JP2011501342A - ビット線をグランドレベルにプリチャージする構成のスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリにおける読み出し動作 - Google Patents

ビット線をグランドレベルにプリチャージする構成のスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリにおける読み出し動作 Download PDF

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Abstract

スピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)における読み出し動作のためのシステム、回路及び方法が開示される。複数のビット線、ワード線及びソース線の一つにそれぞれ連結された複数のビットセルが備えられる。複数のビット線の一つにそれぞれ対応する複数のプリチャージトランジスタは、読み出し動作前にビット線をグランドにディスチャージする。
【選択図】図4A

Description

本発明の実施形態は、ランダムアクセスメモリ(RAM)に関する。特に、本発明の実施形態は、スピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM:Spin Transfer Torque Magnetoresistive Random Access Memory)における読み出し動作に関する。
ランダムアクセスメモリ(RAM)は、現代のデジタルアーキテクチャにおいて遍在する素子である。RAMは、独立型のデバイスにすることも可能であるし、デバイス内に集積又は埋め込むことも可能である。RAMは、当業者によって認識されているように、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、ASICs(application specific integrated circuits)、SoC(system-on-chip)などのデバイスとして使用される。RAMは、揮発性又は不揮発性である。揮発性RAMは、電力供給を止める度に記憶された情報を失う。不揮発性RAMは、メモリから例え電力供給を止めてもメモリ素子にそれを維持できる。不揮発性RAMは電力供給なしに素子にそれを維持することができる利点があるが、従来の不揮発性RAMは読み出し/書き込み時間が揮発性RAMよりも遅い。
磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)は、不揮発性メモリ技術であり、揮発性メモリと同等のレスポンス(読み出し/書き込み)時間を有する。従来のRAM技術は電荷又は電流を流してデータを記憶するのに対して、MRAMは磁気素子を使用する。図1A及び図1Bに示すように、磁気トンネル接合(MTJ:Magnetic tunnel Junction)記憶素子100は、磁場が印加されかつ絶縁(トンネルバリア)層120で分離された2つの磁性層110,130で形成される。2つの磁性層のうちの一方(例えば、固定層110)は、特定の極性にセットされている。もう一方(例えば自由層130)の極性132は、外部磁場の印加と整合して変化するために自由である。自由層130の極性132の変化は、MTJ記憶素子100の抵抗を変化させる。例えば、図1Aの極性が整列されたとき、低抵抗状態となる。図1Bの極性が整列されないとき、高抵抗状態となる。MTJ100の図は簡単に示されているが、各層が1以上の層を有して示されることは当業者において周知の技術である。
図2Aにおいて、従来のMRAMのメモリセル200の読み出し動作を示す。セル200は、トランジスタ210、ビット線220、デジット線230及びワード線240を含む。セル200は、MTJ素子100の電気抵抗を測ることで読み出される。例えば、特定のMTJ100は対応するトランジスタ210が動作することで選択され、ビット線220からMTJ100を通ってトランジスタ210に電流が流れる。トンネル磁気抵抗効果によって、MTJ100の磁気抵抗は、2つの磁性層(例えば110,130)の極性の配向をもとに変化する。特定のMTJ100内の抵抗は、自由層の極性の結果から、電流によって決定される。慣習的に、固定層110及び自由層130が同じ極性であれば、抵抗は低く、“0”が読み出される。固定層110及び自由層130が反対の極性であれば、抵抗は高く、“1”が読み出される。
図2Bにおいて、従来のMRAMのメモリセル200の書き込み動作を示す。MRAMの書き込み動作は、磁気動作である。従って、書き込み動作の間、トランジスタ210はOFFである。磁場250,260を作り出すために、ビット線220及びデジット線230を通って電流が流され、MTJ100の自由層の極性及びセル200の論理状態に作用する。その結果、MTJ100にデータが書き込まれ、かつ記憶される。
