JP2011501456A

JP2011501456A - 電子回路のプレートを保管するための自動保管装置および方法

Info

Publication number: JP2011501456A
Application number: JP2010530571A
Authority: JP
Inventors: アンドレアバッチーニ，
Original assignee: アプライドマテリアルズイタリアエス．アール．エル．
Priority date: 2007-10-24
Filing date: 2008-03-05
Publication date: 2011-01-06
Also published as: TW200930182A; CN101868847A; WO2009053783A1; US8521324B2; CN101868847B; KR20100088633A; US20090265033A1; US20130140137A1; CN103151286A; ITUD20070196A1; US8386071B2; EP2208219A1

Abstract

第１の平面（Ｆ）に沿って電子回路のプレート（１１）を供給する供給ベルト（１２）と、上記供給ベルト（１２）の少なくとも一方の側に沿って位置決めされ、上記供給ベルト（１２）によって供給された上記電子回路のプレート（１１）が品質等級にしたがって分類される収集ボックス（１６）と、上記電子回路のプレート（１１）をそれぞれの収集ボックス（１６）に位置決めするために、上記供給ベルト（１２）と協働して配置されている１つ以上の除去ステーション（１３）とを備える、上記電子回路のプレート（１１）を保管するための自動保管装置（１０）および方法。上記保管方法（１０）は、上記供給ベルト（１２）の少なくとも一方の側に沿って配置された少なくとも２列の収集ボックス（１６）と、充填された収集ボックス（１６）を排出し、充填される新たな収集ボックス（１６）を位置決めするための、上記収集ボックス（１６）と関連した移動ユニット（１７）とを備える。
【選択図】図１

Description

発明の分野

本発明は、所定のサイズかつ薄型の電子回路のプレートを保管するための自動保管装置および関連する方法に関する。通常の包括的な例は電子回路のプレートであり、特に包括的には、特定のテストユニットで実行される品質テストから出る光起電セルやグリーンテープを作るために使用される電子回路のプレートである。特に、本発明にしたがった保管装置によって、プレートを別個に保管して、品質等級にしたがってプレートを分類することができる。

発明の背景

自動保管装置は既知であり、テストユニットの下流に配置され、特定の収集バスケットの電子回路の所定のタイプのプレートを自動的に保管して、相対的な品質等級にしたがってプレートを分離することができる。

このタイプの既知の保管装置は普通、テストユニットから出るプレートを移送するコンベヤベルトと、上記コンベヤベルト上方に配置され、かつプレートが属する特定の品質等級にしたがってそれぞれの収集バスケットにプレートを位置決めすることができる１つ以上の除去ステーションとを提供する。

収集バスケットは普通、コンベヤベルトの２つの側に一列に配置され、コンベヤベルトと実質的に同一平面にある。

バスケットは移動部材によって移動され、上記移動部材は、光起電セルのコンベヤベルトと実質的に同じ平面に配置される。

移動部材は、コンベヤベルトの一方の側に空の収集バスケットを位置決めし、かつ、収集バスケットが完全にプレートで満たされると収集バスケットを排出することができる。

この既知の解決法は、バスケットの位置決めと排出の両方が、コンベヤベルトの一方の側で、かつこれと同一平面で行われることを提供する。

したがって、既知の解決法によって、コンベヤベルトおよび除去ステーションの定期的な動作中断をし、充填される対応する空のバスケットをコンベヤベルトに対して同じ収集位置に位置決めできるようになる前に、１つ以上の満たされたバスケットが完全に排出されるのを待つ必要がある。

本発明の目的は、１つ以上の収集バスケットが交換されるのと同時であっても、プレートに対するコンベヤベルトおよび除去ステーションの実質的に連続する機能を可能にする電子回路のプレートのテストユニット用の自動保管装置を達成することである。

最新技術の欠陥を克服し、かつこれらおよび他の目的および利点を取得するために、出願人は本発明を考案し、テストし、具現化した。

本発明は独立請求項において説明および特徴付けられているが、従属請求項は本発明の他の特徴や、主要な本発明の概念の変形例について説明している。

本発明にしたがった、電子回路のプレート、特に包括的には光起電セルやグリーンテープなどを保管するための自動保管装置は、
−第１の平面に沿ってテストユニットから出る上記プレートを供給可能な供給手段と、
−上記供給手段の少なくとも一方の側に沿って位置決めされ、かつ上記供給手段によって移動された上記プレートが品質等級にしたがって分類される収集手段と、
−上記供給手段と協働して配置され、それぞれの収集手段に上記プレートを位置決め可能な１つ以上の除去ステーションとを備える。

