JP5271714B2 - Ebg構造体、アンテナ装置、rfidタグ、ノイズフィルタ、ノイズ吸収シート及びノイズ吸収機能付き配線基板 - Google Patents

Ebg構造体、アンテナ装置、rfidタグ、ノイズフィルタ、ノイズ吸収シート及びノイズ吸収機能付き配線基板 Download PDF

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Description

本発明は、EBG(Electromagnetic Bandgap)構造体とそれを利用したアンテナ装置、RFID(Radio Frequency Identification)タグ、ノイズフィルタ、ノイズ吸収シート及びノイズ吸収機能付き配線基板に関する。
近年、着目されているデバイス・材料として、EBG構造体がある。EBG構造体とは、所定の等価回路で表現できる単位構造を周期的に連結してなる構造体であり、主として、2つの機能を呈することが知られている。
一つは、構造体の主面に対して直交する方向から構造体を見た場合に、その簡略化された等価回路であるLC並列共振回路の共振周波数を含む周波数帯域に対して高い表面インピーダンスを呈するというものである。このメカニズムとEBG構造の一例については、例えば、米国特許第6,538,621号公報(特許文献1)に記載されている。
EBG構造体のもう一つの特性は、EBG構造体の主面に平行な方向から構造体を見た場合に、所定の周波数帯域に属する信号・ノイズの透過を阻止するというものである。これは、概略、ある周波数に対してエバネッセント場を構成するような単位構造を周期的に配置することにより、入射された信号・ノイズが減衰してしまうといったメカニズムを利用するものである。これに関する提案としては、例えば、米国特許公開第2006/0050010A1号公報(特許文献2)に開示されるものが挙げられる。
更には、左手系媒質としてビアを不要としビア密度の縛りを超えたスケーラビリティを持たせてなるもの(例えば、特開2006−245984号公報(特許文献3)参照)なども提案されている。
インダクタンス成分又はキャパシタンス成分を大きくすると、高表面インピーダンスを呈する領域又は信号・ノイズ透過阻止領域を低周波数側にシフトさせることができる。スケール則を考慮すれば理解されるように、特性を低周波数側にシフトさせることができるということは、EBG構造体の小型化を図ることができることを意味する。従って、いずれの用途を想定する場合にも、インダクタンス成分又はキャパシタンス成分を大きくとりたいという要望がある。
EBG構造体においてインダクタンス成分又はキャパシタンス成分を増やすためには、物理的構造・幾何学的構造に工夫を凝らさなければならないが、幾何学的構造の変更のみに依拠すると、それを他の構造に適用することは困難であるため、技術的に汎用性が乏しいといった問題がある。
そこで、本発明は、EBG構造体の小型化に寄与する技術であって汎用性の高いものを模索し、当該技術を適用してなるEBG構造体及びその応用技術を提供することを目的とする。
幾何学的構造に工夫を凝らして特性を低周波数側にシフトさせようとする場合、インダクタンス成分を増やすよりもキャパシタンス成分を増やすことの方が容易である。それ故、従来、キャパシタンス成分を増やすものについて多く提案されていた。
これに対して、本発明の発明者らは、インダクタンス成分を増やすことにより特性を低周波数側へシフトさせた方が、付随的によい特性を得ることが出来ることを見出した。加えて、磁性体層や磁性体膜などをEBG構造体に付与することにより、インダクタンス成分を増やすことが出来ることを見出した。