MRAMは、高速、高密度(すなわち、ビットセルサイズが小さい)、低消費電力、オーバータイムのデグラレーションがないというような、いくつかの好ましい特性を有し、ユニバーサルなメモリとして候補になっている。しかしながら、MRAMはスケーラビリティの問題がある。特に、ビットセルが小さくなるにつれ、メモリ状態を切り替えるために使われる磁場が増加する。従って、大きな磁場を印加するために電流密度及び消費電力が増加するので、MRAMのスケーラビリティには限界がある。
従来のMRAMと異なり、スピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)は、電子が薄膜(スピンフィルタ)を通過することでスピン偏極された電子を使う。STT−MRAMは、スピントランスファートルクRAM(STT−RAM)、スピントルクトランスファー磁気スイッチングRAM(Spin−RAM)、スピンモーメントトランスファー(SMT−RAM)としても知られている。書き込み動作の間、スピン偏極電子は、自由層でトルクとして作用し、自由層の極性を切り替える。読み出し動作は、前述したように、MTJ記憶素子の抵抗/論理状態を決定するために電流が使われる、従来のMRAMと似ている。図3Aに示すように、STT−MRAMのビットセル300は、MTJ305、トランジスタ310、ビット線320及びワード線330を含む。トランジスタ310は、MTJ305を通って電流が流れることを許可するために読み出し及び書き込み動作においてスイッチする。そのため、論理状態が読み出され又は書き込まれる。
図3Bにおいて、読み出し/書き込み動作をさらに説明するために、STT−MRAMセル301の詳細な図が示される。前述に加えて、MTJ305、トランジスタ310、ビット線320、ワード線330、ソース線340、センスアンプ350、読み出し/書き込み回路360及びビット線リファレンス370のような素子について説明する。上述したように、STT−MRAMの書き込み動作では電子が使われる。読み出し/書き込み回路360は、ビット線320及びソース線340間の書き込み電圧を発生する。ビット線320及びソース線340間の電圧の極性に従って、MTJ305の自由層の極性を変えることができ、これに対応して論理状態をセル301に書き込みことができる。また、読み出し動作の間、読み出し電流が発生させられ、MTJ305を介してビット線320及びソース線340間に流れる。トランジスタ310を介して電流が流れることを許可するとき、MTJ305の抵抗(論理状態)は、リファレンス370と比較して、ビット線320及びソース線340間の電圧差をもとに決定され、センスアンプ350によって増幅される。メモリセル301の動作及び構造を認識する当業者においてよく知られている。例えば、M. Hosomi, et al., A Novel Nonvolatile Memory with Spin Transfer Torque Magnetoresistive Magnetization Switching: Spin-RAM, proceedings of IEDM conference (2005)において、詳細が述べられ、全体を参照することで具体化される。
STT−MRAMの電気書き込み動作は、MRAMの磁気書き込み動作のため、スケールの問題を無くす。さらに、回路設計は、STT−MRAMの場合は複雑さが少ない。しかしながら、読み出し及び書き込み動作は、MYJ305を通って電流が流れることによって実行される。読み出し動作のためのポテンシャルは、MTJ305で記憶されたデータに妨害を及ぼす。例えば、読み出し電流は、書き込み電流の閾値と同等かそれ以上の大きさがある。そのため、読み出し動作の相当の機会はMTJ305の論理状態を妨害し、メモリの保全性が劣化する。
本発明の代表的な実施形態は、STT−MRAMの読み出し動作のためのシステム、回路及び方法を示す。
よって、本発明の一実施形態は、複数のビット線の一つ、複数のワード線の一つ及び複数のソース線の一つにそれぞれ連結された複数のビットセルと、複数のビット線の一つにそれぞれ対応し、読み出し動作前にビット線をグランドにディスチャージする複数のプリチャージトランジスタとを具備するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)アレイを含む。
