JP2011501214A - サンプルの構造化照明システム - Google Patents
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Abstract
れた光空間変調器(10)を備え、光空間変調器(10)は、少なくとも2つのコヒーレントビームの各々に一定の位相項を適用する計算機を備えていることを特徴とする。
Description
非特許文献1は、そのようなサンプルの三次元顕微鏡検査のための構造化照明システムについて記載している。
コヒーレント光ビームを生成するビーム生成手段と、
後方焦点面を有し、レンズの焦点合わせ面にサンプルを配置可能にするレンズと、
レンズの焦点合わせ面でビームがコリメートされた状態で干渉するように、前記光ビームを後方焦点面に集束させる焦点合わせ手段と、を備えている。
上記文献では、図1に示されているように、照明システム1は、光源2と、ビーム生成手段を形成する回折ネットワーク3であって、光源2からただ2つのコヒーレント回折ビーム4aおよび4bのみを生成するようにフィルタ7に接続された回折網すなわち回折ネットワーク3と、顕微鏡のレンズ6の後方焦点面PFAでコヒーレントビーム4aおよび4bを集束させるレンズ5と、レンズ6の焦点合わせ面PMPに配置されたサンプル18とを備えている。コヒーレントビーム4aおよび4bは、対称の次数pおよび−pを有する回折ビームである。
しかしながら、主な欠点は、かかるシステムがいわゆる従来の顕微鏡と類似の軸方向分解能しか有していない(つまり約0.4マイクロメートル)ことである。
特許文献1はかかる目標に達することを目指したもので、上述したようなサンプルの三次元顕微鏡検査のための構造化照明システムについて記載しており、ここではコヒーレントビームが、コヒーレントビームのうちの2つのコヒーレントビームがレンズ光軸に対して非対称的な状態になっている。詳しくは、特許文献1は、照明システムの軸方向分解能を増強するために1、0、および−1の回折次数を有するビームを使用している。
プルの三次元顕微鏡検査のための構造化照明システムを提供することにある。
本発明の基礎となっているアプローチは、機械的変位のないサンプルの軸方向変位のシミュレートにある。
さらに、本発明では、非特許文献2のGustaffsonらのシステムと同様に、側方分解能は約0.1マイクロメートルに維持される。
きい速度が得られる。
本発明によれば、照明の三次元構造がこのように得られ、公知の側方エンコードに加えて照明の軸方向エンコードを行うことが可能である。
本発明の1つの態様によれば、ビーム生成手段は、光信号を生成する光源を備え得る。
好ましくは、ビーム生成手段は3つのコヒーレントビームを生成するように構成され、3つのコヒーレントビーム中の少なくとも2つのコヒーレントはレンズ光軸に対して非対称である。本発明の範囲内で、そのような3つのコヒーレントビームの生成により、レンズ光軸に対して対称な構造化された視野と、2つの非対称のコヒーレントビームのみによるいくらかの照明に比べて軸方向分解能に関して2倍の利得とが得られる。
図2は、本発明の1実施形態によるサンプルの三次元顕微鏡検査のための構造化照明システムを示す。
図中、特段の定めがない限り、同じ参照符号は同様な技術的特徴を示す。
図2に示されているように、本発明の第1実施形態によれば、サンプルの三次元顕微鏡検査用の構造化照明のためのシステム8は、コヒーレントかつ直線偏光した光信号を生成するよう適合された光源9を備えている。光源9は例えばレーザビームである。システム8はさらに、光源9から受け取った光信号から、3つのそれぞれの強度を有する3つの回折ビームIN,I-N,I0を生成するようにプログラムされた光空間変調器10を備えている。回折ビームINおよびI-Nは対称な次数Nを有するビームであり、ビームI0はゼロに等しい次数を有するビームである。
ームI-Nもレンズの光軸に対して非対称である。
回折ビームINおよびI- Nの次数は、ゼロに等しい次数のビームI0の強度が、それら
のビームの4倍の強度に等しくなるように選択される。すなわちI0=4IN+4I- Nで
ある。従って、この場合に軸方向の分解能の増強がより良好であることが実証される。
は干渉する。
は色収差補正レンズ19に相当するが、そのようなビームを顕微鏡13のレンズ12の現実の焦点面PFAに向かって収束させる。従って、ビームI0,INおよびI-Nは、平面波の形で焦点合わせ面PMPにて干渉し、焦点合わせ面PMPに位置するサンプル14に関する測定が行われる。
レンズの焦点合わせ面で干渉する3つのコヒーレントビームを生成することが可能なビーム生成手段について上述した。軸方向分解能を増大させる効果はビームI0,INおよびI-Nに対して最適となり、次数Nおよび−NはI0=4IN+4I- Nとなるように上述の
ように選択される。
さらに、図2を参照しつつ説明した光空間変調器の利用は、システムの機械的変位を回避し、そのため測定精度を高めるという利点を有する。
この場合、上述の実施形態では、顕微鏡13は既存のレンズ12を備えた既存の顕微鏡であってよく、照明システムは、ビームIN,I-N,I0がレンズ12の後方焦点面PFAに集束するように適合される。かくして、全視野観察を可能にする分解能の増強された新しい顕微鏡が得られる。
Claims (8)
- サンプル(14)の三次元顕微鏡検査のための構造化照明システム(8)であって、
コヒーレント光ビーム(IN、I-N、I0)を生成するビーム生成手段(9,10)と、
後方焦点面(PFA)を有し、レンズの焦点合わせ面(PMP)にサンプル(14)を配置可能にするレンズ(12)と、
前記ビームがレンズ(12)の焦点合わせ面(PMP)でコリメートされた状態で干渉するように、前記光ビームを後方焦点面(PFA)に集束させる焦点合わせ手段(19)と、を備え、
前記ビーム生成手段(9,10)が、レンズ光軸に対して非対称な少なくとも2つの異なる回折ビーム(IN、I0)、(I-N、I0)を生成すべく光信号(22)を回折するよ
うプログラムされた光空間変調器(10)を備え、光空間変調器(10)は、前記少なくとも2つのコヒーレントビームの各々に一定の位相項を適用する計算機を備えていることを特徴とする、システム。 - 前記ビーム生成手段は、光信号(22)を生成する光源(9)を備えている請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも2つの非対称的なコヒーレントビームはそれぞれ回折次数nおよびpの回折ビームであり、n+pはゼロではない請求項1または2に記載のシステム。
- 前記ビーム生成手段(10,9)は3つのコヒーレントビーム(IN、I-N、I0)を生成し、該3つのコヒーレントビーム中の少なくとも2つのコヒーレントビーム(IN、I-N
、I0)はレンズ光軸に対して非対称である請求項1〜3のいずれか一項に記載のシステ
ム。 - 前記ビーム生成手段(10,9)は、回折により生成された前記3つのコヒーレントビームが、対称な回折次数を有する2つの回折ビームと、ゼロに等しい回折次数を有する1つのビームとに相当するように適合されている請求項4に記載のシステム。
- 対称的な回折次数を有する2つの回折ビームは等しい強度を有し、ゼロに等しい回折次数を有するビームの強度が対称的な回折次数を有する回折ビームのうちの1つの強度の4倍に等しくなるように2つの対称的な回折次数が選択される請求項5に記載のシステム。
- 前記計算機は、2つの非対称的なコヒーレントビームのうちの1つを他方のコヒーレントビームに対して位相シフトさせる請求項1〜6のいずれか一項に記載のシステム。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の構造化照明システム(8)を備えた顕微鏡。
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