本発明は、かかる知見に基づくものであり、具体的には、上述した課題を解決するための手段として、EBG構造体に、磁性体部を少なくとも部分的に含ませることとする。磁性体部は、EBG構造体を構成する導体、例えば、グランド導体、キャパシタンスを構成する導体、及び/又はビアなどのインダクタンスを構成する導体などの少なくとも一部に近接配置、できれば接触配置されていることが好ましい。磁性体部の例としては、フェライトめっき膜や、磁性体粉末と樹脂バインダからなる複合磁性体層などが挙げられる。
EBG構造体に磁性体部を付与することにより、インダクタンス成分を大きくすることができ、EBG構造の小型化に寄与することができる。
本発明の第1の実施の形態によるEBG構造体における単位構造を概略的に示す斜視図である。 本発明の第1の実施の形態によるEBG構造体の断面図である。 本発明の第1の実施の形態によるEBG構造体を概略的に示す斜視図である。 フェライトめっき膜を製造する装置の説明に用いる図である。 図1に示される単位構造を上方から見た場合の等価回路を示す図である。 図5の等価回路と置き換え可能な等価回路を示す図である。 インダクタンスを増加させることにより高インピーダンス領域の広帯域化が図れることを説明するための図である。 高インピーダンス領域を広帯域化するための等価回路上の条件を示す図である。 図1乃至図3に示されるEBG構造体を備えるRFIDタグを示す図である。 図9に示されるRFIDタグの上面図である。 EBG構造体の変形例を示す図である。 ベタパターンのグランド層を有しないようなEBG構造体を備えるRFIDタグを示す図である。 本発明の第2の実施の形態によるEBG構造体を有するRFIDタグを示す図である。 本発明の第2の実施の形態によるEBG構造体における単位構造を概略的に示す斜視図である。 本発明の第2の実施の形態によるEBG構造体の断面図である。
符号の説明
1、1’、1” EBG構造体
2 アンテナ支持層
3 アンテナ素子
4 IC
5 シールド支持層
6 シールド層
10 グランド層
20、21 磁性体層
30 ビア
40 トップ層
50 誘電体層
60 浮遊キャパシタ層
以下、本発明の第1の実施の形態によるEBG構造体小型化技術について、図1乃至図3に示されるEBG構造体を例にとり説明する。
本実施の形態におけるEBG構造体1は、図1乃至図3から理解されるように、所謂マッシュルーム構造のものに浮遊キャパシタ層60を付加してなる構造に対して磁性体層20を付与してなるものである。詳しくは、本実施の形態におけるEBG構造体1は、ベタパターンを有する導電体層からなるグランド層10と、グランド層10上に形成された磁性体層20と、グランド層10から垂直に延びるビア30と、ビア30によりグランド層と結合されたトップ層40と、トップ層40と磁性体層20との間に満たされた誘電体層50と、容量増加のために誘電体層50内にフローティング状態で保持された浮遊キャパシタ層60とを備えている。なお、図1及び図3においては、構成要素の関係を明確にするため、誘電体層50が省略されている。
本実施の形態における磁性体層20は、フェライトめっき法により形成されたフェライトめっき膜である。フェライトめっき法とは、例えば特許第1475891号に示されているように、固体表面に、金属イオンとして少なくとも第1鉄イオンを含む水溶液を接触させ、その固体表面にFe2+またはこれと他の水酸化金属イオンを吸着させ、続いて吸着したFe2+を酸化させることによりFe3+を得、これが水溶液中の水酸化金属イオンとの間でフェライト結晶化反応を起こすことを利用して、固体表面にフェライト膜を形成する方法である。この方法により形成されたフェライトめっき膜は、結晶相同士が密に配列した構造を有し交換結合による小さな異方性分散が期待でき、バルクのフェライトよりも1桁高い自然共鳴周波数を有する(高い周波数まで透磁率実部μ´が伸びる)。また、組成を変えることで自然共鳴周波数も制御可能である(Y. Shimada, N. Matsushita, M. Abe, K. Kondo, T. Chiba, and S.