上記目的によって、上記自動保管装置は、上記供給手段の少なくとも一方の側に沿って配置された少なくとも２列の収集手段を備えているため、第１の列の収集手段が満たされると、上記収集手段は関連する移動手段によって排出され、上記除去ステーションは、第２の列の対応する収集手段に上記プレートを位置決めし続ける。

したがって、本発明によって光起電セルを新たな列に位置決めさせるために、満たされた収集手段が完全に排出されるのを待つ必要がなく、上記収集手段に上記プレートを実質的に連続的に位置決めすることができる。

このように、プレートの位置決めと、完全に満たされた収集手段の排出とが実質的に最適化されるため、生産性を増大させることができる。

上記移動手段は、上記第１の平面とは異なり、更に、これと同一平面にない第２の平面に配置され、また、上記第２の平面に上記収集手段を移動させたり、上記供給手段に対して所望の方法で上記収集手段を位置決めしたり、上記収集手段を上記保管装置から排出したりすることができる点で好都合である。

したがって、この解決方法によって供給された上記光起電セルを第１の平面に有するが、上記収集手段は、上記第１の平面とは異なる第２の平面に移動される。

上記移動手段に対する上記供給手段の異なる平面への配置は、ロード条件下の他の収集手段や、上記除去ステーションや、上記供給手段のいずれとも干渉せずに、上記収集手段の自由な移動を可能にするためである。

変形例によると、上記移動手段は複数の横断ベルトを備え、各横断ベルトは、上記供給手段の一方の側に配置されている複数列の収集手段に対して横断的であり、かつこの下方の上記第２の平面に配置されている。

別の変形例によると、上記移動手段は、上記第２の平面と上記第１の平面の間に上記収集手段を移動させることができる１つ以上の位置決め部材を備えている。上記位置決め部材は、位置決め部材が、上記第１の平面に対応させて収集手段を保つ関連する収集手段をサポートする場合に、上記第２の平面に沿って、かつ上記第１の平面に保たれた上記収集手段の下方に他の収集手段を移動させることができるように合わせられる点で好都合である。

このように、特定のプレートを受け取るために上記供給手段に対する横方向位置で上記第１の平面にある収集手段もあるが、上記供給手段を動作的に中断させる必要なく、排出や新たな位置決めを行うために上記第２の平面上を同時に移動させることが可能な収集手段もある。

さらにまた、上記第２の平面にある上記移動手段は、上記供給手段の上下を物理的に移動するセグメントを含むことができるため、上記収集手段の位置決めは一方の側で生じ、この排出は、上記供給手段に対して反対側で生じさせることが可能である。

この解決法によって、上記プレートの除去に対する上記収集手段の移動を最適化し、場合によっては上記保管装置のバルク全体を制限することができる。

本発明の、これらおよび他の特徴は、添付の図面を参照した非制限的実施例として与えられた優先的な実施形態に関する以下の説明から明らかになる。

図１は、本発明にしたがった、電子回路のプレートを保管するための自動保管装置の横断図である。図２は、図１の自動保管装置の上方からの図である。図３は、図２の変形例を示している。図４は、図１の自動保管装置の拡大詳細を示している。図５は、図４の拡大詳細の三次元図である。図６は、図１の自動保管装置の変形例を示している。

実施形態の優先的な形態の詳細な説明

図１および図２に示されている実施形態を参照すると、電子回路のプレート１１、例えば光起電セルや、シリコンベースウェーハやグリーンテープなどを保管するための自動保管装置１０が概略的に示されている。

保管装置１０は、供給平面Ｆを画成する少なくとも１つの供給ベルト１２であって、この上には、実質的に既知のタイプの、かつ図示されていない、テストユニットまたはステーションから出るプレート１１が位置決めされており、プレートを自動保管装置１０に供給するための供給ベルト１２を備えている。テストユニットまたはステーションは自動保管装置１０の上流に、自動保管装置１０と一列に配置されている。

