FR3026836B1 - Methode et dispositif optique de telemetrie - Google Patents

Methode et dispositif optique de telemetrie Download PDF

Info

Publication number
FR3026836B1
FR3026836B1 FR1459500A FR1459500A FR3026836B1 FR 3026836 B1 FR3026836 B1 FR 3026836B1 FR 1459500 A FR1459500 A FR 1459500A FR 1459500 A FR1459500 A FR 1459500A FR 3026836 B1 FR3026836 B1 FR 3026836B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
plane
detection
detection plane
imaging system
conjugate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
FR1459500A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3026836A1 (fr
Inventor
Pierre Bon
Emmanuel Fort
Sandrine Leveque-Fort
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Paris Saclay
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Paris Sud Paris 11
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Universite Paris Sud Paris 11 filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Priority to FR1459500A priority Critical patent/FR3026836B1/fr
Priority to CA2963297A priority patent/CA2963297A1/fr
Priority to EP15771517.8A priority patent/EP3201563A1/fr
Priority to PCT/EP2015/070503 priority patent/WO2016050460A1/fr
Priority to JP2017537010A priority patent/JP6667539B2/ja
Priority to US15/516,254 priority patent/US10012495B2/en
Publication of FR3026836A1 publication Critical patent/FR3026836A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3026836B1 publication Critical patent/FR3026836B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02097—Self-interferometers
    • G01B9/02098—Shearing interferometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04—Measuring microscopes
    • G01N15/1433—
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0056—Optical details of the image generation based on optical coherence, e.g. phase-contrast arrangements, interference arrangements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008—Details of detection or image processing, including general computer control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/30—Grating as beam-splitter
    • G01N15/01—
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N2015/1006—Investigating individual particles for cytology

Abstract

Selon un aspect, l'invention concerne un dispositif (100, 200, 300, 400, 500) de mesure de la distance, par rapport à un plan de référence (PREF), d'un point lumineux (Pi) d'un objet (O). Le dispositif comprend un détecteur bidimensionnel (30) comprenant un plan de détection (PDET) et un système d'imagerie (10) adapté à former une image d'un point lumineux (Pi) situé sur un plan objet d'intérêt (11) dans un plan image (11') agencé à proximité du plan de détection (PDET) ou d'un plan (P'DET) conjugué du plan de détection. Le dispositif comprend par ailleurs un élément séparateur (20) permettant de former à partir d'un faisceau émis par un point lumineux du plan objet d'intérêt (11) et émergeant du système d'imagerie (10) au moins deux faisceaux cohérents entre eux, présentant une région de superposition spatiale dans laquelle les faisceaux interfèrent et des moyens de traitement du signal (50) permettant de déterminer à partir de la figure d'interférence formée sur le plan de détection et résultant des interférences optiques entre lesdits faisceaux cohérents entre eux, la distance du point lumineux à un plan conjugué du plan de détection dans l'espace objet du système d'imagerie (10), ledit plan conjugué du plan de détection formant le plan de référence (PREF).
FR1459500A 2014-10-03 2014-10-03 Methode et dispositif optique de telemetrie Active FR3026836B1 (fr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1459500A FR3026836B1 (fr) 2014-10-03 2014-10-03 Methode et dispositif optique de telemetrie
CA2963297A CA2963297A1 (fr) 2014-10-03 2015-09-08 Optical telemetry device
EP15771517.8A EP3201563A1 (fr) 2014-10-03 2015-09-08 Methode et dispositif de microscope diffractive
PCT/EP2015/070503 WO2016050460A1 (fr) 2014-10-03 2015-09-08 Methode et dispositif de microscope diffractive
JP2017537010A JP6667539B2 (ja) 2014-10-03 2015-09-08 光遠隔測定装置
US15/516,254 US10012495B2 (en) 2014-10-03 2015-09-08 Optical telemetry device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1459500A FR3026836B1 (fr) 2014-10-03 2014-10-03 Methode et dispositif optique de telemetrie

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3026836A1 FR3026836A1 (fr) 2016-04-08
FR3026836B1 true FR3026836B1 (fr) 2022-04-22

Family

ID=52358897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1459500A Active FR3026836B1 (fr) 2014-10-03 2014-10-03 Methode et dispositif optique de telemetrie