Yoshida, J. Magn. Magn. Mater., 278, 256 (2004))。
ここで、フェライトめっき膜をEBG構造体に含まれる導電体層に近接させたときの効果を調べるための基礎検討としてフェライト膜単体の電磁気特性を評価した。
フェライトめっき膜の成膜には、概略図4に示されるようなフェライトめっき膜製造装置を用いた。図4において、フェライト膜を形成する基体(支持体)104は、回転台103の上に設置される。メッキに必要な液を貯蔵するためのタンク105,106に貯蔵された溶液は、ガス導入口107から出る窒素ガスとともにノズル101,102を介して基体104に供給される。その際、例えば、ノズル101を介して基体104に溶液が供給された後、余剰の溶液が回転による遠心力で除去されるステップと、ノズル102を介して基体104に供給された溶液が供給された後、回転による遠心力で除去されるステップとが繰り返し行われる。
図4に示される装置の回転台103の上に厚さ25μmのポリイミド製シートを設置し150rpmで回転させながら脱酸素イオン交換水を供給しつつ90℃まで加熱した。次いで、装置内にNガスを導入し脱酸素雰囲気を形成した。反応液として脱酸素イオン交換水中にFeCl・4HO、NiCl・6HO、ZnCl、CoCl・6HOをそれぞれ下記表1に示すモル比で溶かし、脱酸素イオン交換水中にNaNOとCHCOONHをそれぞれ溶かした酸化液と前述の反応液とをノズル101,102によりそれぞれ約40ml/minの流量で供給した。このようにして処理された基体104には黒色膜(フェライト膜)が形成されていた。SEMを用いた組織観察の結果、膜厚が均一である組織が形成されていた。膜の化学組成は、3cm角〜5cm角程度の大きさの膜を塩酸により溶解し、誘導結合プラズマ発光分光法(ICPS)により決定した。膜の透磁率はシールディドループコイル法を用いた透磁率計により測定した。比抵抗はフェライト膜の面内方向の直流比抵抗ρv(単位:Ωcm)は、表面抵抗率ρs(単位:Ω/sq)の測定値から、次式により算出した。

ρv s×t
ここで、t(単位:cm)は膜厚を示す。ρsは、その値が10Ω/sq以下の場合には4探針法(定電流印加方式、JIS K 7194)により、10Ω/sq以上の場合には二重リング方式(定電圧印加・漏洩電流測定方式、JIS K 6911)により、それぞれ測定した。測定結果も併せて下記表1に示す。なお、膜の酸素量については、フェライト組成M(M:金属元素)によって決まるが、酸素欠陥または酸素過剰を許容する。
Figure 0005271714
表1から理解されるように、少なくともFeとCoを含み、膜中の金属組成比FeNiZnCoが、2.1≦a≦2.6,0≦b≦0.3,0≦c≦0.4,0.1≦d≦0.4(但し、a+b+c+d=3.0)の条件を満たすようなフェライト材料は、透磁率の実部μ´が1/2に低下する周波数である自然共鳴周波数frが1GHz以上であるといった良好な特性を呈している。
更に検討した結果、フェライト材料の950MHzにおけるμ´と材料の厚さtの積が5μmより小さいと、そのフェライト材料をEBG構造体に適用した場合、小型化・広帯域化の効果が小さいことがわかった。従って、本実施の形態のようにEBG構造体に適用する場合、950MHzにおける該フェライト層のμ´と当該フェライト層の厚さとの積が5μm以上であることが好ましい。また、フェライト材料のtanδ(=μ″/μ´)の値が950MHzにおいて1.0より大きいと、損失が大きすぎて、特に、アンテナ基板などの用途には不向きであることが分かった。従って、損失が大きすぎると問題になるような場合には、tanδ(=μ″/μ´)の値が950MHzにおいて1.0以下であることが好ましい。加えて、フェライト材料の比抵抗が0.1Ωcmより小さいと、フェライト材料の導電性によりEBG特性が劣化することが分かった。従って、フェライト材料は、0.1Ωcm以上の比抵抗を有するものであることが好ましい。このように、従来適用できなかったGHz帯まで対応しうる磁性膜が製造できるようになり、EBG構造体にも適用できるようになった。