特に、テストステーションは個別プレート１１の生産品質を検証し、プレートが後に具体的に保管される際にしたがう関連した品質等級をプレートの各々と関連付ける。

自動保管装置１０は、平行した２列に配置され、かつ供給ベルト１２の２つの側に提供されている複数の収集ボックス１６を備えている。

収集ボックス１６は普通、収集ボックスが実質的に供給平面Ｆにある第１のロード位置に配置される。

変形例によると、収集ボックス１６は、実質的に同一平面のロード平面Ｃ上と、供給平面Ｆの下方にあり、第１のロード位置に配置される。

収集ボックス１６の各々において、特定のプレート１１は、この品質等級にしたがってロード可能である。

各列は、提供されている品質等級数にしたがって選択された所定数の収集ボックス１６を備える。

このように、第１の列に配置されている収集ボックス１６が完全に満たされると、同一の品質等級のプレート１１は、実質的に連続性を壊すことなく、第２の列の対応する収集ボックス１６にロードされる。

保管装置１０はまた、収集ボックス１６用の２つの供給タレット１４を具備しており、ここに収集ボックス１６は積層されており、プレート１１で完全に満たされたボックスを置換するために漸次開放される。

変形例によると、供給タレット１４は提供されず、収集ボックス１６は、積層されずに、先行および後続のワークステーションにしたがって供給および排出される。

自動保管装置１０はまた、この場合は２つの、１つ以上の除去ステーション１３を備え、これらは供給ベルト１２の上方に配置されており、また、供給ベルト１２からプレート１１を取り上げ、かつ第１および第２の列の両方の関連する収集ボックス１６にプレートを位置決めする吸引カップマニピュレータ１５を具備している。

この場合の各除去ステーション１３はロボット化されたタイプであり、例えば、本出願人の名義の欧州特許出願１７６８１７４号に説明されているタイプである。

各除去ステーション１３は、個別プレート１１の特定の品質等級を認識できるように、テストステーションに機能的に接続されるのが好都合である。

収集ボックス１６用の移動ユニット１７もまた、本発明にしたがった自動保管装置１０の一部であり、略平行な移動平面Ｍ上に、この場合は、供給ベルト１２がある供給平面Ｆの下方に配置されている。

収集ボックス１６がロード平面Ｃにある解決法では、移動平面Ｍは、供給平面Ｆの下方、かつロード平面Ｃの下方にある。

移動ユニット１７は複数の横断ベルト１９を備え、各横断ベルトは、供給ベルト１２の一方の側で、第１のロード位置に配置されている複数列の収集ボックス１６に対して横断的であり、かつこの下方の移動平面Ｍに配置されている。

横断ベルト１９は、新たな収集ボックス１６や満たされた収集ボックス１６を、移動平面Ｍ上に、ひいては、供給平面Ｆまたはロード平面Ｃにある収集ボックス１６の下方に移送することができる。

供給平面Ｆまたはロード平面Ｃにある収集ボックス１６の各々に対応して、移動ユニット１７は位置決め部材２０を備えている。

各位置決め部材２０は、実質的に供給平面Ｆまたはロード平面Ｃにあり、かつプレート１１で充填されるのに適した第１のロード位置と、実質的に移動平面Ｍにあり、かつ横断ベルト１９によって移送される、より下の第２の移送位置との間に収集ボックス１６を位置決めするために、各収集ボックス１６を垂直に移動することができる。

特に、各位置決め部材２０は、関連する横断ベルト１９の一方の側に対で配置されている４つの昇降アーム２１を備えている。

４つの昇降アーム２１は、いずれの場合も横断ベルト１９の下方に配置されており、かつ線形アクチュエータ２３によって順に移動される昇降プレート２２によって下部に接続されている。

昇降アームの移動は、図４および図５の破線で概略的に示されている。

各々の昇降アーム２１は、ロードおよび移送の２つの位置間の移動中に収集ボックス１６のサポートとして機能するように、収集ボックス１６の底部と協働可能な昇降ブラケット２５を備えている。

横断ベルト１９の一方の側への４つの昇降アーム２１の配置は、昇降アーム２１および／または第１のロード位置に保たれた可能な収集ボックス１６と干渉せずに、横断ベルト１９に沿って、新たな、または充填された収集ボックス１６の自由移動を可能にするのに十分幅広いものである。

