JP6667539B2 - 光遠隔測定装置 - Google Patents
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Description
検出面(PDET)を含む二次元検出器(30)と、
目標空間及び像空間を規定し、前記光点により放出されたビームから、前記像空間内に位置する新たなビームを生成する撮像システム(10)であって、前記像空間内の検出面(PDET)または検出面の共役面(P’DET)に近接して位置する像面(11’)に、対象となる目標面(11)上に位置する光点(Pi)からの像を形成するようになっており、前記像面(11’)は、前記対象となる目標面(11)と共役であり、前記目標空間内の前記検出面の共役面は、前記基準面(P REF )を規定する、撮像システム(10)と、
前記新たなビームから、互いにコヒーレントで前記ビームが干渉する空間的重なり領域を有する少なくとも二つのビームの形成を可能にする、前記像空間に配置された分離要素(20)であって、前記像空間内の前記検出面(P DET )または前記検出面の前記共役面(P’ DET )は、前記領域に位置し、互いにコヒーレントな前記ビームの光学的干渉から生ずる干渉パターンは前記検出面に形成される、分離要素(20)と、
前記検出面の共役面が前記基準面(PREF)を形成し、前記検出面に形成された干渉パターンの変調周期から、前記光点から前記基準面(P REF )までの距離の測定を可能にする信号処理手段(50)
とを含む装置に関する。
基準面(PREF)に対して対象となっている対象物(O)の光点(Pi)の距離を測定する方法であって、
目標空間及び像空間を規定し、前記光点により放出されたビームから前記像空間内に位置する新たなビームを生成し、二次元検出器の前記検出面(PDET)、または前記検出面の共役面(P’DET)に近接して位置する像面(11’)上に、前記光点(Pi)から像を形成することと、
前記光点(Pi)から放出されて前記撮像システム(10)から出て来るビーム(B’)から、分離要素(20)を用いて、互いにコヒーレントで干渉する空間的重なり領域を有する少なくとも二つのビーム(B’1,B’2)を形成することと、
前記検出面(PDET)上に形成された、前記コヒーレントビーム間の光干渉によって生じた前記干渉パターンから、前記光点(Pi)から前記基準面(P REF )までの距離を測定する
ことを含み、
前記像面(11’)は、前記対象となる像面(11)と共役であり、前記目標空間内の前記検出面は、前記検出面(P DET )を規定し、
前記像空間内の前記検出面(P DET )または前記検出面の前記共役面(P’ DET )は、前記領域に位置し、互いにコヒーレントな前記ビームの光学的干渉から生ずる干渉パターンは、前記検出面に形成される。
により得られる撮像システムのインパルス応答の直径Φより好都合に小さい周期の変調をプリントできる。
ここで、rはPSFの半径であり、NAは撮像システムのデジタル口径であり、gyは倍率である。以下にて詳細に説明するように、変調周期(つまり、干渉パターンの縞間(interfringe))は、撮像システム10の目標空間における検出面PDETの共役面である基準面PREFに対する点光源の相対位置に依存する。よって、検出器と関連して説明した分離要素は、対象物の各点光源によって放射された波の相対曲率のセンサとしての役割を果たし、これにより対象物の相対的高低写像を細かく求められる。
として、それぞれ以下にて表す。
ここで、λは波長である。
として表すことができる。ただし、ここで
とする。
が得られるようにしたい。
(ガウス仮説)
ここで、nはガラス製スライドを構成するガラスの指数であり、eはスライドの厚さである。
Claims (10)
- 基準面(PREF)に対する対象物(O)の光点(Pi)からの距離を測定する装置(100, 200, 300, 400, 500)であって、
検出面(PDET)を含む二次元検出器(30)と、
目標空間及び像空間を規定し、前記光点により放出されたビームから、前記像空間内に位置する新たなビームを生成する撮像システム(10)であって、前記像空間内の検出面(PDET)または検出面の共役面(P’DET)に近接して位置する像面(11’)に、対象となる目標面(11)上に位置する光点(Pi)からの像を形成するようになっており、前記像面(11’)は、前記対象となる目標面(11)と共役であり、前記目標空間内の前記検出面の共役面は、前記基準面(P REF )を規定する、撮像システム(10)と、
前記新たなビームから、互いにコヒーレントで前記ビームが干渉する空間的重なり領域を有する少なくとも二つのビームの形成を可能にする、前記像空間に配置された分離要素(20)であって、前記像空間内の前記検出面(P DET )または前記検出面の前記共役面(P’ DET )は、前記領域に位置し、互いにコヒーレントな前記ビームの光学的干渉から生ずる干渉パターンは前記検出面に形成される、分離要素(20)と、
前記検出面の共役面が前記基準面(PREF)を形成し、前記検出面に形成された干渉パターンの変調周期から、前記光点から前記基準面(P REF )までの距離の測定を可能にする信号処理手段(50)
とを含む装置。 - 形成された前記干渉パターンの縞の周期(Λ)は前記撮像システムの分解能より小さい、請求項1に記載の装置。
- 前記分離要素は前記像面(11’)に近接した回折格子(21)を含む、請求項1または2に記載の装置。
- 前記回折格子は二次元回折格子である、請求項3に記載の装置。
- 前記回折格子はゼロ次を伝送も反射もしない伝送または反射格子である、請求項3または4に記載の装置。
- 前記撮像システムの前記像空間に前記検出面の共役面を形成可能にする光リレー(40)をさらに含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の装置。
- 前記撮像システムが顕微鏡対象物(12)を含んでいる、三次元顕微鏡撮像に適用される請求項1から6のいずれか1項に記載の装置。
- 前記撮像システムは、光レンズまたはビデオレンズを含む、パッシブテレメトリに適用する請求項1から6のいずれか1項に記載の装置。
- 基準面(PREF)に対して対象となっている対象物(O)の光点(Pi)の距離を測定する方法であって、
目標空間及び像空間を規定し、前記光点により放出されたビームから前記像空間内に位置する新たなビームを生成し、二次元検出器の前記検出面(PDET)、または前記検出面の共役面(P’DET)に近接して位置する像面(11’)上に、前記光点(Pi)から像を形成することと、
前記光点(Pi)から放出されて前記撮像システム(10)から出て来るビーム(B’)から、分離要素(20)を用いて、互いにコヒーレントで干渉する空間的重なり領域を有する少なくとも二つのビーム(B’1,B’2)を形成することと、
前記検出面(PDET)上に形成された、前記コヒーレントビーム間の光干渉によって生じた前記干渉パターンから、前記光点(Pi)から前記基準面(P REF )までの距離を測定する
ことを含み、
前記像面(11’)は、前記対象となる像面(11)と共役であり、前記目標空間内の前記検出面は、前記検出面(P DET )を規定し、
前記像空間内の前記検出面(P DET )または前記検出面の前記共役面(P’ DET )は、前記領域に位置し、互いにコヒーレントな前記ビームの光学的干渉から生ずる干渉パターンは、前記検出面(P DET )に形成される方法。 - 前記光点(Pi)から前記基準面までの前記距離は、前記干渉パターンの各縞の周期(Λ)の測定値から得られる、請求項9に記載の方法。
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