JP2011501127A - 集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ - Google Patents
集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011501127A JP2011501127A JP2010529056A JP2010529056A JP2011501127A JP 2011501127 A JP2011501127 A JP 2011501127A JP 2010529056 A JP2010529056 A JP 2010529056A JP 2010529056 A JP2010529056 A JP 2010529056A JP 2011501127 A JP2011501127 A JP 2011501127A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- gas sensor
- sensor according
- gas
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/417—Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
- G01N27/419—Measuring voltages or currents with a combination of oxygen pumping cells and oxygen concentration cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/4067—Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4075—Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/417—Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
【選択図】 図1
Description
R(T)=a(1+bT−cT2) (1)
(式中、a、b及びcは実験係数である)となる。このデータがモデルに合えば、ソフトウエアにより、(1)からの係数とプラチナ部材の抵抗測定値を使用して、センサ操作の間に表面温度を計算することができる。
Claims (55)
- 電解質と接触している検出電極であって、目的の環境に暴露される前記電極;
前記検出電極の温度を変更するメカニズム;及び
前記検出電極について電気的特徴を測定するための検出器;
を含むガスセンサであって、ここで測定された電気的特徴は、目的の環境における一種以上のガスに関する情報を提供する、前記ガスセンサ。 - 前記検出電極が基板表面上に配置されており、前記基板は電解質を含む、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記検出器は前記検出電極と参照との間のEMFを測定する、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記検出器は前記電極のインピーダンスを測定する、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記検出器は電極の電流を測定する、請求項1に記載のガスセンサ。
- 測定されたEMFは、第一のガスが目的の環境中に存在するかどうかを示す、請求項3に記載のガスセンサ。
- 測定されたEMFは目的の環境中に存在する第一のガスの濃度を示す、請求項3に記載のガスセンサ。
- 少なくとも一つの追加の検出電極をさらに含む、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記少なくとも一つの追加の電極の一つが参照である、請求項8に記載のガスセンサ。
- 前記検出電極の温度を変更できるメカニズムがヒーターを含む、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記ヒーターが前記電解質と熱的に接触している、請求項10に記載のガスセンサ。
- 前記ヒーターは前記電解質及び検出電極から離れている、請求項10に記載のガスセンサ。
- 前記ヒーターは前記検出電極を放射加熱する、請求項10に記載のガスセンサ。
- 前記ヒーターは前記検出電極を伝導的に加熱する、請求項10に記載のガスセンサ。
- 前記ヒーターは、前記検出電極と、電流で電極を駆動するための電源とを含む、請求項10に記載のガスセンサ。
- 前記検出電極の温度を変動できるメカニズムは、前記検出電極を冷却することができる、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記ヒーターは加熱部材を含み、加熱電流が加熱部材を通るとき、前記加熱部材は電極を加熱する熱を発生する、請求項10に記載のガスセンサ。
- さらに電解質と接触している少なくとも一つの追加の検出電極を含み、ここで前記検出電極と、前記少なくとも一つの追加の検出電極は、検出電極のアレイを形成する、請求項3に記載のガスセンサ。
- 前記参照は少なくとも一つの追加の検出電極の一つであり、前記参照は前記検出電極とは異なる形状である、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記参照は少なくとも一つの追加の検出電極の一つであり、前記参照は前記検出電極とは異なる温度である、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記参照は少なくとも一つの追加の検出電極の一つであり、前記参照は前記検出電極とは異なる材料から製造される、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記参照は少なくとも一つの追加の検出電極の一つであり、前記参照は前記検出電極とは異なる微細構造を含む、請求項18に記載のガスセンサ。
- 測定すべきガスに暴露すると、電極アレイの選択された二つの電極間でEMFが発生する、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイは同一材料だけから形成された電極含み、前記電極アレイの電極は、加熱部材の対応するアレイによって一種以上の異なる温度に保持される、請求項18に記載のガスセンサ。
- 異なる温度に保持された電極アレイの任意の二つの電極は電極-対として機能する、請求項24に記載のガスセンサ。
- 同一材料から形成され且つ同一温度に保持された電極は、様々な微細構造、サイズまたは厚さをもつ一つ以上の電極を含む、請求項24に記載のガスセンサ。
- 異なる温度に保持され、異なる微細構造をもち、異なるサイズをもち及び/または異なる厚さをもつ電極アレイの任意の二つの電極は、電極-対として機能する、請求項26に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイは第一の材料の一つ以上の電極と、第二の材料の一つ以上の電極とを含み、前記電極アレイの電極は加熱部材のアレイにより一以上の異なる温度に保持される、請求項18に記載のガスセンサ。
- 異なる材料で形成される及び/または異なる温度で保持される電極アレイの任意の二つの電極は電極-対として機能する、請求項28に記載のガスセンサ。
- 同一材料で形成し同一温度に保持された電極は、種々の微細構造、サイズ、または厚さをもつ一つ以上の電極を含む、請求項28に記載のガスセンサ。