本発明の他の実施形態は、複数のビット線の一つ、複数のワード線の一つ及び複数のソース線の一つにそれぞれ連結された複数のビットセルと、複数のビット線の一つを選択する読み出しマルチプレクサと、読み出しマルチプレクサの出力に連結し、読み出し動作前に選択されたビット線をグランドにディスチャージする複数のプリチャージトランジスタとを具備するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)アレイを含む。
本発明の他の実施形態は、読み出し動作前に少なくとも選択されたビット線をグランド電位にディスチャージすることと、選択されたビット線でビットセルを選択することと、読み出し動作の間、ビットセルの値を読み出すこととを具備するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)のメモリ読み出し方法を含む。
添付図は、本発明の実施形態の説明を助けるためにあり、単に実施形態を示すために与えられ、これに限定されない。
磁気トンネル接合(MTJ)記憶素子の図。 磁気トンネル接合(MTJ)記憶素子の図。 読み出し動作時の磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)セルの図。 書き込み動作時の磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)セルの図。 スピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)セルの図。 スピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)セルの図。 グランドレベルにプリチャージするSTT−MRAMのビットセルアレイの図。 グランドレベルにプリチャージするSTT−MRAMのビットセルアレイの他の図。 STT−MRAMの読み出し動作のための信号レベルを示すグラフ。 STT−MRAMの読み出し動作のための信号レベルを示す他の実施形態のグラフ。
本発明の実施形態は、本発明の具体的な実施形態を示す図に関連させて、以下に詳説する。各実施形態は、本発明の要旨を逸脱せずに変形可能である。さらに、本発明の実施形態に関連する詳細を不明確にしないために、本発明におけるよく知られた素子は詳細に説明しない又は省略する。
「代表的な(exemplary)」というワードは、「例えば(example)、事例(instance)、実例(illustration)として与える」という意味で、ここでは使われる。代表的な(exemplary)として述べられるいくつかの実施形態は、他の実施形態よりも優先的に解釈される又は他の実施形態を超える利点が要求されるものではない。さらに、「本発明の実施形態(embodiments of the invention)」というタームは、論議の特徴、利点又は動作モードを含む本発明の全ての実施形態を要求するものではない。
従来技術で述べたように、STT−MRAMは各セルに低い書き込み電流を使い、これはMRAMより優るこのメモリタイプの利点である。しかし、セルの読み出し電流は、書き込み電流の閾値に近い又は高く、誤書き込み動作の発生を引き起こす。この問題を軽減するために、読み出し動作の間におけるビット線(BL)の電圧レベルは、書き込み閾値電圧よりも低い値に維持される。
慣習的に、ビット線(BL)電圧は、中間電圧(例えば、0.4V)にプリチャージされる。しかし、本発明の実施形態において、プリチャージタイムの間、ロウ又はグランドレベルにBLは維持される。読み出しコマンドが要求されたとき、選択されたBLのマルチプレクサ(mux)はイネーブルされる。このmuxを介して、電流源(例えば、PMOSトランジスタ)がBLに電荷を供給する。非選択のBLはロウ又はグランドレベルに維持され、読み出しの妨害はない。選択されたBLはある電圧レベルにセットされる。この電圧レベルは、書き込み閾値レベルよりも低い。また、実施形態は、読み出し動作電流及び全体的な消費電力を減少できる。
図4Aにおいて、STT−MRAMアレイ400の一部が図示される。例えば、4本のビット線BL0−BL3のそれぞれは、プリチャージ線415に連結(couple)されたプリチャージトランジスタ410−413を有して図示される。プリチャージ線415は読み出し動作の前に活性化され、ビット線(BL0−BL3)で既知のリファレンス値を創り出す。プリチャージ信号(Pre)が動作(ハイ)するとき、本発明の実施形態では、トランジスタ410−413を介してロウ又はグランド電位にビット線がディスチャージする。信号に関する追加の詳細は、図5Aに関連して以下に述べる。