特に、収集ボックス１６の第２の移送位置において、昇降ブラケット２５は、収集ボックス１６の移動と干渉しないように、移動平面Ｍのわずかに下方にある。

移動ユニット１７はまた、移動平面Ｍにあり、供給ベルト１２と実質的に略平行に移動可能であり、かつ横断ベルト１９の両端で対向する側に配置されている２つの移送スライダ２６を備えている。

このように、横断ベルト１９によって移送される収集ボックス１６は移送スライダ２６上にアンロードされるか、移送スライダから到着する。

各移送スライダ２６は、供給タレット１４の出口と協働する少なくとも１つの端部を有する。

このように、新たな収集ボックス１６が供給タレット１４またはラインから供給される場合、収集ボックス１６は移送スライダ２６に配置される。

この解決法では、各移送スライダ２６は、移送スライダ２６によって、横断ベルト１９に対して移送される収集ボックス１６を平行移動させて、満たされた収集ボックス１６を置換するための関連するベルト２７を備えている。

図２の変形例を参照すると、移動ユニット１７はまた、移動平面Ｍにあり、供給ベルト１２に略平行に面しており、かつ横断ベルト１９の端部を対向する側から接続可能な２つの移送ベルト１２６を備えている。

このように、横断ベルト１９によって移送される収集ボックス１６は、移送ベルト１２６にアンロードされ、あるいは移送ベルト１２６から到着する。

各移送ベルト１２６は、関連する供給タレット１４の出口と協働する少なくとも１つの端部を有する。

このように、新たな収集ボックス１６が供給タレット１４またはラインから供給されると、収集ボックス１６は移送ベルト１２６に配置される。

この解決法では、移送ベルト１２６の外部で、移送ユニット１７は、移送ベルト１２６の上で移動する（transiting）新たな収集ボックス１６を横断ベルト１９に対して押し付けて、満たされた収集ボックス１６を置換するための複数のスラスタ１２７を備えている。

本発明にしたがった自動保管装置１０は以下のように機能する。

まず、すべての空の収集ボックス１６は、供給ベルト１２の２つの側の２つの列を画成するために、位置決め部材２０によって第１のロード位置に保たれる。

供給ベルト１２によって供給されたプレート１１は、特定の品質等級にしたがって、除去ステーション１３によって漸次取り上げられ、また第１の列の収集ボックス１６に配置される。

第１の列の収集ボックス１６が充填されると、同一の品質等級のプレートは、第２の列の関連する収集ボックス１６にロードされる。

同時に、満たされた収集ボックス１６に関連する位置決め部材２０は、収集ボックスを第２の移送位置に持っていくために、収集ボックスを垂直に移動させる。

この時点で、関連する横断ベルト１９は、２つの移送スライダ２６のうちの一方に達するまで、満たされた収集ボックス１６をもう一方の収集ボックス１６の下に移送する。

これらの移動および移送中に、除去ステーション１３は、第１または第２の列の収集ボックス１６にプレート１１をロードするために、供給ベルト１２によって供給されるプレート１１を取り上げ続ける。

横断ベルト１９の垂直移動および起動は、新たな収集ボックス１６を２つの供給タレット１４のうちの一方によって開放することを命令する。

そして移送スライダ２６は一方の側で起動されて、満たされた収集ボックス１６を排出し、もう一方の側で、関連する横断ベルト１９に対応して新たな収集ボックス１６を移送する。

この条件で、スライダ２６のベルト２７は新たな収集ボックス１６を横断ベルト１９上に平行移動させ、横断ベルトは、位置決め部材２０に達するまで、収集ボックスを、ロード位置にあるもう一方の収集ボックス１６の下に移動させる。

この時点で、位置決め部材２０は新たな収集ボックス１６を持ち上げ、収集ボックスを第２の移送位置から第１のロード位置に持っていく。

しかしながら、パーツの修正および／または追加が、本発明の主旨および範囲から逸脱することなく、前述のように自動保管装置１０に対してなされてもよい。

例えば、図６に示されているように、移動ユニット１７が位置決め部材２０を具備してないということは、本発明の主旨内のことである。

この代替的解決法において、収集ボックス１６は常に、供給ベルト１２に対して一方の側につき２列で配置され、供給平面Ｆの下方でロード平面Ｃに一定に保たれ、充填されると移動平面Ｍを移動される。