- 異なる材料により形成され、異なる温度に保持され、異なる微細構造をもち、異なるサイズをもち及び/または異なる厚さをもつ電極アレイの任意の二つの電極は、電極-対として機能する、請求項30に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイの電極は、金属または半導体酸化物を含む、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイの電極は少なくとも一つのプラチナ電極を含む、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイの電極は少なくとも一つのLa2CuO4(LCO)電極を含む、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記加熱部材のアレイは抵抗部材を含む、請求項28に記載のガスセンサ。
- 前記抵抗部材はプラチナから形成される、請求項35に記載のガスセンサ。
- 各抵抗部材は、電極アレイの電極の一つに対して電解質の反対面にパターンとして配置される、請求項35に記載のガスセンサ。
- 各抵抗部材のパターンは、C-形パターン、らせんパターンまたは曲がりくねったパターンを含む、請求項35に記載のガスセンサ。
- 検出電極の温度を測定するための温度センサをさらに含む、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記検出電極が半導体から製造される、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記検出電極は金属製である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記半導体は金属酸化物または金属酸化物化合物である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記半導体は以下のSnO2、TiO2、TYPd5、MoO3、ZnMoO4(ZM)及びWO3及びWR3、La2CuO4並びにその混合物の一つ以上を含む、請求項42に記載のガスセンサ。
- 前記電解質は酸素イオン伝導性電解質である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記電解質がZrO2、Bi2O3またはCeO2をベースとする、請求項44に記載のガスセンサ。
- 前記一種以上のガスが一種以上のNOx、COx及びSOxである、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記一種以上のガスがNOである、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記一種以上のガスがNO2である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記一種以上のガスがNO及びNO2である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイの第一の電極-対は前記一種以上のガスの第一のガスに関する情報を提供する第一の電気的特徴を提供し、且つ前記電極アレイの第二の電極-対は前記一種以上のガスの第二のガスに関する情報を提供する第二の電気的特徴を提供する、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記第一のガスがNOであり、且つ第二のガスがNO2である、請求項50に記載のガスセンサ。
- 前記電極アレイの第一の電極-対は一種以上のガスの第一のガスに関する情報を提供する第一の電気的特徴を提供し、且つ前記電極アレイの第二の電極-対は前記一種以上のガスの前記第一及び第二のガスに対して情報を提供する第二の電気的特徴を提供する、請求項18に記載のガスセンサ。
- 前記第一のガスがNO2であり、且つ二種のガスがNO及びNO2である、請求項50に記載のガスセンサ。
- NO及びNO2に関する前記情報は、NO及びNO2の濃度の合計である、請求項53に記載のガスセンサ。
- 一種以上のガスを検出する方法であって、
目的の環境に対して検出電極を暴露する段階、ここで前記検出電極は電解質と接触しており;
前記検出電極の温度を変更する段階;及び
前記検出電極に関して電気的特徴を測定する段階;
を含み、
ここで測定した電気的特徴は、目的の環境中の一種以上のガスに関する情報を提供する、前記方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US97869607P | 2007-10-09 | 2007-10-09 | |
PCT/US2008/079416 WO2009049091A2 (en) | 2007-10-09 | 2008-10-09 | Multifunctional potentiometric gas sensor array with an integrated temperature control and temperature sensors |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015111833A Division JP6335140B2 (ja) | 2007-10-09 | 2015-06-02 | 集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011501127A true JP2011501127A (ja) | 2011-01-06 |
Family
ID=40549838
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010529056A Pending JP2011501127A (ja) | 2007-10-09 | 2008-10-09 | 集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ |
JP2015111833A Active JP6335140B2 (ja) | 2007-10-09 | 2015-06-02 | 集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015111833A Active JP6335140B2 (ja) | 2007-10-09 | 2015-06-02 | 集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9027387B2 (ja) |
EP (1) | EP2201357B1 (ja) |
JP (2) | JP2011501127A (ja) |
KR (4) | KR101931044B1 (ja) |
CN (1) | CN101889201B (ja) |
BR (1) | BRPI0817851B1 (ja) |
CA (1) | CA2701942C (ja) |
WO (1) | WO2009049091A2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015502549A (ja) * | 2011-12-23 | 2015-01-22 | サノフィ−アベンティス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 薬剤の包装のためのセンサ装置 |
JP2016510173A (ja) * | 2013-03-06 | 2016-04-04 | ヘレーウス ゼンゾール テクノロジー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングHeraeus Sensor Technology GmbH | レーザー光線を用いた煤煙センサーの製造方法 |
JP2017020815A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | 国立大学法人九州工業大学 | ガスセンサ用材料及びその製造方法、並びにこれを用いたガスセンサの製造方法 |
WO2019003612A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | 京セラ株式会社 | センサ基板およびセンサ装置 |
