JP2011249862A - ノイズ抑制伝送路及びそれに用いられるシート状構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のノイズ抑制伝送路は、少なくとも信号導体を備える配線層と、誘電体層と、シート状構造体とを備えている。シート状構造体は、所定パターンを有する単位形状を繰り返し並べてなる導電体層を備えており、誘電体層は、配線層と導電体層との間に設けられている。なお、配線層のグランド線と導電体層の一部とを接続することとしてもよい。以上の構成により、信号導体を流れるノイズを低減することを可能とした。
【選択図】図2
Description
本発明の第1の実施の形態によるノイズ抑制伝送路1は、半導体ベアチップと外部回路との間を電気的に接続するためのものである。具体的には半導体ベアチップと当該半導体ベアチップが搭載される外部回路との間に挟まれるようにして使用されるインターポーザや、リードフレームに対して用いられる。
上述した第1の実施の形態によるノイズ抑制伝送路10(図2参照)は、グランド線14とシート状構造体40の導体パターン45の一部(グランド電極80)とがビア60により接続されているものであった。図11に示される本発明の第2の実施の形態によるノイズ抑制伝送路1’は、マイクロストリップラインに対してシート状構造体40を単に近接させた構成、即ちグランド線14’と導体パターン45とは接続されていない構成を有している。
10 配線層
12、12’ 信号線
14、14’ グランド線
15 チップ側接続部
16 回路側接続部
20 誘電体層
30 磁性体膜
40、40’ シート状構造体
45、45’ 導体パターン(導電体層)
50、50’ 支持層
60 ビア
70、70’ 単位形状
80、80’ グランド電極
90、90’ パッチ電極
100、100’ インダクタライン
110 実装位置
120、122 ノズル
130 回転台
140 基体
150、152 タンク
160、162 ガス導入口
Claims (21)
- 少なくとも信号導体を備える配線層と、誘電体層と、シート状構造体とを備えるノイズ抑制伝送路であって、
前記シート状構造体は、単位形状を繰り返し並べてなる導電体層を備えており、
前記誘電体層は、前記配線層と前記導電体層との間に設けられている
ノイズ抑制伝送路。 - 請求項1に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記配線層は、グランド導体を更に備えており、
前記グランド導体は、前記導電体層と電気的に接続されている
ノイズ抑制伝送路。 - 請求項2に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記グランド導体は、前記導電体層とビアにより接続されているノイズ抑制伝送路。 - 請求項2又は請求項3のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記シート状構造体は、前記導電体層上に設けられた磁性体を備えているノイズ抑制伝送路。 - 請求項4に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記磁性体は、前記導電体層上に形成された磁性体被膜であるノイズ抑制伝送路。 - 請求項4又は請求項5に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記磁性体は、フェライトからなるノイズ抑制伝送路。 - 請求項6に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記磁性体は、フェライトめっき膜であるノイズ抑制伝送路。 - 請求項2乃至請求項7のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記単位形状は、四角形形状を有しており、且つ、当該四角形の4辺に沿って設けられている枠形状のグランド電極と、前記グランド電極の内側の領域に配置され四角形形状を有するパッチ電極と、前記グランド電極とパッチ電極とを接続するインダクタラインとで構成されており、
前記グランド導体は、前記グランド電極と電気的に接続されている
ノイズ抑制伝送路。 - 請求項2乃至請求項7のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記単位形状は、六角形形状を有しており、且つ、当該六角形の6辺に沿って設けられている枠形状のグランド電極と、前記グランド電極の内側の領域に配置され六角形形状を有するパッチ電極と、前記グランド電極とパッチ電極とを接続するインダクタラインとで構成されており、
前記グランド導体は、前記グランド電極と電気的に接続されている
ノイズ抑制伝送路。 - 請求項1に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記シート状構造体は、前記導電体層上に設けられた磁性体を備えているノイズ抑制伝送路。 - 請求項1又は請求項2のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記単位形状は、四角形形状を有しており、且つ、当該四角形の4辺に沿って設けられている枠形状のグランド電極と、前記グランド電極の内側の領域に配置され四角形形状を有するパッチ電極と、前記グランド電極とパッチ電極とを接続するインダクタラインとで構成されている、ノイズ抑制伝送路。 - 請求項1又は請求項2のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記単位形状は、六角形形状を有しており、且つ、当該六角形の6辺に沿って設けられている枠形状のグランド電極と、前記グランド電極の内側の領域に配置され六角形形状を有するパッチ電極と、前記グランド電極とパッチ電極とを接続するインダクタラインとで構成されている、ノイズ抑制伝送路。 - 請求項11又は請求項12に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記グランド導体は、前記グランド電極とビアにより接続されているノイズ抑制伝送路。 - 請求項1乃至請求項13のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記導電体層は、銅又はアルミニウムからなるノイズ抑制伝送路。 - 請求項1乃至請求項14のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記誘電体層は、ポリイミドからなるノイズ抑制伝送路。 - 請求項1乃至請求項15のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記シート状構造体は、誘電体からなる支持層であって前記導電体層を支持する支持層を更に備えているノイズ抑制伝送路。 - 請求項1乃至請求項16のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記支持層は、ガラス繊維及び樹脂の複合体、高分子フィルム、ポリイミド又はFR4からなるノイズ抑制伝送路。 - 請求項1乃至請求項17のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路であって、
当該ノイズ抑制伝送路は、半導体ベアチップと、外部回路との間を電気的に接続するための経路の少なくとも一部をなすものであり、
前記配線層は、前記半導体ベアチップと電気的に接続される第1接続部位と、前記外部回路と電気的に接続される第2接続部位とを有している
ノイズ抑制伝送路。 - 請求項18に記載のノイズ抑制伝送路であって、
前記配線層は、リードフレームであるノイズ抑制伝送路。 - 請求項1乃至請求項19のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路と、当該ノイズ抑制伝送路と電気的に接続された半導体ベアチップとを備える半導体パッケージ。
- 請求項1乃至請求項19のいずれかに記載のノイズ抑制伝送路に用いられる前記シート状構造体を備えたノイズ抑制シート。
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