収集ボックス１６間の干渉を防止するために、第１の列の収集ボックス１６の移動は供給ベルト１２の下方で実施可能であるが、第２の列の収集ボックス１６は、移送ベルト２６に対して反対側を移動可能である。

一部の変形例によると、供給ベルト１２、横断ベルト１９および／または移送ベルトは、特定の動作要件に応じて、連続的、段階的、あるいは一定または可変速度で選択的に移動可能である。

別の変形例によると、プレート１１は移送され、取り上げられ、対で置換される。

第２の移動平面および／または第２の供給平面を提供することも本発明の主旨内のことである。

本発明は一部の特定の実施例を参照して説明されてきたが、請求項で説明され、ひいては定義されている保護範囲内にある特徴を有する電気回路のプレート用の、多数の同等の形態の自動保管装置および保管方法を当業者は達成可能であることも明らかである。

１０…自動保管装置、１１…プレート、１２…供給ベルト、１３…除去ステーション、１４…供給タレット、１５…吸引カップマニピュレータ、１６…収集ボックス、１７…移動ユニット、１９…横断ベルト、２０…位置決め部材、２１…昇降アーム、２５…昇降ブラケット、２６…移送スライダ、２７…ベルト、１２６…移送ベルト、１２７…スラスタ。

Claims

電子回路のプレート（１１）を保管するための自動保管装置であって、
第１の平面（Ｆ）に沿って前記電子回路のプレート（１１）を供給可能な供給手段（１２）と、
前記供給手段（１２）の少なくとも一方の側に沿って位置決めされることが可能であり、前記供給手段（１２）によって供給された前記電子回路のプレート（１１）が品質等級にしたがって分類される収集手段（１６）と、
前記供給手段（１２）と協働して配置され、それぞれの収集手段（１６）に前記電子回路のプレート（１１）を位置決めすることができる１つ以上の除去ステーション（１３）と、
を備え、
前記供給手段（１２）の少なくとも一方の側に沿って配置された少なくとも２列の収集手段（１６）と、前記収集手段（１６）と関連し、前記充填された収集手段（１６）を排出し、充填される新たな収集手段（１６）を位置決めすることができる移動手段（１７）とを備えることを特徴とする、自動保管装置。
前記移動手段（１７）が、前記第１の平面（Ｆ）と異なり、かつこれと同一平面にない第２の平面（Ｍ）に配置されており、前記供給手段（１２）に対して所望の方法で前記収集手段を位置決めしたり、前記収集手段を前記保管装置（１０）から排出させたりするために、前記第２の平面（Ｍ）に前記収集手段（１６）を移動させることができることを特徴とする、請求項１に記載の保管装置。
前記移動手段（１７）が複数の横断ベルト（１９）を備え、各々が、前記複数列の収集手段（１６）に横断して、かつこの下方で前記第２の平面（Ｍ）に配置されていることを特徴とする、請求項２に記載の保管装置。
前記移動手段（１７）が、前記第１の平面（Ｆ）と前記第２の平面（Ｍ）の間に前記収集手段（１６）を移動させることができる１つ以上の位置決め部材（２０）を備えることを特徴とする、請求項２または３に記載の保管装置。
前記位置決め部材（２０）が、前記横断ベルト（１９）に対して水平に提供され、前記第１の平面（Ｆ）と前記第２の平面（Ｍ）の間で前記収集手段（１６）の移動を起動させることができる１つ以上の昇降アーム（２１）を備えることを特徴とする、請求項４に記載の保管装置。
各々の昇降アーム（２１）が、前記第１の平面（Ｆ）と前記第２の平面（Ｍ）の間での移動中にサポートとして機能するように、前記収集手段（１６）の底部と協働可能な昇降ブラケット（２５）を備えることを特徴とする、請求項５に記載の保管装置。
前記昇降アーム（２１）が、前記第２の平面（Ｍ）に沿った前記収集手段（１６）の自由移動を可能にするように、前記横断ベルト（１９）に対して幅の広い位置にあることを特徴とする、請求項５または６に記載の保管装置。
前記移動手段（１７）が、前記第２の平面（Ｍ）にあり、前記横断ベルト（１９）の端部を相互に接続可能な少なくとも１つの移送部材（２６、１２６）を備えることを特徴とする、請求項３〜７のいずれか一項に記載の保管装置。
複数の前記空の収集手段が積層されて漸次供給される少なくとも１つの供給タレット（１４）を備えることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の保管装置。