JP2019152566A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ガスセンサ群及び可燃性ガスの分析方法 |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101526494B (zh) * | 2009-03-31 | 2012-05-23 | 西安交通大学 | 基于Pt反应电极的气体传感器及温度补偿方法 |
US20110210013A1 (en) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | General Electric Company | Selective gas sensor device and associated method |
CA2809875A1 (en) * | 2010-09-09 | 2012-03-15 | S.E.A. Medical Systems, Inc. | Systems and methods for intravenous drug management using immittance spectroscopy |
CN102539492A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-04 | 深圳光启高等理工研究院 | 一种基于物联网的信息获取装置及设备 |
US20130161205A1 (en) * | 2011-12-06 | 2013-06-27 | Abdul-Majeed Azad | Methods and devices for detecting nitrogen oxides |
CN103175866A (zh) * | 2011-12-26 | 2013-06-26 | 中国第一汽车股份有限公司 | 集成平面式气体传感器衬底 |
US9304102B2 (en) | 2012-03-08 | 2016-04-05 | Nextech Materials, Ltd. | Amperometric electrochemical sensors, sensor systems and detection methods |
US9395344B2 (en) * | 2013-02-06 | 2016-07-19 | Veris Industries, Llc | Gas sensor with thermal measurement compensation |
US9178032B2 (en) * | 2013-02-15 | 2015-11-03 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Gas sensor and manufacturing method thereof |
DE102013204469A1 (de) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Robert Bosch Gmbh | Mikroelektrochemischer Sensor und Verfahren zum Betreiben eines mikroelektrochemischen Sensors |
EP2972282A1 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-20 | The Cleveland Clinic Foundation | Miniaturized gas sensor device and method |
DE102014214368A1 (de) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Gassensor zur Detektion von NO und/oder NO2 und Betriebsverfahren für einen solchen Gassensor |
DE102014214371A1 (de) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Gassensor zur Detektion von NO und NO2 und Betriebsverfahren für den Gassensor |
US11761923B2 (en) * | 2014-09-12 | 2023-09-19 | Nextech Materials, Ltd. | Amperometric electrochemical sensors, sensor systems and detection methods |
EP3191827A1 (en) * | 2014-09-12 | 2017-07-19 | Nextech Materials, Ltd | Amperometric solid electrolyte sensor and method for detecting nh3 and nox |
WO2016166126A1 (en) | 2015-04-13 | 2016-10-20 | Danmarks Tekniske Universitet | Gas sensor with multiple internal reference electrodes and sensing electrodes |
CN105301071A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-02-03 | 周丽娜 | 一种新型工业废气检测装置及其制作方法 |
CN105259232A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-01-20 | 李琴琴 | 一种炼油厂及其实施方法 |
CN105259238A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-01-20 | 肖锐 | 一种电气柜及其制作方法 |
CN105241934A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-01-13 | 胡丽春 | 一种发电厂及其实施方法 |
CN105259237A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-01-20 | 陈杨珑 | 一种新型废气检测装置及其制作方法 |
CN106706710A (zh) * | 2015-11-11 | 2017-05-24 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法 |
US10041898B2 (en) | 2015-12-01 | 2018-08-07 | International Business Machines Corporation | 3D micro and nanoheater design for ultra-low power gas sensors |
CN105606674A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-05-25 | 张利琴 | 一种修饰金电极及其制备方法 |
CN107966478A (zh) * | 2016-10-19 | 2018-04-27 | 华邦电子股份有限公司 | 感测器阵列、其制造方法及感测方法 |
US10393718B2 (en) | 2016-12-29 | 2019-08-27 | Industrial Technology Research Institute | Micro-electromechanical apparatus for thermal energy control |
TWI633046B (zh) * | 2016-12-29 | 2018-08-21 | 財團法人工業技術研究院 | 一種可控制加熱能量的微機電裝置 |