各ビット線(BL0−BL3)は、慣習的にロウ(例えばRow0−Rown)に配置された複数のビットセルに連結される。各ロウは、関連するワード線(WL0−WLn)及びソース線(SL0−SLn)を有する。各ビットは、従来技術(例えば、図3A及び図3B参照)で述べたように、MTJ(例えば、420)及びワード線トランジスタ(例えば、430)を含む。各ビット線BL0−BL3は、読み出されるビット線BL0−BL3を選択するために、関連する読み出しマルチプレクサ(RD Mux0−RD Mux3)を有する。ロウは、ワード線が活性化されることで決定される。ビットセルは、ビット線及びワード線の交点をもとに選択される。
電流源450は、選択されたビットセルの値を読み出すために供給される。読み出し値は、センスアンプ460に接続されたリファレンス値440(BL_Ref)と比較される。センスアンプ460は、読み出し値とリファレンス値との差をもとに、ビットセルの値の信号を出力する。上述するように、読み出し動作の間、非選択のビット線(例えば、BL1−BL3)は、プリチャージトランジスタ410−413によってディスチャージされた後、グランドレベル近くに維持される。
前述の回路図は例として単に与えられていることを認識されたい。本発明の実施形態はこの図示された例に限定されない。例えば、SL0がWL0及びWL1間でシェアされるように、ソース線が複数のワード線間でシェアされてもよい。同様に、ソース線は、図示されるようにビット線と実質的に垂直である代わりに、ビット線と平行に配置されてもよい。さらに、同じ機能を果たす他のデバイスを使うことも可能である。例えば、種々のビット線に選択的に接続するいくつかのスイッチングデバイスを、読み出しマルチプレクサの代わりに使うことも可能である。
図4Bは、ビット線にグランドレベルがプリチャージされたSTT−MRAMアレイ401の他の実施形態を示す。図において、多くの素子は、図4Aと関連して述べられたこれらと似ている。従って、同じ参照符号を使い詳細な説明は省略する。
図4Bにおいて、STT−MRAMアレイ401の一部が図示される。例えば、4本のビット線BL0−BL3が図示される。プリチャージ線415は読み出し動作の前に活性化され、ビット線(BL0−BL3)で既知のリファレンス値を創り出す。アレイ401において、図4Aに示されるように各ビット線に連結されたプリチャージトランジスタを有する代わりに、シェアされたプリチャージトランジスタ480が使われることも可能である。線415においてプリチャージコントロール信号(pre)を受けているとき、プリチャージトランジスタ480は、グランドレベルにするために、共通のビット線470にディスチャージして活性化させることが可能である。読み出しマルチプレクサ(例えば、RD Mux0)を介してビット線(例えば、BL0)が選択されたとき、ビット線はセンスアンプ460と共通のビット線出力470に接続される。一実施形態では、全てのビット線BL0−3は、関連する読み出しマルチプレクサ(又はスイッチ)RD Mux0−3がイネーブルすることによって、選択されることが可能である。ビット線がディスチャージされている間、読み出し動作において電流の流れを防ぐために、電流源450は読み出し動作(例えば、ワード線に対応するイネーブル信号がイネーブルする)の前にディセーブルさせることが可能である。図4Aにおける電流源450は、読み出し動作の間、ディセーブルと似ていてもよく、イネーブルされる。信号に関する追加の詳細は、図5Bに関連して以下に述べる。
図5Aは、本発明の実施形態による図4Aの回路における信号を示す。プリチャージ信号510(pre)は、読み出し動作の前にハイレベルに維持され、プリチャージトランジスタ(例えば、図4Aの410参照)を活性化し、グランド電位にビット線をディスチャージする。読み出し動作の間、プリチャージ信号510はロウ状態に変わり、プリチャージトランジスタはゲートオフされる。さらに、読み出しマルチプレクサイネーブル信号520(Rd mux enable)は、ワード線イネーブル信号530(WL)として活性化される。上述したように、特定の読み出しマルチプレクサ(例えば、RD Mux0)をイネーブルすることによって、ビット線(例えば、BL0)が選択される。同様に、特定のワード線の活性化は、特定のロウにおいて関連するワード線トランジスタ(例えば、430)を活性化する。ワード線及びビット線の交点は、読み出される特定のビットセルを選択する。電流源イネーブル535によってイネーブルされるとき、MTJ(例えば、420)の抵抗及び電流源(例えば、450)によって供給される電流に比例して、ビット線電圧540は増加する。上述するように、MTJは、各状態(例えば、“0”と“1”)によって抵抗値が異なる。従って、ビット線電圧540は、MTJの状態をもとに変化する。この変化は、ビットセルの値を確定するために、リファレンス値(例えば、BL_ref)に関するセンスアンプで検出される。