上記のようなフェライト材料を、例えばPETやポリイミドなど樹脂製のシートやアンテナ導体等の支持体上に形成してEBG構造体を構成する導電体に近接して配置してもよいが、EBG構造体を構成する導電体(例えば、本実施の形態の場合、グランド層10)上に直接成膜すると、インダクタンス成分増大の効果がより高くなる。
EBG構造体におけるインダクタンス成分が増大すると、例えば、LC並列共振回路の共振周波数が低くなる。従って、EBG構造体に磁性体層を付与することでEBG構造体の小型化に寄与することができる。なお、LC並列共振回路の共振周波数を低くすることは、キャパシタンス成分を増加させることでも可能であるが、以下に詳細に説明する理由により、インダクタンス成分を増大させる方が、特性上有利である。
図5は、EBG構造の単位構造を等価回路で表現したものである。周期を半分ずらして、図6に示されるような等価回路で上述した単位構造を表現することとしてもよい。
単位構造の主面に直交する方向から単位構造を見た場合、図5、図6に示される等価回路は、適切な周波数範囲ではLC並列共振回路に簡略近似することができる。これは、隣り合うトップ層40間が、ギャップと連続導体との並列接続構造を有していることからも予想できる。
ここで、インダクタンスL,キャパシタンスCを有するLC並列共振回路で近似される表面の表面インピーダンスZsは、下記式(1)にて表すことができる。なお、ωは角周波数、Lはインダクタンス、Cはキャパシタンス、jは虚数単位である。
Figure 0005271714
ここで、共振角周波数ωは、次式(2)で表される。
Figure 0005271714
式(2)を考慮して、式(1)をグラフ化したものは、図7に示される。図7から理解されるように、LC=一定の条件(共振周波数一定)では、インダクタンス成分が大きく且つキャパシタンス成分が小さい場合の方が、インダクタンス成分が小さく且つキャパシタンス成分が大きい場合よりも、表面インピーダンスZsが大きい周波数帯域が広い。表面インピーダンスZsが大きい場合に、EBG表面に入射する平面波は同相反射されることから、インダクタンス成分が大きい方が、EBGの同相反射する周波数範囲が広くなる。
従って、LC並列共振回路を図6に示されるような小キャパシタンスと大インダクタンスの組み合わせてなるものとすれば、広帯域な同相反射効果を得ることができる。
一方、信号・ノイズの透過阻止領域に関しても、前述のように、インダクタンス成分が大きくなることから低周波数側にシフトする。これに加えて、磁性体の付与によりインダクタンス成分を増大させることとした場合、高周波数側でも信号・ノイズの透過阻止効果が得られる。これは、磁性体のμ″による損失が影響しているのではないかと思われるが、いずれにしても、EBG構造体に磁性体を付与することとすると、信号・ノイズの透過阻止領域を広帯域化することができる。
なお、磁性体膜20は、上述したフェライトめっき膜には限られず、スパッタ等の一般的な成膜方法でフェライト材料を作製し、これをEBG構造体に含まれる導電体層に近接して配置してもよく、またEBG構造体に含まれる導電体層上に直接成膜してもよい。更には、焼結法によるフェライト材料を作製しEBG構造体に含まれる導電体層に近接するように配置してもよいし、接触させるようにして配置してもよい。
加えて、磁性体膜20は、フェライト材料からなるものだけには限られず、例えば、磁性体粉末と樹脂バインダとからなる複合磁性体を用いて構成することとしてもよい。この場合、複合磁性体そのものによるノイズ吸収効果と、EBG構造体におけるノイズ吸収効果の広帯域化を同時に得ることができるので、より大きなノイズ抑制効果を期待することができる
図9及び図10を参照すると、上述したEBG構造体1を有するRFIDタグが示されている。なお、実際の誘電体材料としては比較的透明なもの(少なくとも内部を透視しうるもの)を用いる場合もあるが、図10においては、図を簡略化するため、透過しないものとして描いてある。
図示されたRFIDタグにおいては、シート状に形成されたEBG構造体1上に誘電体からなるアンテナ支持層2が形成されている。更に、アンテナ支持層2の上面には所定のアンテナパターンを有するアンテナ素子3と、アンテナ素子3に接続されたIC4とが配置されている。なお、本例におけるアンテナ素子3は、図10から理解されるように、IC4を中心とし、EBG構造体の長手方向に対称に延びるパターン3aからなるダイポールアンテナである。
