2 (en) * | 2013-12-03 | 2017-09-12 | E I Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste composition and semiconductor devices made therewith |
EP3121819B1 (en) * | 2014-03-20 | 2019-12-25 | Namics Corporation | Conductive paste, processes using the conductive paste and uses of the conductive paste for forming a laminated ceramic component, printed wiring board and electronic device |
US10309012B2 (en) | 2014-07-03 | 2019-06-04 | Tesla, Inc. | Wafer carrier for reducing contamination from carbon particles and outgassing |
US9899546B2 (en) | 2014-12-05 | 2018-02-20 | Tesla, Inc. | Photovoltaic cells with electrodes adapted to house conductive paste |
US9947822B2 (en) | 2015-02-02 | 2018-04-17 | Tesla, Inc. | Bifacial photovoltaic module using heterojunction solar cells |
KR20170132837A (ko) | 2015-03-27 | 2017-12-04 | 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게 | 산화물 첨가제를 포함하는 전기-전도성 페이스트 |
US10056508B2 (en) | 2015-03-27 | 2018-08-21 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Electro-conductive pastes comprising a metal compound |
US10784383B2 (en) * | 2015-08-07 | 2020-09-22 | E I Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste composition and semiconductor devices made therewith |
US9761744B2 (en) | 2015-10-22 | 2017-09-12 | Tesla, Inc. | System and method for manufacturing photovoltaic structures with a metal seed layer |
US9842956B2 (en) | 2015-12-21 | 2017-12-12 | Tesla, Inc. | System and method for mass-production of high-efficiency photovoltaic structures |
US9496429B1 (en) | 2015-12-30 | 2016-11-15 | Solarcity Corporation | System and method for tin plating metal electrodes |
US10115838B2 (en) | 2016-04-19 | 2018-10-30 | Tesla, Inc. | Photovoltaic structures with interlocking busbars |
US10672919B2 (en) | 2017-09-19 | 2020-06-02 | Tesla, Inc. | Moisture-resistant solar cells for solar roof tiles |
US11190128B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-11-30 | Tesla, Inc. | Parallel-connected solar roof tile modules |
JP7256260B2 (ja) * | 2018-09-07 | 2023-04-11 | フエロ コーポレーション | 窒化ケイ素及び他の基板用の導電性厚膜ペースト |
CN111533458A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-08-14 | 湖北格纳斯新材料有限公司 | 一种环保型光伏太阳能电子浆料用玻璃粉的制备方法 |
US11772406B2 (en) * | 2021-01-25 | 2023-10-03 | Xerox Corporation | Printable unclonable function patterns |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4060661A (en) * | 1975-08-22 | 1977-11-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Voltage-dependent resistor |
NL7905817A (nl) * | 1979-07-27 | 1981-01-29 | Philips Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een zonnecel. |
US4416932A (en) * | 1981-08-03 | 1983-11-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick film conductor compositions |
US5011725A (en) * | 1987-05-22 | 1991-04-30 | Ceramics Process Systems Corp. | Substrates with dense metal vias produced as co-sintered and porous back-filled vias |
JPH0565456A (ja) | 1991-09-09 | 1993-03-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 気密封止用樹脂ペースト |
US5296413A (en) * | 1991-12-03 | 1994-03-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Automotive glass thick film conductor paste |
JPH06136298A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-17 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 銅系内部導体を有する低温焼成多層回路基板外部導体用ペースト |
JP3209089B2 (ja) * | 1996-05-09 | 2001-09-17 | 昭栄化学工業株式会社 | 導電性ペースト |
DE10116653A1 (de) * | 2001-04-04 | 2002-10-10 | Dmc2 Degussa Metals Catalysts Cerdec Ag | Leitfähigkeitspaste, damit erzeugte Artikel mit einer leitfähigen Beschichtung auf Glas, Keramik und emailliertem Stahl und Verfahren zu deren Herstellung |
US20040245507A1 (en) * | 2001-09-06 | 2004-12-09 | Atsushi Nagai | Conductor composition and method for production thereof |
US7435361B2 (en) | 2005-04-14 | 2008-10-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Conductive compositions and processes for use in the manufacture of semiconductor devices |
US7494607B2 (en) * | 2005-04-14 | 2009-02-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Electroconductive thick film composition(s), electrode(s), and semiconductor device(s) formed therefrom |
US7611645B2 (en) * | 2005-04-25 | 2009-11-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick film conductor compositions and the use thereof in LTCC circuits and devices |
US20080203914A1 (en) * | 2007-02-23 | 2008-08-28 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel and related technologies including method for manufacturing the same |
EP2203921A1 (en) * | 2007-10-18 | 2010-07-07 | E. I. du Pont de Nemours and Company | Lead-free conductive compositions and processes for use in the manufacture of semiconductor devices: flux materials |
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