図5Bは、本発明の実施形態による図4Bの回路における信号を示す。プリチャージ信号511(pre)は、読み出し動作の前にハイレベルに維持され、プリチャージトランジスタ(例えば、図4Bの480参照)を活性化する。さらに、読み出しマルチプレクサイネーブル信号521(選択されたビット線のためのRd mux enable)は、選択されたビット線をプリチャージトランジスタに接続することを許すために活性化され、読み出し動作の前にグランド又はロウ電位にディスチャージされる。図示するように、選択されたビット線読み出しマルチプレクサイネーブル521は、維持される。非選択のビット線のための読み出しマルチプレクサイネーブル信号522は、ロウ状態に変わり、読み出し動作の前に非選択のビット線に接続される。あるいは、プリチャージトランジスタを非活性化する(例えば、511)前に、選択されたビット線のための読み出しマルチプレクサイネーブル521のみを活性化することも可能である。読み出し動作の間、プリチャージ信号511はロウ状態に変わり、プリチャージトランジスタは非活性化(例えば、ゲートオフ)される。プリチャージトランジスタがゲートオフされた後、ワード線イネーブル信号530(WL)は活性化されることが可能である。さらに、プリチャージトランジスタがゲートオフされた後、電流源(例えば、450)がイネーブルされる(例えば、535)。上述したように、特定の読み出しマルチプレクサ(例えば、RD Mux0)をイネーブルすることによって、ビット線(例えば、BL0)が選択される。同様に、特定のワード線の活性化は、特定のロウにおいて関連するワード線トランジスタ(例えば、430)を活性化する。ワード線及びビット線の交点は、読み出される特定のビットセルを選択する。MTJ(例えば、420)の抵抗及び電流源(例えば、450)によって供給される電流に比例して、ビット線電圧540は増加し、読み出し動作の間に電流源イネーブル535によってイネーブルされる。上述するように、MTJは、各状態(例えば、“0”と“1”)によって抵抗値が異なる。従って、ビット線電圧540は、MTJの状態をもとに変化する。この変化は、ビットセルの値を確定するために、リファレンス値(例えば、BL_ref)に関するセンスアンプで検出される。
しかし、前述の開示は本発明の実施形態の例を示し、本発明の実施形態はこれらの例に限定されない。例えば、図5A及び図5Bに示された特定の信号のシーケンスは、作用が維持できる限り変形することが可能である(例えば、読み出しマルチプレクサ、ワード線及び電流源がビットセルの読み出し前にイネーブルされる)。さらに、本発明の実施形態は、ここで議論されたファンクション、ステップ、アクションのシーケンス、及び/又はアルゴリズムを実行するための方法を含むことが可能である。例えば、本発明の実施形態は、読み出し動作の前に少なくとも選択されたビット線をグランド電位にディスチャージすること(例えば、図5Aの510又は図5Bの511参照)を有するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)におけるメモリ読み出し方法を含むことも可能である。ビットセルは、選択されたビット線(例えば、図5Aの520及び530又は図5Bの521、522及び530)で選択されることが可能である。そのとき、読み出し動作の間のビットセルの値(例えば、図5A又は図5Bの540参照)である。
前述した開示は本発明の実施形態の例を示すが、添付のクレームによって定められたように、本発明の実施形態の要旨を逸脱しない範囲で変更及び変形することが可能である。例えば、トランジスタ/回路に対応する特定のロジック信号を活性化させ、トランジスタ/回路を相補デバイスに変形(例えば、PMOS及びNMOSデバイスを交換する)してもよいように、開示された機能を達成するために適切に変更してもよい。同様に、ここで述べられた本発明の実施形態における方法のファンクション、ステップ、及び/又はアクションは、特定の順番による実行は必要でない。さらに、本発明の素子は単数で述べられ又はクレーム化されているが、明確に単数に定めることに限定していない限り、複数も考えられる。

Claims (18)

  1. 複数のビット線の一つ、複数のワード線の一つ及び複数のソース線の一つにそれぞれ連結された複数のビットセルと、
    前記複数のビット線の一つにそれぞれ対応し、読み出し動作前にビット線をグランドにディスチャージする複数のプリチャージトランジスタと
    を具備するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)アレイ。
  2. 前記プリチャージトランジスタはNMOSトランジスタである請求項1に記載のSTT−MRAMアレイ。
  3. 前記ビットセルのそれぞれは、
    記憶素子と、
    前記記憶素子に連結されたワード線トランジスタと