アンテナで送受信する周波数帯域において高い表面インピーダンスを呈するようにEBG構造体1を構成し、それをアンテナの裏面に配することとすると、アンテナで送受信する周波数帯域における同相反射効果により、金属近傍に置かれたアンテナ特性の向上を図ることができる。金属近傍に置かれたアンテナの場合、金属から反射された逆位相の電界によって、放射電界が打ち消され、アンテナ性能が劣化するが、高い表面インピーダンスを有するEBG構造体をアンテナと金属の間に置くことにより、EBG構造体の同相反射により、アンテナ近傍の金属の影響を抑制する。同様の理由により、RFIDタグ以外のアンテナ基板においても、アンテナ特性の向上を期待することが出来る。
なお、上述した実施の形態においては、磁性体層をグランド層上に形成することとしたが、EBG構造体を構成する他の導体、例えば、図11に示されるように、キャパシタンスを構成する導体(浮遊キャパシタ層60)に磁性体層21を付与することとしてもよいし、ビア30などに付与することとしてもよい。また、誘電体層50内部であってグランド層10と浮遊キャパシタ層60の中間に位置するような場所といったように各導電体層とは直接接触しないような位置に磁性体層を付与することとしても良い。この場合、若干絶縁性の悪い磁性膜の場合には、ビアとの接触を避けるように磁性体層を形成することが好ましい。
また、上述した実施の形態においては、ベタパターンのグランド層を有するEBG構造を例にとり説明してきたが、本発明は、例えば、特許文献3に開示されるようにベタパターンのグランド層を有しないようなEBG構造体にも適用可能である。即ち、導電体層を二層有する一方でビアを有さないEBG構造に磁性体層を含ませることとしても良い。その場合において、磁性体層は、上側の導電体層の片面若しくは両面上のみに形成することとしても良いし、下側の導電体層の片面若しくは両面上のみに形成することとしても良い。更には、それらの両方に形成することとしても良い。また、両導電体層の間に導電体層とは接触しない状態で磁性体層を形成することとしても良い。
加えて、本発明をベタパターンのグランド層を有しないようなEBG構造体に磁性体層を含ませることとし、それをもってRFIDタグのようなアンテナ装置を構成する場合、図12に示されるように、EBG構造体1’(磁性体層を含むがベタパターンのグランド層を有しないもの)の裏面に、誘電体からなるシールド支持層5を設け、更に、シールド支持層5の下面にベタパターンの導電体からなるシールド層6を形成することとしてもよい。かかるシールド層6を設けると、近傍の金属の影響を軽減することができることから、例えば、RFIDタグの金属対応化を図ることができる。
更に、EBG構造体とアンテナ層3の相関やEBG構造体1、1’とシールド層6との相関を小さくするためには、アンテナ支持層2やシールド支持層5の厚みを厚くするか、または低い誘電率を有する材料でアンテナ支持層2やシールド支持層5を構成することが必要である。具体的には、アンテナ支持層2やシールド支持層5の材料としては、できるだけ誘電率の低い樹脂や、空気分を含む発泡材、スポンジ、ウレタン、繊維、発泡ポリエチレン、アクリルフォームなどが好ましい。特に、空気は空気中に電界を集中させ、材料内の電界を下げるので、アンテナ装置用途の場合、損失の低減を図ることができ、有効である。
図13を参照すると、本発明の第2の実施の形態によるEBG構造体を有するRFIDタグが示されている。第2の実施の形態において、第1の実施の形態と同じ構成要素については図面内において同一の符号を付し、それらについての説明を省略する。
本実施の形態におけるEBG構造体1”は、図14及び図15から理解されるように、所謂マッシュルーム構造のものに浮遊キャパシタ層60を付加してなる構造である。詳しくは、本実施の形態におけるEBG構造体1”は、ベタパターンを有する導電体層からなるグランド層10と、グランド層10から垂直に延びるビア30と、ビア30によりグランド層と結合されたトップ層40と、トップ層40とグランド層10との間に満たされた誘電体層50と、容量増加のために誘電体層50内にフローティング状態で保持された浮遊キャパシタ層60とを備えている。なお、図14においては、構成要素の関係を明確にするため、誘電体層50が省略されている。即ち、本実施の形態におけるEBG構造体1”は、第1の実施の形態におけるEBG構造体1(図1、図2)から磁性体層20を省略した構成を備えている。かかる構成を有するアンテナ装置においてもEBG構造体1”における同相反射により金属近傍のアンテナ特性が向上する。
