JP2005525463A5

JP2005525463A5 -

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Publication number: JP2005525463A5
Application number: JP2003566269A
Authority: JP
Filing date: 2003-02-04
Publication date: 2006-03-23
Anticipated expiration: 2023-02-04

Claims

特に磁気的に増幅されたスパッタリングを行うためのスパッタリング装置のためのものであって、主としてニッケル酸化物ＮｉＯｘを含む本質的にセラミックのターゲットにおいて、
前記ニッケル酸化物が、化学量論的組成物に関して酸素が欠乏していることを特徴とするターゲット。
前記の化学量論的欠乏が、ニッケル酸化物粉末とニッケル粉末によって形成された緻密なブレンドの組成に由来していることを特徴とする請求項１に記載のターゲット。
式中のｘが狭義には１未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載のターゲット。
前記ターゲットが、１０Ωｃｍ未満の電気抵抗を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のターゲット。
前記ニッケル酸化物が少数元素で合金化されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のターゲット。
前記少数元素の原子パーセントが、ニッケルに関して計算して、５０％未満であることを特徴とする請求項５に記載のターゲット。
前記少数元素が、その酸化物が陽極着色時に電気活性材料になる物質であることを特徴とする請求項５又は６に記載のターゲット。
前記少数元素が、Ｃо、Ｉｒ、Ｒｕ及びＲｈから選択されることを特徴とする請求項７に記載のターゲット。
前記少数元素が、その酸化物が陰極着色時に電気活性材料になる物質であることを特徴とする請求項５又は６に記載のターゲット。
前記少数元素が、Ｍо、Ｗ、Ｒｅ、Ｓｎ、Ｉｎ及びＢｉあるいはこれらの元素の混合物から選択されることを特徴とする請求項９に記載のターゲット。
前記少数元素が、周期律表の１族に属する元素から選択されることを特徴とする請求項５又は６に記載のターゲット。
前記少数元素が、Ｈ、Ｌｉ、Ｋ及びＮａから選択されることを特徴とする請求項１１に記載のターゲット。
前記少数元素が、その水和もしくはヒドロキシル化酸化物がプロトン伝導性である、金属又はアルカリ土類又は半導体であることを特徴とする請求項５又は６に記載のターゲット。
前記少数元素が、Ｔａ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｕ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｖ及びＹあるいはこれらの元素の混合物から選択されることを特徴とする請求項１３に記載のターゲット。
磁気増幅スパッタリングによってニッケル酸化物を主体とした薄膜を製造する方法であって、請求項１〜１４のいずれか１項に記載のセラミックターゲットを使用することを特徴とする薄膜製造方法。
陽極着色をもったエレクトロクロミック材料をニッケル酸化物を主体とした薄膜として製造するために用いられることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
Ｈ⁺、Ｌｉ⁺又はＯＨ^-タイプのイオン及び電子を可逆的にかつ同時的に導入することが可能な、少なくとも１つの電気化学的に活性な層を含む複数の機能層の積層体を備えた少なくとも１つのキャリア基板を含む電気化学装置において、
前記の電気化学的に活性な層が、請求項１５に記載の方法及び（又は）請求項１〜１４のいずれか１項に記載のセラミックターゲットから得られたニッケル酸化物を主体としていることを特徴とする電気化学装置。
Ｈ⁺、Ｌｉ⁺又はＯＨ^-タイプのイオン及び電子を可逆的にかつ同時的に導入することが可能な、少なくとも１つの電気化学的に活性な層を含む複数の機能層の積層体を備えた少なくとも１つのキャリア基板を含む電気化学装置において、
前記の電気化学的に活性な層が、ニッケル酸化物を主体としており、前記の層が、少数元素であって、その酸化物が陽極着色時に電気活性材料になる、特にＣо、Ｉｒ、Ｒｕ及びＲｈあるいはこれらの元素の混合物から選択される少数元素で合金化されており、かつ前記の層が、請求項１〜８のいずれか１項に記載のターゲットから得られることを特徴とする電気化学装置。
Ｈ⁺、Ｌｉ⁺又はＯＨ^-タイプのイオン及び電子を可逆的にかつ同時的に導入することが可能な、少なくとも１つの電気化学的に活性な層を含む複数の機能層の積層体を備えた少なくとも１つのキャリア基板を含む電気化学装置において、
前記の電気化学的に活性な層が、ニッケル酸化物を主体としており、前記の層が、少数元素であって、その酸化物が陽極着色時に電気活性材料になる、特にＭо、Ｗ、Ｒｅ、Ｓｎ、Ｉｎ及びＢｉあるいはこれらの元素の混合物から選択される少数元素で合金化されており、かつ前記の層が、請求項１〜６及び９〜１０のいずれか１項に記載のターゲットから得られることを特徴とする電気化学装置。
Ｈ⁺、Ｌｉ⁺又はＯＨ^-タイプのイオン及び電子を可逆的にかつ同時的に導入することが可能な、少なくとも１つの電気化学的に活性な層を含む複数の機能層の積層体を備えた少なくとも１つのキャリア基板を含む電気化学装置において、
前記の電気化学的に活性な層が、ニッケル酸化物を主体としており、前記の層が、周期律表の１族に属する元素から選択され、特にＨ、Ｌｉ、Ｋ及びＮａあるいはこれらの元素の混合物から選択される少数元素で合金化されており、かつ前記の層が、請求項１〜６及び１１〜１２のいずれか１項に記載のターゲットから得られることを特徴とする電気化学装置。
Ｈ⁺、Ｌｉ⁺又はＯＨ^-タイプのイオン及び電子を可逆的にかつ同時的に導入することが可能な、少なくとも１つの電気化学的に活性な層を含む複数の機能層の積層体を備えた少なくとも１つのキャリア基板を含む電気化学装置において、
前記の電気化学的に活性な層が、その水和もしくはヒドロキシル化酸化物がプロトン伝導性であり、特にＴａ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｕ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｖ及びＹあるいはこれらの元素の混合物から選択される、金属又はアルカリ土類又は半導体であり、かつ前記の層が、請求項１〜６及び１３〜１４のいずれか１項に記載のターゲットから得られることを特徴とする電気化学装置。
特に建造物用や電車、航空機あるいは自動車のタイプの移動手段用のエレクトロクロミックガラス部材を形成するため、ディスプレイスクリーンの部材を形成するため、あるいはエレクトロクロミックミラーの部材を形成するために用いられることを特徴とする請求項１７〜２１のいずれか１項に記載の電気化学装置。