前記移送部材（２６、１２６）が前記供給タレット（１４）の出口と協働することを特徴とする、請求項８および９に記載の保管装置。
前記移動手段（１７）が、前記移送部材（２６、１２６）と協働して配置され、前記収集手段（１６）を前記移送部材（２６、１２６）から前記横断ベルト（１９）に対して平行移動させることができる複数の平行移動部材（２７、１２７）を備えることを特徴とする、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の保管装置。
前記移送部材が、前記横断ベルト（１９）に対して横断的に移動可能な少なくとも１つの移送スライダ（２６）を備えることを特徴とする、請求項８〜１１のいずれか一項に記載の保管装置。
前記移送部材が、前記横断ベルト（１９）に対して横断的に配置された少なくとも１つの移送ベルト（１２６）を備えることを特徴とする、請求項８〜１１のいずれか一項に記載の保管装置。
前記収集手段（１６）が、前記第１の平面（Ｆ）と前記第２の平面（Ｍ）の間に備えられた第３の平面（Ｃ）に配置されることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の保管装置。
電子回路のプレート（１１）を保管するための少なくとも１つの自動保管装置を備えるプラントであって、前記自動保管装置（１０）が、上流に配置され、更に、ここから前記電子回路のプレート（１１）が到着する少なくとも１つの動作ステーションと一列に動作可能に接続されていることを特徴とするプラント。
前記自動保管装置が、
第１の平面（Ｆ）に沿って前記電子回路のプレート（１１）を供給可能な供給手段（１２）と、
前記供給手段（１２）の少なくとも一方の側に沿って位置決め可能であり、前記供給手段（１２）によって供給された前記電子回路のプレート（１１）が品質等級にしたがって分類される収集手段（１６）と、
前記供給手段（１２）と協働して配置され、前記電子回路のプレート（１１）をそれぞれの収集手段（１６）に位置決めすることができる１つ以上の除去ステーション（１３）と、
を備え、
前記自動保管装置（１０）が、
前記供給手段（１２）の少なくとも一方の側に沿って配置された少なくとも２列の収集手段（１６）と、
前記収集手段（１６）と関連し、前記充填された収集手段（１６）を排出して、充填される新たな収集手段（１６）を位置決めすることができる移動手段（１７）と、
を備えることを特徴とする、請求項１５に記載のプラント。
電子回路のプレート（１１）を保管するための方法であって、少なくとも
供給手段（１２）によって、前記電子回路のプレート（１１）が第１の平面（Ｆ）に沿って供給される第１の供給ステップと、
前記供給手段（１２）と協働して配置された１つ以上の除去ステーション（１３）によって、前記電子回路のプレート（１１）がそれぞれの収集手段（１６）にロードされて、品質等級にしたがって分類される第２の除去ステップと、
を備え、
前記第２のステップにおいて、前記収集手段（１６）が前記供給手段（１２）の少なくとも一方の側に沿って少なくとも２列に配置されることを特徴とし、
移動手段（１７）によって、前記充填された収集手段（１６）が排出され、充填される新たな収集手段（１６）が位置決めされる少なくとも第３の移動ステップを備えることを特徴とする方法。
前記第３のステップにおいて、前記移動手段（１７）が、前記供給手段（１２）に対して所望の方法で収集手段を位置決めしたり、収集手段を前記保管装置（１０）から排出したりするために、前記第１の平面（Ｆ）とは異なり、かつこれと同一平面にない第２の平面（Ｍ）に配置されており、前記第２の平面（Ｍ）で前記収集手段（１６）を移動させることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
前記第３のステップが、１つ以上の位置決め部材（２０）によって、前記収集手段（１６）が前記第１の平面（Ｆ）と前記第２の平面（Ｍ）との間に移動される少なくとも１つの位置決めサブステップを備えることを特徴とする、請求項１８に記載の方法。
前記第３のステップにおいて、前記移動手段（１７）が、前記第１の平面（Ｆ）とは異なり、かつこれと同一平面にない第２の平面（Ｍ）に配置され、前記第1の平面（Ｆ）と前記第２の平面（Ｍ）の間に備えられた第３の平面に前記収集手段（１６）を維持することを特徴とする、請求項１７に記載の方法。