US20180252667A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-06 | Ngk Spark Plug Co. Ltd. | Gas sensor |
WO2019073483A1 (en) * | 2017-10-10 | 2019-04-18 | Indian Institute Of Science | NANO-SENSOR FOR THE DETECTION OF GASEOUS COMPONENTS |
JP7396587B2 (ja) * | 2018-12-14 | 2023-12-12 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
CN110031591A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-07-19 | 东北大学 | 一种微纳气体传感阵列动态测试方法 |
KR101991120B1 (ko) * | 2019-06-03 | 2019-06-19 | 한림대학교 산학협력단 | 온도 및 임피던스 통합 센서 제조방법 |
KR102223882B1 (ko) * | 2019-09-24 | 2021-03-04 | 김현명 | 미량가스 탐지가 용이한 미세누출감지 가스탐지장치 |
CN111830087A (zh) * | 2020-07-21 | 2020-10-27 | 艾感科技(广东)有限公司 | 一种通过调控光和温度制备气体传感器阵列的方法及装置 |
CN112268938B (zh) * | 2020-10-21 | 2023-08-15 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种NOx气体传感器 |
CN113340356B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-08-26 | 北京科技大学 | 一种阵列式温度压力协同传感器及应用方法 |
KR102588967B1 (ko) * | 2021-08-02 | 2023-10-12 | 울산과학기술원 | 가스 센서를 자가 보정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 가스 센서 보정 시스템 |
TWI821853B (zh) * | 2022-01-05 | 2023-11-11 | 財團法人工業技術研究院 | 微機電感測裝置及其感測模組 |
CN114594141A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-06-07 | 清华大学 | 集成电子鼻传感结构及其使用方法 |
CN115753944B (zh) * | 2022-11-02 | 2023-09-12 | 宁波大学 | 车用高温尾气传感器的交流阻抗测试系统及测试方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11507123A (ja) * | 1995-02-21 | 1999-06-22 | アーベー ボルボ | 排気ガス分析のための構成 |
JPH11287785A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Yazaki Corp | 固体電解質型二酸化炭素ガス・酸素ガスセンサ |
JP2005504961A (ja) * | 2001-09-28 | 2005-02-17 | ユニバーシティ オブ フロリダ | 固体ポテンショメトリック気体酸化物センサ |
JP2006521568A (ja) * | 2003-03-26 | 2006-09-21 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ガスの混合物を分析するための装置 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59217151A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 酸素イオン導電性固体電解質を用いた限界電流式酸素センサによる複数のガス成分濃度の検出装置 |
US5389225A (en) * | 1989-01-24 | 1995-02-14 | Gas Research Institute | Solid-state oxygen microsensor and thin structure therefor |
US5389218A (en) * | 1989-01-24 | 1995-02-14 | Gas Research Institute | Process for operating a solid-state oxygen microsensor |
EP0480076B1 (en) * | 1990-09-13 | 1994-02-02 | Honeywell B.V. | Method and sensor for measuring oxygen partial pressure |
US5429727A (en) * | 1993-09-30 | 1995-07-04 | Arch Development Corporation | Electrocatalytic cermet gas detector/sensor |
US5397442A (en) * | 1994-03-09 | 1995-03-14 | Gas Research Institute | Sensor and method for accurately measuring concentrations of oxide compounds in gas mixtures |
DE4408504A1 (de) | 1994-03-14 | 1995-09-21 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten in Gasgemischen |
US5783833A (en) * | 1994-12-12 | 1998-07-21 | Nikon Corporation | Method and apparatus for alignment with a substrate, using coma imparting optics |
US5788833A (en) | 1995-03-27 | 1998-08-04 | California Institute Of Technology | Sensors for detecting analytes in fluids |
US5591896A (en) * | 1995-11-02 | 1997-01-07 | Lin; Gang | Solid-state gas sensors |
JP3333678B2 (ja) * | 1996-01-05 | 2002-10-15 | 株式会社日立製作所 | ガス成分センサ及び触媒診断装置 |
WO1997042495A1 (en) | 1996-05-07 | 1997-11-13 | Sri International | Solid state electrochemical cell for measuring components of a gas mixture, and related measurement method |
DE69735302T8 (de) * | 1996-09-17 | 2007-03-01 | Kabushiki Kaisha Riken | Gas sensor |
US6635161B2 (en) * | 1998-02-20 | 2003-10-21 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | NOx sensor control circuit unit and NOx sensor system using the same |