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10012495B2 (fr)
EP (1) EP3201563A1 (fr)
JP (1) JP6667539B2 (fr)
CA (1) CA2963297A1 (fr)
FR (1) FR3026836B1 (fr)
WO (1) WO2016050460A1 (fr)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109937340B (zh) * 2016-11-14 2021-01-08 三菱电机株式会社 架空线显示装置、架空线显示系统及架空线显示数据生成方法
JP2019158488A (ja) * 2018-03-12 2019-09-19 アズビル株式会社 距離測定装置および方法
JP2020101385A (ja) * 2018-12-20 2020-07-02 アズビル株式会社 干渉縞解析装置、干渉縞解析方法、および距離測定装置
JP2020101517A (ja) * 2018-12-20 2020-07-02 アズビル株式会社 干渉縞解析装置、干渉縞解析方法、および距離測定装置
WO2020129709A1 (fr) * 2018-12-20 2020-06-25 アズビル株式会社 Dispositif d'analyse de frange d'interférence, procédé d'analyse de frange d'interférence et dispositif de mesure de distance
CN110475063B (zh) * 2019-08-01 2021-03-16 Oppo广东移动通信有限公司 图像采集方法和装置、及存储介质

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4851653A (fr) * 1971-10-28 1973-07-20
US6031611A (en) * 1997-06-03 2000-02-29 California Institute Of Technology Coherent gradient sensing method and system for measuring surface curvature
US7369251B2 (en) * 2003-01-28 2008-05-06 Ultratech, Inc. Full-field optical measurements of surface properties of panels, substrates and wafers
US7889356B2 (en) * 2008-12-09 2011-02-15 Zygo Corporation Two grating lateral shearing wavefront sensor
DE102013203211A1 (de) * 2012-06-15 2013-12-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Vorrichtung zur interferentiellen Abstandsmessung
JP2014085530A (ja) * 2012-10-24 2014-05-12 Nikon Corp 撮像装置及び顕微鏡システム

Also Published As

Publication number Publication date
FR3026836A1 (fr) 2016-04-08
JP2017533445A (ja) 2017-11-09
JP6667539B2 (ja) 2020-03-18
US10012495B2 (en) 2018-07-03
EP3201563A1 (fr) 2017-08-09
CA2963297A1 (fr) 2016-04-07
US20170299375A1 (en) 2017-10-19
WO2016050460A1 (fr) 2016-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR3026836B1 (fr) Methode et dispositif optique de telemetrie
MX2020004280A (es) Analisis no invasivo de sustancias.
EP4239371A3 (fr) Détecteur pour détection optique d'au moins un objet
FR3045813B1 (fr) Dispositif et procede de mesure de hauteur en presence de couches minces
WO2012141544A3 (fr) Interféromètre pour mesure de tsv et procédé de mesure l'utilisant
WO2015178975A3 (fr) Système de détection optique et procédés d'utilisation de ce système
WO2008129073A3 (fr) Dispositif de mesure et procédé de mesure tridimensionnelle d'un objet
EP2696166A3 (fr) Dispositif de mesure optique et véhicule
EP2579100A3 (fr) Appareil d'inspection, appareil lithographique et procédé de fabrication de dispositif
WO2012176106A3 (fr) Méthode et appareil d'inspection de dispositifs semi-conducteurs électroluminescents par l'imagerie de photoluminescence
WO2009078617A3 (fr) Système de mesure d'une forme superficielle et procédé de mesure d'une forme superficielle utilisant le système
DE502005010686D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum erfassen der räumlichen lage der optischen achse eines auges
WO2009146906A3 (fr) Système laser ophtalmologique et procédé d’exploitation
JP5808519B2 (ja) ２つの測定ユニットを有する表面測定装置
EA201000088A1 (ru) Оптическая кювета
FR2967791B1 (fr) Procede et systeme de calibration d'un modulateur optique spatial dans un microscope optique
MX2016010525A (es) Dispositivo, sistema y metodo de determinacion de signos vitales de un sujeto basado en luz reflejada y transmitida.
TW200607984A (en) System and method for simultaneous 3D height measurements on multiple sides of an object
MY167829A (en) Optical displacement gauge and optical displacement calculation method
EP2669739A3 (fr) Procédé de mesure et procédé et appareil d'exposition
WO2009003714A3 (fr) Dispositif et procédé pour réaliser des mesures statiques et dynamiques de la lumière diffusée dans des petits volumes
ATE420390T1 (de) Optische messeinrichtung mit optischer triangulation
WO2011107302A3 (fr) Lithographie par nano-impression
GB201303761D0 (en) Opticle emmision system including dichroic beam system
EP2843402A3 (fr) Procédé et système pour détecter un composant dans un fluide utilisant la sprectroscopie acoustique

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20160408

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 7

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 8

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 9

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 10

TQ Partial transmission of property

Owner name: UNIVERSITE PARIS-SACLAY, FR

Effective date: 20231009

Owner name: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -, FR

Effective date: 20231009