    を具備する請求項1に記載のSTT−MRAMアレイ。
  4. 前記記憶素子は磁気トンネル接合(MTJ)であり、前記ワード線トランジスタは前記MTJと直列に連結される請求項3に記載のSTT−MRAMアレイ。
  5. 電流源に連結された第1の入力とビット線リファレンスに連結された第2の入力とを有するセンスアンプと、
    複数の読み出しマルチプレクサと
    をさらに具備し、
    前記読み出しマルチプレクサのそれぞれは、前記ビット線の一つに対応し、前記ビット線の一つを前記センスアンプの前記第1の入力に選択的に連結する請求項1に記載のSTT−MRAMアレイ。
  6. 複数のビット線の一つ、複数のワード線の一つ及び複数のソース線の一つにそれぞれ連結された複数のビットセルと、
    前記複数のビット線の一つを選択する読み出しマルチプレクサと、
    前記読み出しマルチプレクサの出力に連結し、読み出し動作前に選択されたビット線をグランドにディスチャージする複数のプリチャージトランジスタと
    を具備するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)アレイ。
  7. 前記プリチャージトランジスタはNMOSトランジスタである請求項6に記載のSTT−MRAMアレイ。
  8. 前記ビットセルのそれぞれは、
    記憶素子と、
    前記記憶素子に連結されたワード線トランジスタと
    を具備する請求項6に記載のSTT−MRAMアレイ。
  9. 前記記憶素子は磁気トンネル接合(MTJ)であり、前記ワード線トランジスタは前記MTJと直列に連結される請求項8に記載のSTT−MRAMアレイ。
  10. 電流源及び前記読み出しマルチプレクサ前記出力に連結された第1の入力とビット線リファレンスに連結された第2の入力とを有するセンスアンプをさらに具備する請求項6に記載のSTT−MRAMアレイ。
  11. 読み出し動作前に少なくとも選択されたビット線をグランド電位にディスチャージすることと、
    前記選択されたビット線でビットセルを選択することと、
    前記読み出し動作の間、前記ビットセルの値を読み出すことと
    を具備するスピントランスファートルク磁気ランダムアクセスメモリ(STT−MRAM)のメモリ読み出し方法。
  12. 読み出しマルチプレクサを用いて前記選択されたビット線を選択することと、
    前記ビットセルに連結されたワード線を活性化することと、
    前記ビットセルを読み出すために前記選択されたビット線に電流を流すことと
    をさらに具備する請求項11に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
  13. 前記ビットセルは、
    磁気トンネル接合(MTJ)と、
    前記MTJに直列に連結されたワード線トランジスタと
    を具備する請求項12に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
  14. 前記読み出し動作前に少なくとも複数のビット線の一つにディスチャージすることをさらに具備する請求項11に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
  15. 前記複数のビット線は前記選択されたビット線を含み、各ビット線は関連するプリチャージトランジスタを有し、前記プリチャージトランジスタは前記ビット線に連結されて前記ビット線にディスチャージする請求項14に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
  16. 前記複数のビット線に連結された読み出しマルチプレクサをイネーブルする前に、前記プリチャージトランジスタを非活性化することをさらに具備する請求項15に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
  17. 前記複数のビット線は前記選択されたビット線を含み、プリチャージトランジスタは前記選択されたビット線に連結されて前記選択されたビット線にディスチャージする請求項14に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
  18. 前記複数のビット線に連結された読み出しマルチプレクサをイネーブルした後に、前記プリチャージトランジスタを非活性化することをさらに具備し、
    前記読み出しマルチプレクサの出力において前記プリチャージトランジスタは前記選択されたビット線に連結される請求項17に記載のSTT−MRAMのメモリ読み出し方法。
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