JP2000206089A (ja) * | 1999-01-14 | 2000-07-28 | Yazaki Corp | 固体電解質型二酸化炭素ガスセンサ |
EP1281069B1 (en) * | 2000-04-13 | 2012-06-20 | Patrick T. Moseley | Sensors for oxidizing gases |
US6849239B2 (en) * | 2000-10-16 | 2005-02-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for analyzing mixtures of gases |
DE10058014C2 (de) * | 2000-11-23 | 2002-12-12 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement eines Gassensors |
US6787014B2 (en) * | 2001-10-09 | 2004-09-07 | Kabushiki Kaisha Riken | Gas-detecting element and gas-detecting device comprising same |
GB2407009B (en) * | 2002-06-27 | 2006-02-08 | Snap On Tools Corp | Portal for distributing business and product information |
US20050214170A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Webasto Ag | Gas sensor and process for producing a gas sensor |
JP2005326394A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-11-24 | Denso Corp | ガスセンサ |
CN1588030A (zh) * | 2004-07-09 | 2005-03-02 | 大连理工大学 | 一种具有温湿补偿功能的便携式气体检测分析仪 |
US20060070890A1 (en) * | 2004-09-28 | 2006-04-06 | Tdk Corporation | Gas concentration measurement method gas sensor |
JP2006098136A (ja) | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Tdk Corp | ガス濃度測定方法及びガスセンサ |
US7611612B2 (en) | 2005-07-14 | 2009-11-03 | Ceramatec, Inc. | Multilayer ceramic NOx gas sensor device |
US7294252B2 (en) * | 2005-10-07 | 2007-11-13 | Delphi Technologies, Inc. | NOx sensor and methods of using the same |
JP2007327933A (ja) | 2006-05-12 | 2007-12-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガスセンサ及びその製造方法 |
CN100559176C (zh) * | 2006-10-09 | 2009-11-11 | 西南交通大学 | 一种气体传感器及其阵列 |
-
2008
- 2008-10-09 JP JP2010529056A patent/JP2011501127A/ja active Pending
- 2008-10-09 WO PCT/US2008/079416 patent/WO2009049091A2/en active Application Filing
- 2008-10-09 KR KR1020177017878A patent/KR101931044B1/ko active IP Right Grant
- 2008-10-09 KR KR1020107008945A patent/KR20100081326A/ko active Search and Examination
- 2008-10-09 EP EP08838074.6A patent/EP2201357B1/en active Active
- 2008-10-09 CN CN2008801197645A patent/CN101889201B/zh active Active
- 2008-10-09 US US12/682,365 patent/US9027387B2/en active Active
- 2008-10-09 KR KR1020167020023A patent/KR20160090405A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-10-09 CA CA2701942A patent/CA2701942C/en active Active
- 2008-10-09 KR KR1020157033888A patent/KR20150138430A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-10-09 BR BRPI0817851-8A patent/BRPI0817851B1/pt active IP Right Grant
-
2015
- 2015-05-11 US US14/708,935 patent/US20150241383A1/en not_active Abandoned
- 2015-06-02 JP JP2015111833A patent/JP6335140B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11507123A (ja) * | 1995-02-21 | 1999-06-22 | アーベー ボルボ | 排気ガス分析のための構成 |
JPH11287785A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Yazaki Corp | 固体電解質型二酸化炭素ガス・酸素ガスセンサ |
JP2005504961A (ja) * | 2001-09-28 | 2005-02-17 | ユニバーシティ オブ フロリダ | 固体ポテンショメトリック気体酸化物センサ |
JP2006521568A (ja) * | 2003-03-26 | 2006-09-21 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ガスの混合物を分析するための装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015502549A (ja) * | 2011-12-23 | 2015-01-22 | サノフィ−アベンティス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 薬剤の包装のためのセンサ装置 |
US10215786B2 (en) | 2011-12-23 | 2019-02-26 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Sensor arrangement for a packaging of a medicament |
JP2016510173A (ja) * | 2013-03-06 | 2016-04-04 | ヘレーウス ゼンゾール テクノロジー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングHeraeus Sensor Technology GmbH | レーザー光線を用いた煤煙センサーの製造方法 |