以上、EBG構造体のアプリケーションのうち、主として、高い表面インピーダンスを利用するもの(RFIDタグ、アンテナ装置)を掲げて説明してきたが、本発明によれば広帯域で信号・ノイズの透過阻止特性を有するEBG構造体の小型化も図られることから、例えば、かかるEBG構造体を伝送線路の一部に用いてノイズフィルタとしたり、伝送線路の近傍に配置して伝導ノイズを吸収させるノイズ吸収シートとして用いたり、また、基板自体をEBG構造化し、そこに信号導体を走らせることでノイズ吸収機能付きの配線基板を構成することとしてもよい。その場合、信号周波数以外の周波数帯において高ロス特性を有する複合磁性体のような磁性体材料を用いると阻止域の高周波数側を広くすることができるため、阻止域の拡大に有効である。

Claims (11)

  1. 単位構造を周期的に連結してなる構造体であって当該構造体の主面に対して直交する方向から当該構造体を見た場合には特定の周波数帯域に対して高い表面インピーダンスを呈すると共に、前記主面に平行な方向から当該構造体を見た場合には所定の周波数帯域に属する信号・ノイズの透過を阻止するEBG(Electromagnetic Bandgap)構造体において、
    磁性体部と、導電体層と、誘電体層とを含んでおり、
    前記磁性体部は、前記導電体層に接触形成されており、
    前記誘電体層は、前記磁性体部とは別体であり、且つ、前記導電体層と接触している又は前記導電体層との間に前記磁性体部を介在させており、
    前記導電体層はベタパターンを有しており且つグランド層を構成しており、
    前記磁性体部は、前記グランド層上に形成されており、
    前記EBG構造体は、前記グランド層から垂直に延びるビアと、前記ビアにより前記グランド層と結合された導電体からなるトップ層と、前記誘電体層内にフローティング状態で保持された導電体からなる浮遊キャパシタ層とを更に備えており、
    前記誘電体層は、前記トップ層と前記磁性体部との間に満たされている
    EBG構造体。
  2. 前記磁性体部は、磁性体粉末と樹脂バインダとからなる複合磁性体層である、請求項1記載のEBG構造体。
  3. 前記複合磁性体層は、前記導電体層からなる前記グランド層の上面上及び下面上の双方に形成されている、請求項2記載のEBG構造体。
  4. 高表面インピーダンスを呈する第1の主面と該第1の主面の反対の面である第2の主面とを有するシート状又は板状に形成されてなる、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のEBG構造体。
  5. 請求項4記載のEBG構造体と、前記第1の主面上に形成された誘電体からなるアンテナ支持層と、該アンテナ支持層により支持されたアンテナ素子とを備えるアンテナ装置。
  6. 前記第2の主面上に形成された誘電体からなるシールド支持層と、該シールド支持層により支持されたベタパターンの導電体からなるシールド層とを更に備える、請求項5記載のアンテナ装置。
  7. 請求項5又は請求項6記載のアンテナ装置と、前記アンテナ支持層上において前記アンテナ素子に接続されたICを備え、前記EBG構造体をタグ基体の一部としてなるRFID(Radio Frequency Identification)タグ。
  8. 請求項4記載のEBG構造体を備えたノイズフィルタ。
  9. 請求項4記載のEBG構造体を備えたノイズ吸収シート。
  10. 請求項4記載のEBG構造体と、信号導体とを備えたノイズ吸収機能付き配線基板。
  11. 請求項4記載のEBG構造体と、前記第1の主面上に形成された誘電体からなるアンテナ支持層とを備えるアンテナ装置。
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