JP6578278B2 - 顕微鏡用の三次元ピント調整装置および方法 - Google Patents
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Description
所定の屈折率の参照媒体中の参照対象物を選択することであって、前記参照対象物が試料ホルダと一体化され、かつ、参照媒体の屈折率の実部および/または虚部のそれぞれと異なる実部および/または虚部の複素屈折率を有することと;
参照対象物を入射光波で照明することと;
入射波と参照対象物の相互作用から生じる電磁場の位相および強度の画像を所定の測定面内で取得することと;
位相および強度の画像の少なくとも一つから参照対象物の三次元位置の変化を決定することとを備える。
Claims (16)
- 所定の分解能の顕微鏡(I)の三次元ピント調整装置(II)であって、
所定の屈折率の参照媒体中に位置し、参照媒体の屈折率の実部および/または虚部とそれぞれ異なる実部および/または虚部の複素屈折率を有する参照対象物(105)と入射光波の相互作用から生じる電磁場の所定の測定面内での位相および強度の画像を取得する検出器(119)と、
前記位相および強度の画像から参照対象物(105)の三次元位置の変化を決定する計算手段(121)と、を備えることを特徴とする装置。 - 前記参照対象物(105)を照明するためのビームを放射するソースを備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記参照対象物(105)の寸法は、顕微鏡(I)の分解能の0.1倍から2倍の間で構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記参照対象物の屈折率の前記実部および/または虚部と前記参照媒体の屈折率の前記実部および/または虚部との差は、0.1以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記参照対象物をさらに備え、前記参照対象物は、所定の屈折率の参照媒体中に位置するよう意図され、参照媒体の屈折率の実部および/または虚部のそれぞれと異なる実部および/または虚部の複素屈折率を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記参照対象物(105)は金属粒子を含むことを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記参照対象物(105)は誘電体粒子を含むことを特徴とする請求項5または6に記載の装置。
- 位相および強度の検出器(119)は、改良型ハルトマンマスクを備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。
- 試料ホルダ(107)と、
照明ビーム(101)を放射するためのソースと、
顕微鏡対物レンズ(109)と、
請求項1から8のいずれか一項に記載の三次元ピント調整装置(II)と、
試料ホルダと顕微鏡対物レンズを相対的に三次元で移動させるための手段(122)と、を備えることを特徴とする顕微鏡。 - 参照対象物の三次元位置の算出された変化を顕微鏡の移動手段(122)に送信する制御手段を備えることを特徴とする請求項9に記載の顕微鏡。
- 所定の屈折率の参照媒体中の少なくとも一つの参照対象物(105)を選択することであって、前記参照対象物が試料ホルダ(107)と一体化され、かつ、前記参照媒体の屈折率の実部および/または虚部のそれぞれと異なる実部および/または虚部の複素屈折率を有することと、
前記参照対象物を入射光波(1)で照明することと、
入射波(1)と参照対象物(105)の相互作用から生じる電磁場の位相および強度の画像を所定の測定面内で取得することと、
前記位相および強度の画像から参照対象物(105)の三次元位置の変化を決定することと、を備えることを特徴とする顕微鏡の三次元ピント調整方法。 - 参照対象物が試料の部分を形成することを特徴とする請求項11に記載の顕微鏡の三次元ピント調整方法。
- 参照対象物が試料の外部にあり、当該方法は、参照媒体中に参照対象物を配置することを備えることを特徴とする請求項11または12に記載の顕微鏡の三次元ピント調整方法。
- 事前の較正ステップを備え、前記較正ステップは、参照対象物(105)の一連の軸方向について、測定面の所定地点での入射波(1)と参照対象物(105)の相互作用から生じる電磁場の強度および位相を決定することを備えることを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載の顕微鏡ピント調整方法。
- 前記較正ステップは、入射波(1)と参照対象物(105)の相互作用から生じる電磁場の位相および強度の画像の少なくとも一つを参照対象物の一つの軸方向位置について取得することと、参照対象物の様々な軸方向位置について位相および強度の画像を計算することとを備え、前記画像が測定された位相および強度の画像から伝搬アルゴリズムを用いて取得されることを特徴とする請求項14に記載の顕微鏡ピント調整方法。
- 参照対象物(105)の三次元位置の算出された変化を顕微鏡に送信することをさらに備えることを特徴とする請求項11から15のいずれか一項に記載の顕微鏡ピント調整方法。
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