US10107221B2 (en) | 2013-03-06 | 2018-10-23 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Method for producing a soot sensor with a laser beam |
JP2017020815A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | 国立大学法人九州工業大学 | ガスセンサ用材料及びその製造方法、並びにこれを用いたガスセンサの製造方法 |
WO2019003612A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | 京セラ株式会社 | センサ基板およびセンサ装置 |
JPWO2019003612A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2020-04-16 | 京セラ株式会社 | センサ基板およびセンサ装置 |
US11513095B2 (en) | 2017-06-27 | 2022-11-29 | Kyocera Corporation | Sensor board and sensor device |
JP2019152566A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ガスセンサ群及び可燃性ガスの分析方法 |
JP7126238B2 (ja) | 2018-03-05 | 2022-08-26 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 可燃性ガスの分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150138430A (ko) | 2015-12-09 |
US9027387B2 (en) | 2015-05-12 |
KR20160090405A (ko) | 2016-07-29 |
KR20100081326A (ko) | 2010-07-14 |
EP2201357A4 (en) | 2013-01-09 |
US20100264900A1 (en) | 2010-10-21 |
WO2009049091A2 (en) | 2009-04-16 |
CA2701942A1 (en) | 2009-04-16 |
EP2201357B1 (en) | 2022-09-21 |
JP6335140B2 (ja) | 2018-05-30 |
CN101889201B (zh) | 2013-11-13 |
US20150241383A1 (en) | 2015-08-27 |
EP2201357A2 (en) | 2010-06-30 |
CN101889201A (zh) | 2010-11-17 |
BRPI0817851B1 (pt) | 2019-03-06 |
KR101931044B1 (ko) | 2018-12-19 |
BRPI0817851A2 (pt) | 2015-04-07 |
WO2009049091A3 (en) | 2009-07-16 |
JP2015172595A (ja) | 2015-10-01 |
KR20170085133A (ko) | 2017-07-21 |
CA2701942C (en) | 2016-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6335140B2 (ja) | 集積温度制御コントロール及び温度センサを備えた多機能電位差ガスセンサアレイ | |
JP6573783B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
US20180292338A1 (en) | Gas sensing method and device | |
US9404886B2 (en) | Microelectrochemical sensor and method for operating a microelectrochemical sensor | |
EP2762867B1 (en) | Gas sensor with temperature control | |
US10942141B2 (en) | Multi-parametric sensor with bridge structure | |
JP2009540334A5 (ja) | ||
JP2009540334A (ja) | 異種電極を有するアンモニアセンサー | |
JP6263476B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
CN108313972B (zh) | 一种氢气传感器及其加工方法和用途 | |
US20120036916A1 (en) | Gas Sensing System | |
JP2017166826A (ja) | ガスセンサ | |
JP2011038953A (ja) | ガスセンサ | |
JP2007322355A (ja) | ガスセンサ及びガス検知システム | |
KR20180097583A (ko) | 측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 적어도 하나의 특성을 검출하기 위한 센서 소자 | |
JP2001141690A (ja) | ガスセンサ | |
JP2009244113A (ja) | ガスセンサ | |
JP7456404B2 (ja) | 熱式センサ、及び熱式センサを用いた計測方法 | |
JP2023157201A (ja) | ガスセンサ | |
KR20230147551A (ko) | 고감도 광대역 수소센서 | |
US20200096396A1 (en) | Gas Sensors | |
JP2003232773A (ja) | 複合ガスセンサ素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130225 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130304 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130325 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130401 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130423 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130501 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140428 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140508 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140529 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140605 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140701 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140708 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150203 |